JP6350220B2 - グラフェンの製造方法 - Google Patents
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Description
圧力:0.1Pa〜大気圧。
炭素含有層の形成に用いる材料:テレフタル酸ジクロライド、エチレンジアミン。
炭素含有層の材質としては、例えば、ポリアミド(PA)、ポリイミド(PI)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、アクリル樹脂(PMMA)、ポリカーボネート(PC)等が挙げられる。また、炭素含有層の材質は、金属と炭素との化合物(例えば、AlCHO等)であってもよい。炭素含有層の膜厚は、例えば、数nm〜数百nmとすることができる。なお、本明細書における膜厚は、エリプソメトリの装置を用いて測定した値を意味する。
下地層の材質としては、例えば、Co、Fe、Ni、Cu、Ru、Rh、Pd、Pt、Au、Ir、Sc、Ti、Al、Ag、Mn、Cr、Sn、及びそれらの2種以上の合金が挙げられる。下地層の膜厚は、例えば、数nm〜数百nmとすることができる。下地層は、例えば、蒸着法、スパッタリング法、CVD法、原子層堆積法(ALD)等の方法で形成できる。
第2の熱処理工程の時間は、例えば、0.1〜100時間とすることができる。この範囲内である場合、グラフェンの膜質が一層向上する。また、第2の熱処理工程は、真空中で行ってもよいし、雰囲気ガス中で行ってもよい。雰囲気ガスとしては、例えば、不活性ガス(例えば、N2、Ar等)が挙げられる。真空中、又は前記の雰囲気ガス中で第2の熱処理工程を行う場合、グラフェンの膜質が一層向上する。また、第2の熱処理工程における圧力は、例えば、大気圧又は減圧(例えば、10−6〜105Pa)とすることができる。この場合、グラフェンの膜質が一層向上する。
(実施例1)
1.グラフェンの製造方法
まず、図1Aに示すように、Coから成る下地層1を備えたサファイア基板3を用意した。下地層1の膜厚は200nmである。
圧力:133Pa。
炭素含有層7の形成に用いる材料:テレフタル酸ジクロライドとエチレンジアミン。
温度:600℃
時間:10分間
雰囲気ガス:真空
圧力:1×10−3Pa未満
その結果、図1Dに示すように、炭素含有層7から、アモルファス炭素層9が形成される。
温度:800℃
時間:20分間
雰囲気ガス:真空
圧力:1×10−3Pa未満
その結果、図1Eに示すように、アモルファス炭素層9から、グラフェン11が形成された。
前記のようにして製造したグラフェンをラマン分光により分析した。その結果を図2に示す。図2に示す波形は、グラフェンに特有のものであった。よって、前記の製造方法によりグラフェンが製造できたことが確認できた。
本実施例のグラフェンの製造方法によれば、膜厚が均一であり、膜質が良好であるグラフェンを製造することができる。また、本実施例のグラフェンの製造方法によれば、グラフェンの膜厚を精密に制御することができる。
(比較例)
1.成膜方法
基本的には前記実施例1と同様であるが、炭素含有層形成工程の後、第1の熱処理工程を行わず、すぐに第2の熱処理工程を行った。
形成された膜をラマン分光により分析した。その結果を図4に示す。図4に示す波形には、Gバンドに対するDバンドの強度が高いという特徴が存在する。このことから、本比較例では、非常に膜質が悪いグラフェンが生じたことが分かった。
(実施例2)
基本的には前記実施例1と同様にして、グラフェンを製造する。ただし、本実施例では、炭素含有層7の材質はPETである。なお、炭素含有層7の形成に用いる材料を、エチレンジアミンではなくエチレングリコールにすることにより、炭素含有層7の材質をPETにすることができる。本実施例でも、前記実施例1と略同様のグラフェンを製造することができる。
(実施例3)
基本的には前記実施例1と同様にして、グラフェンを製造する。ただし、本実施例では、第1の熱処理工程における温度を500℃とした。本実施例でも、前記実施例1と略同様のグラフェンを製造することができる。
(実施例4)
基本的には前記実施例1と同様にして、グラフェンを製造する。ただし、本実施例では、第2の熱処理工程における温度を750℃とした。本実施例でも、前記実施例1と略同様のグラフェンを製造することができる。
(実施例5)
基本的には前記実施例1と同様にして、グラフェンを製造する。ただし、本実施例では、自己組織化単分子層5の形成を省略した。そのため、本実施例では、下地層1の上に直接炭素含有層7を形成した。本実施例でも、前記実施例1と略同様のグラフェンを製造することができる。
(実施例6)
基本的には前記実施例1と同様にして、グラフェンを製造する。ただし、本実施例では、下地層1の材質をNiとした。本実施例でも、前記実施例1と略同様のグラフェンを製造することができる。
例えば、前記実施例1〜6において、炭素含有層7の膜厚は、4nm以外の値であってもよく、例えば、40〜50nm(例えば46nm)としてもよい。
Claims (8)
- 原子層堆積法により下地層(1)上に炭素含有層(7)を形成する炭素含有層形成工程と、
前記炭素含有層からアモルファス炭素層(9)を形成する第1の熱処理工程と、
前記アモルファス炭素層からグラフェン(11)を形成する第2の熱処理工程と、
を有することを特徴とするグラフェンの製造方法。 - 請求項1に記載のグラフェンの製造方法であって、
前記第1の熱処理工程における温度が600℃以下であることを特徴とするグラフェンの製造方法。 - 請求項1又は2に記載のグラフェンの製造方法であって、
前記炭素含有層が重合体を含む場合、前記重合体を構成するモノマーに含まれる芳香環の数が1以下であることを特徴とするグラフェンの製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のグラフェンの製造方法であって、
前記下地層と前記炭素含有層との間に自己組織化単分子層(5)を形成することを特徴とするグラフェンの製造方法。 - 請求項4に記載のグラフェンの製造方法であって、
前記自己組織化単分子層に含まれる官能基と、前記炭素含有層に含まれる官能基とが結合することを特徴とするグラフェンの製造方法。 - 請求項4又は5に記載のグラフェンの製造方法であって、
真空中で前記自己組織化単分子層を形成し、
前記自己組織化単分子層の形成と、前記炭素含有層形成工程とを連続して行うことを特徴とするグラフェンの製造方法。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載のグラフェンの製造方法であって、
少なくとも、前記炭素含有層形成工程から、前記第1の熱処理工程までを真空中で連続して行うことを特徴とするグラフェンの製造方法。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載のグラフェンの製造方法であって、
少なくとも、前記第1の熱処理工程から、前記第2の熱処理工程までを真空中で連続して行うことを特徴とするグラフェンの製造方法。
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