WO2015093808A1 - 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 및 그것을 이용한 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법 - Google Patents

카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 및 그것을 이용한 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법 Download PDF

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Abstract

렌즈의 광축을 원활하게 조정할 수 있는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립장치와 그 방법이 개시된다. 개시된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립장치는 이미지센서가 설치된 기판을 지지하는 지지블럭과, 이미지센서의 틸트 상태를 측정하는 변위센서와, 렌즈홀더를 기판에 체결시키는 볼트체결기 및, 변위센서의 측정 결과에 따라 틸트 상태를 보정할 수 있도록 볼트체결기에 의한 렌즈홀더의 체결 정도를 제어하는 컨트롤러를 포함한다. 이러한 구성의 렌즈 광축 정렬 및 조립장치를 이용하면 렌즈의 광축을 신속하고 정밀하게 조정하여 조립할 수 있게 되며, 따라서 이를 이용하면 선명하고 깨끗한 이미지의 촬영이 보장된 고성능의 카메라 모듈을 구현할 수 있다.

Description

카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 및 그것을 이용한 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법
본 발명은 차량의 전후방 감시용 또는 자동 주행의 모니터링용으로 사용되는 카메라 모듈의 조립 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 카메라 모듈에 구비되는 렌즈의 광축을 효과적으로 정렬시켜서 조립할 수 있도록 개선된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근에는 주차 가이드나 주변 감시 등을 위해 카메라를 차량에 장착하는 경우가 많아지고 있다. 또한, 주행 중 차선 유지 여부나 표지판 인식 등과 같은 자동 주행 기능을 수행하기 위한 모니터링용으로도 카메라를 장착하려는 수요가 늘어나고 있다.
이와 같이 차량에 장착되는 카메라는 일반적으로 이미지센서와 렌즈 등이 조립된 하나의 모듈 형태로 공급되는데, 이때 렌즈와 이미지센서 간의 광축이 정밀하게 정렬되지 못하면 원하는 고성능 카메라의 기능을 구현해내기가 어렵다.
그러므로, 신뢰도가 높은 고성능의 카메라 모듈을 구현하기 위해서는 모듈의 조립 시에 렌즈의 광축을 정밀하게 조정할 수 있어야 하며, 따라서 이러한 정밀 조정을 포함한 카메라 모듈의 조립을 효율적으로 원활하게 수행할 수 있게 도와주는 조립 장치와 방법이 요구되고 있다.
본 발명은 렌즈의 광축을 정밀하게 조정하면서 카메라 모듈을 효율적으로 조립할 수 있도록 개선된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치와 그 방법, 그리고 이에 의하여 제조된 카메라 모듈을 제공하는데 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면은 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립장치에 관한 것이다. 본 발명의 일면에 따른 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립장치는, 이미지센서가 설치된 기판을 지지하는 지지블럭; 상기 이미지센서의 틸트 상태를 감지하여, 센서 틸트 정보를 생성하는 변위센서; 적어도 3개의 볼트들에 의하여 상기 기판에 체결되는 렌즈홀더; 상기 렌즈홀더를 상기 기판에 체결시키기 위하여, 상기 적어도 3개의 볼트들을 조이도록 구동되는 볼트체결기; 및 상기 볼트체결기를 제어하는 컨트롤러를 구비한다. 상기 컨트롤러는 상기 이미지 센서의 틸트 상태를 보정하기 위하여, 상기 센서 틸트 정보에 의하여 제어되어, 상기 지지블럭의 축을 제어함과 함께 상기 적어도 3개의 볼트들을 서로 다른 조임 정도로 조이도록 상기 볼트체결기를 제어한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일면은 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법에 관한 것이다. 본 발명의 다른 일면에 따른 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법은, 이미지센서가 설치되고, 렌즈 홀더가 체결된 기판을 지지블럭에 셋팅하는 지지블럭 셋팅 단계로서, 상기 렌즈 홀더는 홀더홀을 통하여 상기 이미지센서의 액티브 영역이 노출되도록 상기 기판에 체결되는 상기 지지블럭 셋팅 단계; 상기 이미지센서의 틸팅을 보정하기 위하여, 상기 홀더홀을 통하여 노출되는 상기 이미지센서의 액티브 영역의 복수개의 지점을 변위 센서로 측정하여 센서 틸팅 정보를 생성하고, 컨트롤러가 상기 센서 틸팅 정보에 의하여 상기 지지블럭을 제어하는 센서 틸팅 보정 단계; 상기 틸팅 보정 단계가 수행된 후, 접착제가 도포된 상기 렌즈 홀더에 렌즈가 설치된 렌즈 바렐을 삽입하는 렌즈 바렐 삽입단계; 및 상기 렌즈 바렐 삽입 단계가 수행된 후, 상기 렌즈의 중앙을 상기 이미지센서의 기준점에 정렬시키기 위하여 수행되는 렌즈 바렐 제어 단계로서, 상기 컨트롤러가 렌즈 이미지에 의하여 상기 렌즈 바렐을 제어하도록 구동되는 상기 렌즈 바렐 제어 단계로서, 상기 렌즈 이미지는 상기 렌즈를 통하여 상기 이미지 센서에 감지되는 상기 테스트 차트에 대한 이미지인 상기 렌즈 바렐 제어 단계를 구비한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일면도 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립방법에 관한 것이다. 본 발명의 또 다른 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립방법은 카메라 모듈을 히팅하는 모듈 히팅 단계로서, 상기 카메라 모듈은 이미지센서가 설치된 기판, 렌즈가 설치된 렌즈 바렐, 그리고, 상기 기판과 상기 렌즈 바렐 사이에 결합되는 렌즈홀더를 포함하되, 상기 렌즈 바렐은 히팅에 의하여 경화되는 접착제를 통하여 상기 렌즈홀더와 결합되는 상기 모듈 히팅단계; 히팅된 상기 카메라 모듈을 지지블럭에 셋팅하는 지지블럭 셋팅 단계; 히팅된 상기 카메라 모듈의 렌즈 바렐의 단부 상의 복수개의 지점을 변위 센서로 측정하여 바렐 틸팅 정보를 생성하고, 컨트롤러가 상기 바렐 틸팅 정보에 의하여 상기 지지블럭을 제어하는 구동되는 바렐 틸팅 보정 단계; 및 상기 바렐 틸팅 보정 단계가 수행된 후, 판별 이미지를 통하여 상기 컨트롤러에서 상기 카메라 모듈의 광축 불량 여부를 판별하는 판별단계로서, 상기 판별 이미지는 상기 이미지센서에 감지된 테스트 차트의 이미지인 상기 판별 단계를 구비한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 일면은 상기 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립방법에 의하여 제조된 카메라 모듈이다.
상기와 같은 구성의 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치와 조립방법에 의하면, 렌즈의 광축을 신속하고 정밀하게 조정하면서 조립할 수 있으므로, 고성능의 카메라 모듈을 효율적으로 구현할 수 있다.
본 발명에서 사용되는 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명에 따른 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치로 조정되는 카메라 모듈의 구조를 도시한 분리사시도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치를 도시한 도면들이다.
도 4는, 이미지 센서 틸팅 보정을 위하여, 도 2 및 도 3에 도시된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 중 변위센서로 이미지 센서의 틸트 상태를 측정하는 과정을 도시한 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 카메라 모듈의 단면 구조를 도시한 도면이다.
도 6은, 렌즈 바렐 틸팅 보정을 위하여, 도 2 및 도 3에 도시된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 중 변위 센서로 이미지 센서의 틸트 상태를 측정하여 보정하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은, 렌즈 바렐 틸팅 보정을 위하여, 도 2 및 도 3에 도시된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 중 비전 카메라로 이미지 센서의 기준점과 테스트 차트의 기준점을 측정하여 일치시키도록 보정하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은, 렌즈 바렐 틸팅 보정을 위하여, 도 2 및 도 3에 도시된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 중 렌즈 바렐에 설치된 렌즈의 중앙점을 이미지 센서의 기준점에 일치시키는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 렌즈 바렐 틸팅 보정을 수행하기 위한 본 발명의 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법을 나타내는 순서도이다.
도 10은, 접착제 경화 틸팅 보정을 위하여, 도 2 및 도 3에 도시된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 중 변위 센서로 접착제 히팅후의 렌즈 바렐의 틸트 상태를 측정하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 11은, 접착제 경화 틸팅 보정을 위하여, 도 2 및 도 3에 도시된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 중 렌즈 바렐에 설치된 렌즈의 중앙점을 테스트 차트의 기준점에 일치시키는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는, 접착제 경화 틸팅 보정을 위하여, 도 2 및 도 3에 도시된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 중 이미지 센서로 테스트 차트를 측정하여 카메라 모듈의 불량 여부를 판별하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 접착제 경화 틸팅 보정을 위한 본 발명의 일실시예에 따른 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법을 나타내는 순서도이다.
도 14 내지 도 17은 렌즈바렐을 렌즈홀더에 설치하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 접착제 경화 틸팅 보정을 위한 본 발명의 다른 일실시예에 따른 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법을 나타내는 순서도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 잇점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다. 각 도면을 이해함에 있어서, 동일한 부재는 가능한 한 동일한 참조부호로 도시하고자 함에 유의해야 한다. 또한, 하기의 설명에서, 구체적인 처리흐름과 같은 많은 특정 상세들은 본 발명의 보다 전반적인 이해를 제공하기 위해 기술된다. 그러나, 이들 특정 상세들 없이도, 본 발명의 실시될 수 있다는 것은 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명한 사실이다. 그리고, 도면에서 여러 요소들을 명확하게 표현하기 위하여 길이, 폭, 두께 등을 확대 및/또는 축소하여 나타낼 수 있으며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 기술은 생략된다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
본 발명은, 도 1에 도시된 바와 같은 카메라 모듈(10)을 조립하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치 및 그것을 이용한 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법에 관한 것이다.
상기 카메라 모듈(10)은 이미지센서(14)가 부착된 기판(15)과, 렌즈 홀더(13) 및 렌즈 바렐(11)을 포함하여 구성된다.
바람직하기로는, 상기 기판(15)은 신호, 데이터, 정보 등을 전송할 수 있도록 배선된 기판이다. 상기 렌즈 홀더(13)는 상기 기판(15)에 체결되며, 상기 렌즈 바렐(11)은 렌즈(12)를 탑재하여 상기 렌즈 홀더(13)에 결합된다.
이렇게 조립된 카메라 모듈(10)의 광축이 아주 잘 정렬이 된 상태라면 렌즈의 초점이 이미지센서 상의 정확한 위치에 맺히게 되지만, 광축 정렬 오차가 발생한 상태라면 렌즈의 초점이 엉뚱한 곳에 맺히게 된다..
이와 같이 광축 정렬 오차의 발생 요인으로, 다음의 3가지 틸팅이 포함된다.
첫째 요인은 '이미지 센서 부착 틸팅'으로, 기판(15)에 도전성 접착제(1)를 매개로 이미지센서(14)가 부착될 때 발생된다.
둘째 요인은 '렌즈 바렐 결합 틸팅'으로, 이미지 센서(14)가 설치된 기판(15)에 체결된 렌즈 홀더(13)에 렌즈 바렐(11)이 결합할 때 발생된다.
셋째 요인은 '접착제 경화 틸팅'으로, 렌즈홀더(13)와 렌즈 바렐(11) 사이의 접착제를 히팅에 의하여 경화시킬 때 발생된다.
계속하여, 광축 정렬 오차를 보정하면서 카메라 모듈을 조립하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치의 전체적 구성을 살펴본다.
도 2 및 도 3은 본 실시예의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치의 전체적인 구성을 도시한 것이다. 여기서, 도 2는 카메라모듈(10)에 어안렌즈가 장착된 경우의 상황을 도시한 것이고, 도 3은 표준렌즈가 장착된 경우의 상황을 도시한 것이다.
참조부호 100은 상기 이미지센서(14)로 시험 촬영해볼 테스트 차트 시스템을 나타낸다. 상기 테스트 차트 시스템(100)에 이미지센서(14)에 의하여 감지될 테스트 패턴을 가지는 테스트 차트가 설치된다.
참조부호 200은 대상체의 틸트 상태를 감지하여 여러가지 틸트 정보를 생성하는 변위 센서를 나타낸다. 상기 변위 센서(200)는 카메라 모듈(10), 이미지 센서(14), 렌즈 바렐(11)의 단부 등의 틸트 상태를 감지하여 틸트 정보를 생성할 수 있다. 바람직하기로는, 상기 변위 센서(200)는 비접촉식 센서로서, 빛의 파장대를 이용하여 변위를 정밀하게 측정하는 공초점 변위 센서이다. 하지만, 상기 변위 센서(200)는 소정의 속도로 선 또는 면 전체를 이동하면서 변위를 측정하는 2차원 또는 3차원 변위 센서로 구현될 수도 있다.
참조부호 300은 상기 렌즈홀더(13)에 끼워져 결합되는 렌즈 바렐(11: 도 1 참조)를 클램핑하여 렌즈홀더(13)의 결합면 상에서 미소 간격 유동시키며 위치를 조정해주는 렌즈클램퍼를 나타내며, 참조부호 210은 이미지센서(14)의 수평방향 쉬프트 정도 등을 확인하기 위한 비전카메라를 나타낸다.
참조부호 400은 볼트 체결기를 나타낸다. 상기 볼트 체결기(400)는 상기 렌즈홀더(13)를 상기 기판(15)에 체결시킨다.
참조부호 500은 상기 렌즈 바렐(11)을 렌즈홀더(13)에 결합시키기 위해 렌즈홀더(13)의 일면에 접착제를 도포해주는 디스펜서를 나타내며, 참조부호 510은 그 접착제에 자외선을 조사하여 경화시키는 UV조사기를 나타낸다.
참조부호 600은 지지블럭(800)에 탑재된 카메라 모듈(10)에 조명을 비춰서 렌즈(12)의 오염이나 크랙 결함과 같은 육안 상태를 쉽게 확인할 수 있도록 해주는 LED조명기를 나타낸다. 또한, 참조부호 600의 LED 조명기에 의하여, 상기 육안 상태의 확인과 함께, 쉐이딩 및 광축에 대한 테스트도 가능하게 된다.
참조부호 700은 카메라 모듈(10)과 근거리에 설치된 테스트 차트 시스템의 패턴(101)에 초점이 잘 맞도록 상기 렌즈(12)의 초점거리를 줄여 주는 콜리메이터렌즈를 나타낸다.
참조부호 800은 조립되는 대상체가 탑재되는 지지블럭을 나타낸다. 지지블럭(800)은 틸트의 조절이 가능하다.
참조부호 900은 본 발명의 구성요소들을 전체적으로 제어하는 컨트롤러를 나타타낸다.
계속하여 본 발명의 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치를 이용하여 광축 틀어짐을 유발하는 상기 3가지 틸팅을 보정하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법이 차례로 기술된다.
(이미지 센서 부착 틸팅 보정)
먼저, 이미지 센서 부착 틸팅이 발생되는 경우, 이미지센서(14)의 정중앙을 기준으로 삼은 광축도 기울어지기 때문에, 그 정중앙의 수직선을 기준으로 렌즈홀더(13) 및 렌즈 바렐(11)을 설치하면 렌즈(12)의 중앙과 이미지센서(14)의 중앙은 틀어지게 된다.
이러한, '이미지 센서 부착 틸팅'의 보정을 위한 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치에서의 주요 구성 요소들의 작용을 도 2 및 도 3을 참조하여 기술하면, 다음과 같다.
상기 지지블럭(800)은 이미지센서(14)가 부착된 기판(15)을 지지한다. 상기 변위센서(200)는 이미지센서(14)의 틸트 상태가 감지되어 센서 틸트 정보가 생성된다. 렌즈 홀더(13)는 적어도 3개의 볼트(16)들에 의하여 상기 기판(15)에 체결된다. 볼트 체결기(400)는 상기 렌즈홀더(13)를 상기 기판(15)에 체결시키기 위하여, 상기 적어도 3개의 볼트(16)들을 조이도록 구동된다. 컨트롤러(900)는 상기 볼트체결기(400)를 제어한다. 이때, 지지블럭(800)은 틸트의 조절이 가능하다.
즉, 지지블럭(800)에 이미지센서(14)가 부착된 기판(15)이 놓여진다. 그리고, 상기 변위센서(200)에 의하여, 이미지센서(14)의 틸트 상태가 감지되어 센서 틸트 정보가 생성된다. 이때, 상기 컨트롤러(900)는 상기 이미지 센서(14)의 틸트 상태를 보정하기 위하여, 상기 센서 틸트 정보에 의하여 제어되어, 상기 지지블럭(800)의 축을 제어함과 함께 볼트체결기(400)를 제어한다. 이에 따라, 렌즈홀더(13)가 기판(15)에 체결된다.
본 발명의 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치를 이용한 광축 정렬 및 조립 과정은 다음과 같이 진행될 수 있다.
우선, 이미지센서(14)가 부착된 기판(15)을 상기 지지블럭(800) 위에 장착한다. 기판(15) 장착은 자동 또는 수동으로 진행될 수 있다. 이때 기판(15)의 이미지센서(14)는 중앙이 약간 기울어진 상태일 수 있는데, 이 틸트 상태를 변위센서(200)가 측정하게 된다.
즉, 도 4에 도시된 바와 같이 변위센서(200)가 지지블럭(800) 위로 이동해서 이미지센서(14)의 5지점 또는 그 이상의 지점에 대해 평탄도 특성을 측정하며, 컨트롤러(900)는 이 정보로부터 이미지센서(14)의 틸트 상태를 파악한다.
이와 같이 이미지센서(14)의 틸트 상태가 파악되면, 그 틸트 상태를 감안하여 렌즈홀더(13)를 체결시키는 공정이 이어진다. 즉, 컨트롤러(900)가 상기 센서 틸트 정보에 따라 지지블럭(800)의 축의 제어를 통한 틸트를 조절함과 함께 볼트체결기(400)를 제어하여 볼트(16)을 적절하게 조여, 상기 렌즈 홀더(13)를 상기 기판(15)에 체결하게 된다.
여기서 볼트(16)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 적어도 3개소에 체결되는데, 이 복수의 볼트(16)가 체결되는 조임 정도를 서로 달리함으로써 이미지센서(14)의 틸트 상태를 보정한다. 다시 말해서, 복수 볼트(16)의 조임 정도를 달리하면 상대적으로 더 세게 조여진 부위와 덜 세게 조여진 부위에서 렌즈홀더(13)와 기판(15) 간의 간격이 미세하게 달라지게 되므로, 변위센서(200)에서 측정된 이미지센서(14)의 틸트 정도를 반영하여 이 조임 정도를 조정하면 광축의 틸트 상태를 보정할 수 있게 된다.
계속하여 렌즈 바렐 결합 틸팅 보정이 기술된다.
(렌즈 바렐 결합 틸팅 보정)
'렌즈 바렐 결합 틸팅'의 보정을 위한 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치에서의 주요 구성 요소들의 작용을 도 2 및 도 3을 참조하여 기술하면, 다음과 같다.
상기 지지블럭(800)에는 이미지센서(14)가 설치되고, 렌즈 홀더(13)가 체결된 기판(15)이 셋팅된다. 이때, 상기 지지블럭(800)은 틸트, 회전(rotation) 및 쉬프트(shift)의 조절이 가능하다. 그리고, 상기 렌즈 홀더(13)는 홀더홀(13a)을 통하여 상기 이미지센서(14)의 액티브 영역(14a)이 노출되도록 상기 기판(15)에 체결된다.
상기 변위 센서(200)는, 도 6에 도시되는 바와 같이, 상기 기판(15)에 설치된 상기 이미지센서(14)의 틸트 상태를 감지하여 센서 틸팅 정보를 생성한다.
이때, 상기 변위 센서(200)는, 상기 이미지 센서(14)에서 실제 이미지가 촬상되는 액티브 영역(14a) 상의 복수개의 지점(14b)의 변위를 측정하여 상기 이미지센서(14)의 틸트 상태를 감지한다.
상기 컨트롤러(900)는, 상기 이미지 센서(14)의 틸트 상태를 보정하기 위하여, 상기 센서 틸팅 정보에 의하여 바람직하기로는, 자동으로 상기 지지블럭(800)을 제어하도록, 궁극적으로는 상기 이미지센서(14)를 틸팅시키도록 구동된다.
상기 비전 카메라(210)는, 도 7과 같이, 상기 렌즈 홀더(13)의 홀더홀(13a)를 통하여 '비전 이미지'를 확인한다. 이때, 상기 '비전 이미지'는 상기 이미지센서(14)의 이미지이다.
이 경우, 상기 컨트롤러(900)는, 상기 이미지 센서의 기준점(P14, 도 7)과 상기 테스트 차트의 기준점(P110, 도 7)을 일치시키기 위하여, 상기 비전 카메라(210)에 의하여 확인되는 상기 '비전 이미지'에 의하여 바람직하기로는, 자동으로 상기 지지블럭(800)(궁극적으로 상기 이미지 센서(14)) 또는 상기 테스트 차트(110)를 쉬프트하도록 구동된다.
이때, 상기 이미지 센서(14)의 기준점(P14)은 상기 이미지 센서(14)의 중앙점이며, 상기 테스트 차트(110)의 기준점(P110)은 상기 테스트 차트의 중앙점이다.
상기 렌즈클램퍼(300)는 렌즈(12)가 설치된 렌즈 바렐(11)을 클램핑하여 유동시킨다. 이때, 렌즈클램퍼(300)는 상기 컨트롤러(900)에 의하여 제어될 수 있다.
즉, 도 8에서와 같이, 상기 렌즈 바렐(11)이 상기 렌즈홀더(13)에 체결된 상태에서, 상기 렌즈(12)를 통하여 상기 이미지센서(14)에 의하여 감지되는 상기 테스트 차트에 대한 이미지인 '렌즈 이미지'가 생성된다.
이 경우, 상기 컨트롤러(900)는, 상기 이미지센서(14)의 기준점(P14)에 대하여 상기 렌즈(12)의 중앙점을 일치시키기 위하여, 상기 '렌즈 이미지'에 의하여 자동으로 상기 렌즈 바렐(11)을 제어하도록 구동된다.
도 9는 '렌즈 바렐 결합 틸팅'의 보정을 위한 본 발명의 일실시예에 따른 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법을 나타내는 순서도이다.
도 9을 참조하면, '렌즈 바렐 결합 틸팅'의 보정을 위한 본 발명의 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법은 지지블럭 셋팅 단계(S110) 및 틸팅 보정 단계(S120)을 구비하며, 바람직하기로는, 기준 정렬 단계(S130), 렌즈 바렐 삽입 단계(S140) 및 렌즈 바렐 제어 단계(1S50)를 구비한다.
상기 지지블럭 셋팅 단계(S110)에서는, 이미지센서(14)가 설치되고, 렌즈 홀더(13)가 체결된 기판(15)이 지지블럭(800)에 셋팅된다. 이때, 상기 렌즈 홀더(13)는 홀더홀(13a)을 통하여 상기 이미지센서(14)의 액티브 영역(14a)이 노출되도록 상기 기판(15)에 체결됨은 전술한 바와 같다.
상기 센서 틸팅 보정 단계(S120)에서는, 상기 이미지센서(14)의 액티브 영역(14a)의 복수개의 지점을 변위 센서(200)로 측정하여 센서 틸팅 정보가 생성된다. 그리고, 상기 이미지센서(14)의 틸팅을 보정하기 위하여, 상기 컨트롤러(900)가 상기 센서 틸팅 정보에 상기 지지블럭(800)을 제어하도록 구동된다.
상기 기준 정렬 단계(S130)에서, 테스트 차트(110)의 기준점(P110)과 상기 이미지센서(14)의 기준점(P14)을 일치시키기 위하여, 상기 컨트롤러(900)가 '비전 이미지'에 의하여 상기 지지블럭(800) 또는 상기 테스트 차트(110)를 쉬프트하도록 제어된다. 이때, 상기 '비전 이미지'는 비전 카메라(210)에 의하여 확인되는 상기 이미지센서(14)의 이미지임은 전술한 바와 같다.
그리고, 상기 이미지 센서(14)의 기준점(P14)은 상기 이미지 센서(14)의 중앙점이며, 상기 테스트 차트(110)의 기준점(P110)은 상기 테스트 차트(110)의 중앙점인 것이 바람직하다.
상기 렌즈 바렐 삽입단계(S140)에서는, 접착제가 도포된 상기 렌즈 홀더(13)에 렌즈(12)가 설치된 렌즈 바렐(11)이 삽입된다.
그리고, 상기 기준 정렬 단계(S130) 및 상기 렌즈 바렐 삽입 단계(S140)가 수행된 후에 수행되는 상기 렌즈 바렐 제어 단계(S150)에서는, 상기 렌즈(12)의 중앙을 상기 이미지센서(14)의 기준점(P14)에 정렬시키기 위하여, 상기 컨트롤러(900)가 '렌즈 이미지'에 의하여 상기 렌즈 바렐(11)을 제어하도록 구동된다. 이때, 상기 '렌즈 이미지'는 상기 렌즈(12)를 통하여 상기 이미지 센서(14)에 감지되는 상기 테스트 차트(110)에 대한 이미지임은 전술한 바와 같다.
이후, VU 큐어링 단계(S160)에서는, 상기 렌즈(12)의 중앙이 상기 이미지센서(14)의 기준점(P14)에 정렬된 후, 접착제에 자외선이 조사되어 가경화된다.
이와 같은 과정을 통해 카메라 모듈(10)을 조립하면 '렌즈 바렐 결합 틸팅'이 보정되고, 또한, 렌즈(12)와 이미지센서(14) 간의 광축이 신속하면서도 정확하게 정렬될 수 있게 된다.
이어서 접착제 경화 틸팅 보정이 기술된다.
(접착제 경화 틸팅 보정)
'접착제 경화 틸팅'은 렌즈 바렐(11)을 렌즈 홀더(13)에 결합시키기 위하여, 상기 렌즈홀더(13)와 렌즈 바렐(11) 사이의 접착제를 히팅에 의하여 경화시킬 때, 발생된다. 즉, 경화된 접착제 두께의 불균일성으로 인하여, 궁극적으로 렌즈(12)의 광축이 틀어질 수 있다.
상기 '접착제 경화 틸팅'의 보정을 위한 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치에서의 주요 구성 요소들의 작용을 도 2 및 도 3을 참조하여 기술하면, 다음과 같다.
상기 지지블럭(800)에는 카메라 모듈(10)에 셋팅된다. 상기 카메라 모듈(10)은 이미지센서(14)가 설치된 기판(15), 렌즈(12)가 설치된 렌즈 바렐(11), 그리고, 상기 기판(15)과 상기 렌즈 바렐(11) 사이에 결합되는 렌즈 홀더(13)를 포함한다.
상기 렌즈 홀더(13)는 홀더홀(13a)을 통하여 상기 이미지센서(14)의 액티브 영역(14a)이 노출되도록 상기 기판(15)에 체결된다.
그리고, 상기 렌즈 바렐(11)은 히팅에 의하여 경화되는 접착제를 통하여 상기 렌즈홀더(13)와 결합된다.
상기 변위 센서(200)는, 도 10에 도시되는 바와 같이, 접착제의 히팅후에 상기 렌즈 바렐(11)의 틸팅 상태를 감지하여 바렐 틸팅 정보를 생성한다.
이때, 상기 변위 센서(200)는, 상기 변위 센서(200) 쪽의 상기 렌즈 바렐(11)의 단부(11a)의 표면 상의 복수개의 지점(11b)의 변위를 측정하여 상기 렌즈 바렐(11)의 틸트 상태를 감지한다.
상기 컨트롤러(900)는, 상기 접착제의 히팅후의 상기 렌즈 바렐(11)의 틸트 상태를 보정하기 위하여, 상기 바렐 틸팅 정보에 의하여 바람직하기로는, 자동으로 상기 지지블럭(800)을 제어하여 상기 렌즈 바렐(11)을 틸팅시키도록 구동된다.
상기 비전 카메라(210)는, 도 11과 같이, 상기 접착제의 히팅 후에, 상기 렌즈(12)를 통하여 '히팅 비전 이미지'를 확인한다. 이때, 상기 '히팅 비전 이미지'는 상기 접착제의 히팅 후의 상기 렌즈(12)의 이미지이다.
이 경우, 상기 컨트롤러(900)는 상기 렌즈의 기준점(P12)과 상기 테스트 차트의 기준점(P110)을 일치시키기 위하여, 상기 비전 카메라(210)에 의하여 확인되는 상기 '히팅 비전 이미지'에 의하여 바람직하기로는, 자동으로 상기 지지블럭(800)(궁극적으로 상기 렌즈(12)) 또는 상기 테스트 차트(110)를 쉬프트하도록 구동된다.
이때, 상기 렌즈(12)의 기준점(P12)은 상기 렌즈(12)의 중앙점이며, 상기 테스트 차트(110)의 기준점(P110)은 상기 테스트 차트의 중앙점이다.
또한, 상기 이미지 센서(14)는, 도 12에 도시되는 바와 같이, 상기 접착제의 히팅 후에, 상기 렌즈(12)를 통하여 '판별 이미지'를 확인한다. 이때, 상기 '판별 이미지'는 접착제의 히팅후에 상기 렌즈(12)를 통과하여 상기 이미지센서(14)에 감지된 상기 테스트 차트(110)의 이미지이다.
이 경우, 상기 컨트롤러(900)는, 상기 '판별 이미지'를 통하여 상기 카메라 모듈(10)의 광축 불량 여부를 판별한다.
이때, 상기 카메라 모듈(10)의 광축 불량 여부는 상기 '판별 이미지'를 소정의 기준 이미지와 비교하여 판별될 수도 있으며, 또한, 상기 '판별 이미지'의 광축 측정값들을 소정의 광축 기준값들과 비교하여 판별될 수도 있으며, 그 밖의 다양한 방법으로 판별될 수도 있다.
계속하여, '접착제 경화 틸팅'을 보정하기 위한 본 발명의 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법이 기술된다. 참고로, '접착제 경화 틸팅'을 보정하기 위한 본 발명의 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법은 카메라 모듈의 불량여부 판별을 통하여 수행될 수 있다.
도 13은 접착제 경화 틸팅 보정을 위한 본 발명의 일실시예에 따른 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법을 나타내는 순서도이다.
도 13을 참조하면, 상기 모듈 히팅단계(S205)에서는, 카메라 모듈(10)이 히팅된다. 상기 카메라 모듈(10)은 이미지센서(14)가 설치된 기판(15), 렌즈(12)가 설치된 렌즈 바렐(11), 그리고, 상기 기판(15)과 상기 렌즈 바렐(11) 사이에 결합되는 렌즈 홀드(13)를 포함한다. 이때, 상기 렌즈 홀더(13)는 홀더홀(13a)을 통하여 상기 이미지센서(14)의 액티브 영역(14a)이 노출되도록 상기 기판(15)에 체결되고, 상기 렌즈 바렐(11)은 히티에 의하여 경화되는 접착제(2)를 통하여 상기 렌즈 홀더(13)와 결합된다.
구체적으로, 도 14에 도시된 바와 같이 디스펜서(500)를 가동하여 렌즈홀더(13)의 일면에 접착제(2)를 도포한다. 이어서, 도 15와 같이 렌즈홀더(13)의 접착면에 렌즈 바렐(11)를 끼워서 결합시킨다. 이때 렌즈 바렐(11)을 렌즈홀더(13)에 끼우는 작업도 자동 또는 수동으로 수행할 수 있으며, 렌즈 바렐(11)을 끼운 후에는 테스트 차트 시스템(100)을 가동하여 이미지센서(14)로 테스트 패턴을 직접 촬영한다.
그리고, 테스트 패턴의 촬영시 만일 광축이 제대로 정렬되지 않은 것으로 확인되면, 상기 렌즈클램퍼(300)로 렌즈 바렐(11)을 클램핑하여 렌즈홀더(13)의 결합면 상에서 미소 간격 유동시키며 틸트 오차를 조정해준다. 이후에 도 16와 같이 UV조사기(510)에서 자외선을 조사하여 접착제(2)를 일차적으로 가경화시킨다.
이와 같이 렌즈 바렐(11)까지 결합된 후에는 상기 LED조명기(600)를 켜서 렌즈(12)의 표면 육안 상태를 확인한다. 또한, 참조부호 600의 LED 조명기에 의하여, 쉐이딩(shading), 결함(defect), 스테인(stain)의 상기 렌즈(12)의 표면 불량과 함께 광축에 대한 테스트도 가능하게 된다.
이어서, 테스트 차트 시스템(100)을 가동하여 이미지센서(14)로 테스트 패턴을 직접 촬영한다.
이렇게 조정이 완료된 후에는 도 17와 같이 히터(520)로 카메라 모듈(10)을 히팅하여 상기 렌즈홀더(13)와 렌즈 바렐(11) 사이의 접착제(2)를 완전히 경화시킨다.
상기 지지블럭 셋팅 단계(S210)에서는, 히팅된 상기 카메라 모듈(10)이 지지블럭(800)에 셋팅된다.
상기 바렐 틸팅 보정 단계(S220)는, 히팅된 상기 카메라 모듈(10)의 상기 렌즈 바렐(11)의 틸팅을 보정하기 위한 단계이다.
상기 바렐 틸팅 보정 단계(S220)에서는, 상기 변위 센서(200) 쪽의 상기 렌즈 바렐(11)의 단부 상의 복수개의 지점(11b)을 상기 변위 센서(200)로 측정하여, '바렐 틸팅 정보'가 생성된다. 그리고, 상기 렌즈 바렐(11)의 틸팅을 보정하기 위하여, 상기 컨트롤러(900)가 상기 '바렐 틸팅 정보'에 의하여 상기 지지블럭(800)을 제어하도록 구동된다.
상기 기준 정렬 단계(S230)에서, 테스트 차트(110)의 기준점(P110)과 상기 렌즈(12)의 기준점(P12)을 일치시키기 위하여, 상기 컨트롤러(900)가 '히팅 비전 이미지'에 의하여 상기 지지블럭(800) 또는 상기 테스트 차트(110)를 쉬프트하도록 제어된다.
그리고, 상기 렌즈(12)의 기준점(P12)은 상기 렌즈(12)의 중앙점이며, 상기 테스트 차트(110)의 기준점(P110)은 상기 테스트 차트(110)의 중앙점인 것이 바람직하다.
그리고, 상기 기준 정렬 단계(S230)가 수행된 후에 수행되는 상기 판별 단계에서는, 상기 컨트롤러(900)가 '판별 이미지'를 통하여 상기 카메라 모듈(10)의 광축 불량 여부를 판별한다. 이때, 상기 '판별 이미지'는 상기 이미지 센서(14)에 감지되는 상기 테스트 차트(110)에 대한 이미지이다.
이와 같은 과정을 거쳐서, 렌즈(12)의 틸트 오차를 컨트롤러(900) 제어 하에 조정하고 최종적으로 정확한 정렬이 이루어졌는지도 재차 확인하므로, 렌즈(12)와 이미지센서(14) 간의 광축을 신속하면서도 정확하게 정렬시킬 수 있게 된다.
또한, 접착제 경화 틸팅 보정은 도 18에서와 같은 본 발명의 다른 일실시예의 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법에 의해서 수행될 수 있다.
도 18를 참조하면, 카메라 모듈(10)의 히팅 전에, 상기 기판(15) 상의 복수개의 지점을 상기 변위 센서(200)로 측정하여, '기판 틸팅 정보'를 생성하는 기판 틸팅 정보 생성 단계(S310)가 수행된다. 여기서, 상기 카메라 모듈(10)은 이미지센서(14)가 설치된 기판(15), 렌즈(12)가 설치된 렌즈 바렐(11), 그리고, 상기 기판(15)과 상기 렌즈 바렐(11) 사이에 결합되는 렌즈 홀드(13)를 포함한다. 이때, 상기 렌즈 홀더(13)는 홀더홀(13a)을 통하여 상기 이미지센서(14)의 액티브 영역(14a)이 노출되도록 상기 기판(15)에 체결되고, 상기 렌즈 바렐(11)은 히티에 의하여 경화되는 접착제(2)를 통하여 상기 렌즈 홀더(13)와 결합된다.
그리고, 상기 모듈 히팅단계(S320)에서는, 상기 렌즈 바렐(11)을 히티에 의하여 경화되는 접착제(2)를 통하여 상기 렌즈 홀더(13)와 결합시키기 위하여, 카메라 모듈(10)이 히팅된다.
상기 지지블럭 셋팅 단계(S330)에서는, 히팅된 상기 카메라 모듈(10)이 지지블럭(800)에 셋팅된다.
상기 기판 틸팅 보정 단계(S340)는, 상기 컨트롤러(900)가 상기 '기판 틸팅 정보'에 의하여 상기 지지블럭(800)을 제어하도록 구동된다.
그리고, 상기 기판 틸팅 보정 단계(S340)가 수행된 후에 수행되는 판별 단계(S350)에서는, 상기 컨트롤러(900)가 '판별 이미지'를 통하여 상기 카메라 모듈(10)의 광축 불량 여부를 판별한다. 이때, 상기 '판별 이미지'는 상기 이미지 센서(14)에 감지되는 상기 테스트 차트(110)에 대한 이미지이다.
이와 같은 과정을 거쳐서, 렌즈(12)의 틸트 오차를 컨트롤러(900) 제어 하에 조정하고 최종적으로 정확한 정렬이 이루어졌는지도 재차 확인하므로, 렌즈(12)와 이미지센서(14) 간의 광축을 신속하면서도 정확하게 정렬시킬 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
본 발명은 카메라 모듈의 렌즈 분야에 이용가능하다.

Claims (17)

  1. 이미지센서가 설치된 기판을 지지하는 지지블럭;
    상기 이미지센서의 틸트 상태를 감지하여, 센서 틸트 정보를 생성하는 변위센서;
    적어도 3개의 볼트들에 의하여 상기 기판에 체결되는 렌즈홀더;
    상기 렌즈홀더를 상기 기판에 체결시키기 위하여, 상기 적어도 3개의 볼트들을 조이도록 구동되는 볼트체결기; 및
    상기 볼트체결기를 제어하는 컨트롤러를 구비하며,
    상기 컨트롤러는
    상기 이미지 센서의 틸트 상태를 보정하기 위하여, 상기 센서 틸트 정보에 의하여 제어되어, 상기 지지블럭의 축을 제어함과 함께 상기 적어도 3개의 볼트들을 서로 다른 조임 정도로 조이도록 상기 볼트체결기를 제어하는 것을 특징으로 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    렌즈가 장착된 렌즈 바렐을 상기 렌즈홀더에 부착하기 위해 상기 렌즈홀더의 일면에 접착제를 도포하는 디스펜서가 더 구비된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 접착제가 도포된 상기 렌즈홀더의 접착면 상에서 상기 렌즈 바렐을 클램핑하여 유동시키는 렌즈클램퍼를 더 포함하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 접착제에 자외선을 조사하여 경화시키는 UV조사기가 더 구비된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 렌즈의 육안 상태를 검사할 수 있도록 균일한 조명을 비춰주기 위한 LED조명기가 더 구비된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 LED 조명기는
    상기 렌즈의 표면 불량 여부 및 광축의 검사를 가능하도록 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 렌즈를 통해 상기 이미지센서에 감지될 테스트 패턴을 가진 테스트 차트 시스템이 더 구비된 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 렌즈와 상기 테스트 차트 시스템 사이에서 상기 렌즈의 초점거리를 줄여주는 콜리메이터렌즈를 더 포함하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 장치.
  9. 이미지센서가 설치되고, 렌즈 홀더가 체결된 기판을 지지블럭에 셋팅하는 지지블럭 셋팅 단계로서, 상기 렌즈 홀더는 홀더홀을 통하여 상기 이미지센서의 액티브 영역이 노출되도록 상기 기판에 체결되는 상기 지지블럭 셋팅 단계;
    상기 이미지센서의 틸팅을 보정하기 위하여, 상기 홀더홀을 통하여 노출되는 상기 이미지센서의 액티브 영역의 복수개의 지점을 변위 센서로 측정하여 센서 틸팅 정보를 생성하고, 컨트롤러가 상기 센서 틸팅 정보에 의하여 상기 지지블럭을 제어하는 센서 틸팅 보정 단계;
    상기 틸팅 보정 단계가 수행된 후, 접착제가 도포된 상기 렌즈 홀더에 렌즈가 설치된 렌즈 바렐을 삽입하는 렌즈 바렐 삽입단계; 및
    상기 렌즈 바렐 삽입 단계가 수행된 후, 상기 렌즈의 중앙을 상기 이미지센서의 기준점에 정렬시키기 위하여 수행되는 렌즈 바렐 제어 단계로서, 상기 컨트롤러가 렌즈 이미지에 의하여 상기 렌즈 바렐을 제어하도록 구동되는 상기 렌즈 바렐 제어 단계로서, 상기 렌즈 이미지는 상기 렌즈를 통하여 상기 이미지 센서에 감지되는 상기 테스트 차트에 대한 이미지인 상기 렌즈 바렐 제어 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법은
    상기 센서 틸팅 보정 단계가 수행되고 상기 렌즈 바렐 삽입 단계가 수행되기 이전에 테스트 차트의 기준점과 상기 이미지센서의 기준점을 일치시키기 위하여 수행되는 기준 정렬 단계로서, 상기 컨트롤러가 비전 이미지에 의하여 상기 지지블럭 또는 상기 테스트 차트를 쉬프트하도록 구동되는 상기 기준 정렬 단계로서, 상기 비전 이미지는 비전 카메라에 의하여 확인되는 상기 이미지센서의 이미지인 상기 기준 정렬 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 이미지 센서의 기준점은 상기 이미지 센서의 중앙점이며,
    상기 테스트 차트의 기준점은 상기 테스트 차트의 중앙점인 것을 특징으로 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법.
  12. 카메라 모듈을 히팅하는 모듈 히팅 단계로서, 상기 카메라 모듈은 이미지센서가 설치된 기판, 렌즈가 설치된 렌즈 바렐, 그리고, 상기 기판과 상기 렌즈 바렐 사이에 결합되는 렌즈홀더를 포함하되, 상기 렌즈 바렐은 히팅에 의하여 경화되는 접착제를 통하여 상기 렌즈홀더와 결합되는 상기 모듈 히팅단계;
    히팅된 상기 카메라 모듈을 지지블럭에 셋팅하는 지지블럭 셋팅 단계;
    히팅된 상기 카메라 모듈의 렌즈 바렐의 단부 상의 복수개의 지점을 변위 센서로 측정하여 바렐 틸팅 정보를 생성하고, 컨트롤러가 상기 바렐 틸팅 정보에 의하여 상기 지지블럭을 제어하는 구동되는 바렐 틸팅 보정 단계; 및
    상기 바렐 틸팅 보정 단계가 수행된 후, 판별 이미지를 통하여 상기 컨트롤러에서 상기 카메라 모듈의 광축 불량 여부를 판별하는 판별단계로서, 상기 판별 이미지는 상기 이미지센서에 감지된 테스트 차트의 이미지인 상기 판별 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법은
    상기 바렐 틸팅 보정 단계가 수행되고 상기 판별 단계가 수행되기 전에 수행되는 기준 정렬 단계로서, 상기 테스트 차트의 기준점과 상기 렌즈의 기준점을 일치시키기 위하여, 상기 컨트롤러가 히팅 비전 이미지에 의하여 상기 지지블럭 또는 상기 테스트 차트를 쉬프트하도록 구동되는 상기 기준 정렬 단계로서, 상기 히팅 비전 이미지는 비전 카메라에 의하여 확인되는 상기 접착제의 히팅후의 상기 렌즈의 이미지인 상기 기준 정렬 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 렌즈의 기준점은 상기 렌즈의 중앙점이며,
    상기 테스트 차트의 기준점은 상기 테스트 차트의 중앙점인 것을 특징으로 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법.
  15. 제12항에 있어서, 상기 변위 센서는
    공초점 변위 센서인 것을 특징으로 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법.
  16. 카메라 모듈의 기판 상의 복수개의 지점을 변위 센서로 측정하여 기판 틸팅 정보를 생성하는 기판 틸팅 정보 생성 단계로서, 상기 카메라 모듈은 이미지센서가 설치된 상기 기판, 렌즈가 설치된 렌즈 바렐, 그리고, 상기 기판과 상기 렌즈 바렐 사이에 결합되는 렌즈홀더를 포함하되, 상기 렌즈 바렐은 히팅에 의하여 경화되는 접착제를 통하여 상기 렌즈홀더와 결합되는 상기 기판 틸팅 정보 생성단계;
    상기 카메라 모듈을 히팅하는 모듈 히팅 단계;
    히팅된 상기 카메라 모듈을 지지블럭에 셋팅하는 지지블럭 셋팅 단계;
    컨트롤러가 상기 기판 틸팅 정보에 의하여 상기 지지블럭을 제어하는 구동되는 기판 틸팅 보정 단계; 및
    상기 기판 틸팅 보정 단계가 수행된 후, 판별 이미지를 통하여 상기 컨트롤러에서 상기 카메라 모듈의 광축 불량 여부를 판별하는 판별단계로서, 상기 판별 이미지는 상기 이미지센서에 감지된 테스트 차트의 이미지인 상기 판별 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 카메라 모듈의 렌즈 광축 정렬 및 조립 방법.
  17. 제9항 내지 제16항 중의 어느 하나의 방법에 의하여 제조된 카메라 모듈.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111399162A (zh) * 2020-06-08 2020-07-10 宁波丞达精机有限公司 一种光学镜头主动调焦装置及调焦方式

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9715078B2 (en) * 2015-05-14 2017-07-25 Microsoft Technology Licensing, Llc Adjustable lens mount
KR102400658B1 (ko) * 2015-07-27 2022-05-20 엘지이노텍 주식회사 카메라 모듈
DE102015117611A1 (de) * 2015-10-16 2017-04-20 Connaught Electronics Ltd. Linseneinrichtung für eine Kamera eines Kraftfahrzeugs mit verbessertem Klebebereich, Kamera, Kraftfahrzeug sowie Verfahren
CN109541774B (zh) * 2015-12-02 2021-01-29 宁波舜宇光电信息有限公司 采用分体式镜头的摄像模组及其组装方法
US10732376B2 (en) 2015-12-02 2020-08-04 Ningbo Sunny Opotech Co., Ltd. Camera lens module and manufacturing method thereof
US10070028B2 (en) 2016-02-10 2018-09-04 Microsoft Technology Licensing, Llc Optical systems and methods of use
WO2017171388A1 (ko) 2016-03-30 2017-10-05 엘지이노텍(주) 카메라 모듈 및 이를 포함하는 광학 기기
CN105965250B (zh) * 2016-04-21 2018-05-25 珠海上富电技股份有限公司 摄像头中心轴校准机
CN105736538B (zh) * 2016-05-04 2017-12-22 昆山丘钛微电子科技有限公司 双摄像头模组自动组装一体化机台
CN106194943B (zh) * 2016-08-30 2018-04-13 昆山丘钛微电子科技有限公司 主摄像头模组主动对准的组装机台
CN106425451B (zh) * 2016-10-26 2019-03-26 珠海市广浩捷精密机械有限公司 一种摄像头模组装配设备
JP2019009653A (ja) * 2017-06-26 2019-01-17 アイホン株式会社 インターホン機器におけるカメラモジュールの調整方法
CN107649875A (zh) * 2017-10-17 2018-02-02 歌尔股份有限公司 光学模组组装设备及方法
CN108188708B (zh) * 2018-01-12 2020-11-24 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司 一种摄像头模组组装机构
CN110039298B (zh) * 2018-01-15 2020-06-19 浙江宇视科技有限公司 平整度调整方法及系统
CN108391061A (zh) * 2018-03-26 2018-08-10 深圳市泰品科技有限公司 一种摄像头模组的组装方法和设备
TWI705289B (zh) * 2018-09-17 2020-09-21 群光電子股份有限公司 鏡頭裝置與鏡頭調焦方法
CN111355873B (zh) * 2018-12-21 2022-03-11 余姚舜宇智能光学技术有限公司 摄像模组组装方法
WO2020188761A1 (ja) * 2019-03-19 2020-09-24 株式会社Ｐｆａ カメラモジュール製造装置及びカメラモジュール製造方法
CN109940360B (zh) * 2019-04-10 2020-04-24 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 透镜夹取装置及其夹取方法
CN111947890A (zh) * 2019-05-16 2020-11-17 三赢科技（深圳）有限公司 测试治具
JPWO2020240968A1 (ja) * 2019-05-24 2021-11-11 三菱電機株式会社 カメラモジュールの製造方法及び製造装置、並びに光学モジュールの製造方法
CN112954146B (zh) * 2019-12-11 2022-10-28 余姚舜宇智能光学技术有限公司 摄像模组安装设备及其安装方法
CN111308732A (zh) * 2020-03-27 2020-06-19 广州立景创新科技有限公司 摄像镜头的制造方法
CN111399158B (zh) * 2020-06-03 2020-09-15 宁波丞达精机有限公司 一种光学镜头aa设备
CN112318112B (zh) * 2020-10-30 2022-02-15 苏州天准科技股份有限公司 摄像头多工位aa组装机及组装方法
CN114654221A (zh) * 2020-12-22 2022-06-24 沃比特照明制造(深圳)有限责任公司 一种吸顶灯的自动化组装工艺
CN115156900B (zh) * 2022-09-07 2022-11-25 昆山纳博旺精工科技有限公司 一种柔性传输系统导轨接驳精度的校准方法及接驳机构

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100106015A (ko) * 2009-03-23 2010-10-01 엘지이노텍 주식회사 휴대폰 카메라의 액츄에이터 측정시스템
KR20100130833A (ko) * 2009-06-04 2010-12-14 (주)이즈미디어 카메라 모듈의 렌즈 초점 조절 및 고정장치
KR20130061432A (ko) * 2011-12-01 2013-06-11 삼성전기주식회사 카메라 모듈
KR20130063648A (ko) * 2011-12-07 2013-06-17 엘지이노텍 주식회사 카메라 모듈의 광축 조정장치

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0458753B2 (ko) * 1985-08-09 1992-09-18 Olympus Optical Co
JP3728620B2 (ja) 2000-02-04 2005-12-21 カシオ計算機株式会社 撮像素子の傾き調整装置
JP4398863B2 (ja) * 2002-09-30 2010-01-13 統寶光電股▲分▼有限公司 カメラモジュールを組み立てる方法
TWI232349B (en) 2003-07-07 2005-05-11 Benq Corp Method for adjusting relative position of lens module by using uniform light source
CN101241220B (zh) * 2003-12-09 2012-05-23 松下电器产业株式会社 透镜驱动装置、摄像装置及用于该摄像装置的透镜镜筒和摄像机主体
JP2008124796A (ja) 2006-11-13 2008-05-29 Citizen Miyota Co Ltd 固体撮像装置
CN100573315C (zh) * 2007-04-04 2009-12-23 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 相机模块污点测试系统及方法
KR20080108661A (ko) 2007-06-11 2008-12-16 삼성전기주식회사 카메라 모듈 제작용 지그 및 이를 이용한 카메라 모듈의제조방법
CN101329434B (zh) * 2007-06-18 2010-04-07 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 相机模组组合方法
CN101755229B (zh) * 2007-10-17 2011-11-09 Ads技术株式会社 在光学装置组装期间使用传感器调节自由度的设备
JP4802221B2 (ja) * 2008-06-26 2011-10-26 東芝テリー株式会社 エリアイメージセンサ支持装置および同センサのアオリ調整方法
CN101620304A (zh) * 2008-06-30 2010-01-06 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 影像撷取模组
KR101450906B1 (ko) 2008-08-01 2014-10-15 삼성전자주식회사 카메라 모듈 조립 장치 및 방법
KR101058648B1 (ko) * 2009-02-16 2011-08-22 삼성전자주식회사 카메라 렌즈 모듈의 렌즈 조립체 정렬 장치
JP5464502B2 (ja) * 2009-02-18 2014-04-09 コニカミノルタ株式会社 レンズユニット、撮像装置及びレンズユニットの製造方法
KR101630731B1 (ko) 2009-03-23 2016-06-16 엘지이노텍 주식회사 변위센서를 이용한 휴대폰 카메라의 틸트 및 성능 측정시스템
JP5357614B2 (ja) * 2009-04-15 2013-12-04 日本電産サンキョー株式会社 撮影用光学装置
CN102340622A (zh) * 2010-07-19 2012-02-01 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 影像摄取模块
US9065991B2 (en) * 2010-11-04 2015-06-23 Lensvector Inc. Methods of adjustment free manufacture of focus free camera modules
EP2485474B1 (en) * 2011-02-08 2013-05-01 Axis AB Digital camera with adjustable sensor
US9009952B2 (en) * 2011-08-29 2015-04-21 Asm Technology Singapore Pte. Ltd. Apparatus for assembling a lens module and an image sensor to form a camera module, and a method of assembling the same
TWI505704B (zh) * 2011-09-14 2015-10-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 相機模組組裝方法及相機模組
KR101292330B1 (ko) 2011-11-25 2013-08-01 김대봉 위치검출 기능을 구비한 카메라모듈의 초점 조정 및 본딩 장치
CN103424836A (zh) * 2012-05-17 2013-12-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镜头模块及其组装方法
KR101308622B1 (ko) * 2012-06-14 2013-09-23 주식회사 하이소닉 소형 카메라 액추에이터의 렌즈 광축 정렬방법 및 정렬장치
JP2014026091A (ja) * 2012-07-26 2014-02-06 Xacti Corp レンズユニットのアオリ調整方法
JP6159565B2 (ja) * 2013-04-24 2017-07-05 東芝テリー株式会社 バックフォーカス調整機構
JP2015115677A (ja) * 2013-12-10 2015-06-22 コニカミノルタ株式会社 撮像装置の製造方法、撮像装置及び携帯端末

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100106015A (ko) * 2009-03-23 2010-10-01 엘지이노텍 주식회사 휴대폰 카메라의 액츄에이터 측정시스템
KR20100130833A (ko) * 2009-06-04 2010-12-14 (주)이즈미디어 카메라 모듈의 렌즈 초점 조절 및 고정장치
KR20130061432A (ko) * 2011-12-01 2013-06-11 삼성전기주식회사 카메라 모듈
KR20130063648A (ko) * 2011-12-07 2013-06-17 엘지이노텍 주식회사 카메라 모듈의 광축 조정장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111399162A (zh) * 2020-06-08 2020-07-10 宁波丞达精机有限公司 一种光学镜头主动调焦装置及调焦方式

Also Published As

Publication number Publication date
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CN104735313A (zh) 2015-06-24

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