JPH08313220A - テープ機械特性評価装置 - Google Patents

テープ機械特性評価装置

Info

Publication number
JPH08313220A
JPH08313220A JP12333495A JP12333495A JPH08313220A JP H08313220 A JPH08313220 A JP H08313220A JP 12333495 A JP12333495 A JP 12333495A JP 12333495 A JP12333495 A JP 12333495A JP H08313220 A JPH08313220 A JP H08313220A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tape
deformation
generating member
lens
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12333495A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomomi Okamoto
知巳 岡本
Hidehiro Ikeda
英博 池田
Nobuyuki Kaku
信行 賀来
Hiroaki Ono
裕明 小野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP12333495A priority Critical patent/JPH08313220A/ja
Publication of JPH08313220A publication Critical patent/JPH08313220A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気テープ等の多層構造薄膜体の表面近傍の
剛性を簡単な装置で精度よく測定する。 【構成】 薄膜体に、曲率を有するテープ変形発生部材
10を押し付け、この時の薄膜体2の変形を測定装置6
により測定することで、薄膜体表面の剛性を評価する。
薄膜体2の変形を測定するためにテープ変形発生部材に
凸レンズを使用し、レンズ上面から光の干渉により発生
する干渉縞を観察する。 【効果】 薄膜体表面の剛性を測定できるため、多層構
造体である磁気テープに磁気ヘッドが接触する際のテー
プ変形状態が実際に即した形で簡単かつ精度よく測定で
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜体の機械特性測定
装置に関わり、特にVTR等ヘリカルスキャン方式記録
再生装置用磁気テープの機械特性の測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の磁気テープ等の機械特性の測定に
おいては、ヤング率を測定し、これにテープ厚みを乗じ
た値を採用していた。従来、このヤング率は引張試験
法、あるいは振動リード法等により測定されていた。こ
れらの試験法はJISハンドブック等に記されているよ
うに材料試験方法として規定されている。ここで、従来
の引張試験法と振動リード法による機械特性の測定を図
面により説明する。図9は両試験法の要約説明図であ
る。周知のように、試験片の歪みεは弾性変形領域内で
はフックの法則に基づいて応力σに比例して変化する。
この比例係数がヤング率E(弾性係数)である。
【0003】A:引張試験法は試験片である磁気テープ
に垂直応力σを与えて、直接歪みεを測定し、ヤング率
Eを求める試験法である。しかし、引張試験法で磁気テ
ープのような薄膜体を測定する場合には下記のような問
題点が伴う。 (1)テープのクランプ部で応力をテープ幅方向に均一
にかけることが困難であり、その結果テープの伸びが不
均一になり、測定値がばらつく。 (2)テープ幅方向を測定する際、試料の長さを十分に
取れない。特にテープ幅が3.81mmDAT用テープ
や8ミリ用テープでは試料の長さが確保できず、測定困
難である。 (3)磁気テープはベースフィルムや磁性層、バックコ
ート層などからなる薄膜多層体である。これら各層は当
然ヤング率が異なるため、引張試験中にそれぞれの層の
歪み量も異なり、試験中に一部の材料が破壊される危惧
があった。特に金属蒸着テープでは脆性の高い金属薄膜
がバインダ無しに形成されているため、引張試験中のテ
ンションにより金属薄膜が破壊されやすい。磁気テープ
として一部の層が破壊された状態での機械特性の測定結
果は無意味である。しかし、磁気テープの厚さに対して
薄く形成されている磁性層が破壊されているのかどうか
を事前に判定することは困難であった。
【0004】B:振動リード法は磁気テープを加振し
て、その共振周波数からヤング率を求めている。この振
動リード法においても下記のような問題が発生する。 (1)磁気テープの試験片は寸法にバラツキがあって、
寸法バラツキによる影響が大きい。 (2)製造過程で発生した残留歪により、磁気テープ2
0は図10に示すようなカッピング(彎曲)がおこる。
カッピングのあるテープを無テンション状態で加振する
と共振周波数foがばらつき、ヤング率を正確に求める
ことが困難であった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来のテ
ープ機械特性評価法は、被試験片である磁気テープの幅
方向に、一様な応力をかけることが難しく、また、磁気
テープにカッピングの発生もあることから、従来の機械
特性測定方法では精度よく測定できないという問題があ
った。また、磁気テープと磁気ヘッドとの接触摺動の際
に問題となるスペーシング損失は数十nmオーダーであ
ることから、テープ磁性面側の微小なテープ変形が記録
及び再生に大きく影響を与える。さらに、磁気テープが
多層構造体であるため、ヘッドコンタクト性能に大きく
影響を及ぼすのは磁性面付近の機械特性であると考えら
れる。しかし、従来のテープ機械特性評価法は多層構造
体である磁気テープ全体の機械特性の平均値を測定する
ものであった。
【0006】本発明の目的は、実際のヘッド、テープコ
ンタクト状態に即した磁気テープの機械特性を、精度よ
く測定することができるテープ機械特性評価装置を提供
することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のテープ機械特性
測定装置は、筐体の載置面上に磁気テープを設置し、曲
率を有するテープ変形発生部材を磁気テープ磁性面側に
所定の荷重で押し付けて磁気テープの変形量を測定する
構成を具備する。磁気テープ変形量を測定する手段は、
テープ変形発生部材に曲率を有するレンズを用い、レン
ズ上方に光学式測定装置を配置し、テープとレンズの距
離を光の干渉によって生じる干渉縞により測定する構成
を具備する。
【0008】磁気テープを押圧するテープ変形発生部材
は、板バネによる押付手段により荷重が付加されると共
に、荷重の調整は押付手段を固定する部材と押付手段の
間に挿入する薄板状の部材とによる構成を具備する。さ
らに、テープ変形発生部材がテープに投射するテープ幅
方向距離は被測定片のテープ幅寸法以下とする構成を具
備する。
【0009】
【作用】磁性層、ベースフィルム、バックコート層など
からなる多層構造であるテープの磁性面側にテープ変形
発生部材の曲率を有する面を板バネ等により押圧力を調
整して押し付けると、磁性面側の部材が接触した部分に
テープ変形が生じる。これは実際に磁気ヘッドが磁気テ
ープに接触した際のテープ変形と同様な変形状態とな
り、この部分を測定手段により測定すると、テープの磁
性面側の機械特性が判断でき、それによる評価がなされ
る。また、曲率を有するレンズによるテープ変形発生部
材は、テープ面とレンズの間の距離を光の干渉による干
渉縞により簡単に測定できる。さらに被測定テープの幅
寸法以下のテープ変形発生部材はテープの固定領域を確
実可能とする。
【0010】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面により説明す
る。 第1実施例 図1は本発明の第1実施例を示すテープ機械特性評価装
置の概要を示した説明図である。テープ機械特性評価装
置は筐体の一部にテープを載置する面を有するテープ保
持板4を有し、テープ保持板4の上面に測定対象である
磁気テープ2を磁性面2aを上面として設置する。テー
プ保持板4上のテープ2はテープ固定板5によりテープ
保持板4に固定される。テープ固定板5はその一部に切
欠孔55を形成して、切欠孔55にテープ2の磁性面2
aを露出させている。
【0011】テープ固定板5の切欠孔55にはテープ変
形発生部材10を配置する。この実施例に示すテープ変
形発生部材10はテープ固定板5面に平行した断面形状
を円形としている。テープ変形発生部材10は曲率を有
する面(曲率面部)15と平板状の平板部17とを有す
る。テープ変形発生部材10は磁気テープ2上に配置す
るテープ固定板5の切欠孔55内に露出する磁気テープ
2の磁性面2aに、曲率面部15を当接させて配置す
る。テープ固定板5の切欠孔55とテープ変形発生部材
10との間には板バネ3を配設し、テープ変形発生部材
10を所定の荷重でテープ固定板5方向に押圧するよう
構成する。この押圧荷重はテープ固定板5と板バネ3の
間に薄板状の部材13を挿入し、板バネ3の変形量を変
化させることで調整する。このテープ変形発生部材10
により磁気テープ2を押圧することにより、テープ2の
被押圧部分が変形する。この時のテープ2の変形量をテ
ープ変形測定装置6で測定する。
【0012】テープ変形測定装置6は顕微鏡61、顕微
鏡61の画面をカメラ63を介して画像処理装置65に
連絡表示し、画像処理装置65に表示されたテープ2面
の変形量を測定するよう構成されている。
【0013】図3に磁気テープ2の固定方法を示す。磁
気テープ2をテープ固定板5で固定する場合、図3
(a)に示すように、テープ変形発生部材10の直径r
が大きい部材を用いた場合、テープ変形発生部材10用
の切欠孔55も大きくしなければならない。しかし、切
欠孔55がテープ2の幅寸法Bより大きいと、テープ幅
方向の固定ができなくなる。この場合、テープ2の幅方
向の端部22ではテープ保持板5からテープが浮き上が
る現象が生じる。テープの機械特性評価装置は1μm以
下のテープ変形を測定しているので、テープの浮きが生
じると正しい測定ができなくなる。これを防ぐために
は、図3(b)に示すように、テープ変形発生部材10
の大きさ、直径寸法rをテープ2の幅寸法B以下とす
る。さらに、テープ変形発生部材10の大きさを小さく
することによりテープ変形発生部材10用の切欠孔55
も小さくすることができ、大型の切欠孔55による被計
測片の浮き現象を防止でき、テープ幅方向のテープ固定
が完全となる。
【0014】次に、テープ2の変形部分の詳細を図2に
より説明する。計測するテープ2の変形部分には、テー
プ変形発生部材10と接触してテープ変形発生部材10
の曲率面部15形状に変形する曲面部分2xと、テープ
がテープ変形発生部材の荷重によりへこんでいる傾斜部
分2yが存在する。接触している曲面部分2xの直径を
φ、へこんでいる傾斜部分2yの傾きをθとすると、所
定の荷重で押圧するテープ変形発生部材10に対して、
テープ2表面2aの機械特性(剛性)が高い場合にはφ
が小さくなり、機械特性が低い場合には逆にφが大きく
なる。また、テープ2全体の機械特性が高い場合にはθ
が小さくなり、テープ全体の機械特性が低い場合にはθ
が大きくなる。
【0015】そこで、テープ変形測定装置6によりテー
プ2上のテープ変形発生部材10の押圧部分を顕微鏡6
1により観察し、φが小さい場合にはテープ2表面2a
の機械特性が高く、φが大きくなるに従って機械特性が
低いと評価する。また、傾斜部分2yの傾斜角θが小さ
い場合にはテープ2全体の機械特性が高い、傾斜角θが
大きい場合にはテープ全体の機械特性が低いと評価す
る。このように磁気テープ2の機械特性の測定は、テー
プ2をテープ保持板4の載置面上に設置しての測定であ
るので、テープ2の張力の不均一性によって起こる測定
結果のバラツキや、被測定磁気テープのカッピングによ
る影響を解消することが出来る。また、磁気テープ2の
磁性面2a側に応力が加わった時のテープ変形状態を、
直接テープ変形測定装置6により観察するので、実際の
ヘッドテープコンタクト部分の変形状態と同様な変形状
態が測定でき、さらに、テープ2の幅方向、長手方向と
もに同様の測定が可能である。
【0016】第2実施例 図4〜図6により、テープ変形状態を測定する第2実施
例を説明する。この実施例におけるテープの機械特性評
価装置は、テープ変形発生部材として曲率を有するレン
ズを用い、テープ変形状態の測定に光学式観察装置を用
いて、簡単に測定できるように構成している。図4は曲
率面を有するレンズを筐体(テープ保持板)上に置いた
状態で観察した干渉縞、図5はテープ上に加圧状態で置
いた状態で観察した干渉縞を示している。筐体の平面部
分であるテープ保持板4の上にレンズ100を置く。レ
ンズ100は曲率面150を有し、曲率面150をテー
プ保持板4の上に接触させて配置する。レンズ100の
上方向から光学式観察装置によりレンズ100を観察す
る(図4b参照)。観察結果は図3aに示すように、レ
ンズ100がテープ保持板4に接触する部分(暗い部
分)H0を中心に干渉縞Hが同心円状に形成される。こ
れは周知のようにニュートンリングであり、上方から観
察すると光の干渉による明暗が縞形状に見られる。
【0017】この場合、干渉縞が暗くなる条件は、 h=mλ/2 ・・・・・・・・・・・・・・・・(1) ただし、m=0、1、2、... λ:光の波長 h:レンズと筐体の距離 で表わすことが出来る。
【0018】このレンズ100をテープ変形発生部材と
して使用した場合を図5に示す。レンズ100を磁気テ
ープ20に押し付けることにより、テープ20の上面2
0aはレンズ100の曲率面150に接触する部分20
xと、テープ20がレンズ100(テープ変形発生部
材)の荷重によりへこんでいる傾斜部分20yが形成さ
れる。このとき、磁気テープ20とレンズ100が接触
している部分20xは(1)式よりh=0であるから、
暗い部分R0として観察できる。また、テープ20がへ
こんでいる傾斜部分20yの干渉縞Hの暗線は(1)式
のm=1、2、・・・の時のhが満たされている場所で
ある。
【0019】この状態を図6により説明する。上式
(1)において、m=0のときh0、m=1のときh
1、m=2のときh2・・・とおき、干渉縞Hの暗線の
半径φ/2を実測すると、光の波長λとレンズの曲率半
径がわかればテープの変形状態が得られる。レンズの曲
率は設定条件により得られる。また、光の波長λは、図
4に示すように測定に用いるテープ保持板4とレンズ1
を接触させた状態でできる干渉縞Hを測定することによ
り、測定できる。この得られた光の波長λとレンズの曲
率半径によりテープの変形状態の算出が可能となる。
【0020】図7に上記レンズ100を用いてテープの
変形状態を測定した結果を示す。テープ変形発生部材
(レンズ100)にはR4の曲率を有するレンズを使用
し、レンズに荷重23gfを加えた時の被試験片(テー
プ)の変形状態である。干渉縞の0次の縞の部分を変位
0としプロットする。このときのテープ変形発生部材中
心からの距離h0は0.04mmである。そして、変位0
の内側(部材中心からの距離が0.004mm以下の範
囲)ではレンズ100の曲率R4とテープ20の変形は
等しく、外側(部材中心からの距離が0.004mm以
上)は(1)式を満たすよう、干渉縞Hの暗線の位置を
プロット(h1,h2,h3……)した。この方法によ
り、第1実施例(図2参照)で説明したテープ接触部2
xの直径φと、テープの傾き、傾斜角θを得ることが出
来る。
【0021】図7により導かれるテープ接触部20xの
直径φと傾斜部20yの傾斜角θにより、ヘッドコンタ
クトに影響を及ぼすテープ機械特性を表わすことが出来
る。すなわち、機械特性の大きさは変形量の逆数に比例
するため、機械特性を表わす係数として直径φ、傾斜角
θの逆数を取り、それぞれGφ、Gθとする。第1実施
例で説明したように、Gφはテープ表面の機械特性が高
い場合に大きくなり、またGθはテープ全体の機械特性
が高い場合に大きくなる。そこで、この実施例に示すテ
ープ機械特性評価装置においては、Gφが大きい場合は
テープ表面の機械特性が高いと評価し、Gθが大きい場
合にはテープ全体の機械特性が高いと評価する。
【0022】ここで、Gφ、Gθについて説明する(図
8参照)。図8(a)はテープ磁性層20aとGφの関
係を示したグラフである。Gφはテープ20表面(テー
プ磁性層20a)にレンズ100を押し付けたときの変
形量を表わす係数であるので、Gφはテープ表面20a
の硬さに大きく影響を受ける。このため磁気テープ20
を測定した場合には磁性層20aのヤング率とGφは、
図8(a)に示すような比例関係が成り立つ。これに対
し、Gθはテープ20に応力を加えた時の変形を表わす
係数である。この変形はテープ20厚さ方向全体の総和
であるが、多層構造体の場合には機械特性が低く、また
厚みがある材料の影響が大きく表れる。磁気テープ20
ではテープ磁性層20aは薄くベースフィルムが厚い層
となっているので、ベースフィルムのヤング率とGθに
は図8(b)のような比例関係が成り立つ。なお、前述
のように、傾斜角θが大きくなると、当然直径φも大き
くなる。このためGφとGθは切り離して考えるのでは
なく、それぞれの数値を比較しながら評価する必要があ
る。
【0023】
【発明の効果】本発明によるテープ機械特性評価装置に
よれば、実際のヘッド、テープ摺動の際と同様なテープ
変形状態を再現することが出来、従来のテープ機械特性
評価法に対し、簡単かつ、精度よくテープ機械特性を測
定することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すテープ機械特性評価
装置の構成図。
【図2】本発明のテープ機械特性評価装置使用時のテー
プ変形状態説明図。
【図3】テープとテープ変形発生部材の関係説明図。
【図4】ニュートンリングの説明図。
【図5】本発明の第2実施例による状態の説明図。
【図6】測定方法の説明図。
【図7】測定データのグラフ。
【図8】テープの層によるヤング率のグラフ。
【図9】従来のヤング率測定方法の説明図。
【図10】磁気テープのカッピングを示した斜視図。
【符号の説明】
10,100 テープ変形発生部材(凸レンズ) 2,20 磁気テープ 3 板バネ 4 テープ保持板 5 テープ固定板 6 テープ変形測定装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 賀来 信行 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所映像メディア研究所内 (72)発明者 小野 裕明 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所映像メディア研究所内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テープを設置する載置面を有する筐体
    と、テープを載置面に固定する固定手段と、少なくとも
    1面を曲率を有する面とした高剛性材料からなるテープ
    変形発生部材と、テープ変形発生部材をテープに押し付
    ける押付手段と、テープのテープ変形発生部材との接触
    部分の変形状態を測定する測定手段を有し、 筐体の載置面に設置したテープ上にテープ変形発生部材
    の曲率面を配置し、押付手段によりテープ変形発生部材
    をテープ上に押し付け、テープの変形量を測定手段によ
    り測定するよう構成してなるテープ機械特性評価装置。
  2. 【請求項2】 テープを設置する載置面を有する筐体
    と、テープを載置面に固定する固定手段と、少なくとも
    1面を曲率を有する面としたレンズよりなるテープ変形
    発生部材と、テープ変形発生部材をテープに押し付ける
    押付手段と、テープのテープ変形発生部材のレンズとの
    接触部分の変形状態を測定する光学式観察装置を有し、 筐体の載置面に設置したテープ上にレンズの曲率面を配
    置し、押付手段によりレンズをテープ上に押し付け、光
    の干渉により生じる干渉縞をレンズ上方から光学式観察
    装置により測定し、レンズとテープとの距離からテープ
    の変形量を測定するよう構成してなるテープ機械特性評
    価装置。
  3. 【請求項3】 テープ変形発生部材の押付手段は、板バ
    ネである請求項1、又は2記載のテープ機械特性評価装
    置。
  4. 【請求項4】 テープ変形発生部材の押付手段は、板バ
    ネとテープ固定手段の間に介在した薄板状の部材により
    押付力を調整するよう構成する請求項1、又は2記載の
    テープ機械特性評価装置。
  5. 【請求項5】 テープ変形発生部材のテープに投射され
    る面積のテープ幅方向の寸法rは、テープの幅寸法Bに
    対し、 B>r を満たすよう構成してなる請求項1、又は2記載のテー
    プ機械特性評価装置。
JP12333495A 1995-05-23 1995-05-23 テープ機械特性評価装置 Pending JPH08313220A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12333495A JPH08313220A (ja) 1995-05-23 1995-05-23 テープ機械特性評価装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12333495A JPH08313220A (ja) 1995-05-23 1995-05-23 テープ機械特性評価装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08313220A true JPH08313220A (ja) 1996-11-29

Family

ID=14857994

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12333495A Pending JPH08313220A (ja) 1995-05-23 1995-05-23 テープ機械特性評価装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08313220A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013120095A (ja) * 2011-12-06 2013-06-17 Bridgestone Corp 接触部検出装置および接触部検出方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013120095A (ja) * 2011-12-06 2013-06-17 Bridgestone Corp 接触部検出装置および接触部検出方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4525490B2 (ja) 磨耗ゲージ及びそれの使用方法
US5349443A (en) Flexible transducers for photon tunneling microscopes and methods for making and using same
US7403270B2 (en) Method for whole field thin film stress evaluation
US4068381A (en) Scanning electron microscope micrometer scale and method for fabricating same
CN109520828B (zh) 薄膜的弹性模量测试方法
JP2009515690A (ja) 圧電アクチュエータを使用するコーティングにおける応力の測定
JPH08313220A (ja) テープ機械特性評価装置
JP4687997B2 (ja) 皮膜の機械的特性評価装置および評価方法
US5786897A (en) Method and device for measuring pattern coordinates of a pattern formed on a pattern surface of a substrate
JPH09229839A (ja) 薄膜状体の微小変形測定方法およびこれを用いた測定装置
US5567864A (en) Method and apparatus for calibration of a transducer flying height measurement instrument
JP3240238B2 (ja) 磁気テープ変形測定装置
US5808736A (en) Thin film flying height calibration disk for calibrating flying height testers
JP3476569B2 (ja) 磁気テープの製造方法並びに薄膜複合材の特性評価方法及びその装置
KR20090049502A (ko) 비커스 경도 압흔 측정 계측기 교정용 표준시편
US3948090A (en) Method of measuring dimensional variations in a workpiece
JP2620955B2 (ja) 薄膜の内部応力測定装置
US5713531A (en) Base plate assembly for tape cassette for increasing corrosion resistance
JPH05149899A (ja) 寸法変化測定器
SU1710996A1 (ru) Мера толщины покрыти дл градуировки и поверки электромагнитных и вихретоковых толщиномеров покрытий
JP4457968B2 (ja) 磁気記録媒体、およびその潤滑層膜厚測定方法
JPS5939815B2 (ja) 磁気記録媒体のバ−ニッシュ方法
SU1603185A1 (ru) Мера толщины покрытий
JP3453992B2 (ja) 粒度分布測定用試料のサンプリング方法
Wilson Modal analysis of miniature structures with application to components in magnetic recording disk drives