KR20110086222A - 3차원 형상 측정장치 - Google Patents

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Abstract

3차원 형상 측정장치는 기판의 일면 상에 배치된 측정 대상물의 이미지를 적어도 둘 이상의 방향에서 촬상하여 측정 대상물의 3차원 형상을 획득한다. 3차원 형상 측정장치는 조명부, 적어도 둘 이상의 결상렌즈들 및 적어도 둘 이상의 카메라들을 포함한다. 조명부는 측정 대상물로 광을 조사한다. 적어도 둘 이상의 결상렌즈들은 각각 기판의 일면의 법선 방향과 평행한 결상광축을 갖는다. 적어도 둘 이상의 카메라들은 결상렌즈들에 각기 대응하고, 각각 측정 대상물로부터 반사된 반사광을 대응되는 결상렌즈를 통해 인가받아 측정 대상물의 이미지를 촬상한다. 측정 대상물은 결상광축을 기준으로 일측에 배치되고, 카메라들은 대응되는 결상렌즈의 결상광축을 기준으로 일측에 반대인 타측에 배치된다. 이에 따라, 측정 대상물의 이미지를 정확하게 촬상하여, 스테레오 방식을 이용한 측정 대상물의 3차원 형상을 정확하게 측정할 수 있다.

Description

3차원 형상 측정장치{THREE DIMENSIONAL SHAPE MEASURMENT APPARATUS}
본 발명은 3차원 형상 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 측정 대상물의 높이에 기반한 3차원 형상을 측정하는 3차원 형상 측정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 전자장치 내에는 적어도 하나의 인쇄회로기판(printed circuit board; PCB)이 구비되며, 이러한 인쇄회로기판 상에는 다양한 형상의 소자들이 실장되어 있다. 이러한 소자들의 불량 등을 검사하기 위하여, 보통 3차원 형상 측정장치가 사용된다.
종래의 3차원 형상 측정장치는 결상 광학 시스템을 이용하여 인쇄회로기판과 같은 측정 대상물에 광을 조사하고 이에 대한 반사 이미지를 카메라를 이용하여 촬상한다. 이어서, 촬상된 상기 반사 이미지를 이용하여 측정 대상물의 높이에 기반한 3차원 형상을 측정한다.
종래의 결상 광학 시스템은 상기 측정 대상물로 광을 제공하는 조명유닛 및 상기 측정 대상물에서 반사된 반사광을 통해 상기 측정 대상물의 이미지를 촬상하는 촬상유닛을 포함한다. 여기서, 상기 촬상유닛은 상기 반사광이 통과되는 결상렌즈 및 상기 결상렌즈를 통과한 상기 반사광을 인가받아 상기 측정 대상물의 이미지를 촬상하는 카메라를 포함한다.
한편, 상기 조명유닛은 상기 측정 대상물을 기준으로 일측에 경사지게 배치되고, 상기 촬상유닛은 상기 측정 대상물을 기준으로 상기 일측과 반대측인 타측에 경사지게 배치된다. 따라서, 상기 촬상유닛은 상기 조명유닛에서 발생되어 상기 측정 대상물에서 반사된 광을 인가받아 상기 측정 대상물의 이미지를 촬상할 수 있다.
그러나, 상기 촬상유닛은 상기 측정 대상물을 기준으로 상기 타측에 경사지게 배치됨에 따라, 상기 촬상유닛에 맺히는 상기 측정 대상물의 결상 형상이 기울지게 형성되고, 그로 인해 상기 측정 대상물의 이미지를 정확하게 촬상할 수 없는 문제점이 발생될 수 있다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 측정 대상물의 이미지를 정확하게 촬상하여 측정 대상물의 높이에 기반한 3차원 형상을 측정할 수 있는 3차원 형상 측정장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 3차원 형상 측정장치는 기판의 일면 상에 배치된 측정 대상물의 이미지를 적어도 둘 이상의 방향에서 촬상하여 상기 측정 대상물의 3차원 형상을 획득한다. 상기 3차원 형상 측정장치는 조명부, 적어도 둘 이상의 결상렌즈들 및 적어도 둘 이상의 카메라들을 포함한다. 상기 조명부는 상기 측정 대상물로 광을 조사한다. 상기 적어도 둘 이상의 결상렌즈들은 각각 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행한 결상광축을 갖는다. 상기 적어도 둘 이상의 카메라들은 상기 결상렌즈들에 각기 대응하고, 각각 상기 측정 대상물로부터 반사된 반사광을 대응되는 결상렌즈를 통해 인가받아 상기 측정 대상물의 이미지를 촬상한다. 상기 측정 대상물은 상기 결상광축을 기준으로 일측에 배치되고, 상기 카메라들은 상기 대응되는 결상렌즈의 결상광축을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된다.
일 실시예로, 상기 각 카메라는, 상기 대응되는 결상렌즈를 투과한 상기 반사광을 인가받아 상기 측정 대상물의 평면형상의 이미지를 촬상하는 촬상소자를 포함할 수 있고, 상기 촬상소자의 수평축은 상기 기판의 일면의 법선 방향에 대하여 수직할 수 있다. 이때, 상기 3차원 형상 측정장치는 상기 적어도 둘 이상의 카메라들의 촬상소자로부터 촬상된 상기 평면형상의 이미지의 결상 위치를 이용하여 상기 측정 대상물의 높이를 산출하는 중앙 처리부를 더 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 각 결상렌즈 및 상기 각 카메라는, 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행하게 상기 측정 대상물의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 일측에 배치될 수 있고, 상기 조명부는 적어도 상기 중심축을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된 조명유닛을 포함할 수 있다. 상기 조명부는, 상기 측정 대상물의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 원형으로 배치된 다수의 조명유닛들을 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 결상렌즈들은, 각각 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행한 제1 결상광축, 제2 결상광축 및 제3 결상광축을 갖는 제1 결상렌즈, 제2 결상렌즈 및 제3 결상렌즈를 포함할 수 있고, 상기 카메라들은, 상기 제1, 제2 및 제3 결상렌즈들에 각기 대응하고, 상기 측정 대상물로부터 반사된 반사광을 각각 상기 제1, 제2 및 제3 결상렌즈를 통해 각각 인가받아 상기 측정 대상물의 이미지를 각각 촬상하는 제1 카메라, 제2 카메라 및 제3 카메라를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제1, 제2 및 제3 결상렌즈들은 평면에서 관측할 때 제1 원형 배열을 형성하며 등간격으로 배치될 수 있고, 상기 제1, 제2 및 제3 카메라들은 평면에서 관측할 때 각각 상기 측정 대상물 및 상기 제1, 제2 및 제3 결상렌즈들의 연장선상에서 제2 원형 배열을 형성하며 등간격으로 배치될 수 있다.
본 발명의 예시적인 다른 실시예에 따른 3차원 형상 측정장치는 기판의 일면 상에 배치된 측정 대상물의 이미지를 적어도 둘 이상의 방향에서 촬상하여 상기 측정 대상물의 3차원 형상을 획득한다. 상기 3차원 형상 측정장치는 제1 조명부, 제2 조명부, 적어도 둘 이상의 결상렌즈들 및 적어도 둘 이상의 카메라들을 포함한다. 상기 제1 조명부 상기 측정 대상물로 광을 조사한다. 상기 제2 조명부는 상기 측정 대상물로 격자 패턴광을 조사한다. 상기 적어도 둘 이상의 결상렌즈들은 각각 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행한 결상광축을 갖는다. 상기 적어도 둘 이상의 카메라들은 상기 결상렌즈들에 각기 대응하고, 각각 상기 제1 조명부로부터 상기 측정 대상물로 조사된 광의 반사광을 대응되는 결상렌즈를 통해 인가받아 상기 측정 대상물의 이미지를 촬상하며, 상기 제2 조명부로부터 상기 측정 대상물로 조사된 격자 패턴광의 반사광을 대응되는 결상렌즈를 통해 인가받아 상기 측정 대상물의 패턴영상을 촬상한다. 상기 측정 대상물은 상기 결상광축을 기준으로 일측에 배치되고, 상기 카메라들은 상기 대응되는 결상렌즈의 결상광축을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된다.
일 실시예로, 상기 각 카메라는, 상기 대응되는 결상렌즈를 투과한 상기 반사광을 인가받아 상기 측정 대상물의 평면형상의 이미지를 촬상하는 촬상소자를 포함할 수 있고, 상기 촬상소자의 수평축은 상기 기판의 일면의 법선 방향에 대하여 수직할 수 있다. 이때, 상기 3차원 형상 측정장치는 상기 적어도 둘 이상의 카메라들의 촬상소자로부터 촬상된 상기 평면형상의 이미지의 결상 위치를 이용하여 상기 측정 대상물의 높이를 산출하는 중앙 처리부를 더 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 각 결상렌즈 및 상기 각 카메라는, 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행하게 상기 측정 대상물의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 일측에 배치될 수 있고, 상기 제1 조명부는 적어도 상기 중심축을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된 조명유닛을 포함할 수 있다. 상기 제1 조명부는 상기 측정 대상물의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 원형으로 배치된 다수의 조명유닛들을 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 결상렌즈들은 평면에서 관측할 때 제1 원형 배열을 형성하며 배치될 수 있고, 상기 카메라들은 평면에서 관측할 때 각각 상기 측정 대상물 및 상기 결상렌즈들의 연장선상에서 제2 원형 배열을 형성하며 배치될 수 있으며, 상기 제2 조명부는 평면에서 관측할 때 상기 측정 대상물에 대응하여 배치될 수 있다.
본 발명에 따르면, 결상렌즈의 결상광축이 측정 대상물이 배치된 기판의 일면의 법선 방향에 대하여 평행하게 형성됨에 따라, 복수의 카메라들로부터 획득되는 상기 측정 대상물의 결상 형상이 왜곡되는 것을 방지하여 측정 대상물의 이미지를 정확하게 촬상함으로써, 스테레오 방식을 이용한 측정 대상물의 3차원 형상을 정확하게 측정할 수 있다.
또한, 선택적으로 격자 패턴광에 따른 패턴 영상을 획득하여 보조적으로 활용함으로써, 보다 정확한 측정 대상물의 3차원 형상을 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 3차원 형상 측정장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 3차원 형상 측정장치의 구성을 구체적으로 설명하기 위한 개념도이다.
도 3은 도 2에 도시된 측정 대상물과 촬상소자 사이의 관계를 도시한 개념도이다.
도 4는 도 1 및 도 2의 3차원 형상 측정장치를 이용하여 측정 대상물의 3차원 형상을 측정하는 과정을 나타낸 개념도이다.
도 5는 도 4의 중앙 처리부가 스테레오 방식을 이용하여 3차원 형상을 측정하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 3차원 형상 측정장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 3차원 형상 측정장치의 구성을 구체적으로 설명하기 위한 개념도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 형상 측정장치(100)는 기판(10)의 일면 상에 배치된 측정 대상물(20)의 이미지를 적어도 둘 이상의 방향에서 촬상하여 상기 측정 대상물(20)의 3차원 형상을 획득한다.
이때, 상기 기판(10)은 일 예로 인쇄회로기판의 베이스 기판일 수 있으며, 상기 측정 대상물(20)은 상기 인쇄회로기판 위에 형성된 소자일 수 있다. 즉, 상기 측정 대상물(20)는 상기 기판(10)의 일면 상에 형성된 패드와 전기적으로 연결되도록 상기 기판(10)의 일면 상에 배치될 수 있다.
상기 3차원 형상 측정장치(100)는 제1 조명부(110), 적어도 둘 이상의 결상렌즈(120)들 및 적어도 둘 이상의 카메라(130)들을 포함한다.
상기 제1 조명부(110)는 상기 기판(10)의 상부에 배치되어, 상기 측정 대상물(20)로 광을 조사한다. 예를 들면, 상기 제1 조명부(110)는 상기 측정 대상물(20)의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 원형으로 배열된 다수의 조명유닛(112)을 포함할 수 있다. 일 예로, 상기 조명유닛(112)은 발광 다이오드(light emitting diode; LED)를 포함할 수 있으며, 2차원적 영상을 촬영하기 위한 광을 제공할 수 있다.
상기 결상렌즈(120)들은 각각 상기 기판(10)의 상부에 배치되어, 상기 측정 대상물(20)에서 반사된 반사광을 투사시켜 각각 대응되는 카메라(130)로 제공한다.
상기 카메라(130)는 상기 결상렌즈(120)의 상부에 배치되어, 상기 결상렌즈(120)들에 각기 대응한다. 상기 카메라(130)들은 각각 상기 측정 대상물(20)로부터 반사된 반사광을 대응되는 결상렌즈(120)를 통해 인가받아 상기 측정 대상물(20)의 이미지를 촬상한다.
상기 결상렌즈(120)들은 각각 상기 기판(10)의 일면의 법선 방향(12)과 평행한 결상광축(122)을 갖는다. 상기 측정 대상물(20)은 상기 결상광축(122)을 기준으로 일측에 배치되고, 상기 카메라(130)들은 상기 대응되는 결상렌즈(120)의 결상광축(122)을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된다.
일 실시예로, 상기 결상렌즈(120)들은, 각각 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행한 제1 결상광축, 제2 결상광축 및 제3 결상광축을 갖는 세 개의 결상렌즈(120)들을 포함할 수 있다. 또한, 상기 카메라(130)들은, 상기 세 개의 결상렌즈(120)들에 각기 대응하고, 상기 측정 대상물(20)로부터 반사된 반사광을 각각 상기 대응하는 결상렌즈(120)를 통해 각각 인가받아 상기 측정 대상물(20)의 이미지를 각각 촬상하는 세 개의 카메라(130)들을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 세 개의 결상렌즈(120)들은 평면에서 관측할 때 제1 원형 배열을 형성하며 등간격으로 배치될 수 있고, 상기 세 개의 카메라(130)들은 평면에서 관측할 때 각각 상기 측정 대상물(20) 및 상기 제1, 제2 및 제3 결상렌즈(120)들의 연장선상에서 제2 원형 배열을 형성하며 등간격으로 배치될 수 있다. 이때, 후술되는 스테레오 방식의 3차원 형상 측정을 위하여, 상기 제1 및 제2 원형 배열들의 중심은 다를 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 결상렌즈(120) 및 상기 카메라(130)는 상기 기판(10)의 일면의 법선 방향(12)과 평행하게 상기 측정 대상물(20)의 중심을 지나는 중심축(22)을 기준으로 일측에 배치될 수 있다. 상기 제1 조명부(110)의 다수의 조명유닛(112)들 중 적어도 하나는 상기 중심축(22)을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 조명유닛(112)에서 발생되어 상기 측정 대상물(20)에서 반사된 반사광이 상기 결상렌즈(120)를 투사하여 상기 카메라(130)로 보다 효과적으로 인가될 수 있다.
상기 결상렌즈(120)는 상기 기판(10)의 일면의 법선 방향(12)과 평행한 결상광축(122)을 갖는다. 즉, 상기 결상렌즈(120)의 결상 수직축(124)이 상기 결상광축(122)과 직교한다고 할 때, 상기 결상렌즈(120)는 상기 결상 수직축(124)이 상기 기판(10)의 일면과 평행하게 배치된다.
도 2에서, 상기 측정 대상물(20)는 상기 결상광축(122)을 기준으로 일측에 배치되고, 상기 카메라(130)는 상기 결상광축(122)을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된다.
한편, 상기 카메라(130)는 상기 결상렌즈(210)를 투과한 상기 반사광을 인가받아 상기 측정 대상물(20)의 이미지를 촬상하는 촬상소자(132)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 결상렌즈(120)를 투과한 상기 반사광은 상기 촬상소자(132)로 인가되어 상기 촬상소자(132) 상에 상기 측정 대상물(20)의 평면형상의 이미지를 형성시키고, 상기 촬상소자(132)는 상기 측정 대상물(20)의 평면형상의 이미지를 촬상하여 상기 카메라(130) 내의 메모리(도시되지 않음)에 저장시킨다.
상기 촬상소자(132)의 수평축은 상기 기판(10)의 일면의 법선 방향(12)에 대하여 실질적으로 수직할 수 있다. 즉, 상기 촬상소자(130)의 수평축은 상기 결상렌즈(120)의 결상 수직축(124)과 실질적으로 평행할 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 측정 대상물과 촬상소자 사이의 관계를 도시한 개념도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 측정 대상물(20), 상기 결상렌즈(120) 및 상기 촬상소자(132) 사이의 관계는 아래와 같은 특징을 가질 수 있다.
상기 측정 대상물(20)의 중심, 상기 결상렌즈(120)의 중심 및 상기 촬상소자(132)의 중심을 연결하는 중심선(CL)은 상기 중심축(22) 또는 상기 결상광축(122)에 대하여 소정의 각도로 기울어져 있다. 이때, 상기 중심선(CL)과 상기 결상광축(210) 사이의 각도를 중심각(θ)이라고 정의한다.
상기 결상렌즈(120)와 상기 측정 대상물(20) 사이의 수직거리를 제1 수직거리(S1)라고 하고, 상기 결상렌즈(120)와 상기 촬상소자(132) 사이의 수직거리를 제2 수직거리(S2)라고 하며, 상기 측정 대상물(20)의 중심과 상기 결상광축(122) 사이의 수평거리를 제1 수평거리(a)라 하고, 상기 촬상소자(132)의 중심과 상기 결상광축(122) 사이의 수평거리를 제2 수평거리(b)라고 정의한다.
한편, 상기 결상렌즈(120)의 초점거리를 f라고 할 때, 상기 제1 및 제2 수직거리들(S1, S2) 사이의 관계는 수학식 1을 만족한다.
Figure pat00001
또한, 상기 제1 및 제2 수평거리들(a, b)과 상기 중심각(θ) 사이의 관계는 수학식 2를 만족한다.
Figure pat00002
즉, 본 실시예에서는 상기 수학식 1 및 상기 수학식 2가 만족하도록 상기 측정 대상물(20), 상기 결상렌즈(120) 및 상기 촬상소자(132)를 배치시킨다.
한편, 상기 측정 대상물(20)는 상기 결상렌즈(120)의 최대 시야각 범위 내에 배치되어야 한다. 이때, 상기 결상렌즈(120)의 최대 시야각은 상기 측정 대상물(20)에서 반사된 상기 반사광이 상기 결상렌즈(120)로 이동하여 상기 촬상소자(132)에 이미지가 형성될 수 있는 상기 결상광축(122)에 대한 최대 각도를 의미한다. 이때, 상기 결상렌즈(120)의 최대 시야각이 예를 들어, 약 35도 일 수 있다.
따라서, 상기 결상광축(122)로부터의 상기 측정 대상물(20)의 끝단과 상기 결상렌즈(120)의 중심을 연결하는 선을 상기 측정 대상물(20)의 최대 외곽선이라고 할 때, 상기 결상광축(122)과 상기 최대 외곽선 사이의 각도(VA)는 상기 결상렌즈(120)의 최대 시야각보다 작아야 한다.
이와 같이, 상기 결상광축(122)이 상기 측정 대상물(20)를 지지하는 상기 베이스 기판(10)의 일면의 법선 방향(12)에 평행하도록 상기 결상렌즈(120)를 배치시키고, 상기 촬상소자(132)의 수평축이 상기 베이스 기판(10)의 일면에 평행하도록 상기 촬상소자(132)를 배치시킨다. 또한, 상기 측정 대상물(20)와 상기 촬상소자(132)를 상기 결상광축(122)의 양측에 각각 배치시킨다.
이에 따라, 상기 측정 대상물(20)에서 반사된 상기 반사광이 상기 결상렌즈(120)를 투과하여 상기 촬상소자(132)에 인가되어 상기 측정 대상물(20)의 평면형상의 이미지를 형성할 때, 상기 측정 대상물(20)의 평면형상의 이미지는 상기 측정 대상물(20)의 실제 평면형상과 실질적으로 동일해질 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 3차원 형상 측정장치(100)는 제2 조명부(140)를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 조명부(140)는 상기 기판(10)의 상부에 배치되어, 상기 측정 대상물(20)로 격자 패턴광을 조사한다. 일 실시예로, 상기 제2 조명부(140)는 평면에서 관측할 때 상기 측정 대상물(20)에 대응하여 배치될 수 있다.
상기 제2 조명부(140)는 상기 측정 대상물(20)의 3차원 영상을 촬영하기 위한 광을 제공할 수 있다. 상기 제2 조명부(140)로부터 발생된 격자 패턴광은 상기 측정 대상물(20)에서 반사되며, 상기 카메라(130)는 상기 격자 패턴광의 반사광을 대응되는 결상렌즈(120)를 통해 인가받아 상기 측정 대상물(20)의 패턴영상을 촬상할 수 있다.
일 실시예로, 상기 제2 조명부(140)는 광원(142), 투사렌즈(144), 격자유닛(146) 및 격자 이송유닛(148)을 포함할 수 있다.
상기 광원(142)에서는 광이 발생되며, 상기 투사렌즈(144)는 상기 측정 대상물(20) 및 상기 광원(142) 사이에 배치되어, 상기 광원(142)에서 발생된 광을 상기 측정 대상물(20)로 투사한다.
상기 투사렌즈(144)의 투사광축은 상기 기판(10)의 일면의 법선 방향(12)과 평행할 수 있으며, 상기 투사광축과 수직한 상기 투사렌즈(144)의 투사수직축이 상기 기판(10)의 일면과 평행하도록 상기 투사렌즈(144)가 배치될 수 있다.
상기 격자유닛(146)은 상기 투사렌즈(144) 및 상기 광원(142) 사이에 배치되어, 상기 광원(142)에서 발생된 광을 격자 이미지광으로 변경하여 상기 투사렌즈(144)로 제공하고, 상기 격자 이미지광은 상기 투사렌즈(144)를 투과하여 상기 측정 대상물(20)로 조사될 수 있다. 여기서, 상기 격자유닛(146)은 다양한 형태로 형성될 수 있는데, 예를 들어 유리기판 위에 차단부 및 투과부를 갖는 격자무늬를 패터닝하여 형성되거나, 액정표시패널 등을 이용하여 형성될 수도 있다.
상기 격자 이송유닛(148)은 상기 격자유닛(146)과 결합하여 상기 격자유닛(146)을 이송할 수 있다. 일 예로, 상기 격자 이송유닛(148)은 상기 격자유닛(146)을 상기 기판(10)의 일면에 평행한 방향으로 일정 간격씩 이동시킬 수 있다. 상기 격자 이송유닛(148)은 상기 격자유닛(146)을 미세 이동시키기 위한 엑추에이터를 포함할 수 있다.
한편, 상기 광원(142)이 소정 간격씩 이동되는 상기 격자유닛(146)으로 광을 제공할 경우, 복수의 격자 이미지광들을 발생시킬 수 있다. 상기 격자 이미지광들이 상기 투사렌즈(144)를 통해 상기 측정 대상물(20)로 조사된 후 반사되어, 상기 카메라(130)에서 촬상될 경우, 상기 카메라(130)는 상기 격자 이미지광들을 이용하여 상기 측정 대상물(20)의 3차원 형상을 측정할 수 있다.
이와 같이, 상기 3차원 형상 측정장치(100)가 상기 제2 조명부(140)를 더 포함함에 따라, 상기 제1 조명부(110)를 이용하여 측정된 상기 측정 대상물(20)의 3차원 형상을 보다 정확하게 측정할 수 있다.
이하, 상기 제1 조명부(110) 및 제2 조명부(140)를 이용한 광원을 이용하여 상기 측정 대상물(20)의 3차원 형상을 측정하는 과정을 도면을 참조로 보다 상세하게 설명한다.
도 4는 도 1 및 도 2의 3차원 형상 측정장치를 이용하여 측정 대상물의 3차원 형상을 측정하는 과정을 나타낸 개념도이다.
도 4를 참조하면, 도 1 및 도 2에 도시된 상기 3차원 형상 측정장치(100)는 중앙 처리부(150)를 더 포함할 수 있다.
상기 중앙 처리부(150)는 상기 카메라(130)들의 촬상소자(132)로부터 촬상된 상기 평면형상의 이미지의 결상 위치를 이용하여 상기 측정 대상물(20)의 높이를 산출한다.
구체적으로, 먼저 상기 중앙 처리부(150)는 제1 조명부(110)로부터 발생된 광에 따른 영상 및 제2 조명부(140)로부터 발생된 격자 패턴광에 따른 패턴영상을 복수의 카메라(130)에서 각각 캡쳐(capture)한다.
상기 중앙 처리부(150)는 상기 제1 조명부(110)에 대응하여 상기 카메라(130, 도 1 및 도 2 참조)들에 캡쳐된 영상을 스테레오(stereo) 방식을 이용하여 처리함으로써, 상기 측정 대상물(20, 도 1 및 도 2 참조)의 3차원 형상을 측정할 수 있다.
도 5는 도 4의 중앙 처리부가 스테레오 방식을 이용하여 3차원 형상을 측정하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5를 참조하면, 상기 측정 대상물(20)은 한 쌍의 카메라(130)들로부터 획득되는 영상을 기초로, 관측 공간상의 패턴의 대응관계와 삼각기법을 이용하여, 상기 측정 대상물(20)의 3차원 형상을 측정할 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 상기 결상렌즈(120)들이 소정의 거리(B)를 두고 배치되고, 상기 결상렌즈(120)들의 중심축(122)을 기준으로 상기 카메라(130)들의 촬상소자(132)들에 결상된 거리(D1,D2)를 측정한다. 한편, 상기 결상렌즈(120)의 초점거리를 f라고 할 때, 이들 사이의 관계는 수학식 3을 만족한다.
Figure pat00003
따라서, 상기 결상렌즈(120)로부터 상기 측정 대상물(20)까지의 거리 S1을 알 수 있으므로, 상기 측정 대상물(20)의 3차원 형상을 측정할 수 있다.
상기와 같은 원리와 이를 응용하여, 상기 중앙 처리부(150)는 상기 제1 조명부(110)에 대응하여 상기 카메라(130)들에 캡쳐된 영상을 스테레오 방식을 이용하여 상기 측정 대상물(20)의 3차원 형상을 측정할 수 있다.
다시 도 4를 참조하면, 상기 중앙 처리부(150)는 상기 제2 조명부(140)에 대응하는 캡쳐된 영상을 이용하여 각각 연산을 수행하고, 이를 병합하는 연산을 수행함으로써 도 1 및 도2에 도시된 상기 측정 대상물(20)의 최종적인 3차원 형상을 획득할 수 있다.
한편, 상기 제2 조명부(140)에 대한 영상 획득과 연산 과정은 보조적으로 수행할 수 있다. 즉, 제1 조명부(110)에 대한 영상 획득과 연산 과정만을 통하여 3차원 형상을 획득할 수도 있고, 상기 제2 조명부(140)에 대한 영상 획득과 연산 과정의 결과를 병합하여 3차원 형상을 획득할 수도 있다.
한편, 도 4에서는 세 개의 카메라(130)들이 설치된 경우를 예로 설명하였으나, 상기 카메라(130)들의 개수는 이에 한정되지 않는다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 결상렌즈의 결상광축이 측정 대상물이 배치된 기판의 일면의 법선 방향에 대하여 평행하게 형성됨에 따라, 복수의 카메라들로부터 획득되는 상기 측정 대상물의 결상 형상이 왜곡되는 것을 방지하여 측정 대상물의 이미지를 정확하게 촬상함으로써, 스테레오 방식을 이용한 측정 대상물의 3차원 형상을 정확하게 측정할 수 있다.
또한, 선택적으로 격자 패턴광에 따른 패턴 영상을 획득하여 보조적으로 활용함으로써, 보다 정확한 측정 대상물의 3차원 형상을 측정할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.　 따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 기판 20 : 측정 대상물
22 : 중심축 110 : 제1 조명부
120 : 결상렌즈 122 : 결상광축
124 : 결상 수직축 130 : 카메라
132 : 촬상소자 140 : 제2 조명부
150 : 중앙 제어부

Claims (13)

  1. 기판의 일면 상에 배치된 측정 대상물의 이미지를 적어도 둘 이상의 방향에서 촬상하여 상기 측정 대상물의 3차원 형상을 획득하는 3차원 형상 측정장치에 있어서,
    상기 측정 대상물로 광을 조사하는 조명부;
    각각 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행한 결상광축을 갖는 적어도 둘 이상의 결상렌즈들;
    상기 결상렌즈들에 각기 대응하고, 각각 상기 측정 대상물로부터 반사된 반사광을 대응되는 결상렌즈를 통해 인가받아 상기 측정 대상물의 이미지를 촬상하는 적어도 둘 이상의 카메라들을 포함하고,
    상기 측정 대상물은 상기 결상광축을 기준으로 일측에 배치되고,
    상기 카메라들은 상기 대응되는 결상렌즈의 결상광축을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 각 카메라는,
    상기 대응되는 결상렌즈를 투과한 상기 반사광을 인가받아 상기 측정 대상물의 평면형상의 이미지를 촬상하는 촬상소자를 포함하고,
    상기 촬상소자의 수평축은 상기 기판의 일면의 법선 방향에 대하여 수직한 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 둘 이상의 카메라들의 촬상소자로부터 촬상된 상기 평면형상의 이미지의 결상 위치를 이용하여 상기 측정 대상물의 높이를 산출하는 중앙 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 각 결상렌즈 및 상기 각 카메라는, 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행하게 상기 측정 대상물의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 일측에 배치되고,
    상기 조명부는, 적어도 상기 중심축을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된 조명유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 조명부는,
    상기 측정 대상물의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 원형으로 배치된 다수의 조명유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 결상렌즈들은, 각각 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행한 제1 결상광축, 제2 결상광축 및 제3 결상광축을 갖는 제1 결상렌즈, 제2 결상렌즈 및 제3 결상렌즈를 포함하고,
    상기 카메라들은, 상기 제1, 제2 및 제3 결상렌즈들에 각기 대응하고, 상기 측정 대상물로부터 반사된 반사광을 각각 상기 제1, 제2 및 제3 결상렌즈를 통해 각각 인가받아 상기 측정 대상물의 이미지를 각각 촬상하는 제1 카메라, 제2 카메라 및 제3 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1, 제2 및 제3 결상렌즈들은 평면에서 관측할 때 제1 원형 배열을 형성하며 등간격으로 배치되고,
    상기 제1, 제2 및 제3 카메라들은 평면에서 관측할 때 각각 상기 측정 대상물 및 상기 제1, 제2 및 제3 결상렌즈들의 연장선상에서 제2 원형 배열을 형성하며 등간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  8. 기판의 일면 상에 배치된 측정 대상물의 이미지를 적어도 둘 이상의 방향에서 촬상하여 상기 측정 대상물의 3차원 형상을 획득하는 3차원 형상 측정장치에 있어서,
    상기 측정 대상물로 광을 조사하는 제1 조명부;
    상기 측정 대상물로 격자 패턴광을 조사하는 제2 조명부;
    각각 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행한 결상광축을 갖는 적어도 둘 이상의 결상렌즈들; 및
    상기 결상렌즈들에 각기 대응하고, 각각 상기 제1 조명부로부터 상기 측정 대상물로 조사된 광의 반사광을 대응되는 결상렌즈를 통해 인가받아 상기 측정 대상물의 이미지를 촬상하며, 상기 제2 조명부로부터 상기 측정 대상물로 조사된 격자 패턴광의 반사광을 대응되는 결상렌즈를 통해 인가받아 상기 측정 대상물의 패턴영상을 촬상하는 적어도 둘 이상의 카메라들을 포함하고,
    상기 측정 대상물은 상기 결상광축을 기준으로 일측에 배치되고,
    상기 카메라들은 상기 대응되는 결상렌즈의 결상광축을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 각 카메라는,
    상기 대응되는 결상렌즈를 투과한 상기 반사광을 인가받아 상기 측정 대상물의 평면형상의 이미지를 촬상하는 촬상소자를 포함하고,
    상기 촬상소자의 수평축은 상기 기판의 일면의 법선 방향에 대하여 수직한 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 적어도 둘 이상의 카메라들의 촬상소자로부터 촬상된 상기 평면형상의 이미지의 결상 위치를 이용하여 상기 측정 대상물의 높이를 산출하는 중앙 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 각 결상렌즈 및 상기 각 카메라는, 상기 기판의 일면의 법선 방향과 평행하게 상기 측정 대상물의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 일측에 배치되고,
    상기 제1 조명부는, 적어도 상기 중심축을 기준으로 상기 일측에 반대인 타측에 배치된 조명유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제1 조명부는,
    상기 측정 대상물의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 원형으로 배치된 다수의 조명유닛들을 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 결상렌즈들은 평면에서 관측할 때 제1 원형 배열을 형성하며 배치되고,
    상기 카메라들은 평면에서 관측할 때 각각 상기 측정 대상물 및 상기 결상렌즈들의 연장선상에서 제2 원형 배열을 형성하며 배치되며,
    상기 제2 조명부는 평면에서 관측할 때 상기 측정 대상물에 대응하여 배치된 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정장치.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101275187B1 (ko) * 2011-07-29 2013-06-17 엘지전자 주식회사 패널 검사 장치 및 그 방법
KR101323183B1 (ko) * 2011-10-19 2013-10-30 주식회사 고영로보틱스 듀얼광을 이용한 3차원 형상 측정장치
KR101366196B1 (ko) * 2013-08-29 2014-02-25 주식회사 서울금속 대상물 3차원 비전 검사 장치 및 방법
KR101371376B1 (ko) * 2012-05-22 2014-03-07 주식회사 고영테크놀러지 3차원 형상 측정장치
WO2014148781A1 (ko) * 2013-03-18 2014-09-25 에스엔유 프리시젼 주식회사 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치
KR20150058051A (ko) * 2013-11-20 2015-05-28 뤼노 테크놀로지 오퍼레이션스 안경 프레임 유리와 연관된 적어도 하나의 모티프의 기하형태적 데이터의 획득 및 측정을 위한 장치 및 방법
KR20150059472A (ko) * 2013-11-22 2015-06-01 조춘식 물체의 3차원 형상 측정 장치
WO2016043543A1 (ko) * 2014-09-17 2016-03-24 주식회사 고영테크놀러지 프리즘을 이용한 3차원 형상 측정장치
KR102028864B1 (ko) * 2019-05-07 2019-11-04 연세대학교 산학협력단 광원 위치를 보정하기 위한 현미경 장치 및 그 방법
WO2020263055A1 (ko) * 2019-06-28 2020-12-30 주식회사 고영테크놀러지 대상체의 3차원 형상을 결정하기 위한 장치 및 방법
KR102612265B1 (ko) * 2023-03-03 2023-12-11 주식회사 에이치비테크놀러지 광역 평면 경사조명을 이용한 대상물 분석장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10321138A (ja) * 1997-05-19 1998-12-04 Dainippon Printing Co Ltd 表面欠陥の検査方法
KR20080096064A (ko) * 2007-04-26 2008-10-30 주식회사 고영테크놀러지 스캔형 듀얼 모아레 검사장치 및 검사방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10321138A (ja) * 1997-05-19 1998-12-04 Dainippon Printing Co Ltd 表面欠陥の検査方法
KR20080096064A (ko) * 2007-04-26 2008-10-30 주식회사 고영테크놀러지 스캔형 듀얼 모아레 검사장치 및 검사방법

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101275187B1 (ko) * 2011-07-29 2013-06-17 엘지전자 주식회사 패널 검사 장치 및 그 방법
KR101323183B1 (ko) * 2011-10-19 2013-10-30 주식회사 고영로보틱스 듀얼광을 이용한 3차원 형상 측정장치
KR101371376B1 (ko) * 2012-05-22 2014-03-07 주식회사 고영테크놀러지 3차원 형상 측정장치
CN105190227A (zh) * 2013-03-18 2015-12-23 Snu精度株式会社 能够检测颜色信息的三维形状检测装置
WO2014148781A1 (ko) * 2013-03-18 2014-09-25 에스엔유 프리시젼 주식회사 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치
KR101462848B1 (ko) * 2013-03-18 2014-11-18 에스엔유 프리시젼 주식회사 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치
US9696144B2 (en) 2013-03-18 2017-07-04 Snu Precision Co., Ltd. Three-dimensional shape measuring device capable of measuring color information
KR101366196B1 (ko) * 2013-08-29 2014-02-25 주식회사 서울금속 대상물 3차원 비전 검사 장치 및 방법
KR20150058051A (ko) * 2013-11-20 2015-05-28 뤼노 테크놀로지 오퍼레이션스 안경 프레임 유리와 연관된 적어도 하나의 모티프의 기하형태적 데이터의 획득 및 측정을 위한 장치 및 방법
KR20150059472A (ko) * 2013-11-22 2015-06-01 조춘식 물체의 3차원 형상 측정 장치
KR20160032986A (ko) 2014-09-17 2016-03-25 주식회사 고영테크놀러지 프리즘을 이용한 3차원 형상 측정장치
WO2016043543A1 (ko) * 2014-09-17 2016-03-24 주식회사 고영테크놀러지 프리즘을 이용한 3차원 형상 측정장치
US10180315B2 (en) 2014-09-17 2019-01-15 Koh Young Technology Inc. Apparatus for measuring three-dimensional shape using prism
KR102028864B1 (ko) * 2019-05-07 2019-11-04 연세대학교 산학협력단 광원 위치를 보정하기 위한 현미경 장치 및 그 방법
US11009691B2 (en) 2019-05-07 2021-05-18 Industry-Academic Cooperation Foundation, Yonsei University Microscope apparatus and method for correcting position of light source
WO2020263055A1 (ko) * 2019-06-28 2020-12-30 주식회사 고영테크놀러지 대상체의 3차원 형상을 결정하기 위한 장치 및 방법
KR102612265B1 (ko) * 2023-03-03 2023-12-11 주식회사 에이치비테크놀러지 광역 평면 경사조명을 이용한 대상물 분석장치

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