JP2016129212A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 対象物の位置を計測する計測装置であって、
   前記対象物に形成されたマークを検出して検出信号を生成する検出部と、
   前記検出信号に基づいて前記対象物の位置を得る処理部と、を有し、
   前記処理部は、前記対象物に対する計測精度に係る許容条件に関する情報に基づいて限定された前記検出信号のうちの部分に基づいて前記対象物の位置を得ることを特徴とする計測装置。
2. 前記処理部は、
   前記検出信号のうちの複数の部分のそれぞれに関して、位置計測誤差を評価し、
   前記情報に基づいて、前記位置計測誤差が許容条件を満たす、前記複数の部分のうちの部分を選択し、該部分に基づいて、前記対象物の位置を得る、
   ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
3. 前記処理部は、
   前記検出信号のうちの複数の部分のそれぞれに関して、位置計測精度を評価し、
   前記情報に基づいて、前記位置計測精度が許容条件を満たす、前記複数の部分のうちの部分を選択し、該部分に基づいて、前記対象物の位置を得る、
   ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
4. 前記マークは、第１方向に沿って配列された複数のマーク要素を含み、
   前記複数の部分は、前記第１方向に直交する方向において前記マークを分割して得られる複数の領域にそれぞれ対応する、ことを特徴とする請求項２又は３に記載の計測装置。
5. 前記検出信号に占める前記部分の割合を通知する通知部を有することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の計測装置。
6. 前記マークは、第１方向に沿って配列された複数のマーク要素を含み、
   前記処理部は、前記複数のマーク要素のうちの一部のマーク要素に対応する、前記位置計測精度が許容条件を満たす前記部分に基づいて、前記対象物の位置を得ることを特徴とする請求項３に記載の計測装置。
7. 前記複数のマーク要素に占める前記一部のマーク要素の割合を通知する通知部を有することを特徴とする請求項６に記載の計測装置。
8. 対象物の位置を計測する計測装置であって、
   前記対象物に形成されたマークを検出して検出信号を生成する検出部と、
   前記検出信号に基づいて前記対象物の位置を得る処理部と、を有し、
   前記処理部は、前記対象物に対する計測精度に係る許容条件を前記検出信号が満たす場合、前記検出信号に基づいて前記対象物の位置を得ることを特徴とする計測装置。
9. 前記処理部は、
   前記検出信号に関して位置計測誤差を評価し、
   前記位置計測誤差が前記計測精度に係る許容範囲内にある場合、前記検出信号に基づいて前記対象物の位置を得る、
   ことを特徴とする請求項８に記載の計測装置。
10. 前記位置計測誤差を通知する通知部を有することを特徴とする請求項９に記載の計測装置。
11. 前記許容条件に関する情報を入力する入力部を有することを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載の計測装置。
12. 対象物に関してパターン形成を行うリソグラフィ装置であって、
    前記対象物を保持して可動の保持部と、
    前記対象物の位置を計測する請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の計測装置と、
    を有することを特徴とするリソグラフィ装置。
13. 前記対象物は、前記パターン形成のための原版及び前記パターン形成を行われる基板のうち少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１２に記載のリソグラフィ装置。
14. 請求項１２又は１３に記載のリソグラフィ装置を用いてパターン形成を基板に行う工程と、
    前記工程で前記パターン形成を行われた前記基板を加工する工程と、
    を含むことを特徴とする物品の製造方法。