WO2014148781A1 - 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치 - Google Patents

색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치 Download PDF

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WO2014148781A1
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dimensional shape
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조태영
황영민
김성룡
강상수
박희재
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    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels

Definitions

  • the present invention relates to a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information, and more particularly, to a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information for measuring color information of a measurement object while using an interferometer. It is about.
  • the term 'thin film layer' refers to a base layer, that is, a layer having a very fine thickness formed on the surface of a substrate, and generally having a thickness ranging from several nm to several ⁇ m.
  • a base layer that is, a layer having a very fine thickness formed on the surface of a substrate, and generally having a thickness ranging from several nm to several ⁇ m.
  • there are various methods for measuring the thickness and the like of the thin film layer used in the semiconductor process and other application processes but the method using an interferometer and the method using a spectrophotometer are the most common.
  • a conventional three-dimensional shape measuring apparatus includes a light source 10, a light splitter 30, a lens unit 40, and a light detector 50, and the light emitted from the light source 10 receives the lens unit ( In 40), the light is divided into two or more branches to generate a difference in the progress path, and the shape of the measurement object is measured by observing the interference phenomenon when the split light is recombined.
  • the conventional technology does not discriminate color information and directly discriminate the color information, when the pattern is not formed on the measurement object or the shape of the pattern is the same for each color, the color information is distinguished and measured. The problem arises.
  • an object of the present invention is to solve such a conventional problem, it is possible to measure the shape of the object to be measured using an interferometer and can additionally measure the color information to measure the color information of the object to be measured 3 It is to provide a dimensional shape measuring device.
  • a three-dimensional shape measuring device for measuring the shape of the measurement object using an interferometer, comprising: a light source for emitting light; A light splitter which reflects the light emitted from the light source or transmits the light reflected by the measurement object; A lens unit focusing the light reflected by the light splitter on the measurement object; A light detector detecting light reflected from the measurement object; And a light control unit disposed on an optical path between the light source and the light splitter and blocking light emitted from a central region of the light source to weaken interference of light generated by the lens unit. It is achieved by a three-dimensional shape measuring device capable of measuring.
  • the light control unit body portion having a transmission unit for transmitting light; And an optical stopper provided inside the transmission part to block light, and preferably limiting an optical path through which light emitted from the light source is transmitted to an area between an outer surface of the transmission part and an outer surface of the light stopper.
  • the light stop is preferably provided with at least one of a circle, a polygon, and a bar.
  • the light control unit is preferably mounted on the light path between the light source and the light splitter.
  • the light control unit may further include an auxiliary light control unit disposed on an optical path between the light control unit and the light splitter, and configured to block a part of the light passing through the light control unit.
  • the lens unit is preferably provided with a magnification of 50 times or less.
  • the auxiliary light control unit is provided with an opening for transmitting light, it is preferable that some of the light transmitted through the light control unit passes through the opening to reach the measurement object.
  • the central axis of the light stopper and the central axis of the opening are preferably provided in the same manner.
  • the area of the transmission portion is larger than the area of the opening.
  • the light detector includes a first camera used for measuring interference light and a second camera used for measuring color information.
  • the light detector is provided in an optical path between the light detector and the light splitter to reflect light reflected from a measurement object. It is preferable to further include; a second light splitter for transmitting to at least one of the first camera or the second camera.
  • a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring the shape of a measurement object using an interferometer, and additionally measuring color information that can also measure the color information of the measurement object.
  • the light control unit can measure both the shape and color information of the measurement object.
  • the color information of the measurement object may be measured regardless of the magnification of the lens unit.
  • the light incident on the measurement object can be easily adjusted.
  • 1 is a light path diagram schematically showing a conventional three-dimensional shape measuring apparatus
  • FIG. 2 is an optical path diagram schematically showing a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is a view schematically showing an example of the light control unit in the three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring the color information of FIG.
  • FIG. 4 is a view schematically showing another example of the light control unit in the three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring the color information of FIG.
  • FIG. 5 is a view schematically illustrating how light emitted from a light source passes through a light control unit in a 3D shape measuring apparatus capable of measuring color information of FIG. 2.
  • FIG. 6 is a view schematically illustrating how light passing through a light control unit is incident on the lens unit in the 3D shape measuring apparatus capable of measuring color information of FIG. 5.
  • FIG. 7 and 8 are photographs showing the state of measuring the color information of the measurement object in the three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring the color information of FIG.
  • FIG. 9 is an optical path diagram schematically showing a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is an optical path diagram schematically showing a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 11 is a view schematically illustrating how light emitted from a light source passes through a light control unit in the 3D shape measuring apparatus capable of measuring color information of FIG. 10.
  • FIG. 2 is a light path diagram schematically showing a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information according to a first embodiment of the present invention.
  • the three-dimensional shape measuring apparatus 100 capable of measuring color information according to the first embodiment of the present invention minimizes the interference effect of light passing through the lens unit 140.
  • the light source 110 includes a light control unit 120, a light splitter 130, a lens unit 140, and a light detector 160.
  • the light source 110 emits light, and the light source 110 uses a white light source in the 3D shape measuring apparatus 100 capable of measuring color information according to the first embodiment of the present invention. It is not.
  • FIG. 3 is a view schematically showing an example of the light control unit in the three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring the color information of FIG. 2
  • FIG. 4 is a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring the color information of FIG.
  • FIG. I s a view schematically illustrating another example of the light control unit.
  • the light control unit 120 is disposed on an optical path between the light source 110 and the light splitter 130 to be described later, and receives light emitted from the center region of the light source 110. Blocking is to minimize the interference of the light in the lens unit 140 to be described later.
  • the interference effect of light is used to measure the shape of the measurement object and the like, when the color information is measured, the central light which is actively generated from the light source 110 through the light control unit 120 is directed toward the measurement object. By blocking, the interference of light may be minimized in the lens unit 130, which will be described later, to measure color information of the measurement object.
  • the light adjusting unit 120 includes a body portion 121 and an optical aperture 123.
  • the body 121 serves as a main frame of the light control unit 120, and a transmission unit 122 is formed to transmit light in a region including a central region of the light source 110.
  • the body portion 121 and the transmission portion 122 has the same central axis and the transmission portion 122 is preferably formed in the central portion of the body portion 121, but is not limited thereto.
  • the body portion 121 and the transmitting portion 122 is provided in a circular shape, but is not limited thereto, and may be provided in a polygonal shape.
  • the transmission part 122 is provided to penetrate the body portion 121, but is not limited thereto, and may be formed of a film that transmits light.
  • the light stopper 123 is provided inside the transmission part 122 to block light propagating to a region corresponding to the area where the light stopper 123 is provided (hereinafter referred to as 'center light'), and surrounds light other than the center light. Guide light through only light.
  • the ambient light has a lower generation of interference effect of light than the center light, and the interference effect of light is lowered within the lens unit 140.
  • the light stop 123 is preferably formed in the center portion of the transmission portion 122, but is not limited thereto.
  • optical aperture 123 is preferably provided in at least one of a circular, polygonal, rod-shaped, but is not limited thereto.
  • the light source 110, the body 121, the transmissive part 122, and the light iris 123 may be disposed to have the same central axis to block the central light, but is not limited thereto.
  • the light emitted from the light source 110 is only to the region where the light aperture 123 is not formed in the region where the transmission portion 122 is formed ( Only 'ambient light' may be transmitted.
  • center light light propagating to a region where the transmission part 122 and the light stopper 123 overlap (hereinafter, referred to as “center light”) is blocked by the light control part 120.
  • the light control unit 120 is provided to be selectively mounted in the optical path between the light source 110 and the light splitter 130, but is not limited thereto. That is, according to the intention of the user, only the ambient light may be passed to measure the color information of the measurement object or all the light emitted from the light source 110 may be passed to measure the shape of the measurement object through interference measurement.
  • the light splitter 130 reflects or transmits the light passing through the light control unit 120.
  • the light passing through the light control unit 120 reflects the light through the light splitter 130 so that the light is incident on the measurement object, or the light reflected from the measurement object is directed toward the light detection unit 160 which will be described later.
  • the light is transmitted through the divider 130.
  • the light control unit 120 In order to maintain the same spectral characteristics of the light passing through, but to reduce the luminance, a gray filter (ND filter, Neutral Density filter) (not shown) may be provided, but is not limited thereto.
  • ND filter Neutral Density filter
  • a condenser lens (not shown) may be installed to focus light passing through the gray filter (not shown), and a collimator (not shown) may be used to parallelize the light passing through the condenser lens (not shown).
  • a collimator (not shown) may be used to parallelize the light passing through the condenser lens (not shown).
  • the lens unit 140 focuses the light reflected from the light splitter 130 onto the measurement object, and the light reflected from the light splitter 130 in the lens unit 140 is directed to the measurement object and the light. It is split into undirected light.
  • the light not directed to the measurement target becomes reference light
  • the light directed to the measurement target is reflected by the measurement target to generate an optical path difference from the reference light. That is, the light directed to the measurement target and the light not directed to the measurement target cause interference, and thus the shape of the measurement target can be measured.
  • the lens unit 140 focuses the light reflected from the light splitter 130 onto the measurement object.
  • a reference mirror which transmits the light passing through the lens 141 to the measurement object or reflects the light reflected from the reference light splitter 142 and the reference light splitter 142 to reflect the light to the reference mirror 143 which will be described later.
  • 143 is provided as a module, but is not limited thereto.
  • the interference effect of light is greater than when the center light enters the lens unit 140.
  • the incidence rate decreases, and the amount of light reflected from the reference light splitter 142 to the reference mirror 143 is significantly reduced, and most of the light is directed to the measurement object.
  • the light control unit 120 is mounted on the optical path between the light source 110 and the light splitter 130, to limit the interference of light or whether to measure the shape of the measurement object using the light interference. Select whether or not to measure the color information of the measurement target.
  • the light detector 160 detects an interference signal generated by the light reflected from the measurement object and the reference light, and detects an interference signal generated by the light reflected from the measurement object and the reference light.
  • the light detector 160 uses a charge coupled device (CCD) camera, but is not limited thereto.
  • CCD charge coupled device
  • the light transmitted through the light splitter 130 may be transmitted to the light detector 160 to measure the shape of the measurement object.
  • FIG. 5 is a view schematically illustrating a state in which light emitted from a light source passes through a light control unit in the 3D shape measuring apparatus capable of measuring color information of FIG. 2, and
  • FIG. 6 is a view illustrating the color information of FIG. 5.
  • the three-dimensional shape measurement apparatus that can be seen schematically showing the state that the light passing through the light control unit incident on the lens unit.
  • the light is passed through the light control unit 120, and the light is controlled only in a partial region between the transmission unit 122 and the light aperture 123 in the light control unit 120.
  • the transmission area is limited. Some areas between the transmission part 122 and the light aperture 123 block the center light of the light source 110 as described above, so that the color information of the measurement object can be measured by using the ambient light having a weak interference effect. .
  • the light control unit 120 Only the ambient light proceeds by the light control unit 120, and the light splitter 130 reflects the ambient light passing through the light control unit 120 toward the measurement object.
  • the ambient light reflected by the light splitter 130 is incident to the lens unit 140 and first passes through the lens 141.
  • the ambient light passing through the lens 141 passes through the reference light splitter 142, but since the ambient light has a weak interference effect, the light split to the reference mirror 143 is minimized, and most of the light is preferably all of the ambient light. Is irradiated to the measurement object side.
  • the ambient light after being irradiated to the measurement object side passes through the light splitter 130, passes through the light splitter 130, and enters the light detection unit 160 to obtain color information of the measurement object from the light detection unit 160.
  • FIG. 7 and 8 are photographs showing the state of measuring the color information of the measurement target in the three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring the color information of FIG.
  • three patterns in a horizontal direction, seven in a vertical direction, and a total of 21 patterns are captured as one image through the three-dimensional shape measuring apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention.
  • the patterns in the horizontal direction are all the same color, along the red, red, blue, green, red, blue, green, red It is seen that (Red) is arranged sequentially, and color information of such a pattern is clearly photographed.
  • FIG. 8 two images in a horizontal direction and three patterns in a vertical direction are enlarged in the image of FIG. 7 into one image through the three-dimensional shape measuring apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention. It was taken. As illustrated in FIG. 7, the horizontal patterns are all provided with the same color, and in the vertical direction, blue, green, and red colors are sequentially disposed, and color information of the pattern You can see that the picture was taken clearly. Here, only a part of the red pattern (Red) photographed on the uppermost side was photographed and ignored.
  • the color information of the measurement target may be clearly measured using only the ambient light of the light source 110 through the 3D shape measuring apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention. It can be seen that.
  • FIG. 9 is an optical path diagram schematically showing a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information according to a second embodiment of the present invention.
  • the 3D shape measuring apparatus 100 capable of measuring color information according to the second embodiment of the present invention minimizes the interference effect of light passing through the lens unit 140.
  • a light source 110 a light control unit 120, a light splitter 130, a lens unit 140, a second light splitter 250, and a light detector 260.
  • the configuration of the light source 110, the light adjusting unit 120, the light splitter 130 and the lens unit 130 is a three-dimensional shape that can measure the color information according to the first embodiment Since it is the same as the structure in the measuring apparatus 200, detailed description is abbreviate
  • the second light splitter 150 splits the light so as to selectively transmit the light reflected from the measurement object to any one of the light detectors 260 to be described later, or to transmit all the light detectors 260.
  • the light detector 260 detects the light reflected from the measurement object.
  • the light detector 260 is a first camera 261 used for interference measurement using interference light.
  • a second camera 262 used for measuring color information are separately provided, but are not limited thereto.
  • the light control unit 120 when used as a general three-dimensional shape measuring apparatus, the light control unit 120 is separated from the light path and the light transmitted through the second light splitter 250 is incident to the first camera 261 side.
  • the light adjusting unit 120 is mounted on the optical path and the light transmitted through the second light splitter 250 is incident to the second camera 262.
  • the first camera 261 is provided as a mono camera (mono camera) and the second camera 262 is provided as a color camera (color camera) to measure the color information of the measurement object is not limited thereto.
  • the process of reflecting the light emitted from the light source 110 from the measurement object is the same as that of the three-dimensional shape measuring apparatus 100 capable of measuring the color information according to the first embodiment, and thus a detailed description thereof will be omitted.
  • the light reflected from the measurement object passes through the light splitter 130 and is incident to the second light splitter 150.
  • the light control unit 120 that is, whether or not the three-dimensional shape measuring apparatus 200 capable of measuring color information according to the second embodiment of the present invention measures the shape or the color
  • the direction of travel of the light transmitted from the second light splitter 150 is determined depending on whether information is measured.
  • the light transmitted through the second light splitter 250 is incident on the side of the first camera 261, and the shape of the measurement object is observed through the first camera 261.
  • the color information of the measurement object is observed through the second camera 262.
  • FIG. 10 is a light path diagram schematically showing a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring color information according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 11 is a three-dimensional shape measurement capable of measuring color information of FIG. 10.
  • FIG. I s a view schematically illustrating how light emitted from a light source passes through the light control unit in the device.
  • the three-dimensional shape measuring apparatus 300 capable of measuring color information according to a third embodiment of the present invention detects light incident on a measurement object according to the magnification of the lens unit 140.
  • the light source 110, the light control unit 120, the auxiliary light control unit 325, the light splitter 130, the lens unit 140, the second light splitter 250 and the light detector 260 include.
  • the light source 110, the light control unit 120, and the light splitter 130 are the same as those described in the first embodiment 100 of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.
  • the auxiliary light control unit 325 is disposed on the optical path between the light control unit 120 and the light splitter 130, and the peripheral light passing through the light control unit 325 according to the magnification change of the lens unit 140. By blocking a portion of the light additionally to control the area of the light incident on the measurement object, an opening 326 through which light is transmitted is formed.
  • the opening 226 may be disposed to have the same central axis as the transmission part 122.
  • the opening 226 may be provided to have a smaller area than the transmissive part 122 to block a part of the ambient light passing through the light adjusting part 120.
  • the opening 226 may be formed to have at least one of a circle, a polygon, or a bar, but is not limited thereto.
  • the light splitter 130 performs the same function as in the first embodiment 100 of the present invention, but the first embodiment 100 transmits or passes the ambient light, but in the third embodiment 300, the auxiliary light. The difference is that only a part of the ambient light passing through the adjusting unit 325 is transmitted or passed.
  • the operation of the three-dimensional shape measuring apparatus 300 capable of measuring the color information according to the third embodiment of the present invention is the same as described in the first embodiment 100 or the second embodiment 200, it will be described in detail here. Omit.
  • auxiliary light control unit 325 is disposed on the optical path between the light control unit 120 and the light splitter 130 to pass through the opening 326 among the ambient light passing through the light control unit 120. The difference is that only a part can proceed to the light splitter 130 side.
  • the third embodiment 300 measures color information of the measurement target by using only a part of the ambient light according to the magnification.
  • a three-dimensional shape measuring apparatus capable of measuring a shape of an object to be measured using an interferometer and additionally measuring color information to measure color information to measure color information of the object to be measured.

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Abstract

본 발명은 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에 관한 것이며, 본 발명의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치는 간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정하는 3차원 형상 측정 장치에 있어서, 광을 방출하는 광원; 상기 광원으로부터 방출된 광을 반사시키거나 또는 측정대상물에 의하여 반사된 광을 투과시키는 광분할기; 상기 광분할기에 의해 반사된 광을 상기 측정대상물에 집속시키는 렌즈부; 상기 측정대상물로부터 반사되는 광을 검출하는 광검출부; 상기 광원과 상기 광분할기 사이의 광경로 상에 배치되며 상기 광원의 중심 영역으로부터 방출되는 광을 차단하여 상기 렌즈부에서 발생하는 광의 간섭을 약화시키는 광조절부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치
본 발명은 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 간섭계를 이용하면서도 측정대상물의 유색정보를 측정할 수 있는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에 관한 것이다.
반도체 공정 및 FPD 공정에서 품질을 결정하는 여러 요인 가운데 박막층의 두께의 제어가 차지하는 비중이 크기 때문에 이를 공정 중에서 직접 모니터링하는 것이 필수적이라고 할 수 있다. '박막층' 이란 기저층 즉, 기판의 표면에 형성시킨 매우 미세한 두께를 가지는 층으로서 일반적으로 두께가 수 ㎚ ~ 수 ㎛ 의 범위를 말한다. 이들 박막층을 특정한 용도로 응용하기 위해서는 박막층의 두께, 조성, 조도 및 기타 물리적, 광학적인 특성을 알 필요가 있다. 여기에서, 반도체 공정 및 그 밖의 응용공정 등에서 사용하는 박막층의 두께 등을 측정하는 데에는 여러 가지 방식이 있지만 간섭계를 이용한 방법과 분광광도계를 이용한 방법이 가장 일반적이다.
한편, 최근에는 R/G/B 와 같은 유색정보를 갖는 LCD 패널과 같은 반도체 소자에 대해서도 박막층의 물리적, 광학적 특성을 측정하는 것과 동시에 R/G/B 와 같은 유색정보를 측정할 수 있는 기술이 관심을 받고 있다.
도 1은 종래의 3차원 형상 측정 장치를 개략적으로 도시한 광경로도이다. 도 1에 따르면 종래의 3차원 형상 측정 장치는 광원(10)과 광분할기(30)와 렌즈부(40)와 광검출부(50)를 포함하며, 광원(10)으로부터 방출되는 광이 렌즈부(40)에서 2 갈래 이상의 광으로 분활되어 진행경로에 차이를 발생시킨 후 분할됐던 광이 다시 합쳐졌을때 일어나는 간섭현상을 관찰하여 측정대상물의 형상 등을 측정하게 된다.
그러나, 이러한 종래의 3차원 형상 측정 장치는 광의 간섭효과에 의해 측정대상물의 유색정보를 정확히 측정할 수 없어, 측정대상물 상에 각각의 색마다 달리 형성된 패턴을 통해 인식하는 것이 일반적이었다.
즉, 종래 기술은 유색정보를 구별하여 직접적으로 판별하는 것이 아니므로 측정대상물 상에 패턴이 형성되지 않았거나, 또는 패턴의 형상이 각각의 색마다 동일하게 형성된 경우에는 각각의 유색정보를 구별하여 측정할 수 없다는 문제점이 발생한다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정할 수 있고 추가적으로 측정대상물의 색정보를 측정할 수 있는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정하는 3차원 형상 측정 장치에 있어서, 광을 방출하는 광원; 상기 광원으로부터 방출된 광을 반사시키거나 또는 측정대상물에 의하여 반사된 광을 투과시키는 광분할기; 상기 광분할기에 의해 반사된 광을 상기 측정대상물에 집속시키는 렌즈부; 상기 측정대상물로부터 반사되는 광을 검출하는 광검출부; 상기 광원과 상기 광분할기 사이의 광경로 상에 배치되며 상기 광원의 중심 영역으로부터 방출되는 광을 차단하여 상기 렌즈부에서 발생하는 광의 간섭을 약화시키는 광조절부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 광조절부는 광을 투과시키는 투과부가 구비된 몸체부; 상기 투과부 내부에 마련되어 광을 차단하는 광조리개;를 포함하며,상기 광원으로부터 방출된 광이 투과하는 광경로를 상기 투과부의 외면과 상기 광조리개의 외면 사이의 영역으로 제한하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 광조리개는 원형, 다각형 및 막대형 중에서 적어도 어느 하나로 마련되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 광조절부는 상기 광원과 상기 광분활기 사이의 광경로 상에 선택적으로 장착되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 광조절부와 상기 광분활기 사이의 광경로 상에 배치되며, 상기 광조절부를 통과한 광의 일부를 차단하는 보조 광조절부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 렌즈부는 배율이 50배 이하로 마련되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 보조 광조절부는 광을 투과시키는 개구부가 구비되며, 상기 광조절부를 투과한 광 중에서 일부가 상기 개구부를 투과하여 측정대상물에 도달하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 광조리개의 중심축과 상기 개구부의 중심축은 동일하게 마련되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 투과부의 면적이 상기 개구부의 면적보다 넓은 것이 바람직하다.
여기서, 상기 광검출부는 간섭광 측정에 사용되는 제1카메라와 색정보 측정에 사용되는 제2 카메라를 포함하며, 상기 광검출부와 상기 광분할기 사이의 광경로에 마련되어, 측정대상물로부터 반사된 광을 상기 제1 카메라 또는 제2 카메라 중 적어도 어느 하나로 투과시키는 제2 광분할기;를 더 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정할 수 있으면서, 추가적으로 측정대상물의 색정보도 측정할 수 있는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치가 제공된다.
또한, 광조절부가 선택적으로 장착됨으로써 측정대상물의 형상 및 색정보를 모두 측정할 수 있다.
또한, 렌즈부의 배율에 따라 측정대상물에 입사되는 광을 조절하여 측정대상물의 색정보를 렌즈부의 배율에 상관없아 측정할 수 있다.
또한, 광조리개와 개구부의 중심축을 일치시킴으로써, 측정대상물에 입사되는 광을 용이하게 조절할 수 있다.
도 1은 종래의 3차원 형상 측정 장치를 개략적으로 도시한 광경로도이고,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 개략적으로 도시한 광경로도이고,
도 3은 도 2의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광조절부의 일례를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 4는 도 2의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광조절부의 또 다른 예를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 5는 도 2의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광원으로부터 방출된 광이 광조절부를 통과하는 모습을 개략적으로 도시한 도면이고,
도 6은 도 5의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광조절부를 통과한 광이 렌즈부에 입사한 모습을 개략적으로 도시한 도면이고,
도 7 및 도 8은 도 2의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 측정대상물의 색정보를 측정한 모습을 나타낸 사진이고,
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 개략적으로 도시한 광경로도이고,
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 개략적으로 도시한 광경로도이고,
도 11은 도 10의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광원으로부터 방출된 광이 광조절부를 통과하는 모습을 개략적으로 도시한 도면이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 개략적으로 도시한 광경로도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(100)는 렌즈부(140)를 통과하는 광이 간섭효과가 발생하는 것을 최소화하는 것으로서, 광원(110)과 광조절부(120)와 광분할기(130)와 렌즈부(140)와 광검출부(160)를 포함한다.
상기 광원(110)은 광을 방출하는 것으로서, 본 발명의 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(100)에서 광원(110)은 백색광원을 사용하나 이에 제한되는 것은 아니다.
도 3은 도 2의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광조절부의 일례를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 도 2의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광조절부의 또 다른 예를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3 또는 도 4를 참조하면, 상기 광조절부(120)는 광원(110)과 후술할 광분할기(130) 사이의 광경로 상에 배치되며, 광원(110)의 중심영역으로부터 방출되는 광을 차단하여 후술할 렌즈부(140)에서 광의 간섭이 발생하는 것을 최소화시키는 것이다.
즉, 측정대상물의 형상 등을 측정하기 위해 광의 간섭효과를 이용하지만 유색정보를 측정할 시에는 광조절부(120)를 통해 광원(110)에서 간섭이 활발히 발생하는 중심광이 측정대상물을 향하는 것을 차단함으로써 후술할 렌즈부(130)에서 광의 간섭이 발생하는 것을 최소화하여 측정대상물의 유색정보를 측정할 수 있다.
본 발명의 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(100)에서 광조절부(120)는 몸체부(121)와 광조리개(123)를 포함한다.
상기 몸체부(121)는 광조절부(120)의 메인프레임 역할을 하는 것으로, 광원(110)의 중심영역을 포함하는 영역에 광을 투과시키는 투과부(122)가 형성된다.
여기서, 몸체부(121)와 투과부(122)는 동일한 중심축을 가지며 투과부(122)는 몸체부(121)의 중앙부에 형성되는 것이 바람직하나 이에 제한되는 것은 아니다.
또한, 몸체부(121)와 투과부(122)는 원형으로 마련되나 이에 제한되는 것은 아니며, 다각형의 형상으로 마련되는 것도 가능하다.
또한, 투과부(122)는 몸체부(121)를 관통하도록 마련되나 이에 제한되는 것은 아니며, 광을 투과시키는 막으로 형성될 수 있다.
상기 광조리개(123)는 투과부(122) 내부에 마련되어, 광조리개(123)가 마련된 영역에 대응하는 영역으로 진행하는 광(이하 '중심광' 이라 한다)을 차단하며, 중심광 이외의 광인 주변광 만을 통과하도록 안내한다.
여기서, 주변광은 중심광에 비해 광의 간섭효과 발생율이 떨어지며, 렌즈부(140) 내에서도 광의 간섭효과 발생이 낮아진다.
여기서, 광조리개(123)는 투과부(122)의 중앙부에 형성되는 것이 바람직하나 이에 제한되는 것은 아니다.
또한, 광조리개(123)는 원형, 다각형, 막대형 중에서 적어도 어느 하나로 마련되는 것이 바람직하나 이에 제한되는 것은 아니다.
다시 설명하면, 광원(110)과 몸체부(121)와 투과부(122)와 광조리개(123)는 동일한 중심축을 갖도록 배치되어 중심광을 차단하도록 마련되나 이에 제한되는 것은 아니다.
여기서, 광조절부(120)에 의해 안내되는 광경로에 대하여 설명하면, 광원(110)으로부터 방출된 광은 투과부(122)가 형성된 영역 중에서 광조리개(123)가 형성되지 않은 영역으로만 광(이하 '주변광')만이 투과될 수 있다.
즉, 투과부(122)와 광조리개(123)가 중복되는 영역으로 진행하는 광(이하 '중심광')은 광조절부(120)에 의해 진행이 차단된다.
한편, 광조절부(120)는 광원(110)과 광분할기(130) 사이의 광경로에서 선택적으로 장착되게 마련되나 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 사용자의 의도에 따라 측정대상물의 색정보를 측정할 수 있도록 주변광 만을 통과시키거나 간섭 측정을 통해 측정대상물의 형상을 측정하도록 광원(110)으로부터 방출되는 광 전부 통과시킬 수 있다.
상기 광분할기(130)는 광조절부(120)를 통과한 광을 반사시키거나 투과시킨다. 다시 말하면, 광조절부(120)를 통과한 광이 측정대상물에 입사되도록 광분할기(130)를 통해 광을 반사시키거나, 측정대상물로부터 반사된 광이 후술할 광검출부(160) 측으로 향하도록 광분할기(130)를 통해 광을 투과시킨다.
한편, 본 발명의 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(100)에서 광조절부(120)과 광분할기(130) 사이의 광경로 상에는 광조절부(120)를 통과한 광의 스펙트럼 특성을 동일하게 유지하되 휘도를 감소시키기 위하여 회색필터(ND filter, Neutral Density filter)(미도시)가 마련될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
또한, 회색필터(미도시)을 통과한 광을 집속시키기 위해 집광렌즈(미도시)를 설치할 수 있으며, 집광렌즈(미도시)를 통과한 광을 평행하게 만들어 주기 위하여 콜리메이터(collimator)(미도시)를 설치할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 렌즈부(140)는 광분할기(130)로부터 반사된 광을 측정대상물에 집속시키는 것으로서, 렌즈부(140) 내부에서 광분할기(130)로부터 반사된 광이 측정대상물로 향하는 광과 측정대상물로 향하지 않는 광으로 분할된다.
여기서, 측정대상물로 향하지 않는 광은 기준광이 되며 측정대상물로 향하는 광은 측정대상물에 의해 반사되어 기준광과는 광경로차가 발생한다. 즉, 측정대상물로 향하는 광과 측정대상물로 향하지 않는 광이 간섭을 일으켜 측정대상물의 형상 등을 측정할 수 있게 된다.
본 발명의 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(100)에서 렌즈부(140)는 광분할기(130)로부터 반사된 광을 측정대상물에 집속시키는 렌즈(141)와 렌즈(141)를 통과한 광을 측정대상물로 투과시키거나 후술할 기준미러(143)로 반사시키는 기준광 분할기(142)와 기준광 분할기(142)로부터 반사된 광을 조사하여 기준광을 생성하는 기준미러(143)가 하나의 모듈로 마련되나 이에 제한되는 것은 아니다.
다만, 광조절부(120)가 광원(110)과 광분할기(130) 사이의 광경로 상에 장착되어 주변광 만이 렌즈부(140)로 진입하는 경우, 중심광이 진입하는 경우보다 광의 간섭효과 발생율이 떨어지며, 기준광 분할기(142)에서 기준미러(143)로 반사되는 광의 양이 현저히 감소하며, 대부분의 광이 측정대상물로 향하게 된다.
즉, 광조절부(120)가 광원(110)과 광분할기(130) 사이의 광경로 상에 장착되는지 여부에 따라, 광의 간섭을 이용하여 측정대상물의 형상 등을 측정할 것인지 아니면 광의 간섭을 제한하여 측정대상물의 색정보를 측정할 것인지 여부를 선택한다.
상기 광검출부(160)는 측정대상물로부터 반사된 광과 기준광에 의해 발생하는 간섭신호를 검출하는 것으로, 측정대상물로부터 반사되는 광과 기준광에 의해 발생하는 간섭신호를 검출한다.
또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(100)에서 광검출부(160)는 CCD(charge coupled device) 카메라를 이용하나 여기에 제한되는 것은 아니다.
지금부터는 상술한 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치의 제1실시예의 작동에 대하여 광경로를 기준으로 설명한다.
한편, 광조절부(120)가 광원(110)과 광분할기(130) 사이의 광경로 상에서 이탈되는 경우는 종래의 간섭계 원리를 이용하여 측정대상물의 형상 등을 측정하는 장치의 원리와 동일하므로 여기서는 자세한 설명을 생략한다.
다만, 이와 같은 경우 광분할기(130)를 투과한 광은 광검출부(160)로 전달되어 측정대상물의 형상 등을 측정할 수 있다.
여기서, 광조절부(120)를 통하여 광원(110)으로부터 방출되는 광 중에서 주변광 만을 측정대상물로 진입시키는 경우를 설명한다.
도 5는 도 2의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광원으로부터 방출된 광이 광조절부를 통과하는 모습을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 도 5의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광조절부를 통과한 광이 렌즈부에 입사한 모습을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5를 참조하면, 광원(110)으로부터 광이 방출된 후 광조절부(120)를 통과하며, 광조절부(120)에서 투과부(122)와 광조리개(123) 사이의 일부 영역으로만 광의 투과영역이 제한된다. 투과부(122)와 광조리개(123) 사이의 일부 영역은 상술한 것과 같이 광원(110)의 중심광을 차단하여, 간섭효과가 약한 주변광을 활용하여 측정대상물의 색정보를 측정할 수 있도록 한다.
광조절부(120)에 의해 주변광 만이 진행되며, 광분할기(130)는 광조절부(120)를 통과한 주변광을 측정대상물을 향하여 반사시킨다.
도 6을 참조하면, 광분할기(130)에 의해 반사된 주변광은 렌즈부(140) 측으로 입사되며, 먼저 렌즈(141)를 통과한다. 렌즈(141)를 통과한 주변광은 기준광 분할기(142)를 통과하나, 주변광은 간섭효과가 약하므로 기준미러(143) 측으로 분할되는 광이 최소화되며, 대부분의 광이 바람직하게는 주변광 전부가 측정대상물 측으로 조사된다.
측정대상물 측으로 조사된 후의 주변광은 광분할기(130)를 투과하여 광분할기(130)를 투과하여 광검출부(160) 측으로 입사되어, 광검출부(160)로부터 측정대상물의 색정보를 획득한다.
도 7 및 도 8은 도 2의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 측정대상물의 색정보를 측정한 모습을 나타낸 사진이다.
도 7을 참조하면, 가로방향으로 3개, 세로방향으로 7개, 총 21개의 패턴이 본 발명의 제1실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치(100)를 통해 하나의 영상으로 촬영된 것이다. 가로 방향의 패턴들은 모두 동일한 색이며, 세로방향을 따라 빨강색(Red), 파랑색(Blue), 녹색(Green), 빨강색(Red), 파랑색(Blue), 녹색(Green) 및 빨강색(Red)이 순차적으로 배치되어 있고, 이러한 패턴의 색정보를 선명하게 촬영한 것을 알 수 있다.
또한 도 8을 참조하면, 도 7의 영상의 확대하여 가로방향으로 2개, 세로방향으로 3개의 패턴이 본 발명의 제1실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치(100)를 통해 하나의 영상으로 촬영된 것이다. 도 7과 같이, 가로방향의 패턴은 모두 각각 동일한 색으로 마련되었으며, 세로방향으로는 파랑색(Blue), 녹색(Green) 및 빨강색(Red)이 순차적으로 배치되어 있고, 이러한 패턴의 색정보를 선명하게 촬영한 것을 알 수 있다. 여기서, 최상측에 촬영된 빨강색(Red)의 패턴은 극히 일부만이 촬영되었으므로 이를 무시하고 설명하였다.
따라서, 도 7 또는 도 8을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 3차원 형상 측정 장치(100)를 통해 광원(110)의 주변광만을 이용하여 측정대상물의 색정보를 선명하게 측정할 수 있음을 알 수 있다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(200)에 대하여 설명한다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 개략적으로 도시한 광경로도이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(100)는 렌즈부(140)를 통과하는 광이 간섭효과가 발생하는 것을 최소화하는 것으로서, 광원(110)과 광조절부(120)와 광분할기(130)와 렌즈부(140)와 제2 광분할기(250)와 광검출부(260)를 포함한다.
한편, 상기 광원(110)과 상기 광조절부(120)와 상기 광분할기(130)와 상기 렌즈부(130)의 구성은 상술한 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(200)에서의 구성과 동일하므로 여기서는 자세한 설명을 생략한다.
상기 제2 광분할기(150)는 측정대상물로부터 반사된 광을 후술할 광검출부(260) 중 어느 하나에 선택적으로 투과시키거나, 모든 광검출부(260)에 투과시키도록 광을 분할하는 것이다.
상기 광검출부(260)는 측정대상물로부터 반사된 광을 검출하는 것으로서, 본 발명의 제2실시예에 따르면, 광검출부(260)는 간섭광을 이용하여 간섭 측정에 사용되는 제1카메라(261)와 색정보 측정시 사용되는 제2 카메라(262)를 별개로 마련하나 이에 제한되는 것은 아니다.
여기서, 일반적인 3차원 형상 측정장치로 활용되는 경우, 광조절부(120)가 광경로 상에서 이탈되며 제2 광분할기(250)를 투과한 광이 제1 카메라(261) 측으로 입사된다.
또한, 색정보를 측정하는 경우, 광조절부(120)가 광경로 상에 장착되며 제2 광분할기(250)를 투과한 광이 제2카메라(262) 측으로 입사된다.
여기서, 제1 카메라(261)는 모노 카메라(mono camera)로 마련되고 제2 카메라(262)는 측정대상물의 색정보를 측정할 수 있도록 칼라 카메라(color camera)로 마련되나 이에 제한되는 것은 아니다.
지금부터는 상술한 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치의 제2실시예의 작동에 대하여 설명한다.
광원(110)으로부터 방출된 광이 측정대상물로부터 반사되는 과정은 제1실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(100)와 동일하므로 여기서는 자세한 설명을 생략한다.
측정대상물로부터 반사된 광은 광분할기(130)를 투과하여 제2 광분할기(150)측으로 입사된다. 광조절부(120)가 광경로 상에 장착되었는지 여부에 따라, 다시 말하면 본 발명의 제2실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(200)가 형상을 측정할지, 색정보를 측정할지 여부에 따라 제2 광분할기(150)로부터 투과되는 광의 진행방향이 결정된다.
즉, 측정대상물의 형상을 측정하는 경우에는 제2 광분할기(250)를 투과한 광을 제1 카메라(261) 측으로 입사시켜 제1 카메라(261)를 통해 측정대상물의 형상을 관찰하며, 측정대상물의 색정보를 측정하는 경우에는 제2 광분할기(250)를 투과한 광을 제2카메라(262) 측으로 입사시켜 제2 카메라(262)를 통해 측정대상물의 색정보를 관찰한다.
다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에 대하여 설명한다.
도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 개략적으로 도시한 광경로도이고, 도 11은 도 10의 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치에서 광원으로부터 방출된 광이 광조절부를 통과하는 모습을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10 또는 도 11를 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(300)는 렌즈부(140)의 배율에 따라 측정대상물에 입사하는 광을 조절하는 것으로서, 광원(110)과 광조절부(120)와 보조 광조절부(325)와 광분할기(130)와 렌즈부(140)와 제2광분할기(250)와 광검출부(260)를 포함한다.
상기 광원(110)과 광조절부(120)와 광분할기(130)는 본 발명의 제1실시예(100)에서 설명한 것과 동일하므로 여기서는 자세한 설명을 생략한다.
또한, 제2광분할기(250)와 광검출부(260)는 본 발명의 제2실시예(200)에서 설명한 것과 동일하므로 여기서는 자세한 설명을 생략한다.
상기 보조 광조절부(325)는 광조절부(120)와 광분할기(130) 사이의 광경로 상에 배치되며, 렌즈부(140)의 배율변경에 따라 광조절부(325)를 통과한 주변광의 일부 영역을 추가적으로 차단하여 측정대상물에 입사하는 광의 영역을 조절하는 것으로, 내부에 광이 투과할 수 있는 개구부(326)가 형성된다.
즉, 광조절부(120)를 통과한 주변광 중에서 개구부(326)를 통과하는 일부의 주변광 만이 광분할기(130) 측으로 진행하여 측정대상물로 입사되는 광의 영역을 광조절부(120)만을 이용하는 경우보다 더 축소시킨다.
여기서, 개구부(226)는 투과부(122)와 동일한 중심축을 갖도록 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 개구부(226)는 광조절부(120)를 통과하는 주변광의 일부를 추가적으로 차단할 수 있드록 투과부(122)보다 적은 면적을 갖도록 마련되는 것이 바람직하다.
여기서, 개구부(226)는 원형, 다각형 또는 막대형 중에서 적어도 어느 하나의 형상을 갖도록 형성될 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 광분할기(130)는 본 발명의 제1실시예(100)에서와 동일한 기능을 수행하나, 제1실시예(100)에서는 주변광을 투과 또는 통과시키지만 제3실시예(300)에서는 보조 광조절부(325)를 통과한 주변광의 일부만을 투과 또는 통과시킨다는 점이 상이하다.
지금부터는 상술한 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치의 제2실시예의 작동에 대하여 광경로를 기준으로 설명한다.
본 발명의 제3실시예에 따른 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치(300)의 작동은 제1실시예(100) 또는 제2실시예(200)에서 설명한 것과 동일하므로 여기서는 자세한 설명을 생략한다.
다만, 광조절부(120)와 광분할기(130) 사이의 광경로 상에 보조 광조절부(325)가 배치되어, 광조절부(120)를 통과한 주변광 중에서 개구부(326)를 통과하는 일부만이 광분할기(130) 측으로 진행할 수 있다는 점이 상이하다.
즉, 3차원 형상 측정 장치를 사용하는 경우 측정대상물의 크기 또는 측정정밀도 등을 고려하여 배율을 달리 설정할 필요가 있으며, 3차원 형상 측정 장치의 배율이 변경되는 경우에는 측정대상물로 입사되는 광의 영역을 추가적으로 제한할 필요가 있으며, 제3실시예(300)에서는 배율에 따라 주변광 중에서도 일부만을 활용하여 측정대상물의 색정보를 측정하는 것이다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
간섭계를 이용하여 측정대상물의 형상을 측정할 수 있고 추가적으로 측정대상물의 색정보를 측정할 수 있는 색정보를 측정할 수 있는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치가 제공된다.

Claims (13)

  1. 간섭광을 이용하여 측정대상물의 형상을 측정하는 3차원 형상 측정 장치에 있어서,
    광을 방출하는 광원;
    상기 광원으로부터 방출된 광을 반사시키거나 또는 측정대상물에 의하여 반사된 광을 투과시키는 광분할기;
    상기 광분할기에 의해 반사된 광을 상기 측정대상물에 집속시키는 렌즈부;
    상기 측정대상물로부터 반사되는 광을 검출하는 광검출부;
    상기 광원과 상기 광분할기 사이의 광경로 상에 배치되며 상기 광원의 중심 영역으로부터 방출되는 광을 차단하여 상기 렌즈부에서 발생하는 광의 간섭을 약화시키는 광조절부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 광조절부는 상기 광원과 상기 광분활기 사이의 광경로 상에 선택적으로 장착되는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 광검출부는 간섭광 측정에 사용되는 제1카메라와 색정보 측정에 사용되는 제2 카메라를 포함하며,
    상기 광검출부와 상기 광분할기 사이의 광경로에 마련되어, 측정대상물로부터 반사된 광을 상기 제1 카메라 또는 제2 카메라 중 적어도 어느 하나로 투과시키는 제2 광분할기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 광조절부는 광을 투과시키는 투과부가 구비된 몸체부; 상기 투과부 내부에 마련되어 광을 차단하는 광조리개;를 포함하며,
    상기 광원으로부터 방출된 광이 투과하는 광경로를 상기 투과부의 외면과 상기 광조리개의 외면 사이의 영역으로 제한하여 상기 광원의 중심영역으로부터 방출되는 광이 측정대상물에 입사하는 것을 약화시키는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 광조리개는 원형, 다각형 및 막대형 중에서 적어도 어느 하나로 마련되는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 광조절부와 상기 광분활기 사이의 광경로 상에 배치되며, 상기 광조절부를 통과한 광의 일부를 차단하여 상기 렌즈부의 배율에 따라 측정대상물로 입사되는 광을 가변적으로 조절하는 보조 광조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 보조 광조절부는 광을 투과시키는 개구부가 구비되며,
    상기 광조절부를 투과한 광 중에서 일부가 상기 개구부를 투과하여 측정대상물에 도달하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  8. 제 3항에 있어서,
    상기 광조절부와 상기 광분활기 사이의 광경로 상에 배치되며, 상기 광조절부를 통과한 광의 일부를 차단하여 상기 렌즈부의 배율에 따라 측정대상물로 입사되는 광을 가변적으로 조절하는 보조 광조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 보조 광조절부는 광을 투과시키는 개구부가 구비되며,
    상기 광조절부를 투과한 광 중에서 일부가 상기 개구부를 투과하여 측정대상물에 도달하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  10. 제 4항에 있어서,
    상기 광조절부와 상기 광분활기 사이의 광경로 상에 배치되며, 상기 광조절부를 통과한 광의 일부를 차단하여 상기 렌즈부의 배율에 따라 측정대상물로 입사되는 광을 가변적으로 조절하는 보조 광조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 보조 광조절부는 광을 투과시키는 개구부가 구비되며,
    상기 광조절부를 투과한 광 중에서 일부가 상기 개구부를 투과하여 측정대상물에 도달하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  12. 제 5항에 있어서,
    상기 광조절부와 상기 광분활기 사이의 광경로 상에 배치되며, 상기 광조절부를 통과한 광의 일부를 차단하여 상기 렌즈부의 배율에 따라 측정대상물로 입사되는 광을 가변적으로 조절하는 보조 광조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 보조 광조절부는 광을 투과시키는 개구부가 구비되며,
    상기 광조절부를 투과한 광 중에서 일부가 상기 개구부를 투과하여 측정대상물에 도달하는 것을 특징으로 하는 색정보를 측정할 수 있는 3차원 형상 측정 장치.
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