JP2016177855A - 磁気ヘッド装置 - Google Patents
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Abstract
Description
アルミニウム基材からなるE−ブロック用のアームを作製した。予め、アームの表面全体をNi−P膜(保護層)で覆った。Ni−P膜の厚さは0.5μmであった。またSUSからなるサスペンションを作製した。アームの厚さは0.5mmであった。サスペンションの厚さは0.1mmであった。
電解めっき法により、上記アームの表面全体を、Ni膜(Niからなる膜)で覆った。Ni膜の厚さは0.2μmに調整した。続いて、電解めっき法により、アームの表面に形成されたNi膜全体を、Sn膜(Snからなる膜)で覆った。Sn膜の厚さは10μmに調整した。
続いて、アームの先端部の表面(Sn膜)と、サスペンションの表面(Sn膜)と、を重ね合わせて、アーム及びサスペンションをギ酸リフローにより250℃で加熱した。以下では、第二工程における加熱温度を、「接合温度」と記す。
各試料を研磨して、試料の中央部の断面を露出させた。ここで、中央部の断面とは、アーム及び接合部の界面に垂直な方向における試料の断面である。中央部の断面とは、接合部及びサスペンションの界面に垂直な方向における試料の断面と言い換えてもよい。各試料の中央部の断面を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察して、各試料の接合部の厚みを測定した。10個の試料の接合部の厚みの平均値を、下記表1に示す。
接合温度を下記表1に示す温度に変更した以外は、上記の同様の方法で、実施例A1の試料の作製を試みた。しかし、接合温度が150℃及び200℃であった場合、接合部が形成されず、実施例A1の試料を作製することができなかった。下記表において「X」と記載された列は、その接合温度では接合部が形成されなかったことを意味する。接合温度が250℃であった場合、接合部が形成され、実施例A1の試料を作製することができた。250℃の接合温度で形成された接合部を、上記の方法で評価した。評価結果を下記表1に示す。
各実施例の第一工程では、下記表1〜3の「アーム膜組成」の欄に記載の組成を有する膜により、アーム側のNi膜全体を覆った。また、各実施例の第一工程では、下記表1〜3の「サスペンション膜組成」の欄に記載の膜により、サスペンション側のNi膜全体を覆った。なお、「アーム膜組成」及び「サスペンション膜組成」の欄に記載の各元素記号の前に付された数値は、各膜における各元素の含有量(単位:質量%)を意味する。
実施例B1の第二工程では、ギ酸リフローによる加熱の代わりに、超音波接合を採用した。つまり、アームの先端部の表面(Sn膜)と、サスペンションの表面(Sn膜)と、を重ね合わせて、アーム及びサスペンションに対して超音波を及ぼすことにより、接合部を形成した。
各実施例の第一工程では、下記表4の「アーム膜組成」の欄に記載の組成を有する膜により、アーム側のNi膜全体を覆った。また、各実施例の第一工程では、下記表4の「サスペンション膜組成」の欄に記載の膜により、サスペンション側のNi膜全体を覆った。
実施例C1の第二工程では、ギ酸リフローの代わりに、ヒータを用いた直接加熱により、接合部を形成した。
各実施例の第一工程では、下記表5の「アーム膜組成」の欄に記載の組成を有する膜により、アーム側のNi膜全体を覆った。また、各実施例の第一工程では、下記表5の「サスペンション膜組成」の欄に記載の膜により、サスペンション側のNi膜全体を覆った。
実施例D1の第一工程では、電解めっき法の代わりに、スパッタリングにより、各膜を形成した。
実施例E1では、第一工程において各膜の厚さを調整することにより、下記表7に示す厚さを有する接合部を形成した。つまり、実施例E1では、接合部の厚さが異なる6種類の試料を作製した。第一工程においてアーム側のNi膜を覆うSn膜の厚さは1〜50μmの範囲内で調整した。第一工程においてサスペンション側のNi膜を覆うSn膜の厚さも、1〜50μmの範囲内で調整した。実施例E1の各試料の接合部の厚さは、実施例A1と同様の方法で特定した。実施例E1の第二工程では、加熱により形成された接合部におけるにじみの発生の有無を、実体顕微鏡により調べた。
各実施例の第一工程では、下記表7の「アーム膜組成」の欄に記載の組成を有する膜により、アーム側のNi膜全体を覆った。また、各実施例の第一工程では、下記表7の「サスペンション膜組成」の欄に記載の膜により、サスペンション側のNi膜全体を覆った。
実施例F1及びF2の第一工程では、アームの表面全体をNi膜(Niからなる膜)で覆った後、Sn膜をアーム側に形成しなかった。
比較例では、実施例1と同じアーム及びサスペンションを用いた。しかし比較例では、第一工程及び第二工程を実施しなかった。比較例1では、アーム及びサスペンション其々に嵌め孔を形成した。各嵌め孔のφは0.2mmであった。続いて、アーム及びサスペンションの嵌合接合を行うことにより、比較例1の試料を作製した。実施例1と同様の方法で、比較例1の接合強度を測定した。比較例1の接合強度は、0.8kgであり、全実施例の接合強度よりも低かった。
Claims (12)
- アームと、
前記アームの先端部に重なるサスペンションと、
前記サスペンションの先端部に位置するスライダと、
前記アームの先端部と前記サスペンションとの間に位置し、前記アームと前記サスペンションとを接合する接合部と、
を備え、
前記接合部がSnを含む、
磁気ヘッド装置。 - 前記接合部が、Snを含有する合金を含み、
前記合金が、Ag、Cu、Bi、In、Ni、Zn、P及びAuからなる群より選ばれる少なくとも一種を含有する、
請求項1に記載の磁気ヘッド装置。 - 前記接合部におけるSnの含有量が40質量%以上100質量%未満である、
請求項1又は2の記載の磁気ヘッド装置。 - 前記接合部の厚みが2〜50μmである、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。 - アーム側接合面が、前記アームの表面のうち前記サスペンションに対向する面と定義されるとき、
前記アーム側接合面に隣接する面において、前記アームの素地が露出している、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。 - アーム側接合面が、前記アームの表面のうち前記サスペンションに対向する面と定義されるとき、
前記アーム側接合面に隣接する面において、前記アームの素地を覆う保護層が露出しており、
前記保護層が、Ni及びPを含む、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。 - サスペンション側接合面が、前記サスペンションの表面のうち前記アームに対向する面と定義されるとき、
前記サスペンション側接合面に隣接する面において、前記サスペンションの素地が露出している、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。 - 複数の前記アームを有するキャリッジを備える、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。 - 前記アームの表面及び前記サスペンションの表面のうち一方の表面又は両表面を、Snを含有する合金、又はSn単体で覆う第一工程と、
前記第一工程後、前記アームの表面と前記サスペンションの表面とを接触させて、前記接合部を形成する第二工程と、
を備える製造方法によって製造される、
請求項1〜8のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。 - 前記第一工程では前記合金が用いられ、
前記合金が、Ag、Cu、Bi、In、Ni、Zn、P及びAuからなる群より選ばれる少なくとも一種を含有する、
請求項9に記載の磁気ヘッド装置。 - 前記第一工程において、
前記アームの表面及び前記サスペンションの表面のうち、一方の表面を、前記合金又は前記Sn単体で覆い、他方の表面を、前記合金よりも融点が高い金属、又は前記Sn単体よりも融点が高い金属で覆う、
請求項9又は10に記載の磁気ヘッド装置。 - 前記他方の表面を、Ni単体、又はPを含むNiで覆う、
請求項11に記載の磁気ヘッド装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015058494A JP6464855B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | 磁気ヘッド装置 |
US15/071,989 US9620156B2 (en) | 2015-03-20 | 2016-03-16 | Magnetic head device |
CN201610153971.9A CN105989863B (zh) | 2015-03-20 | 2016-03-17 | 磁头装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015058494A JP6464855B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | 磁気ヘッド装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016177855A true JP2016177855A (ja) | 2016-10-06 |
JP6464855B2 JP6464855B2 (ja) | 2019-02-06 |
Family
ID=56924149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015058494A Expired - Fee Related JP6464855B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | 磁気ヘッド装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9620156B2 (ja) |
JP (1) | JP6464855B2 (ja) |
CN (1) | CN105989863B (ja) |
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-
2016
- 2016-03-16 US US15/071,989 patent/US9620156B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2016-03-17 CN CN201610153971.9A patent/CN105989863B/zh not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105989863B (zh) | 2019-01-11 |
JP6464855B2 (ja) | 2019-02-06 |
CN105989863A (zh) | 2016-10-05 |
US20160275976A1 (en) | 2016-09-22 |
US9620156B2 (en) | 2017-04-11 |
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