CN109540663B - 平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 99
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 89
- 238000007373 indentation Methods 0.000 title claims abstract description 85
- 238000003825 pressing Methods 0.000 title claims abstract description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 9
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000011158 quantitative evaluation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004154 testing of material Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000011160 research Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 230000005476 size effect Effects 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/08—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress by applying steady tensile or compressive forces
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/02—Details
- G01N3/06—Special adaptations of indicating or recording means
- G01N3/068—Special adaptations of indicating or recording means with optical indicating or recording means
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/40—Investigating hardness or rebound hardness
- G01N3/42—Investigating hardness or rebound hardness by performing impressions under a steady load by indentors, e.g. sphere, pyramid
- G01N3/46—Investigating hardness or rebound hardness by performing impressions under a steady load by indentors, e.g. sphere, pyramid the indentors performing a scratching movement
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/0001—Type of application of the stress
- G01N2203/0003—Steady
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/0014—Type of force applied
- G01N2203/0016—Tensile or compressive
- G01N2203/0019—Compressive
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
- G01N2203/0202—Control of the test
- G01N2203/021—Treatment of the signal; Calibration
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
- G01N2203/0202—Control of the test
- G01N2203/0212—Theories, calculations
- G01N2203/0218—Calculations based on experimental data
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
- G01N2203/06—Indicating or recording means; Sensing means
- G01N2203/0641—Indicating or recording means; Sensing means using optical, X-ray, ultraviolet, infrared or similar detectors
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
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Abstract
本发明涉及一种平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法,属于材料力学性能测试领域。通过超精密垂直度测量仪测量压痕试验中平压头相对被测试件表面的垂直度。通过平压头对被测试件施加压入载荷进行微纳米压痕测试,获得材料压痕测试的载荷—深度曲线。通过获取载荷—深度曲线卸载部分曲线顶部的斜率,利用弹塑性理论和Olive‑Pharr方法,定量评估平压头垂直度对压痕接触面积的影响,得到平压头垂直度对被测材料力学性能参数的修正计算方法。本发明通过测量压痕试验中平压头的垂直度,并对压痕试验测试的材料力学性能参数进行修正校准,为压痕测试中定量评估压头垂直度的影响并修正压痕测试结果提供定量的评价方法。
Description
技术领域
本发明涉及材料力学性能测试领域,特别涉及一种平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法。适用于微纳米压痕试验确定材料力学性能参数的测试方法。本发明可对压痕测试中由于压痕仪压头安装等因素引起的压头不垂直压入试样表面所引起的材料力学性能参数测量误差进行修正,以满足对被测材料硬度和杨氏模量等力学性能参数进行精确测量的需求。
背景技术
随着精密/超精密微纳米加工制造和精密检测技术的不断发展,各式各样的微纳米系统和微纳米结构器件层出不穷,相应地,材料在微纳米尺度下的力学性能研究也越来越受到关注,成为国际研究热点和难点。微纳米压痕测试技术是微纳米尺度下材料力学性能测试的最有效方法之一,近年来在仪器研制、理论算法以及测试应用等方面得到了长足发展。该技术采用具有特定尖端形状和已知硬度等参数的压头,在一定载荷和压入速度的作用下压入试件材料的表面,通过高分辨率的位移和力传感器采集压入深度信号和载荷信号,利用获取的压入载荷—位移关系曲线,根据接触理论计算得到材料的硬度、弹性模量等参数,测试方法简单、测试参数丰富且测试近似无损,在电子信息、生物工程、航空航天等高新尖端领域的测试中均有广泛的应用。
在微纳米压痕测试中,由于被测材料结构尺度小、测试精度要求高,因此在整个测试过程中不可避免地存在很多影响测试结果的因素。影响因素主要包括温度、噪声、振动、湿度等环境因素,压头的几何形状、尖端尺寸、硬度等压头因素以及被测试件的尺寸效应、表面粗糙度、凹陷凸起、残余应力等试件因素,尤其是在试验过程中,由于压头的加工缺陷、仪器的安装误差、仪器的机架柔度、被测试件的厚度均一性、被测试件的材料分布一致性等原因导致的压头不垂直压入被测试件表面的垂直度因素,对微纳米压痕测试结果影响尤其显著,其直接效应就是导致在微纳米压痕测试中压痕形貌呈现不对称现象,从而导致依据接触理论所计算得到的材料力学性能参数有偏差。目前,国内外研究学者多数采用仿真计算方法研究压痕测试中的垂直度及其对测试结果的影响,且多数只涉及玻氏压头,鲜有关于平压头压痕垂直度测量方法及平压头压痕测试的研究报道。
发明内容
本发明的目的在于提供一种平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法,解决了现有技术存在的上述问题。本发明采用压痕测试中平压头相对被测试件表面的垂直度测量方法以及垂直度对被测试件材料硬度以及杨氏模量等力学性能参数的修正方法,定量评估了压头垂直度对材料参数测量结果的影响。针对实际微纳米压痕测试试验中,由于加工、装配、仪器、人为等原因所引起的压头不垂直压入试件表面导致被测试件的材料力学性能参数存在较大误差的问题,通过搭建测试平台,利用超精密垂直度测量仪精确测量平压头与被测试件表面间的垂直度,获取平压头在压痕测试中与被测试件接触面积的校准方法,从而得到平压头垂直度对材料硬度以及杨氏模量等力学性能参数的定量修正方法。
本发明的上述目的通过以下技术方案实现:
平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法,在平压头压痕试验中,通过超精密垂直度测量仪测量平压头相对被测试件表面的垂直度,通过平压头对被测试件施加压入载荷进行微纳米压痕测试,获得材料压痕测试的载荷—深度曲线,通过计算载荷—深度曲线卸载部分曲线顶部的斜率,根据弹塑性接触理论和Olive-Pharr方法,计算平压头垂直度对压痕接触面积的影响,得到平压头垂直度对被测试件的材料力学性能参数的修正计算方法。包括如下步骤:
步骤1:通过超精密垂直度测量仪测量平压头相对被测试件表面的垂直度;超精密垂直度测量仪通过底座(1)安装在纳米压痕仪的X/Y移动平台上,调整零位;被测试件(8)通过熔融石蜡粘贴在角位台(7)上,角位台(7)通过紧定螺丝安装固定在底座(1)上,压头(9)通过紧定螺丝固定在纳米压痕仪的压头套上,调整纳米压痕仪的Z轴高度,使得压头(9)靠近被测试件(8)的表面;通过电机(6)驱动触头(3)贴于平压头的压头柄的圆柱面母线从B1点移动至B2点,通过位移传感器(5)测得母线B1B2的竖直投影长度O2B1,通过光栅传感器(4)测得母线B1B2的水平投影长度O2B2,计算得到所测得角度值在显示屏(2)上显示;电机(6)驱动触头(3)贴于被测试件表面从A1点移动至A2点,通过位移传感器(5)测得被测试件表面A1A2线的竖直投影长度O1A1,通过光栅传感器(4)测得被测试件表面A1A2线的水平投影长度O1A2,计算得到所测得角度值在显示屏(2)上显示;定义平压头相对被测试件表面的垂直度为平压头轴线与被测试件表面法线间的夹角α,则α=∠B2B1O2-∠O1A2A1,当α=0 时,平压头垂直压入试件表面;
步骤2:采用半径尺寸为r的平压头对被测试件施加压入载荷P进行微纳米压痕试验;在加载段,被测试件的材料在压入载荷作用下发生弹性变形,随着压入载荷的增大,材料发生塑性变形,加载曲线呈现非线性特征;卸载段,随着压头离开材料表面,材料发生弹性恢复,残余压入凹陷为塑性变形;通过纳米压痕仪测量加载和卸载段的压入载荷和压入深度获得压痕曲线,曲线中P和h分别代表压痕过程中的载荷和压入深度,定义Pmax为最大压入载荷,hmax为对应最大压痕深度,hR为残余压痕深度,hc为接触深度,S为接触刚度;通常采用函数P=C(h-hR)m对载荷—深度曲线中的卸载段顶部的25%~50%进行拟合,其中,C 和m为拟合参数,hR为残余压痕深度;定义接触刚度S为载荷—深度曲线卸载段起始点的斜率,即:接触深度其中ε是与压头形状相关的常量,平压头选取ε=1;定义接触面积A为压头与被测材料接触区域的投影面积,为接触深度hc的函数,即A=f(hc);根据弹塑性理论,被测试件材料的硬度利用P-h曲线卸载段的参数计算得到材料硬度;另外,根据Olive-Pharr方法,被测试件材料的约化杨氏模量E*表示为:其中,β为与压头形状相关的参数,对于平压头β=1;考虑压头弹性时,其中E和μ为被测材料的杨氏模量和泊松比,Ei和μi为压头的杨氏模量和泊松比;
步骤3:当平压头垂直压入被测试件表面,即α=0时,接触面积为等式(1):
A=π·r2 (1)
其中r为平压头的半径;当平压头倾斜压入被测试件表面,即α≠0时,接触面积为等式 (2)或等式(3):
其中,r为平压头的半径,α为平压头相对被测试件表面的垂直度,h为压入深度;根据等式(1)、等式(2)、等式(3)计算得到的接触面积,可推导得到:当平压头垂直压入被测试件表面,即α=0时,被测试件材料的约化杨氏模量为等式(4):
被测试件材料的硬度为等式(5):
当平压头倾斜压入被测试件表面,即α≠0时,被测试件材料的约化杨氏模量为等式(6)或等式(7):
被测试件材料的硬度为等式(8)或等式(9):
根据等式(6)~等式(9),可以得到平压头倾斜压入被测试件表面时,被测试件材料的约化杨氏模量的相对误差为等式(10)或等式(11):
当h<2rsinα时,
被测试件材料的硬度的相对误差为等式(12)或等式(13):
当h<2rsinα时,
对压痕测试中压头不垂直压入被测试件表面导致的材料压痕硬度和杨氏模量的测试误差进行了定量的修正计算。
本发明的有益效果在于:由超精密垂直度测量仪精确测量平压头相对被测试件表面的垂直度,根据接触理论获取接触面积与垂直度间的函数关系,根据弹塑性理论和Olive-Pharr 方法得到垂直度对被测材料硬度与杨氏模量的修正校准方法,可定量评估并修正由于加工、装配、仪器、人为等原因所引起的压头不垂直压入试件表面导致被测试件的材料力学性能参数的误差。充分考虑微纳米压痕测试中压头是否垂直压入试样表面的问题及可能带来的测量误差,提供一种压痕测试中平压头垂直度的测量方法及垂直度对压痕试验测试材料力学性能参数的修正计算方法,通过修正校准的材料力学性能参数更为准确。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本申请的一部分,本发明的示意性实例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。
图1为本发明的平压头垂直度测量系统;
图2为本发明的平压头压痕试验示意图;
图3为本发明的平压头压痕试验的典型载荷—深度曲线;
图4为本发明的对被测材料硬度和杨氏模量进行修正校准的流程示意图;
图5为按照本发明方法得到的被测试件材料的“约化杨氏模量相对误差|Error%|E*—垂直度角度α”的关系曲线;
图6为按照本发明方法得到的被测试件材料的“硬度相对误差|Error%|H—垂直度角度α”的关系曲线。
图中:1、底座;2、显示屏;3、触头;4、光栅传感器;5、位移传感器;6、电机;7、角位台;8、被测试件;9、压头。
具体实施方式
下面结合附图进一步说明本发明的详细内容及其具体实施方式。
参见图1至图6所示,本发明的平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法,在平压头压痕试验中,通过超精密垂直度测量仪测量平压头相对被测试件表面的垂直度,通过平压头对被测试件施加压入载荷进行微纳米压痕测试,获得材料压痕测试的载荷—深度曲线,通过计算载荷—深度曲线卸载部分曲线顶部的斜率,根据弹塑性接触理论和Olive-Pharr 方法,计算平压头垂直度对压痕接触面积的影响,得到平压头垂直度对被测试件的材料力学性能参数的修正计算方法。具体步骤如下:
步骤1:通过超精密垂直度测量仪测量平压头相对被测试件表面的垂直度;图1中,超精密垂直度测量仪通过底座(1)安装在纳米压痕仪的X/Y移动平台上,调整零位;被测试件(8)通过熔融石蜡粘贴在角位台(7)上,角位台(7)通过紧定螺丝安装固定在底座(1) 上,压头(9)通过紧定螺丝固定在纳米压痕仪的压头套上,调整纳米压痕仪的Z轴高度,使得压头(9)靠近被测试件(8)的表面;通过电机(6)驱动触头(3)贴于平压头的压头柄的圆柱面母线从B1点移动至B2点,通过位移传感器(5)测得母线B1B2的竖直投影长度 O2B1,通过光栅传感器(4)测得母线B1B2的水平投影长度O2B2,计算得到所测得角度值在显示屏(2)上显示;电机(6)驱动触头(3)贴于被测试件表面从A1点移动至A2点,通过位移传感器(5)测得被测试件表面A1A2线的竖直投影长度O1A1,通过光栅传感器(4)测得被测试件表面A1A2线的水平投影长度O1A2,计算得到所测得角度值在显示屏(2)上显示;定义平压头相对被测试件表面的垂直度为平压头轴线与被测试件表面法线间的夹角α,则α=∠B2B1O2-∠O1A2A1,当α=0时,平压头垂直压入试件表面;
步骤2:采用半径尺寸为r的平压头对被测试件施加压入载荷P进行微纳米压痕试验,如图2所示;在加载段,被测试件的材料在压入载荷作用下发生弹性变形,随着压入载荷的增大,材料发生塑性变形,加载曲线呈现非线性特征;卸载段,随着压头离开材料表面,材料发生弹性恢复,残余压入凹陷为塑性变形;通过纳米压痕仪测量加载和卸载段的压入载荷和压入深度获得压痕曲线,平压头压痕试验的典型压痕曲线如图3所示,曲线中P和h分别代表压痕过程中的载荷和压入深度,定义Pmax为最大压入载荷,hmax为对应最大压痕深度,hR为残余压痕深度,hc为接触深度,S为接触刚度;通常采用函数P=C(h-hR)m对载荷—深度曲线中的卸载段顶部的25%~50%进行拟合,其中,C和m为拟合参数,hR为残余压痕深度;定义接触刚度S为载荷—深度曲线卸载段起始点的斜率,即:接触深度其中ε是与压头形状相关的常量,平压头选取ε=1;定义接触面积A为压头与被测材料接触区域的投影面积,为接触深度 hc的函数,即A=f(hc);根据弹塑性理论,被测试件材料的硬度利用P-h曲线卸载段的参数计算得到材料硬度;另外,根据Olive-Pharr方法,被测试件材料的约化杨氏模量E*表示为:其中,β为与压头形状相关的参数,对于平压头β=1;考虑压头弹性时,其中E和μ为被测材料的杨氏模量和泊松比,Ei和μi为压头的杨氏模量和泊松比;
步骤3:步骤3:当平压头垂直压入被测试件表面,即α=0时,接触面积为等式(1):
A=π·r2 (1)
其中r为平压头的半径;当平压头倾斜压入被测试件表面,即α≠0时,接触面积为等式 (2)或等式(3):
当h<2rsinα时,当h>2rsinα时,其中,r为平压头的半径,α为平压头相对被测试件表面的垂直度,h为压入深度;根据等式(1)、等式(2)、等式(3)计算得到的接触面积,可推导得到:当平压头垂直压入被测试件表面,即α=0时,被测试件材料的约化杨氏模量为等式(4):
被测试件材料的硬度为等式(5):
当平压头倾斜压入被测试件表面,即α≠0时,被测试件材料的约化杨氏模量为等式(6)或等式(7):
被测试件材料的硬度为等式(8)或等式(9):
根据等式(6)~等式(9),可以得到平压头倾斜压入被测试件表面时,被测试件材料的约化杨氏模量的相对误差为等式(10)或等式(11):
当h<2rsinα时,
被测试件材料的硬度的相对误差为等式(12)或等式(13):
当h<2rsinα时,
图5为根据本发明方法中的等式10和等式11计算得到的被测试件材料的“约化杨氏模量相对误差|Error%|E*—垂直度角度α”的关系曲线;图6为根据本发明方法中的等式12和等式13计算得到的被测试件材料的“硬度相对误差|Error%|H—垂直度角度α”的关系曲线。
本发明通过测量压痕试验中平压头的垂直度,并对压痕试验测试的材料力学性能参数进行修正校准,为压痕测试中定量评估压头垂直度的影响并修正压痕测试结果提供定量的评价方法。对压痕测试中由于装配精度等因素引起的压头不垂直压入被测试件表面导致的材料压痕硬度和杨氏模量的测试误差进行了定量的修正计算。
以上所述仅为本发明的优选实例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡对本发明所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法,其特征在于:在平压头压痕试验中,通过超精密垂直度测量仪测量平压头相对被测试件表面的垂直度,通过平压头对被测试件施加压入载荷进行微纳米压痕测试,获得材料压痕测试的载荷—深度曲线,通过计算载荷—深度曲线卸载部分曲线顶部的斜率,根据弹塑性接触理论和Olive-Pharr方法,计算平压头垂直度对压痕接触面积的影响,得到平压头垂直度对被测试件的材料力学性能参数的修正计算方法;包括如下步骤:
步骤1:通过超精密垂直度测量仪测量平压头相对被测试件表面的垂直度;超精密垂直度测量仪通过底座(1)安装在纳米压痕仪的X/Y移动平台上,调整零位;被测试件(8)通过熔融石蜡粘贴在角位台(7)上,角位台(7)通过紧定螺丝安装固定在底座(1)上,压头(9)通过紧定螺丝固定在纳米压痕仪的压头套上,调整纳米压痕仪的Z轴高度,使得压头(9)靠近被测试件(8)的表面;通过电机(6)驱动触头(3)贴于平压头的压头柄的圆柱面母线从B1点移动至B2点,通过位移传感器(5)测得母线B1 B2的竖直投影长度O2B1,通过光栅传感器(4)测得母线B1 B2的水平投影长度O2 B2,计算得到所测得角度值在显示屏(2)上显示;电机(6)驱动触头(3)贴于被测试件表面从A1点移动至A2点,通过位移传感器(5)测得被测试件表面A1 A2线的竖直投影长度O1A1,通过光栅传感器(4)测得被测试件表面A1A2线的水平投影长度O1A2,计算得到所测得角度值在显示屏(2)上显示;定义平压头相对被测试件表面的垂直度为平压头轴线与被测试件表面法线间的夹角α,则α=∠B2B1O2-∠O1A2A1,当α=0时,平压头垂直压入试件表面;
步骤2:采用半径尺寸为r的平压头对被测试件施加压入载荷P进行微纳米压痕试验;在加载段,被测试件的材料在压入载荷作用下发生弹性变形,随着压入载荷的增大,材料发生塑性变形,加载曲线呈现非线性特征;卸载段,随着压头离开材料表面,材料发生弹性恢复,残余压入凹陷为塑性变形;通过纳米压痕仪测量加载和卸载段的压入载荷和压入深度获得压痕曲线,曲线中P和h分别代表压痕过程中的载荷和压入深度,定义Pmax为最大压入载荷,hmax为对应最大压痕深度,hR为残余压痕深度,hc为接触深度,S为接触刚度;通常采用函数P=C(h-hR)m对载荷—深度曲线中的卸载段顶部的25%~50%进行拟合,其中,C和m为拟合参数;定义接触刚度S为载荷—深度曲线卸载段起始点的斜率,即:接触深度其中ε是与压头形状相关的常量,平压头选取ε=1;定义接触面积A为压头与被测材料接触区域的投影面积,为接触深度hc的函数,即A=f(hc);根据弹塑性理论,被测试件材料的硬度利用P-h曲线卸载段的参数计算得到材料硬度;另外,根据Olive-Pharr方法,被测试件材料的约化杨氏模量E*表示为:其中,β为与压头形状相关的参数,对于平压头β=1;考虑压头弹性时,其中E和μ为被测材料的杨氏模量和泊松比,Ei和μi为压头的杨氏模量和泊松比;
步骤3:当平压头垂直压入被测试件表面,即α=0时,接触面积为等式(1):
A=π·r2 (1)
其中r为平压头的半径;当平压头倾斜压入被测试件表面,即α≠0时,接触面积为等式(2)或等式(3):
其中,r为平压头的半径,α为平压头相对被测试件表面的垂直度,h为压入深度;根据等式(1)、等式(2)、等式(3)计算得到的接触面积,可推导得到:当平压头垂直压入被测试件表面,即α=0时,被测试件材料的约化杨氏模量为等式(4):
被测试件材料的硬度为等式(5):
当平压头倾斜压入被测试件表面,即α≠0时,被测试件材料的约化杨氏模量为等式(6)或等式(7):
被测试件材料的硬度为等式(8)或等式(9):
根据等式(6)~等式(9),可以得到平压头倾斜压入被测试件表面时,被测试件材料的约化杨氏模量的相对误差为等式(10)或等式(11):
当h<2rsinα时,
被测试件材料的硬度的相对误差为等式(12)或等式(13):
当h<2rsinα时,
2.根据权利要求1所述的平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法,其特征在于:对压痕测试中压头不垂直压入被测试件表面导致的材料压痕硬度和杨氏模量的测试误差进行了定量的修正计算。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811212456.9A CN109540663B (zh) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109540663A CN109540663A (zh) | 2019-03-29 |
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ID=65844000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811212456.9A Active CN109540663B (zh) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 平压头垂直度对压痕测试材料力学参数的修正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109540663B (zh) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109932262B (zh) * | 2019-04-12 | 2020-11-10 | 中国原子能科学研究院 | 材料不同深度处的力学性能的测量方法 |
CN110434191B (zh) * | 2019-09-09 | 2020-10-13 | 长春理工大学 | 一种双向印压成孔圆锥压头对中检测及校正方法 |
CN111649858B (zh) * | 2020-07-13 | 2021-11-19 | 中国石油大学(华东) | 利用纳米压痕法测试材料残余应力三向应力方法及系统 |
CN111982635A (zh) * | 2020-09-09 | 2020-11-24 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种材料内部夹杂的弹性模量测定方法 |
CN112504887A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-16 | 辽宁中蓝光电科技有限公司 | 一种注塑件硬度测试装置 |
CN112668226B (zh) * | 2020-12-31 | 2022-04-26 | 湘潭大学 | 一种压痕测试装置测试结果的倾斜校正方法及系统 |
CN112834373B (zh) * | 2020-12-31 | 2022-09-02 | 湘潭大学 | 一种压痕测试装置压头倾斜角度的确定方法及系统 |
CN113484175B (zh) * | 2021-07-01 | 2022-09-06 | 重庆齿轮箱有限责任公司 | 一种基于形貌测量的材料力学性能分析方法 |
CN113640116B (zh) * | 2021-08-12 | 2023-12-15 | 太原理工大学 | 一种划痕测试装置及划痕测试方法 |
CN114838693B (zh) * | 2022-03-15 | 2023-09-29 | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 | 一种使用位移计测量压痕深度的连接装置及使用方法 |
CN115931548B (zh) * | 2022-10-13 | 2023-07-18 | 荣梓华 | 杨氏模量确定方法、装置和电子设备 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101710046B (zh) * | 2009-12-02 | 2011-05-11 | 马德军 | 仪器化微米压入测试材料杨氏模量的方法 |
CN102374953A (zh) * | 2010-08-20 | 2012-03-14 | 中国科学院金属研究所 | 一种测定材料载荷-位移曲线的压痕装置 |
CN103335905B (zh) * | 2013-07-19 | 2015-03-11 | 江苏大学 | 一种测量曲面显微硬度的方法 |
CN204536102U (zh) * | 2015-03-11 | 2015-08-05 | 吉林大学 | 原位微纳米压痕/划痕测试平台 |
CN107907398B (zh) * | 2017-11-15 | 2020-05-19 | 北京工业大学 | 一种用于恒深度纳米划痕实验的调平方法 |
-
2018
- 2018-10-18 CN CN201811212456.9A patent/CN109540663B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109540663A (zh) | 2019-03-29 |
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