JP5887120B2 - 接触部検出装置および接触部検出方法 - Google Patents
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Description
反射され再度1/4波長板107を通って、偏光方向が90度回転した直線偏光となる。偏光板111は透過軸が偏光板104と直交しているので、平板ガラス109または試料108で反射された光を効率良く透過させ、例えば、対物レンズ106で反射されたノイズ光を透過させない。
図1は、本発明の一例である実施形態に係る接触部検出装置10の概略を示す構成図である。この接触部検出装置10は、観察位置に配置された、凸部を有するサファイアレンズ(透明体)21とサファイアレンズ21の凸部に押圧されたゴム板(試料)22との接触部を検出する装置であって、リング状光源11、第1の偏光版(第1の偏光素子)12、対物レンズ14、第2の偏光板(第2の偏光素子)15、結像レンズ16、CCDカメラ(センサ)17および画像取得・分析用のPC18を含んで構成されている。なお、図1においてサファイアガラス板23は、サファイアレンズ21をゴム板22に対して押圧させるための部材であり、ゴム板22の方向に押圧力を加える図示しない押圧機構と係合している。また、対物レンズ14と結像レンズ16とは、結像光学系を構成する。
なお、上記実施形態では、図1のリング状光源としては白色光源を用いるものとしたが、これに限られない。例えば、赤色、緑色および青色の3色のLEDを組み合わせて、リング状光源11を構成しても良い。その場合も、各色の強度を調整すると略白色の光源が得られる。また、この場合、干渉縞は赤色、緑色、青色の各波長の光に対して観察される。所定の3波長の光を混合した光源を用いることにより、3波長成分による干渉縞のみを分析すれば良いので、PC18による接触状態および隙間状態の分析がより容易になる。
また、図1において、単色光源を用いてリング状光源11を構成しても良い。単色光源を用いることにより、異なる波長の成分が混合しないので、1次以上の干渉縞のコントラストをより明瞭に検出することができる。その場合、センサとしてカラーのCCDカメラに代えて、モノクロCCDカメラを用いることができる。モノクロCCDカメラで単色の干渉縞を観察するので、干渉縞の検出および分析処理が白色光や複数の光源を用いた場合より単純になる。
11 リング状光源
12 第1の偏光版(第1の偏光素子)
14 対物レンズ
15 第2の偏光板(第2の偏光素子)
16 結像レンズ(結像光学系)
17 CCDカメラ(センサ)
18 PC
21 サファイアレンズ(透明体)
22 ゴム板(試料)
23 サファイアガラス板
Claims (10)
- 観察位置に配置された少なくとも一部に凸部を有する透明体と該透明体に押圧されたゴム製の試料との接触部を検出する装置であって、
光を検出するセンサと、
前記センサと前記観察位置との間に設けられ、前記観察位置に前記透明体側より光を照射する中空のリング状光源と、
前記リング状光源と前記観察位置との間に配置され、中空のリング形状を有し透過軸が第1の方向の第1の偏光素子と、
前記観察位置と前記センサとの間に配置され前記第1の方向と平行な透過軸を有する第2の偏光素子と、
前記センサと前記リング状光源との間に配置された結像光学系とを備え、
前記リング状光源を出射した光の少なくとも一部が、前記第1の偏光素子を透過して前記観察位置で反射され、前記第1の偏光素子の内側の中空部、前記リング状光源の内側の中空部および前記第2の偏光素子を通り、前記センサに結像するように構成されたことを特徴とする接触部検出装置。 - 前記結像光学系は、前記リング状光源側に対物レンズを備え、該対物レンズの光軸、前記リング状光源の中心軸線および第1の偏光素子の中心軸線が、略一致していることを特徴とする請求項1に記載の接触部検出装置。
- 前記光源は、白色光源であることを特徴とする請求項1または2に記載の接触部検出装置。
- 前記光源は、単色光源であることを特徴とする請求項1または2に記載の接触部検出装置。
- 前記光源は、赤色、緑色および青色の3色を組み合わせて構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の接触部検出装置。
- 前記センサは、カラーイメージセンサであることを特徴とする請求項3または5に記載の接触部検出装置。
- 前記センサは、モノクロCCDカメラであることを特徴とする請求項4に記載の接触部検出装置。
- 前記リング状光源は、前記透明体の前記凸部の面形状に応じて、光の出射する方向を調節可能であることを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載の接触部検出装置。
- 観察位置に配置された、少なくとも一部に凸部を有する透明体と該透明体に押圧されたゴム製の試料との接触部を検出する方法であって、
中空のリング状光源から前記試料に向けて前記透明体側より光を出射させ、
該光を前記透明体および前記試料の互いに押圧されるそれぞれの面で反射させ、
該反射されたそれぞれの光を前記リング状光源の内側の中空部を通過させ、
該中空部を通過した光をセンサ上に結像させて、
前記反射されたそれぞれの光による干渉縞を検出することを特徴とする接触部検出方法。 - 前記リング状光源を出射した光を、中空のリング形状を有する第1の偏光素子を透過させ第1の方向に偏光した直線偏光とした後、前記透明体および前記試料の互いに押圧される前記それぞれの面で反射させ、該それぞれの面で反射された光を前記リング状光源の内側の中空部、前記第1の偏光素子の内側の中空部および前記第1の方向に平行な透過軸を有する第2の偏光素子を透過させた後、センサ上に結像させることを特徴とする請求項9に記載の接触部検出方法。
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