JP2015154008A5 - - Google Patents

Description

本発明の検出装置は、互いに格子ピッチが異なる格子パターンにより生じるモアレ縞を検出する検出装置であって、前記モアレ縞を撮像する撮像部と、前記モアレ縞を前記撮像部に結像させる結像光学系と、前記撮像部によって撮像された前記モアレ縞の撮像結果を処理する処理部と、複数のパターン要素が第１方向に周期的に配置され、前記第１方向における前記パターン要素の幅が前記結像光学系の解像力以下であり、かつ、前記第１方向において前記複数のパターン要素の幅と間隔のデューティ比を変化させたマーク、が形成された部材と、を備え、前記撮像部が前記マークを撮像することを特徴とする。

また、本発明の別の側面としての検出装置は、互いに格子ピッチが異なる格子パターンにより生じるモアレ縞を検出する検出装置であって、前記モアレ縞を撮像する撮像部と、前記モアレ縞を前記撮像部に結像させる結像光学系と、前記撮像部によって撮像された前記モアレ縞の撮像結果を処理する処理部と、複数のパターン要素が第１方向に周期的に配置され、前記第１方向における前記パターン要素の幅が前記結像光学系の解像力以下であり、かつ、前記第１方向に垂直な第２方向における前記複数のパターン要素の長さを変化させたマーク、が形成された部材と、を備え、前記撮像部が前記マークを撮像することを特徴とする。

Claims (13)

1. 互いに格子ピッチが異なる格子パターンにより生じるモアレ縞を検出する検出装置であって、
   前記モアレ縞を撮像する撮像部と、
   前記モアレ縞を前記撮像部に結像させる結像光学系と、
   前記撮像部によって撮像された前記モアレ縞の撮像結果を処理する処理部と、
   複数のパターン要素が第１方向に周期的に配置され、前記第１方向における前記パターン要素の幅が前記結像光学系の解像力以下であり、かつ、前記第１方向において前記複数のパターン要素の幅と間隔のデューティ比を変化させたマーク、が形成された部材と、を備え、
   前記撮像部が前記マークを撮像することを特徴とする検出装置。
2. 前記マークは、
   前記デューティ比を前記第１方向に沿って正弦波状に変化させたパターンで構成されたマークを含む、ことを特徴とする請求項１に記載の検出装置。
3. 前記処理部は、
   前記撮像部によって撮像された前記マークの撮像データを処理することにより、前記パターンのデューティ比が変化する方向の前記マークの位置を求めることを特徴とする請求項１又は２に記載の検出装置。
4. 前記処理部は、前記撮像部によって撮像された前記マークの撮像データを処理することにより、検出装置の評価を行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検出装置。
5. 互いに格子ピッチが異なる格子パターンにより生じるモアレ縞を検出する検出装置であって、
   前記モアレ縞を撮像する撮像部と、
   前記モアレ縞を前記撮像部に結像させる結像光学系と、
   前記撮像部によって撮像された前記モアレ縞の撮像結果を処理する処理部と、
   複数のパターン要素が第１方向に周期的に配置され、前記第１方向における前記パターン要素の幅が前記結像光学系の解像力以下であり、かつ、前記第１方向に垂直な第２方向における前記複数のパターン要素の長さを変化させたマーク、が形成された部材と、を備え、
   前記撮像部が前記マークを撮像することを特徴とする検出装置。
6. 前記マークは、
   前記第２方向の前記パターンの長さを正弦波状に変化させたパターンで構成されたマークを含む、ことを特徴とする請求項５に記載の検出装置。
7. 前記処理部は、
   前記撮像部によって撮像された前記マークの画像を前記第２方向に積算し、該積算により得られる信号を用いて、前記検出装置の評価を行うことを特徴とする請求項５又は６に記載の検出装置。
8. 前記処理部は、
   前記撮像部によって撮像された前記マークの撮像データを処理することにより、前記第１方向の前記マークの位置を求めることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の検出装置。
9. 前記処理部は、前記撮像部によって撮像された前記マークの撮像データを処理することにより、前記結像光学系の倍率、又は、前記検出装置の計測再現性を求めることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の検出装置。
10. 異なる２つの被検体にそれぞれ形成された格子パターンを重ね合わせることにより生じるモアレ縞を検出することで、前記２つの被検体の位置合わせを行う位置合わせ装置であって、
    前記２つの被検体にそれぞれ形成された格子パターンにより生じるモアレ縞を検出する、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の検出装置と、
    前記検出装置による検出結果に基づき、前記２つの被検体の位置を決める位置決め機構と、を備えることを特徴とする位置合わせ装置。
11. パターンが形成されたモールドを用いて、基板上のインプリント材にパターンを形成するインプリント装置であって、
    前記モールドと前記基板を２つの被検体として、前記２つの被検体の位置合わせを行う、請求項９に記載の位置合わせ装置を有し、
    前記位置合わせ装置により位置合わせされた前記モールドと前記基板を用いて、前記インプリント材にパターンを形成することを特徴とするインプリント装置。
12. 請求項１１に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
    前記工程で前記パターンが形成された基板を加工する工程と、を含む物品の製造方法。
13. マークを検出する検出装置であって、
    前記マークを撮像する撮像部と、
    前記マークの像を前記撮像部に導く結像光学系と、
    前記撮像部によって撮像された前記マークの撮像結果を処理する処理部と、
    複数のパターン要素が第１方向に周期的に配置され、前記第１方向における前記パターン要素の幅が前記結像光学系の解像力以下であり、かつ、前記第１方向に垂直な第２方向における前記複数のパターン要素の長さを変化させたマーク、が形成された部材と、を備え、
    前記撮像部が前記複数のパターン要素の長さを変化させたマークを撮像し、
    前記処理部は、前記撮像部によって撮像された前記複数のパターン要素の長さを変化させたマークの撮像データと、前記複数のパターン要素の長さを変化させたマークのパターンの情報を用いて、前記結像光学系の光学性能を求めることを特徴とする検出装置。