SU1603185A1

SU1603185A1 - Мера толщины покрытий

Info

Publication number: SU1603185A1
Application number: SU884622516A
Authority: SU
Inventors: Яков Михайлович Цейтлин
Original assignee: Я.М. Цейтлин
Priority date: 1988-11-23
Filing date: 1988-11-23
Publication date: 1990-10-30

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл поверки и градуировки толщиномеров. Цель изобретени - расширение диапазона имитируемых толщин и расширение области использовани . Дл аттестации толщины H покрыти на образцовом приборе пленка с нанесенным на нее покрытием нат гиваетс на основании нат жным устройством и становитс гладкой. При этом образцовым прибором измер етс толщина H покрыти непосредственно или по высоте уступа на краю покрыти . 1 ил.

Description

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл поверки и градуировки толщиномеров.

Цель изобретени - расширение диапазона имитируемых толщин и расширение области использовани за счет обеспечени возможности применени меры дл имитации различных значений толщин на шероховатых поверхност х.

На чертеже изображена схема меры толщины покрытий.

Мера содержит основание 1, устройство 2 нат жени и св занную с ними пленку 3 с нанесенным на нее тонким покрытием 4. Устройство 2 нат жени имеет элементы регулировани и отсчи- тывани заданного усили нат жени пленки (не показаны), Пленка в свободном состо нии имеет волнистую поверхность , а при упругом нат жении - гладкую. В качестве такой пленки удобно использовать политерефталат- ную пленку толщиной от 2 мкм. Мера

содержит также устройство креплени пленки (не показано).

Предлагаема мера работает следующим образом.

Дл аттестации толщины покрыти на образцовом приборе пленку 3 с нанесенным на нее покрытием 4 нат гивают с помощью устройства 2 нат жени , при этом она становитс гладкой , и закрепл ют ее на основании 1 с помощью устройства креплени . При этом образцовым прибором измер ют толщину h покрыти непосредственно или по высоте уступа на краю покрыти 4. При измерении высоты уступа интерференционным методом на краю перехода от поверхности покрыти 4.к поверхности пленки 3 нанос т дополнительное покрытие в виде сектора или бобьш1ки, что обеспечивает однородность ступеней поверхности, между которыми измер ют высоту уступа, и исключают погрешность скачка фазы. Нанесение покрыти целесообразно вы (Л

а :о

00 СП

1603185

полн ть при нат нутой гладкой пленке 3. После аттеста1щи толщины покрыти нат жение пленки 3 уменьшают, ее поверхность становитс волнистой и имитирует покрытие 4 известной толщины на шероховатой поверхности, В таком состо нии меру используют дл градуировки и поверки бесконтактного средства измерений толщины покрыти на шероховатых поверхност х, например , вихретокового толщиномера. Основание меры может быть выполнено как 11розрачным (стекло, кварц, иммерсион-i на жидкость), так и непрозрачным. Кроме того, поверхность основани 1 может быть плоской или цилиндрической в зависимости от формы поверхности

10

- (u, где Е - модуль упругости; Сh относительное утонение пленки 3 при раст жении; F - площадь попереч- 5 ного сечени пленки 3; rtj - коэффици ент Пуассона.

При Е 400 дл политерефталатной пленки 5п 0,01, F 4-10 м2 /i) 0,5, Q 1,6П.

При этом напр жение раст жени О 4 Ша, что дл алюминиевого покрыти пренебрежимо мало. Экспериментально действие усили нат жени на толщину покрыти можно 15 оценить в процессе аттестации его толщины образцовым средством, не

чувствительным к напр жени м в материале , при установлении двух различны усилий с помощью устройства нат жени

издели , на котором измер ют толщину ..„„„, ,

Claims

покрыти 4. При необходимости пленка 20 Формула изобретени

J может быть вьтолнена в виде репликиi с i е н и

с реальной поверхности издели , на

которую нанос т подлежащее измерению

покрытие.

При нат жении пленки 3 с покрытием 25 4 толщина последнего должна измен тьс пренебрежимо мало. Это обеспечиваетс тем, что при разглаживании пленки нат жением имеют место в основном изгибные деформации, а также зо пленки, и устройством нат ж;;а; плен- ограничением усили нат жени .Послед-i ки, а последн вьшолнена упругой и нее определ ют из зависимости Q волнистой в ненат нутом

Мера толщины покрытий, содержаща основание, накладную пленку и устройство ее креплени на основании, отличающа с тем, что, с целью расширени диапазона имитируемых толщин и расширени области использовани , она снабжена покрытием, нанесенным на поверхности накладной

- (u, где Е - модуль упругости; Сh относительное утонение пленки 3 при раст жении; F - площадь попереч- ного сечени пленки 3; rtj - коэффициент Пуассона.

При Е 400 дл политерефталатной пленки 5п 0,01, F 4-10 м2 /i) 0,5, Q 1,6П.

При этом напр жение раст жени О 4 Ша, что дл алюминиевого покрыти пренебрежимо мало. Экспериментально действие усили нат жени на толщину покрыти можно оценить в процессе аттестации его толщины образцовым средством, не

чувствительным к напр жени м в материале , при установлении двух различных усилий с помощью устройства нат жени .

..„„„, ,

Формула изобретени

пленки, и устройством нат ж;;а; плен- ки, а последн вьшолнена упругой и волнистой в ненат нутом

Мера толщины покрытий, содержаща основание, накладную пленку и устройство ее креплени на основании, отличающа с тем, что, с целью расширени диапазона имитируемых толщин и расширени области использовани , она снабжена покрытием, нанесенным на поверхности накладной