JP2016203431A5 - - Google Patents
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Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015085116A JP6657588B2 (ja) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | 積層体及びその製造方法 |
| CN201680021062.8A CN107428125A (zh) | 2015-04-17 | 2016-04-15 | 层叠体及其制造方法 |
| CN202111158968.3A CN113897594A (zh) | 2015-04-17 | 2016-04-15 | 层叠体及其制造方法 |
| PCT/JP2016/002037 WO2016166986A1 (ja) | 2015-04-17 | 2016-04-15 | 積層体及びその製造方法 |
| KR1020177032885A KR102450786B1 (ko) | 2015-04-17 | 2016-04-15 | 적층체 및 그 제조 방법 |
| EP16779780.2A EP3284591B1 (en) | 2015-04-17 | 2016-04-15 | LAMINATE AND ITS PRODUCTION METHOD |
| US15/730,922 US11090917B2 (en) | 2015-04-17 | 2017-10-12 | Laminate and method for fabricating the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015085116A JP6657588B2 (ja) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | 積層体及びその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016203431A JP2016203431A (ja) | 2016-12-08 |
| JP2016203431A5 true JP2016203431A5 (enExample) | 2018-03-08 |
| JP6657588B2 JP6657588B2 (ja) | 2020-03-04 |
Family
ID=57126457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015085116A Active JP6657588B2 (ja) | 2015-04-17 | 2015-04-17 | 積層体及びその製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11090917B2 (enExample) |
| EP (1) | EP3284591B1 (enExample) |
| JP (1) | JP6657588B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102450786B1 (enExample) |
| CN (2) | CN107428125A (enExample) |
| WO (1) | WO2016166986A1 (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019010731A (ja) * | 2015-11-24 | 2019-01-24 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリアー性フィルム及び電子デバイス |
| JP7235466B2 (ja) * | 2018-01-26 | 2023-03-08 | レール・リキード-ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | ランタノイド化合物、ランタノイド含有薄膜、および該ランタノイド化合物を用いたランタノイド含有薄膜の成膜方法 |
| CN112175220B (zh) * | 2020-09-03 | 2023-01-03 | 广东以色列理工学院 | 耐高温的改性聚丙烯薄膜及其制备方法和应用 |
| CN119685802B (zh) * | 2025-02-24 | 2025-05-30 | 浙江大学 | 一种引发式分子层沉积方法及区域选择性沉积调控方法 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7476420B2 (en) * | 2000-10-23 | 2009-01-13 | Asm International N.V. | Process for producing metal oxide films at low temperatures |
| JP2003327718A (ja) | 2002-03-08 | 2003-11-19 | Dainippon Printing Co Ltd | 基材フィルム、並びにガスバリア性フィルムおよびこれを用いたディスプレイ |
| US20030203210A1 (en) * | 2002-04-30 | 2003-10-30 | Vitex Systems, Inc. | Barrier coatings and methods of making same |
| KR100496265B1 (ko) * | 2002-11-29 | 2005-06-17 | 한국전자통신연구원 | 반도체 소자의 박막 형성방법 |
| US6888172B2 (en) * | 2003-04-11 | 2005-05-03 | Eastman Kodak Company | Apparatus and method for encapsulating an OLED formed on a flexible substrate |
| KR20060006840A (ko) | 2003-05-16 | 2006-01-19 | 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 | 원자층 증착에 의해 제작된 플라스틱 기판용 배리어 필름 |
| JP2005104026A (ja) | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | ガスバリア性積層フィルム及び該積層フィルムを用いた画像表示素子 |
| NO20045674D0 (no) * | 2004-12-28 | 2004-12-28 | Uni I Oslo | Thin films prepared with gas phase deposition technique |
| EP2011898B1 (en) * | 2007-07-03 | 2021-04-07 | Beneq Oy | Method in depositing metal oxide materials |
| JP5912228B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2016-04-27 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア性積層体の製造方法 |
| JP5304733B2 (ja) * | 2010-06-10 | 2013-10-02 | 住友金属鉱山株式会社 | 誘電体膜を有する金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムと金属膜付耐熱性樹脂フィルムの各製造方法および誘電体膜を有する金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムの製造装置 |
| EP2604427A4 (en) * | 2010-08-13 | 2014-12-24 | Asahi Glass Co Ltd | LAMINATE AND LAMINATE MANUFACTURING METHOD |
| JP2012116151A (ja) | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Sony Corp | バリアフィルム及びその製造方法 |
| TWI590951B (zh) * | 2011-07-28 | 2017-07-11 | 凸版印刷股份有限公司 | 積層體、阻氣薄膜、積層體之製造方法及積層體製造裝置 |
| JP5966928B2 (ja) * | 2011-09-07 | 2016-08-10 | 東レ株式会社 | ガスバリア性フィルム |
| TWI429526B (zh) * | 2011-12-15 | 2014-03-11 | Ind Tech Res Inst | 水氣阻障複合膜及封裝結構 |
| US20130337259A1 (en) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | E I Du Pont De Nemours And Company | Gas permeation barrier material |
| TWI592310B (zh) * | 2012-10-18 | 2017-07-21 | 凸版印刷股份有限公司 | 積層體、阻氣薄膜及其製造方法 |
| WO2014156888A1 (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-02 | 凸版印刷株式会社 | 積層体及びガスバリアフィルム |
| EP2979857B1 (en) * | 2013-03-27 | 2024-03-20 | Toppan Printing Co., Ltd. | Laminate body, barrier film, and manufacturing method of these |
-
2015
- 2015-04-17 JP JP2015085116A patent/JP6657588B2/ja active Active
-
2016
- 2016-04-15 WO PCT/JP2016/002037 patent/WO2016166986A1/ja not_active Ceased
- 2016-04-15 CN CN201680021062.8A patent/CN107428125A/zh active Pending
- 2016-04-15 CN CN202111158968.3A patent/CN113897594A/zh active Pending
- 2016-04-15 EP EP16779780.2A patent/EP3284591B1/en active Active
- 2016-04-15 KR KR1020177032885A patent/KR102450786B1/ko active Active
-
2017
- 2017-10-12 US US15/730,922 patent/US11090917B2/en active Active
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