WO2021033895A1 - 보정용 패널, 패널검사용 보정장치 및 패널 검사장치의 보정방법 - Google Patents

보정용 패널, 패널검사용 보정장치 및 패널 검사장치의 보정방법 Download PDF

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WO2021033895A1
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Definitions

  • the present invention relates to a device for automatically detecting information on the surface of a plate material, grooves or protrusions inside, and is an invention for a device that periodically calibrates the device to prevent errors in the device.
  • the calibration panel used for calibration It is an invention for the device and a method for calibrating equipment.
  • Patent Invention 001 relates to a wafer defect detection apparatus for detecting defects on a wafer, and includes a light source unit for irradiating light onto the wafer and a detection unit for detecting light reflected or scattered from the wafer.
  • a polarizing plate provided between the wafer and the detection unit so as to be perpendicular to an axis of the reflected or scattered light incident on the detection unit filters the reflected or scattered light and converts it into polarized light.
  • the controller proposes to adjust the polarization axis angle of the polarization filter according to the light component of the reflected or scattered light in order to increase the filtering effect of the reflected or scattered light.
  • Patent Invention 002 relates to a method for detecting defects in a macro unit of a wafer, and detects defects by acquiring an image of a wafer to be inspected and comparing an image to be inspected with a reference image.
  • the inspection subject image is converted into a cross-section signal, and when the cross-section signal is the same as the reference cross-section signal, the inspection subject image is used as a new reference image, and in other cases, the inspection subject image is It is proposed to perform micro-defect detection.
  • Patent Invention 003 relates to a wafer defect detection apparatus and method thereof, which is fixedly installed to have a certain angle with respect to the wafer surface, and a laser emitting unit that emits a laser beam on the wafer, and is installed on the wafer surface.
  • a normal image filter for setting a normal image
  • a laser receiving unit in which an image selected on the wafer is received through the normal image filter
  • a comparison unit for comparing the normal image of the normal image filter and the received image of the laser receiving unit
  • a wafer defect detection apparatus and a method thereof including a memory unit in which normal image data is stored, a laser light emitting unit, a normal image filter, a laser light receiving unit, and a control unit for controlling a comparison unit are provided.
  • Patent Invention 004 relates to a wafer inspection apparatus including an illumination unit, a camera introduced for capturing an image image on a wafer, an optical fiber transmitting light from a light source, and light transmitted from an optical fiber to provide coaxial illumination light.
  • a coaxial illumination unit including a transparent plate that transmits and emits the total internal reflection, and a mirror that changes the path of the light emitted from the transparent plate onto the wafer, and transmits light from a light source to provide side illumination light on the wafer.
  • a wafer inspection apparatus including an optical fiber, a side illumination unit including a lens for obliquely illuminating light transmitted from the optical fiber, and a controller unit for controlling the camera and the illumination units is provided.
  • Patent Document 1 KR10-2006-0132081 A (Publication date December 21, 2006)
  • Patent Document 2 KR 10-2007-0002249 A (Publication date January 5, 2007)
  • Patent Document 3 KR 10-0952522 B1 (Registration date April 05, 2010)
  • Patent Document 4 KR 10-1124567 B1 (Registration date February 29, 2012)
  • the present invention relates to a device for automatically detecting information on the surface of a plate material, grooves or protrusions inside, and is an invention for a device that periodically calibrates the device to prevent errors in the device.
  • the calibration panel used for calibration It is an invention for the device and a method for calibrating equipment.
  • the present invention is an invention for the correction panel 100, specifically a plate shape, a panel 100 in which both sides are parallel;
  • the fiducial mark 110 formed on one or both sides of the panel; and an artificial defect 130 formed on the inside or the surface of the panel;
  • the present invention is an invention for the correction panel 100, and in the above-mentioned invention, the fiducial mark is formed by one or a plurality of straight lines; includes.
  • the present invention is an invention for the correction panel 100, in the invention presented above, the fiducial mark is formed of a figure 120; includes.
  • the present invention is an invention for the correction panel 100, and in the above-described invention, the artificial defect is formed on the panel surface, and includes a first artificial defect 131 formed in a groove shape.
  • the present invention is an invention of a compensation device for panel inspection, and specifically, a panel seating portion 200 on which the correction panel 100 of the first embodiment is seated;, a first transfer portion 300 for transferring the panel seating portion;, the A panel storage unit 400 for storing the calibration panel;, an inspection unit 500 installed adjacent to the transfer unit and inspecting the calibration panel;
  • the present invention is an invention of a correction device for panel inspection, and in the above-described invention, a control unit 700 that recognizes the signal of the inspection unit and controls the operation of the transfer unit; includes.
  • the present invention is an invention of a compensation device for panel inspection, and in the above-described invention, a second transfer unit 800 for moving the inspection unit and the panel seating unit and transferring the compensation panel includes;
  • the present invention is an invention of a compensation device for panel inspection, and in the above-described invention, the inspection unit includes a camera 510 positioned on one surface of the panel and photographing the panel surface.
  • the present invention is an invention of a compensation device for panel inspection, and in the above-described invention, the panel storage unit includes a door formed on one side, and a storage case 410 in the shape of a case.
  • the present invention is an invention for a correction device for panel inspection, and in the above-described invention, the panel seating portion is formed in plural, and includes a clamp 210 for fixing a side surface of the panel.
  • the present invention is an invention of a method for calibrating a panel inspection device, and specifically, a mounting step (S100) of mounting a calibration panel to a panel mounting portion;, after the mounting step, the entire calibration panel is scanned by a scan camera to obtain a fiducial Recognition step (S200) of recognizing the location and quantity of marks and artificial defects; After the recognition step, a photographing step (S300) of photographing fiducial marks and artificial defects by a review camera;, after the photographing step, fiducial marks And a storage step (S400) of storing image information of an artificial defect; a comparison step (S500) of comparing image information and reference information after the storage step;, after the comparison step, an offset for offsetting the actuator coordinates of the correction device Step (S600); consists of a configuration including.
  • the correction panel of the present invention has a plurality of fiducial marks and artificial defects, it has the effect of accurately correcting the position and angle reception in image recognition.
  • the correction panel of the present invention has various artificial defects with respect to the thickness, it has the effect of accurately providing a correction value according to the height change of the defect.
  • the compensation device for panel inspection of the present invention has an effect of preventing damage and deformation of the panel because it forms a separate panel storage unit.
  • the correction apparatus for panel inspection of the present invention improves accuracy because a plurality of cameras are used.
  • the correction apparatus for panel inspection of the present invention captures an image during a moving process of a panel or a camera, and processing the photographed image is performed at the same time, so that the correction operation can be performed quickly.
  • the installation space can be minimized.
  • a separate error prevention function is included.
  • the correction apparatus for panel inspection of the present invention has the effect that the entire apparatus is controlled by a controller.
  • 1 is a front view of the calibration panel of the present invention.
  • FIG. 2 is a conceptual diagram of defect measurement according to the present invention.
  • Figure 3 is a perspective view of the panel inspection equipment of the present invention.
  • Figure 4 is a conceptual diagram of the operation of the panel for calibration and inspection panel of the panel inspection equipment of the present invention.
  • FIG 5 is an overall conceptual diagram of the panel inspection equipment of the present invention.
  • the present invention is an invention for a correction panel 100, and specifically, a panel 100 having a plate shape and having both sides parallel;
  • the fiducial mark 110 formed on one or both sides of the panel; and an artificial defect 130 formed on the inside or the surface of the panel;
  • the present invention relates to a correction panel 100, and in Example 1-1, the panel is formed in a disk shape or polygonal shape.
  • Example 1-3 The present invention relates to a correction panel 100, and in Example 1-1, the panel is formed of silicon.
  • Example 1-4 The present invention relates to a correction panel 100, and in Example 1-1, the panel is formed of germanium.
  • Example 1-5 The present invention relates to a correction panel 100, and in Example 1-1, the panel is formed of any one selected from single crystal, polycrystalline, or amorphous.
  • Example 1-6 The present invention relates to a correction panel 100, and in Example 1-1, the panel is formed by cutting and surface polishing of molten and solidified single crystal silicon; .
  • the correction panel of the present invention is used in a flat plate bonding determination device. This is to accurately recognize the size and position of the object to be photographed on the basis of the result of data obtained from the correction panel prior to the determination of the combination of the object to be determined in advance.
  • the correction panel of the present invention is formed in a plate shape with both sides parallel, and generates an artificial fiducial mark on the surface of the plate. The fiducial mark may be generated on one or both sides of the plate. It also forms artificial bonds of various sizes.
  • the correction panel used in the present invention may be used in a disk shape and a polygonal shape.
  • the calibration panel of the present invention can be applied to silicon wafers, solar panels, and display panels used in semiconductor processes.
  • the correction panel of the present invention may be formed of silicon and may be substituted with germanium.
  • the correction panel of the present invention can be replaced with a material of a transparent plate, an opaque plate, and a translucent plate.
  • the panel may be formed of a single crystal, polycrystalline, or amorphous material.
  • defects may exist inside the wafer for semiconductor production.
  • the defects presented above can be grooves formed on the surface, pores formed inside, protrusions protruding on the surface, scratches buried in the longitudinal direction, and fine dust settled on the surface.
  • defect inspection for the entire wafer must be performed.
  • the defect of the wafer is determined by the defect inspection.
  • the defect inspection method uses an image recognition method. In other words, the defect is checked with the image captured by the camera.
  • the camera photographing result only checks the image, and the size and location of the image cannot be accurately recognized.
  • a correction panel as a reference is recognized in advance and a correction step is performed, and the size and position of an image can be accurately determined by the correction.
  • Embodiment 2-1 The present invention relates to a correction panel 100, and in Embodiment 1-1, the fiducial mark is formed by one or a plurality of straight lines.
  • Embodiment 2-2 The present invention relates to a correction panel 100, and in Embodiment 2-1, the line is formed by any one selected from a straight line, a circle, or an ellipse.
  • Example 2-3 The present invention relates to a correction panel 100, and in Example 2-1, the line has a uniform thickness or a plurality of different thicknesses.
  • the fiducial mark of the present invention is formed in the form of a specified distance and thickness.
  • the actual size of the image information of the fiducell mark photographed by the camera may be converted by the size of the object (straight line, etc.) shown in the image.
  • Filming of Fiducial Mark is taken as a video.
  • Fixed image information can be secured by moving image information.
  • the moving picture information may create distorted information according to the speed and angle of the camera or panel.
  • a fiducial mark is formed by combining a plurality of lines and a plurality of figures, which is to determine the accuracy of real-time image information and to correct distortion information.
  • Embodiment 3-1 The present invention relates to a correction panel 100, and in Embodiment 1-1, the fiducial mark is formed of a figure 120. It includes.
  • the present invention relates to a correction panel 100, and in Example 2-1, the figure is formed by a combination of sides and/or curves.
  • the fiducial mark may be used as a figure.
  • the figure may be a polygon, circle, or ellipse, or may be used as a mark made with a straight line.
  • Example 4-1 The present invention relates to a correction panel 100, and in Example 1-1, the artificial defect is formed on the panel surface and includes a first artificial defect 131 formed in a groove shape; Includes.
  • Example 4-2 The present invention relates to a correction panel 100, and in Example 1-1, the artificial defect is formed on the panel surface, and a second artificial defect 132 formed in a protrusion shape; Includes.
  • Example 4-3 The present invention is an invention for the correction panel 100, and in Example 1-1, the artificial defect is formed inside the panel, and a third artificial defect 133 made of pores; Include.
  • the fiducial mark made of lines or the like is formed on a plane, a clear shape can be recognized by a predetermined focus from the photographed image. That is, the size on the plane can be clearly determined.
  • the grooves, pores, and protrusions are formed in three dimensions, it is difficult to grasp the size and shape from a planar image. Therefore, artificial grooves, pores, and protrusions are formed, and the sizes are variously formed.
  • the defect of the panel to be inspected can be confirmed by matching the photographing information of the panel to be inspected based on the defect image of the panel for correction.
  • the present invention is an invention of a compensation device for panel inspection, and specifically, a panel seating portion 200 on which the correction panel 100 of Embodiment 1 is seated;, an agent for transferring the panel seating portion 1 transport unit 300;, a panel storage unit 400 for storing the correction panel;, an inspection unit 500 installed adjacent to the transport unit and inspecting the correction panel;
  • the present invention relates to a correction device for panel inspection.
  • an inspection unit for inspecting a panel
  • a panel seating unit on which the panel is seated is formed in the inspection unit.
  • the first transfer unit is coupled to the panel seating unit and controls the movement of the panel.
  • it forms a panel storage unit to store the panel.
  • the panel storage unit is divided into two.
  • a first panel storage unit 401 for storing an inspection panel and a second panel storage unit 402 for storing a correction panel are formed.
  • the correction panel is stored in the second panel storage unit, and the correction panel is periodically taken out and moved to the inspection unit. Calibration is performed through the calibration panel.
  • the inspection panel inserted in the second panel storage unit is sequentially moved to the inspection unit to find a defect.
  • the first transfer unit uses a robot and constitutes an orthogonal coordinate robot.
  • the panel seating part forms a clamp that supports three points of the outer periphery of the panel.
  • the panel storage part is formed in a case shape.
  • Example 5-2 The present invention is an invention of a compensation device for panel inspection, and in Example 5-1, the panel seating unit, the first transfer unit, the panel storage unit, and the inspection unit are sealed main case 610 It includes; to be accommodated inside.
  • the present invention relates to a compensation device for panel inspection, and in Embodiment 5-2, the main case is equipped with a thermo-hygrostat 620 and/or a dust absorber 630; Includes.
  • Embodiment 5-4 The present invention relates to a compensation device for panel inspection, and in Embodiment 5-2, the main case is installed on the ground and installed on the vibration damper 640.
  • the panel seating unit, the first transfer unit, the panel storage unit, and the inspection unit of the present invention are accommodated in one main case.
  • the make-case is equipped with a door to ensure ease of operation, and it is preferable that the door and part of the main case are formed of a transparent window.
  • a dust absorbing device is installed in the main case to prevent contact with foreign substances such as dust on the wafer, and a thermo-hygrostat is installed to prevent deformation of the wafer.
  • a vibration damper under the main case to prevent errors caused by external vibration during the inspection process.
  • the present invention is an invention of a compensation device for panel inspection, and in Embodiment 5-1, a control unit 700 that recognizes the signal of the inspection unit and controls the operation of the transfer unit; includes do.
  • the camera operation of the panel movement inspection unit according to the operation of the first transfer unit of the present invention is automatically operated by a control signal from the control unit. Further, the control unit forms a storage device, and the storage device stores the detected defect of the inspection panel. The storage device stores information on the calibration panel, and stores the location and size of the defect by comparing it with the information on the inspection panel presented above.
  • the present invention relates to a compensation device for panel inspection, and in Embodiment 5-1, a second transfer unit 800 for moving the inspection unit and the panel seating unit and transferring the compensation panel Includes;
  • the present invention is an invention of the second transfer unit, and serves to move the inspection panel and the correction panel to the panel seating unit.
  • the second transfer unit is operated according to the signal from the control unit presented above.
  • the present invention relates to a correction device for panel inspection, and in Embodiment 5-1, the inspection unit includes a camera 510 positioned on one surface of the panel and photographing the panel surface; do.
  • Embodiment 8-2 The present invention relates to a correction device for panel inspection, and in Embodiment 5-1, the inspection unit is located on one surface of the panel, and a magnetic force meter 520 for detecting magnetic force on the panel surface Includes;
  • the present invention relates to an apparatus for inspecting defects in a panel.
  • the panel surface is photographed by a camera, and defects are checked by photographing information.
  • defects of the panel may be confirmed by magnetic force.
  • Embodiment 8-3 The present invention relates to a correction apparatus for panel inspection, and in Embodiment 8-1, a light emitter 530 positioned on one or the other side of the panel and irradiating light is included.
  • Embodiment 8-4 The present invention relates to a correction apparatus for panel inspection, and in Embodiment 8-3, the light emitter is formed of any one selected from infrared rays, ultraviolet rays, and lasers.
  • the present invention is an invention of a compensation device for panel inspection, and in Embodiment 8-1, the camera includes a scan camera 511 to check the defect location and the type and size of the defect. It includes; review camera 512.
  • Embodiment 8-6 The present invention relates to a correction device for panel inspection, and in Embodiment 8-5, the scan camera includes a plurality of cameras arranged in a straight line.
  • the present invention is an invention of a correction device for panel inspection, and in Embodiment 8-5, the review camera includes an actuator 513 for adjusting focus; being formed.
  • Embodiments of the present invention are inventions for checking the defects of a panel made of a transparent or opaque material.
  • One side of the panel is photographed by a camera, and the other side of the panel is irradiated with light. It is preferable that the light generated from the light emitter uses infrared rays. If necessary, ultraviolet rays or X-rays may be used.
  • the light emitter may include a laser. The laser emits linear light on one side of the panel, and the laser light scans the panel surface, and refractions of light are generated by defects on the outer surface, and the camera recognizes the refraction of the light to check the location and size of the defect. I can.
  • the infrared or ultraviolet light light is emitted on the other surface of the panel. Light diffusion or refraction occurs due to defects on one side of the panel, and the camera can check the location and size of the defect by photographing such changes in light.
  • a silicon wafer near-infrared rays are emitted on the other surface of the panel, and defects are identified using a camera on one surface of the panel.
  • step 1 the entire area of the panel is scanned by a scanning camera, and defects of the panel are checked.
  • the review camera is positioned at the location of the defect and photographs the defect.
  • the focus is adjusted. In the focus adjustment process, the focus may be adjusted by the operation of the focus adjustment actuator.
  • the line camera uses a plurality of cameras to shorten the scan time or secure the accuracy of the scan, and the plurality of cameras are preferably arranged in a straight line.
  • the present invention is an invention of a compensation device for panel inspection, and in Embodiment 5-1, the panel storage unit has a door formed on one side, and includes a storage case 410 having a housing shape. do.
  • the present invention relates to a calibration device for panel inspection, and in Embodiment 9-1, it includes a thermo-hygrostat 420 formed inside the storage case.
  • Embodiment 9-3 The present invention relates to a correction device for panel inspection, and in Embodiment 9-1, a dust absorber 430 formed inside the storage case is included.
  • the present invention relates to a panel storage unit, and a correction panel is mounted inside the panel storage unit.
  • the correction panel is drawn out as necessary and used for correction. Therefore, it is accommodated inside a separate storage case.
  • the storage case has a housing shape, has a closed structure, and a door is formed. That is, the door is opened and closed only when the storage panel is inflow or outflow.
  • the storage case is equipped with a separate thermo-hygrostat and dust absorber.
  • the correction panel of the storage case can be easily deformed because it is periodically used.
  • the modified correction panel may cause an error in the correction value.
  • the inside of the storage case may be equipped with a deformation detection device that detects deformation of the correction panel.
  • the present invention is an invention of a correction device for panel inspection, and in Embodiment 5-1, the panel seating portion is formed in plural, and a clamp 210 for fixing a side surface of the panel; includes do.
  • Embodiment 10-2 The present invention relates to a correction apparatus for panel inspection, and in Embodiment 10-1, the clamp is formed in three pieces.
  • Example 10-3 The present invention relates to a correction device for panel inspection, and in Example 10-1, the clamp is formed of a polymer material.
  • Embodiment 10-4 The present invention relates to a correction device for panel inspection, and in Embodiment 10-1, the clamp is operated in a straight line by an actuator 220;
  • the present invention relates to a compensation device for panel inspection, and in Embodiment 10-4, the clamp includes a load cell 230 for measuring fastening force during an operation process and an inspection process.
  • the panel mounting unit of the present invention is an apparatus for mounting an inspection panel and a correction panel. Since the panel is in the shape of a disk, the outer periphery is clamped. It is preferable to fix with three clamps, and it is preferable to be formed of a polymer to prevent deformation. Each of the flaps is equipped with a load cell. Therefore, the panel tension is distributed to a uniform position. This is to prevent partial deformation of the panel.
  • the clamp is actuated and held by an actuator.
  • the present invention relates to a method of calibrating a panel inspection apparatus, and specifically, a mounting step (S100) of mounting a calibration panel to a panel mounting portion;, after the mounting step, a calibration panel by a scan camera Recognition step (S200) of recognizing the location and quantity of fiducial marks and artificial defects by scanning the whole of;, After the recognition step, photographing step (S300) of photographing fiducial marks and artificial defects by a review camera;, the After the photographing step, a storage step (S400) of storing image information of a fiducial mark and an artificial defect; a comparison step (S500) of comparing image information and reference information after the storage step;, after the comparison step, a correction device It consists of a configuration including; offset step (S600) of offsetting the actuator coordinates.
  • the present invention relates to a method for calibrating a panel inspection apparatus, and in Embodiment 11-1, after the alignment step, a storage step (S700) of storing the calibration panel in a storage case; Include.
  • the present invention relates to a method for calibrating a panel inspection apparatus, and in Embodiment 11-2, a sensing step (S800) of detecting whether or not the correction panel is deformed during the storage step; do.
  • the present invention relates to a method for calibrating a panel inspection apparatus, and in Embodiment 11-1, the storing step is a calculation step (S410) of calculating a movement amount of a review camera or a movement amount of a calibration panel. Includes; And a focus adjustment step (S310) of adjusting the focus of the review camera during the photographing step.
  • first artificial defect 132 second artificial defect
  • clamp 220 actuator
  • load cell 300 first transfer unit
  • panel storage unit 401 first panel storage unit
  • thermo-hygrostat 430 dust absorber
  • inspection unit 510 camera
  • actuator for focus adjustment 520 magnetic force meter
  • thermo-hygrostat 630 dust absorber
  • vibration damper 700 control unit

Abstract

본 발명은 판재 표면, 내부의 홈 또는 돌기에 대한 정보를 자동으로 감지하는 장치에 있어서, 장비의 오차를 방지하기 위해 주기적으로 장비를 보정하는 장치에 대한 발명이며, 또한 보정에 사용되는 보정용 패널에 대한 발명이며, 장비의 보정방법에 대한 발명이다. 구체적으로 보정용 패널(100)에 있어서, 판재형상이며, 양면이 평행한 패널(100); 상기 패널 일면 또는 양면에 형성된 피듀셜마크(110); 상기 패널의 내부 또는 표면에 형성된 인공결함(130);을 포함하는 구성으로 이루어진다.

Description

보정용 패널, 패널검사용 보정장치 및 패널 검사장치의 보정방법
본 발명은 판재 표면, 내부의 홈 또는 돌기에 대한 정보를 자동으로 감지하는 장치에 있어서, 장비의 오차를 방지하기 위해 주기적으로 장비를 보정하는 장치에 대한 발명이며, 또한 보정에 사용되는 보정용 패널에 대한 발명이며, 장비의 보정방법에 대한 발명이다.
특허발명 001은 웨이퍼의 결함을 검출하기 위한 웨이퍼 결함 검출 장치에 관한 것으로, 상기 웨이퍼 상으로 광을 조사하기 위한 광원부 및 상기 웨이퍼로부터 반사 또는 산란되는 광을 검출하기 위한 검출부를 구비한다. 상기 검출부로 입사하는 상기 반사광 또는 산란광의 축과 수직하도록 상기 웨이퍼와 검출부 사이에 구비되는 편광판은 상기 반사광 또는 산란광을 필터링하여 편광으로 변환한다. 조절부는 반사광 또는 산란광의 필터링 효과를 높이기 위해 반사광 또는 산란광의 광 성분에 따라 상기 편광 필터의 편광축 각도를 조절하는 것을 제시하고 있다.
특허발명 002는 웨이퍼의 매크로 단위의 결함을 검출하기 위한 방법에 관한 것으로, 피검사웨이퍼의 이미지를 획득하여 피검사이미지와 기준 이미지를 비교하여 결함을 검출한다. 이때, 피검사이미지가 기준 이미지와 전체적으로 다른 색차를 가지며, 상기 색차가 설정된 범위를 벗어나는 경우 상기 피검사이미지가 결함을 갖는 것으로 판단한다. 이와는 다른 경우, 상기 피검사이미지를 크로스 섹션 신호로 변환시켜, 상기 크로스 섹션 신호가 기준 크로스 섹션 신호와 동일한 경우, 상기 피검사이미지를 새로운 기준 이미지로 사용하고, 다른 경우, 상기 피검사이미지에 대하여 마이크로 결함 검출을 수행하는 것을 제시하고 있다.
특허발명 003은 웨이퍼 결함 검출 장치 및 이의 방법에 관한 것으로, 웨이퍼 표면에 대해 일정한 각도를 가지도록 고정 설치되며, 웨이퍼 상에 레이저 빔을 발사하는 레이저 발광부와, 웨이퍼 표면 상부에 설치되며, 웨이퍼의 정상 이미지를 설정하는 정상 이미지 필터와, 웨이퍼에 선택된 이미지가 정상 이미지 필터를 통해 수광되는 레이저 수광부와, 정상 이미지 필터의 정상이미지와, 레이저 수광부의 수광 이미지를 비교하는 비교부와, 정상 이미지 필터의 정상 이미지 데이터가 메모리된 메모리부와, 레이저 발광부와, 정상 이미지 필터와, 레이저 수광부와, 비교부를 제어하는 제어부를 포함하는 웨이퍼 결함 검출 장치 및 이의 방법을 제시하고 있다.
특허발명 004는 조명부를 포함하는 웨이퍼 검사 장치에 관한 것으로, 웨이퍼 상에 영상 이미지 촬상을 위해 도입된 카메라, 동축조명광을 제공하기 위해, 광원으로부터 광을 전달하는 광 파이버, 광 파이버로부터 전달된 광을 내부 전반사로 전달하여 출사시키는 투명판, 및 투명판에서 출사된광을 웨이퍼 상으로 경로를 바꿔주는 미러(mirror)를 포함하는 동축조명부, 웨이퍼 상에 측면 조명광을 제공하기 위해 광원으로부터 광을 전달하는 광 파이버, 광 파이버로부터 전달된 광을 웨이퍼 상에 비스듬하게 조명되게 출사시키는 렌즈를 포함하는 측면 조명부, 및 카메라 및 조명부들의 제어를 수행하는 컨트롤러부를 포함하는 웨이퍼 검사 장치를 제시하고 있다.
(특허문헌 1) KR10-2006-0132081 A (공개일자 2006년 12월 21일)
(특허문헌 2) KR 10-2007-0002249 A (공개일자 2007년 01월 05일)
(특허문헌 3) KR 10-0952522 B1 (등록일자 2010년 04월 05일)
(특허문헌 4) KR 10-1124567 B1 (등록일자 2012년 02월 29일)
본 발명은 판재 표면, 내부의 홈 또는 돌기에 대한 정보를 자동으로 감지하는 장치에 있어서, 장비의 오차를 방지하기 위해 주기적으로 장비를 보정하는 장치에 대한 발명이며, 또한 보정에 사용되는 보정용 패널에 대한 발명이며, 장비의 보정방법에 대한 발명이다.
본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 구체적으로 판재형상이며, 양면이 평행한 패널(100); 상기 패널 일면 또는 양면에 형성된 피듀셜마크(110);, 상기 패널의 내부 또는 표면에 형성된 인공결함(130);을 포함하는 구성으로 이루어진다.
본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 발명에 있어서, 상기 피듀셜마크는 하나 또는 복수의 직선으로 형성되는 것;을 포함한다.
본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 발명에 있어서, 상기 피듀셜마크는 도형(120)으로 형성되는 것;을 포함한다.
본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 발명에 있어서, 상기 인공결함은 패널표면에 형성되며, 홈형상으로 이루어진 제1인공결함(131);을 포함한다.
본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 구체적으로 실시예 1의 보정용 패널(100)이 안착되는 패널안착부(200);, 상기 패널안착부를 이송시키는 제1이송부(300);, 상기 보정용 패널을 보관하는 패널보관부(400);, 상기 이송부에 인접 설치되며, 보정용 패널을 검사하는 검사부(500);를 포함하는 구성으로 이루어진다.
본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 발명에 있어서, 상기 검사부의 신호를 인지하며, 상기 이송부의 작동을 제어하는 제어부(700);를 포함한다.
본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 발명에 있어서, 상기 검사부 및 상기 패널안착부를 이동하며, 상기 보정용패널을 이송하는 제2이송부(800);를 포함한다.
본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 발명에 있어서, 상기 검사부는 상기 패널 일면에 위치하며, 패널 표면을 촬영하는 카메라(510);를 포함한다.
본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 발명에 있어서, 상기 패널보관부는 일측에 도어가 형성되며, 함체 형상의 보관케이스(410);를 포함한다.
본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 앞에서 제시한 발명에 있어서, 상기 패널안착부는 복수로 형성되며, 패널의 측면을 고정하는 클램프(210);를 포함한다.
본 발명은 패널 검사장치의 보정방법에 대한 발명이며, 구체적으로 패널안착부에 보정용 패널을 장착하는 장착단계(S100);, 상기 장착단계 후, 스캔카메라에 의해 보정용 패널의 전체를 스캔하여 피듀셜마크 및 인위적결점의 위치 및 수량을 인식하는 인식단계(S200);, 인식단계 후, 리뷰카메라에 의해 피듀셜마크 및 인위적결점을 촬영하는 촬영단계(S300);, 상기 촬영단계 후, 피듀셜마크 및 인위적결점의 영상정보를 저장하는 저장단계(S400);, 상기 저장단계 후, 영상정보 및 기준정보를 비교하는 비교단계(S500);, 상기 비교단계 후, 보정장치의 엑츄에이터 좌표를 오프셋하는 오프셋단계(S600);를 포함하는 구성으로 이루어진다.
본 발명의 보정용 패널은 복수의 피듀셜마크 및 인공결함을 가지고 있으므로, 화상인식에 있어서, 위치 및 각도 수령에 대한 보정을 정확하게 수행하는 효과를 가진다.
본 발명의 보정용 패널은 두께에 대한 다양한 인공결함을 가지고 있으므로 결함의 높이변화에 따른보정값을 정확하게 제공하는 효과를 가진다.
본 발명의 패널검사용 보정장치는 별도의 패널보관부를 형성하므로 패널의 손상 및 변형을 방지하는 효과를 가진다.
본 발명의 패널검사용 보정장치는 복수의 카메라를 이용하므로 정확성을 향상시킨다.
본 발명의 패널검사용 보정장치는 패널 또는 카메라의 이동과정 중 영상 촬영하며, 촬영영상에 대한 처리가 동시에 이루어지므로 신속하게 보정작업을 수행할 수 있다.
본 발명의 패널검사용 보정장치는 메인케이스 내부에 모든 장치가 일체로 수용되므로 설치공간을 최소화 할 수 있다. 또한 내부에 항온항습기 및 먼지제거기 및 제진기를 구비하므로 별도의 오류방지 기능을 포함한다.
본 발명의 패널검사용 보정장치의 리뷰카메라는 초점조절용 엑츄에이터를 별도 구비하므로 정확한 정보를 확보할 수 있다.
본 발명의 패널검사용 보정장치는 제어기에 의해 전체장치가 제어되는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명의 보정용 패널 전면도.
도 2는 본 발명의 결함측정 개념도.
도 3은 본 발명의 패널검사장비 사시도.
도 4는 본 발명의 패널검사장비의 보정용 패널 및 검사용 패널의 작동개념도.
도 5는 본 발명의 패널검사장비의 전체 개념도.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.
아래의 실시예에서 인용하는 번호는 인용대상에만 한정되지 않으며, 모든 실시예에 적용될 수 있다. 실시예에서 제시한 구성과 동일한 목적 및 효과를 발휘하는 대상은 균등한 치환대상에 해당된다. 실시예에서 제시한 상위개념은 기재하지 않은 하위개념 대상을 포함한다.
[실시예 1-1] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 구체적으로 판재형상이며, 양면이 평행한 패널(100); 상기 패널 일면 또는 양면에 형성된 피듀셜마크(110);, 상기 패널의 내부 또는 표면에 형성된 인공결함(130);을 포함하는 구성으로 이루어진다.
[실시예 1-2] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 패널은 원판형 또는 다각형으로 형성된 것;을 포함한다.
[실시예 1-3] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 패널은 실리콘으로 형성되는 것;을 포함한다.
[실시예 1-4] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 패널은 게르마늄으로 형성되는 것;을 포함한다.
[실시예 1-5] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 패널은 단결정, 다결정 또는 비정질 중 선택된 어느 하나로 형성되는 것;을 포함한다.
[실시예 1-6] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 패널은 용융 및 응고된 단결정 실리콘의 절단 및 표면연마에 의해 형성된 것;을 포함한다.
본 발명의 보정용 패널은 평판의 결합판단장치에 사용되는 것이다. 판단대상의 결합판단에 앞서서, 본 발명에서 제시하는 보정용 패널을 사전에 인식시키며, 보정용 패널에서 얻어지는 데이터의 결과를 기초로 이후 촬영되는 대상물의 크기 및 위치를 정확하게 인식하기 위함이다. 본 발명의 보정용 패널은 양면이 평행한 판재형상으로 형성되며, 판재의 표면에는 인위적인 피듀셜마크를 생성한다. 상기 피듀셜마크는 판재의 일면 또는 양면에 생성할 수 있다. 또한, 다양한 크기의 인공결합을 형성한다. 본 발명에 사용되는 보정용 패널은 원판형 및 다각형의 형상으로 사용될 수 있다. 본 발명의 보정용 패널은 반도체 공정에 사용되는 실리콘웨이퍼, 태양열 패널, 디스플레이 패널에 적용될 수 있다. 본 발명의 보정용 패널은 실리콘으로 형성될 수 있으며, 게르마늄으로 치환 가능하다. 본 발명의 보정용 패널은 투명판, 불투명판, 반투명판의 소재로 치환 가능하다. 또한 상기 패널은 단결정, 다결정, 비정질 재질로 형성될 수 있다. 구체적인 실시예로서, 반도체 생산용 웨이퍼 내부에는 결함이 존재할 수 있다. 앞에서 제시한 결함은 표면에 형성된 홈, 내부에 형성된 기공, 표면에 돌출된 돌기, 길이방향으로 파여지는 스크래치, 표면에 안착되는 미세먼지가 될 수 있다. 반도체 생산에 앞서서 웨이퍼 전체에 대한 결점검사가 선행되어야 한다. 상기 결점검사에 의해 웨이퍼의 결함을 판단한다. 상기 결점검사 방법은 화상인식 방법을 사용한다. 즉, 카메라 촬영된 영상으로 결점을 확인한다. 그러나 카메라 촬영 결과물은 영상만을 확인할 뿐, 영상물의 크기 및 위치는 정확하게 인지할 수 없다. 앞에서 제시한 크기 및 위치를 정확하게 판단하기 위해서는 기준이 되는 보정용 패널을 사전에 인식시켜 보정단계를 거치며, 보정에 의해 영상물의 크기 및 위치를 정확하게 판단할 수 있다.
[실시예 2-1] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 피듀셜마크는 하나 또는 복수의 직선으로 형성되는 것;을 포함한다.
[실시예 2-2] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 2-1에 있어서, 상기 선은 직선, 원 또는 타원 중 선택된 어느 하나로 형성되는 것;을 포함한다.
[실시예 2-3] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 2-1에 있어서, 상기 선은 균일한 두께 또는 상이한 두께가 복수로 형성되는 것;을 포함한다.
본 발명의 피듀셜마크는 지정된 거리, 두께 형태로 형성된다. 카메라로 촬영된 피듀셀마크의 영상정보는 영상에 나타난 대상체(직선 등)의 크기에 의해 실질적 크기를 환산할 수 있다. 피듀셜마크의 영상촬영은 동영상으로 촬영된다. 동영상 정보에 의해 고정영상 정보를 확보할 수 있다. 그러나, 동영상 정보는 카메라 또는 패널의 이송속도 및 각도에 따라 왜곡된 정보를 만들 수 있다. 이를 방지하기 위해, 복수의 선 및 복수의 도형을 조합하여, 피듀셜마크를 형성하며, 이는 실시간 영상정보의 정확성을 판단하며, 왜곡정보를 보정하기 위함이다.
[실시예 3-1] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 피듀셜마크는 도형(120)으로 형성되는 것;을 포함한다.
[실시예 3-2] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 2-1에 있어서, 상기 도형은 변 및/또는 곡선의 조합으로 형성되는 것;을 포함한다.
상기 피듀셜마크는 도형으로 사용될 수 있다. 상기 도형은 다각형, 원형, 타원형이 사용되거나, 직선과 함께 이루어진 표식으로 사용될 수 있다.
[실시예 4-1] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 인공결함은 패널표면에 형성되며, 홈형상으로 이루어진 제1인공결함(131);을 포함한다.
[실시예 4-2] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 인공결함은 패널표면에 형성되며, 돌기형상으로 이루어진 제2인공결함(132);을 포함한다.
[실시예 4-3] 본 발명은 보정용 패널(100)에 대한 발명이며, 실시예 1-1에 있어서, 상기 인공결함은 패널내부에 형성되며, 기공으로 이루어진 제3인공결함(133);을 포함한다.
선 등으로 이루어진 피듀셜마크는 평면에 형성되므로 촬영영상으로부터 정해진 초점에 의해 명확한 형태를 인지할 수 있다. 즉 평면상의 크기를 명확하게 판단할 수 있다. 그러나, 홈, 기공, 돌기는 입체적으로 형성되므로, 평면영상으로부터 그 크기 및 형태를 파악하기 곤란한 문제를 가진다. 따라서, 인위적인 홈, 기공, 돌기를 형성하며, 그 크기를 다양하게 형성한다. 보정용 패널의 결함영상을 기준으로 검사대상패널의 촬영정보를 매칭시켜 검사대상패널의 결함을 확인할 수 있다.
*[실시예 5-1] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 구체적으로 실시예 1의 보정용 패널(100)이 안착되는 패널안착부(200);, 상기 패널안착부를 이송시키는 제1이송부(300);, 상기 보정용 패널을 보관하는 패널보관부(400);, 상기 이송부에 인접 설치되며, 보정용 패널을 검사하는 검사부(500);를 포함하는 구성으로 이루어진다.
본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 것이다. 본 발명의 장치는 패널을 검사하는 검사부가 존재하며, 상기 검사부에는 패널이 안착되는 패널안착부를 형성한다. 제1이송부는 패널안착부와 결합되며, 패널의 이동을 제어한다. 또한 패널을 보관하는 패널보관부를 형성한다. 패널보관부는 2개로 구분된다. 검사용 패널을 보관하는 제1패널보관부(401) 및 보정용 패널을 보관하는 제2패널보관부(402)를 형성한다. 상기 제2패널보관부에 보정용 패널을 보관하며, 주기적으로 보정용 패널을 인출시켜, 검사부로 이동시킨다. 보정용 패널을 통해 보정을 수행한다. 제2패널보관부에 삽입된 검사용 패널은 순차적으로 검사부로 이동시켜, 결점을 찾아낸다. 상기 제1이송부는 로봇을 이용하며, 직교좌표 로봇을 구성함이 바람직하다. 패널안착부는 패널의 외주연을 3점지지하는 클램프를 형성한다. 패널보관부는 함체형상으로 형성된다.
[실시예 5-2] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 5-1에 있어서, 상기 패널안착부, 제1이송부, 패널보관부, 검사부는 밀폐된 메인케이스(610) 내부에 수용되는 것;을 포함한다.
[실시예 5-3] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 5-2에 있어서, 상기 메인케이스는 항온항습기(620) 및/또는 먼지흡수기(630)가 장착되는 것;을 포함한다.
[실시예 5-4] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 5-2에 있어서, 상기 메인케이스는 지면에 설치되며, 제진기(640)에 설치되는 것;을 포함한다.
본 발명의 패널안착부, 제1이송부, 패널보관부, 검사부는 하나의 메인케이스에 수용된다. 상기 메이케이스는 작업용이성을 확보하기 위해 도어를 장착하며, 상기 도어 및 메인케이스 일부는 투명창으로 형성됨이 바람직하다. 웨이퍼에 먼지와 같은 이물질 접촉을 방지하기 위해 메인케이스에는 먼지 흡수장치를 장착하며, 웨이퍼의 변형을 방자하기 위해, 항온항습기를 장착한다. 또한 검사과정 중 외부진동으로 발생되는 오류를 방지하기 위해 메인케이스 하부에는 제진기를 장착함이 바람직하다.
[실시예 6-1] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 5-1에 있어서, 상기 검사부의 신호를 인지하며, 상기 이송부의 작동을 제어하는 제어부(700);를 포함한다.
본 발명의 제1이송부 작동에 따른 패널이동 검사부의 카메라 작동은 제어부의 제어신호에 의해 자동으로 작동된다. 또한 상기 제어부는 저장장치를 형성하며, 상기 저장장치는 검사용패널의 검출된 결점을 저장한다. 상기 저장장치는 보정용 패널의 정보를 저장하며, 앞에서 제시한 검사용 패널의 정보와 비교하여 결점의 위치 및 크기를 저장한다.
[실시예 7-1] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 5-1에 있어서, 상기 검사부 및 상기 패널안착부를 이동하며, 상기 보정용패널을 이송하는 제2이송부(800);를 포함한다.
본 발명은 제2이송부에 대한 발명이며, 검사용 패널 및 보정용 패널을 패널안착부로 이동시키는 역할을 한다. 제2이송부는 앞에서 제시한 제어부의 신호에 따라 작동된다.
[실시예 8-1] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 5-1에 있어서, 상기 검사부는 상기 패널 일면에 위치하며, 패널 표면을 촬영하는 카메라(510);를 포함한다.
[실시예 8-2] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 5-1에 있어서, 상기 검사부는 상기 패널 일면에 위치하며, 패널 표면의 자력을 검출하는 자력측정기(520);를 포함한다.
본 발명은 패널의 결점을 검사하는 장치에 대한발명이다. 카메라에 의해 패널표면을 촬영하며, 촬영정보에 의해 결점을 확인한다. 다른 실시예로서, 자력에 의해 패널의 결점을 확인할 수 있다.
[실시예 8-3] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 8-1에 있어서, 상기 패널 일면 또는 타면에 위치하며, 빛을 조사하는 발광기(530);를 포함한다.
[실시예 8-4] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 8-3에 있어서, 상기 발광기는 적외선, 자외선 또는 레이저 중 선택된 어느 하나로 형성되는 것;을 포함한다.
[실시예 8-5] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 8-1에 있어서, 상기 카메라는 결함위치를 확인하는 스캔카메라(511)및 결함의 종류 및 크기를 확인하는 리뷰카메라(512);를 포함한다.
[실시예 8-6] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 8-5에 있어서, 상기 스캔카메라는 복수의 카메라가 직선으로 나열되는 것;을 포함한다.
[실시예 8-7] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 8-5에 있어서, 상기 리뷰카메라는 초점조절용 액츄에이터(513);가 형성되는 것;을 포함한다.
본 발명의 실시예들은 투명 또는 불투명재질로 이루어진 패널의 결점을 확인하기 위한 발명이다. 패널의 일면은 카메라에 의해 영상을 촬영하며, 패널의 타면은 발광기에 의해 빛을 조사한다. 상기 발광기에서 발생되는 빛은 적외선을 사용함이 바람직하다. 필요에 따라 자외선 또는 엑스레이 등이 사용될 수 있다. 상기 발광기는 레이저를 구비할 수 있다. 레이저는 패널 일면에 선형 빛을 발진하며, 레이저의 빛이 패널표면을 스캔하며, 외부표면의 결점에 의해 빛의 굴절을 발생시키며, 상기 빛의 굴절을 카메라가 인지하여 결점의 위치 및 크기를 확인할 수 있다. 상기 적외선 또는 자외선의 경우, 패널의 타면에 빛을 발진한다. 패널의 일면은 결점에 의해 빛의 확산 또는 굴절들이 발생되며, 카메라는 이러한 빛의 변화를 촬영하여 결점의 위치 및 크기를 확인할 수 있다. 다른 실시예로서, 실리콘웨이퍼의 경우, 패널의 타면에 근적외선을 발진하며, 패널의 일면은 카메라를 이용하여 결점을 확인한다. 1단계로 스캔카메라에 의해 패널전체면적을 스캔하며, 패널의 결점을 확인한다. 그리고 나서 리뷰카메라가 결점의 위치에 위치하여 결점을 촬영한다. 촬영과정 중 초점조절과정이 이루어진다. 상기 초점조절과정은 초점조절용 엑츄에이터의 작동으로 초점을 조정할 수 있다. 라인카메라는 스캔시간을 단축하거나, 스캔의 정확성을 확보하기 위해 복수의 카메라를 이용하며, 상기 복수의 카메라는 직선으로 나열됨이 바람직하다.
[실시예 9-1] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 5-1에 있어서, 상기 패널보관부는 일측에 도어가 형성되며, 함체 형상의 보관케이스(410);를 포함한다.
[실시예 9-2] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 9-1에 있어서, 상기 보관케이스 내부에 형성되는 항온항습기(420);를 포함한다.
[실시예 9-3] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 9-1에 있어서, 상기 보관케이스 내부에 형성되는 먼지흡수기(430);를 포함한다.
본 발명은 패널보관부에 대한 것이며, 상기 패널보관부 내부에는 보정용 패널이 안착된다. 상기 보정용 패널은 필요에 따라 인출되어 보정용으로 사용된다. 따라서 별도의 보관케이스 내부에 수용된다. 상기 보관케이스는 함체형상이며, 밀폐된 구조를 가지며, 도어가 형성된다. 즉, 상기 도어는 보관용 패널의 유입유출시에만 개폐되는 특징을 가진다. 보관케이스는 별도의 항온항습기 및 먼지흡수기를 장착한다. 상기 보관케이스의 보정용 패널은 주기적인 사용이 이루어지므로 쉽게 변형될 수 있다. 변형된 보정용 패널은 보정값에 오류를 발생시킬 수 있다. 이를 해결하기 위해 보관케이스 내부는 보정용 패널의 변형을 감지하는 변형감지장치를 장착할 수 있다.
[실시예 10-1] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 5-1에 있어서, 상기 패널안착부는 복수로 형성되며, 패널의 측면을 고정하는 클램프(210);를 포함한다.
[실시예 10-2] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 10-1에 있어서, 상기 클램프는 3개로 형성되는 것;을 포함한다.
[실시예 10-3] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 10-1에 있어서, 상기 클램프는 폴리머 재질로 형성되는 것;을 포함한다.
[실시예 10-4] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 10-1에 있어서, 상기 클램프는 엑츄에이터(220)에 의해 직선으로 작동되는 것;을 포함한다.
[실시예 10-5] 본 발명은 패널검사용 보정장치에 대한 발명이며, 실시예 10-4에 있어서, 상기 클램프는 작동과정 및 검사과정 중 체결력을 측정하는 로드셀(230);을 포함한다.
본 발명의 패널안착부는 검사용패널 및 보정용 패널을 안착하는 장치이다. 패널은 원판 형상이므로 외주연을 클램핑한다. 3개의 클램프로 고정함이 바람직하며, 변형방지를 위해 폴리머로 형성됨이 바람직하다. 상기 플램프는 각각 로드셀을 장착한다. 따라서, 패널장력을 균일한 위치에 분배되도록 한다. 이는 패널의 부분변형을 방지하기 위함이다. 상기 클램프는 작동으로 작동되며, 엑츄에이터에 의해 고정된다.
[실시예 11-1] 본 발명은 패널 검사장치의 보정방법에 대한 발명이며, 구체적으로 패널안착부에 보정용 패널을 장착하는 장착단계(S100);, 상기 장착단계 후, 스캔카메라에 의해 보정용 패널의 전체를 스캔하여 피듀셜마크 및 인위적결점의 위치 및 수량을 인식하는 인식단계(S200);, 인식단계 후, 리뷰카메라에 의해 피듀셜마크 및 인위적결점을 촬영하는 촬영단계(S300);, 상기 촬영단계 후, 피듀셜마크 및 인위적결점의 영상정보를 저장하는 저장단계(S400);, 상기 저장단계 후, 영상정보 및 기준정보를 비교하는 비교단계(S500);, 상기 비교단계 후, 보정장치의 엑츄에이터 좌표를 오프셋하는 오프셋단계(S600);를 포함하는 구성으로 이루어진다.
[실시예 11-2] 본 발명은 패널 검사장치의 보정방법에 대한 발명이며, 실시예 11-1에 있어서, 상기 정렬단계 후, 상기 보정용 패널을 보관케이스에 보관하는 보관단계(S700);를 포함한다.
[실시예 11-3] 본 발명은 패널 검사장치의 보정방법에 대한 발명이며, 실시예 11-2에 있어서, 상기 보관단계 중, 보정용패널의 변형여부를 감지하는 감지단계(S800);를 포함한다.
[실시예 11-4] 본 발명은 패널 검사장치의 보정방법에 대한 발명이며, 실시예 11-1에 있어서, 상기 저장단계는 리뷰카메라의 이동량 또는 보정용패널의 이동량을 계산하는 계산단계(S410);를 포함한다. 상기 촬영단계 중 리뷰카메라의 초점을 조절하는 초점조절단계(S310);를 포함한다.
[부호의 설명]
100 : 패널 110 : 피듀셜마크
120 : 도형 130 : 인공결함
131 : 제1인공결함 132 : 제2인공결함
133 : 제3인공결함 200 : 패널안착부
210 : 클램프 220 : 엑츄에이터
230 : 로드셀 300 : 제1이송부
400 : 패널보관부 401 : 제1패널보관부
402 : 제2패널보관부 410 : 보관케이스
420 : 항온항습기 430 : 먼지흡수기
500 : 검사부 510 : 카메라
511 : 스캔카메라 512 : 리뷰카메라
513 : 초점조절용 액츄에이터 520 : 자력측정기
530 : 발광기 610 : 메인케이스
620 : 항온항습기 630 : 먼지흡수기
640 : 제진기 700 : 제어부
800 : 제2이송부

Claims (11)

  1. 보정용 패널(100)에 있어서,
    판재형상이며, 양면이 평행한 패널(100);
    상기 패널 일면 또는 양면에 형성된 피듀셜마크(110);,
    상기 패널의 내부 또는 표면에 형성된 인공결함(130);을 포함하는 보정용 패널.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 피듀셜마크는 하나 또는 복수의 직선으로 형성되는 것;을 포함하는 보정용 패널.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 피듀셜마크는 도형(120)으로 형성되는 것;을 포함하는 보정용 패널.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 인공결함은 패널표면에 형성되며, 홈형상으로 이루어진 제1인공결함(131);을 포함하는 보정용 패널.
  5. 패널검사용 보정장치에 있어서,
    실시예 1의 보정용 패널(100)이 안착되는 패널안착부(200);,
    상기 패널안착부를 이송시키는 제1이송부(300);,
    상기 보정용 패널을 보관하는 패널보관부(400);,
    상기 이송부에 인접 설치되며, 보정용 패널을 검사하는 검사부(500);를 포함하는 패널검사용 보정장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 검사부의 신호를 인지하며, 상기 이송부의 작동을 제어하는 제어부(700);를 포함하는 패널검사용 보정장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 검사부 및 상기 패널안착부를 이동하며, 상기 보정용패널을 이송하는 제2이송부(800);를 포함하는 패널검사용 보정장치.
  8. 청구항 5에 있어서,
    상기 검사부는 상기 패널 일면에 위치하며, 패널 표면을 촬영하는 카메라(510);를포함하는 패널검사용 보정장치.
  9. 청구항 5에 있어서,
    상기 패널보관부는 일측에 도어가 형성되며, 함체 형상의 보관케이스(410);를 포함하는 패널검사용 보정장치.
  10. 청구항 5에 있어서,
    상기 패널안착부는 복수로 형성되며, 패널의 측면을 고정하는 클램프(210);를 포함하는 패널검사용 보정장치.
  11. 패널 검사장치의 보정방법에 있어서,
    패널안착부에 보정용 패널을 장착하는 장착단계(S100);,
    상기 장착단계 후, 스캔카메라에 의해 보정용 패널의 전체를 스캔하여 피듀셜마크 및 인위적결점의 위치 및 수량을 인식하는 인식단계(S200);,
    인식단계 후, 리뷰카메라에 의해 피듀셜마크 및 인위적결점을 촬영하는 촬영단계(S300);,
    상기 촬영단계 후, 피듀셜마크 및 인위적결점의 영상정보를 저장하는 저장단계(S400);,
    상기 저장단계 후, 영상정보 및 기준정보를 비교하는 비교단계(S500);,
    상기 비교단계 후, 보정장치의 엑츄에이터 좌표를 오프셋하는 오프셋단계(S600);를 포함하는 패널검사장치의 보정방법.
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