JP2016507752A - 表面色を備えた表面トポグラフィ干渉計 - Google Patents
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Abstract
Description
特許又は出願ファイルは、カラーで作成された少なくとも1つの図面を含む。カラー図面を備えた本特許又は特許出願公開のコピーは、要求に応じ及び必要な料金の支払いに基づいて、米国特許商標庁によって提供される。
図1は、試験対象物105の表面の形状及び色の質感の3D表現195を生成するために用いられる干渉計システム100の例の概略図である。幾つかの実装形態において、干渉計システム100は、低コヒーレンス干渉表面プロファイラ(low-coherence interference surface profiler)である。干渉計システム100は、照明モジュール110、イメージング・モジュール(imaging module)130、画像取得モジュール(image acquisition module)150、及び電子制御モジュール160を含む。試験対象物105は、取り付け台に置かれる。
幾つかの干渉計システムは、それらの高照明又は撮像開口数の結果として、限られた焦点深度を提供するイメージング・モジュールを用いる。かかる場合に、望ましくない像のぼやけもまたなしに干渉現象を除去するために、干渉対物レンズ140のキャビティの大きな変調を提供することが必ずしも可能ではない。この場合に、位相シフタ(又はスキャナ)の変調速度は、フレームからフレームへの干渉信号変動が、十分に規定された周波数帯域に対応するように調整され、干渉信号変動は、(例えば、図3に関連して上記で説明されたプロセス300のステージ340の一部として)強度測定値シーケンスを処理する場合に、デジタル的にフィルタで除去することができる。
Claims (31)
- 干渉計システムであって、
異なる複数のスペクトル光分布を生成するように構成された照明モジュールと、
多素子検出器と、
試験光を用いて試験対象物の表面の像を前記多素子検出器上に映すように、且つ前記試験光を基準光と前記多素子検出器上で組み合わせて干渉パターンを形成するように構成されたイメージング・モジュールであって、前記試験光及び基準光が、前記照明モジュールから供給される、前記イメージング・モジュールと、
少なくとも前記照明モジュール及び前記多素子検出器と通信可能に結合された電子制御モジュールであって、動作中に、
前記照明モジュールに、前記異なる複数のスペクトル光分布で前記試験対象物の表面を順次的に照明させながら、それに対応して、前記多素子検出器が、前記試験対象物の表面の干渉パターン及び像を記録し、
(i)少なくとも部分的に、前記異なる複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数に記録された前記干渉パターンから前記試験対象物の表面の形状と、(ii)少なくとも部分的に、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上に記録された像から前記試験対象物の表面の色と、に関する情報を決定し、
決定された情報から前記試験対象物の表面の形状及び色の表現を生成する前記電子制御モジュールと、を備える干渉計システム。 - 記録される干渉パターンを形成するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数が、第1のスペクトル光分布であり、
記録される像に用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上が、第1のスペクトル光分布及び第2のスペクトル光分布である、請求項1に記載の干渉計システム。 - 記録される干渉パターンを形成するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数が、第1のスペクトル光分布であり、
記録される像に用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上が、第2のスペクトル光分布及び第3のスペクトル光分布である、請求項1に記載の干渉計システム。 - 記録される干渉パターンを形成するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数が、広帯域光分布であり、
記録される像に用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上が、赤色、緑色又は青色光分布のうちの2つ以上である、請求項1に記載の干渉計システム。 - 前記照明モジュールが、
前記広帯域光分布を放射する白色光源と、
赤色フィルタ、緑色フィルタ又は青色フィルタのうちの2つ以上と、を含み、
前記赤色フィルタ、緑色フィルタ、及び青色フィルタが、前記赤色、緑色及び青色光分布をそれぞれ取得するために、前記白色光源によって供給される前記広帯域光分布をフィルタリングするように構成される、請求項4に記載の干渉計システム。 - 前記照明モジュールが、
前記広帯域光分布を放射する白色光源と、
前記赤色、緑色及び青色光分布をそれぞれ放射する赤色光源、緑色光源又は青色光源の2つ以上と、を含む、請求項4に記載の干渉計システム。 - 前記電子制御モジュールが、
前記干渉パターンを形成するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数と、前記像を記録するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上との間で前記照明モジュールを、前記多素子検出器のフレームレート又はフレームレートの整数分の1で切り替える、請求項1に記載の干渉計システム。 - 前記電子制御モジュールが、
前記干渉パターンが前記多素子検出器によって記録される場合に、前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数を維持し、
色情報に用いられる前記像が前記多素子検出器によって記録される場合に、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上を、前記多素子検出器のフレームレート又はフレームレートの整数分の1で切り替える、請求項1に記載の干渉計システム。 - 前記試験光と前記基準光との間の光路長差を変更するように配置されたステージと、
前記電子制御モジュールと通信可能に結合され、前記試験光と基準光との間の複数の光路長差に対応する位置に前記ステージをシフトするように構成されたアクチュエータであって、前記複数の光路長差のそれぞれが、前記複数の干渉パターンから関連干渉パターンを形成するアクチュエータと、を更に備える、請求項1に記載の干渉計システム。 - 前記ステージが、前記イメージング・モジュールに対して前記試験対象物の表面を位置付けるように配置される、請求項9に記載の干渉計システム。
- 前記像が前記多素子検出器によって合焦して記録されるように、前記電子制御モジュールが、前記試験対象物の表面の形状に関する決定された情報に基づいて、前記イメージング・モジュールの焦点深度内に前記試験対象物の表面を配置する、請求項10に記載の干渉計システム。
- 2つ以上の波長の試験光を放射するように構成された波長可変光源と、
前記試験光の2つ以上の波長と異なるスペクトル光分布を有する照明光を放射するように構成された第2の光源と、を備え、
記録される像に用いられる前記複数のスペクトル光分布の2つ以上が、前記波長可変光源によって放射される光の2つ以上の波長の1つと、前記第2の光源によって放射される前記照明光の前記スペクトル光分布とであり、
前記イメージング・モジュールが、前記試験光と前記基準光との間のゼロでない光路長差を定義し、
前記電子制御モジュールが、前記試験光と前記基準光との間で2つ以上の位相差を導入するために前記試験光の2つ以上の波長間でシフトし、前記2つ以上の位相差のそれぞれが、前記複数の干渉パターンから関連干渉パターンを形成する、請求項1に記載の干渉計システム。 - トゥルーカラー画像の各画素が、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上でそれぞれ照明された前記試験対象物の表面の像の対応する画素の平均を含むように、前記試験対象物の表面の色に関する情報が、前記トゥルーカラー画像として前記電子制御モジュールによって決定される、請求項1に記載の干渉計システム。
- 前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上でそれぞれ照明された前記試験対象物の表面の像における干渉パターンの縞が、前記トゥルーカラー画像に関連する前記平均の生成に先立って、前記電子制御モジュールによって除去される、請求項13に記載の干渉計システム。
- 前記像に干渉パターンがないように、前記イメージング・モジュールが、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上でそれぞれ照明された前記試験対象物の表面の像の取得中に迂回される干渉計モジュールを含む、請求項13に記載の干渉計システム。
- 前記照明モジュール及び前記イメージング・モジュールの各々は、
非鏡面反射光だけが前記多素子検出器に達することができるように構成され配置された整合アパーチャを含むビームストップを含み、
前記電子制御モジュールは、
前記多素子検出器が前記干渉パターンを記録する場合に前記ビームストップを作用させず、
前記多素子検出器が、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上でそれぞれ照明された前記試験対象物の表面の像を取得する場合に、前記ビームストップを作用させる、請求項1に記載の干渉計システム。 - 非鏡面反射光だけが前記イメージング・モジュールに入るように、前記照明モジュールが、前記試験対象物の表面に対して特定の入射角で、記録される像に用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上をそれぞれ供給するように構成され配置される、請求項1に記載の干渉計システム。
- ディスプレイ装置を更に備え、
前記電子制御モジュールが、前記試験対象物の表面の干渉パターンを記録する前に、
前記照明モジュールに、前記2つ以上のスペクトル光分布で前記試験対象物の表面を順次的に照明させながら、それに対応して、前記多素子検出器が、前記試験対象物の表面の像を記録し、
少なくとも部分的に、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上のために記録された前記像から前記試験対象物の表面の色に関する情報を決定し、
前記試験対象物の表面の色に関する決定された情報に基づいて、前記試験対象物の表面のトゥルーカラー画像のシーケンスを前記ディスプレイ装置上に実時間で表示し、
前記トゥルーカラー画像のシーケンスの表示に応答して、前記試験対象物の表面の形状及び色の表示が生成される、前記トゥルーカラー画像のシーケンス内に位置する測定箇所の細目を受信する、請求項1に記載の干渉計システム。 - 干渉測定法であって、
多素子検出器上の撮像光学系により、試験光を用いて試験対象物の表面の像を映すことと、
前記多素子検出器上の前記撮像光学系によって、前記試験光を基準光と組み合わせて干渉パターンを形成することであって、前記試験光及び基準光が、異なる複数のスペクトル光分布を放射する光源から供給される、前記干渉パターンを形成すること、
前記異なる複数のスペクトル光分布で前記試験対象物の前記表面を順次的に照明しながら、それに対応して、前記多素子検出器によって、前記試験対象物の表面の干渉パターン及び像を記録すること、
(i)少なくとも部分的に、前記異なる複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数のために記録された前記干渉パターンから、前記試験対象物の表面の形状と、(ii)少なくとも部分的に、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上のために記録された像から、前記試験対象物の表面の色と、に関する情報を、コントローラモジュールによって決定すること、
決定された情報から、前記試験対象物の表面の形状及び色の表現を前記コントローラモジュールによって生成すること、を備える干渉測定法。 - 記録される干渉パターンを形成するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数が、第1のスペクトル光分布であり、
記録される像に用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上が、第1のスペクトル光分布及び第2のスペクトル光分布である、請求項19に記載の干渉測定法。 - 記録される干渉パターンを形成するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数が、第1のスペクトル光分布であり、
記録される像に用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ以上が、第2のスペクトル光分布及び第3のスペクトル光分布である、請求項19に記載の干渉測定法。 - 前記干渉パターンを形成するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数と、前記像を記録するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上との間で前記光源を、前記多素子検出器のフレームレート又はフレームレートの整数分の1で切り替えることを更に備える、請求項21に記載の干渉測定法。
- 前記干渉パターンが前記多素子検出器によって記録される場合に、前記複数のスペクトル光分布のうちの1つ又は複数を維持すること、
色情報に用いられる前記像が前記多素子検出器によって記録される場合に、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上を、前記多素子検出器のフレームレート又はフレームレートの整数分の1で切り替えること、を更に備える、請求項21に記載の干渉測定法。 - ステージを配置することによって、前記試験光と前記基準光との間の光路長差を変更すること、
試験像と基準像との間の複数の光路長差に対応する位置へ前記ステージをアクチュエータによってシフトすることをさらに備え、
前記複数の光路長差のそれぞれが、関連干渉パターンを形成する、請求項21に記載の干渉測定法。 - 前記ステージを配置することによって、前記撮像光学系に対して前記試験対象物の表面を位置付けることを更に備える、請求項24に記載の干渉測定法。
- 前記像が前記多素子検出器によって合焦して記録されるように、前記試験対象物の表面の形状に関する決定された情報に基づき、コントローラモジュールによって、前記撮像光学系の焦点深度内に前記試験対象物の表面を配置することを更に備える、請求項25に記載の干渉測定法。
- トゥルーカラー画像の各画素が、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上でそれぞれ照明された前記試験対象物の表面の像の対応する画素の平均を含むように、前記試験対象物の表面の色に関する情報を決定することは、トゥルーカラー画像を生成することを含む、請求項19に記載の干渉測定法。
- トゥルーカラー画像に関連する平均の生成に先立って、前記複数のスペクトル光分布の2つ以上でそれぞれ照明された前記試験対象物の表面の像における干渉パターンの縞を除去することを更に備える、請求項25に記載の干渉測定法。
- 前記像に干渉パターンがないように、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上でそれぞれ照明された前記試験対象物の表面の像の取得中に、前記撮像光学系の基準レグを迂回することを更に備える、請求項25に記載の干渉測定法。
- 前記多素子検出器が、前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上でそれぞれ照明された前記試験対象物の表面の像を取得する場合に、非鏡面反射光だけが前記多素子検出器に達することができるように、前記光源及び前記撮像光学系にそれぞれ配置された整合ビームストップを前記コントローラモジュールによって作用すること、
前記多素子検出器が前記干渉パターンを記録する場合に前記整合ビームストップを前記コントローラモジュールによって作用させないこと、を更に備える、請求項19に記載の干渉測定法。 - 非鏡面反射光だけが前記撮像光学系に入るように、前記試験対象物の表面に対して特定の入射角で、前記像をそれぞれ形成するために用いられる前記複数のスペクトル光分布のうちの2つ以上を前記光源によって供給することを更に備える、請求項19に記載の干渉測定法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016510113A (ja) * | 2013-03-18 | 2016-04-04 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッドSnu Precision Co., Ltd. | 色情報を測定することができる3次元形状測定装置 |
JP2018514748A (ja) * | 2015-02-06 | 2018-06-07 | ザ ユニバーシティ オブ アクロンThe University of Akron | 光学撮像システムおよびその方法 |
JP2021051090A (ja) * | 2020-12-24 | 2021-04-01 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定方法 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9719777B1 (en) | 2014-05-30 | 2017-08-01 | Zygo Corporation | Interferometer with real-time fringe-free imaging |
US9746315B1 (en) * | 2014-06-02 | 2017-08-29 | Bruker Nano Inc. | Side illumination in interferometry |
US9282304B1 (en) * | 2014-06-02 | 2016-03-08 | Bruker Nano Inc. | Full-color images produced by white-light interferometry |
WO2016067254A1 (en) * | 2014-10-30 | 2016-05-06 | Koninklijke Philips N.V. | Texture analysis map for image data |
JP6511263B2 (ja) * | 2014-12-22 | 2019-05-15 | 株式会社トプコンテクノハウス | 平面分光干渉計 |
KR101637252B1 (ko) * | 2015-03-26 | 2016-07-07 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 백색광 위상천이 간섭계의 간섭신호 차수 오차 보정방법 |
JP2017099616A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | ソニー株式会社 | 手術用制御装置、手術用制御方法、およびプログラム、並びに手術システム |
JP6674619B2 (ja) * | 2015-12-11 | 2020-04-01 | 株式会社東京精密 | 画像生成方法及び画像生成装置 |
WO2018017897A1 (en) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | Mura Inc. | Systems and methods for 3d surface measurements |
WO2018079326A1 (ja) | 2016-10-28 | 2018-05-03 | 富士フイルム株式会社 | 光干渉断層画像撮像装置および計測方法 |
JP6766995B2 (ja) * | 2016-11-09 | 2020-10-14 | 株式会社ミツトヨ | 位相シフト干渉計 |
US10197781B2 (en) * | 2016-12-29 | 2019-02-05 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Vertical chromatic confocal scanning method and system |
FR3067108B1 (fr) | 2017-06-01 | 2020-12-04 | Unity Semiconductor | Procede et systeme pour reconstituer une information de couleur d'un echantillon mesure par profilometrie optique en lumiere blanche, et applications de ce procede |
WO2019005055A1 (en) * | 2017-06-29 | 2019-01-03 | Carestream Dental Technology Topco Limited | INTRABUCCAL TCO WITH COLOR TEXTURE |
TWI638132B (zh) * | 2017-08-25 | 2018-10-11 | 三星科技股份有限公司 | 物件多面取像裝置 |
US10805034B2 (en) | 2018-02-22 | 2020-10-13 | Nokia Solutions And Networks Oy | Protection of channel connections in an optical network |
WO2020215046A1 (en) * | 2019-04-19 | 2020-10-22 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | On-chip signal processing method and pixel-array sensor |
US11910104B2 (en) | 2019-04-19 | 2024-02-20 | ARIZONA BOARD OF REGENTS on behalf of THE UNIVERSITY OF ARIZONA, A BODY CORPORATE | All-in-focus imager and associated method |
FR3101702B1 (fr) | 2019-10-07 | 2021-11-19 | Fogale Nanotech | Dispositif et procédé de mesures d’imagerie et d’interférométrie |
CN115035015A (zh) * | 2021-02-23 | 2022-09-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 图片处理方法、装置、计算机设备及存储介质 |
DE102022101631B3 (de) * | 2022-01-25 | 2023-01-05 | Heidelberger Druckmaschinen Aktiengesellschaft | Verfahren zur Anpassung eines Lab-Sollfarbwertes mehrfarbiger Druckprodukte |
CN117538658A (zh) * | 2023-11-16 | 2024-02-09 | 深圳市美信检测技术股份有限公司 | 基于红外光谱及热成像的人工智能故障定位方法及装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59225305A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-12-18 | Ricoh Co Ltd | 干渉測定機におけるアライメント装置 |
JPH02260886A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-23 | Ricoh Co Ltd | カラー画像読取装置 |
JPH10122833A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-15 | Asahi Optical Co Ltd | 表面測定装置 |
JP2001078085A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-03-23 | Ricoh Co Ltd | 画像処理装置 |
JP2001184037A (ja) * | 1999-11-06 | 2001-07-06 | Samsung Electronics Co Ltd | 単一の液晶ディスプレーパネルを用いたディスプレー装置及び方法 |
JP2002168697A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 光量測定装置、および画像形成装置 |
JP2003148921A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-21 | Seiko Epson Corp | 形状測定方法及び装置 |
JP2007033216A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Keyence Corp | 白色干渉計測装置及び白色干渉計測方法 |
JP2010112865A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Ryoka Systems Inc | 白色干渉計測装置及び方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5398113A (en) * | 1993-02-08 | 1995-03-14 | Zygo Corporation | Method and apparatus for surface topography measurement by spatial-frequency analysis of interferograms |
US6714307B2 (en) * | 2001-10-16 | 2004-03-30 | Zygo Corporation | Measurement of complex surface shapes using a spherical wavefront |
US6781699B2 (en) | 2002-10-22 | 2004-08-24 | Corning-Tropel | Two-wavelength confocal interferometer for measuring multiple surfaces |
US7324214B2 (en) | 2003-03-06 | 2008-01-29 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring characteristics of optically unresolved surface features |
CA2556865A1 (en) | 2004-02-20 | 2005-09-09 | University Of South Florida | Method of full-color optical coherence tomography |
EP1892501A3 (en) * | 2006-08-23 | 2009-10-07 | Heliotis AG | Colorimetric three-dimensional microscopy |
WO2009079334A2 (en) | 2007-12-14 | 2009-06-25 | Zygo Corporation | Analyzing surface structure using scanning interferometry |
US8004688B2 (en) | 2008-11-26 | 2011-08-23 | Zygo Corporation | Scan error correction in low coherence scanning interferometry |
WO2010092739A1 (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-19 | 国立大学法人京都工芸繊維大学 | 干渉計測装置および干渉計測方法 |
US7978346B1 (en) * | 2009-02-18 | 2011-07-12 | University Of Central Florida Research Foundation, Inc. | Methods and systems for realizing high resolution three-dimensional optical imaging |
TWI425188B (zh) | 2009-08-31 | 2014-02-01 | Zygo Corp | 顯微鏡系統和成像干涉儀系統 |
US8896842B2 (en) * | 2010-08-05 | 2014-11-25 | Bioptigen, Inc. | Compact multimodality optical coherence tomography imaging systems |
KR101174274B1 (ko) * | 2010-09-13 | 2012-08-16 | 케이맥(주) | 간섭계와 2차원-반사광도계의 측정이 가능한 복합시편 표면특성 측정장치 |
US8649024B2 (en) | 2010-12-03 | 2014-02-11 | Zygo Corporation | Non-contact surface characterization using modulated illumination |
-
2014
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59225305A (ja) * | 1983-06-06 | 1984-12-18 | Ricoh Co Ltd | 干渉測定機におけるアライメント装置 |
JPH02260886A (ja) * | 1989-03-31 | 1990-10-23 | Ricoh Co Ltd | カラー画像読取装置 |
JPH10122833A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-05-15 | Asahi Optical Co Ltd | 表面測定装置 |
JP2001078085A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-03-23 | Ricoh Co Ltd | 画像処理装置 |
JP2001184037A (ja) * | 1999-11-06 | 2001-07-06 | Samsung Electronics Co Ltd | 単一の液晶ディスプレーパネルを用いたディスプレー装置及び方法 |
JP2002168697A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 光量測定装置、および画像形成装置 |
JP2003148921A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-21 | Seiko Epson Corp | 形状測定方法及び装置 |
JP2007033216A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-02-08 | Keyence Corp | 白色干渉計測装置及び白色干渉計測方法 |
JP2010112865A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Ryoka Systems Inc | 白色干渉計測装置及び方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016510113A (ja) * | 2013-03-18 | 2016-04-04 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッドSnu Precision Co., Ltd. | 色情報を測定することができる3次元形状測定装置 |
JP2018514748A (ja) * | 2015-02-06 | 2018-06-07 | ザ ユニバーシティ オブ アクロンThe University of Akron | 光学撮像システムおよびその方法 |
JP2021051090A (ja) * | 2020-12-24 | 2021-04-01 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定方法 |
JP7001947B2 (ja) | 2020-12-24 | 2022-01-20 | 株式会社東京精密 | 表面形状測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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