KR101237497B1 - 검사영역의 설정방법 - Google Patents

검사영역의 설정방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101237497B1
KR101237497B1 KR1020090027162A KR20090027162A KR101237497B1 KR 101237497 B1 KR101237497 B1 KR 101237497B1 KR 1020090027162 A KR1020090027162 A KR 1020090027162A KR 20090027162 A KR20090027162 A KR 20090027162A KR 101237497 B1 KR101237497 B1 KR 101237497B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
measurement object
feature
image data
setting
change
Prior art date
Application number
KR1020090027162A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100108877A (ko
Inventor
김희태
황봉하
이승준
고광일
Original Assignee
주식회사 고영테크놀러지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 고영테크놀러지 filed Critical 주식회사 고영테크놀러지
Priority to KR1020090027162A priority Critical patent/KR101237497B1/ko
Priority to US12/748,801 priority patent/US8260030B2/en
Priority to DE102010003376.6A priority patent/DE102010003376B4/de
Priority to TW099109394A priority patent/TWI440847B/zh
Priority to JP2010075613A priority patent/JP2010237210A/ja
Priority to CN2010101583269A priority patent/CN101852745B/zh
Publication of KR20100108877A publication Critical patent/KR20100108877A/ko
Priority to JP2012122488A priority patent/JP5690774B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of KR101237497B1 publication Critical patent/KR101237497B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2408—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring roundness
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N2021/1765—Method using an image detector and processing of image signal
    • G01N2021/177—Detector of the video camera type

Abstract

검사영역의 설정방법은 스테이지에 측정 대상물을 배치시키는 단계, 측정 대상물에 대한 정보데이터를 불러들이는 단계, 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득하는 단계, 측정 대상물에 대한 이미지데이터와 측정 대상물에 대한 정보데이터를 토대로 적어도 하나 이상의 특징객체를 선택하는 단계, 정보데이터 및 이미지데이터로부터 선택된 특징객체의 적어도 하나 이상의 특징변수에 대한 변수 값을 각각 추출하는 단계, 변수 값 및 정량화된 변환 공식을 이용하여 상기 측정 대상물의 변화량을 산출하는 단계, 및 산출된 변화량을 보상하여 검사영역을 설정하는 단계를 포함한다. 따라서, 측정 대상물의 왜곡을 보상하여 검사영역을 설정할 수 있다.

Description

검사영역의 설정방법{METHOD OF SETTING INSPECTION AREA }
본 발명은 검사영역의 설정방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 형상 측정장치의 측정 대상물의 검사영역의 설정방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전자장치 내에는 적어도 하나의 인쇄회로기판(printed circuit board; PCB)이 구비된다. 이러한 인쇄회로기판은 보통 베이스 기판을 포함하며, 상기 베이스 기판 상에 형성된 회로 패턴, 연결 패드부, 상기 연결 패드부와 전기적으로 연결된 구동칩 등 다양한 회로 소자들을 포함한다.
일반적으로, 상기와 같은 다양한 회로 소자들이 상기 인쇄회로기판에 제대로 형성 또는 배치되었는지 확인하기 위하여 형상 측정장치가 사용된다.
종래의 형상 측정장치는 소정의 검사영역(또는 관심 영역; region of interest, ROI)을 설정하여, 상기 검사영역 내에서 소정의 회로 소자가 제대로 형성되어 있는지를 검사한다. 이때, 검사영역이 원하는 위치에 정확히 설정되어야, 검사를 요하는 회로 소자의 검사가 제대로 수행될 수 있다.
그러나, 인쇄회로기판과 같은 측정 대상물은 베이스 기판의 휨(warp), 뒤틀림(distortion) 등의 왜곡이 발생할 수 있으며, 상기 베이스 기판의 휨은 베이스 기판의 높이 편차와 수직 방향 경사의 형성을 야기하며 상기 베이스 기판의 뒤틀림은 베이스 기판의 수평 방향 경사의 형성을 야기한다.
따라서, 실제로 회로 소자가 존재하여야 할 영역을 검사영역으로 설정하는 종래의 검사영역의 설정방법은 상기와 같은 측정 대상물의 왜곡을 적절히 반영하지 못하므로, 촬영부의 카메라에서 획득하는 이미지는 실제로 회로 소자가 존재하는 위치와 일정한 차이가 발생한다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 일 목적은 측정 대상물의 왜곡을 보상한 검사영역의 설정방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 검사영역의 설정방법은 스테이지에 측정 대상물을 배치시키는 단계, 상기 측정 대상물에 대한 정보데이터를 불러들이는 단계, 상기 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득하는 단계, 상기 측정 대상물에 대한 이미지데이터와 상기 측정 대상물에 대한 정보데이터를 토대로, 적어도 하나 이상의 특징객체를 선택하는 단계, 상기 정보데이터 및 상기 이미지데이터로부터 상기 선택된 특징객체의 적어도 하나 이상의 특징변수에 대한 변수 값을 각각 추출하는 단계, 상기 변수 값 및 정량화된 변환 공식을 이용하여 상기 측정 대상물의 변화량을 산출하는 단계, 및 상기 산출된 변화량을 보상하여 검사영역을 설정하는 단계를 포함한다.
예를 들면, 상기 특징객체는 점, 선 및 도형 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상기 측정 대상물은 인쇄회로기판을 포함할 수 있으며, 상기 특징객체는 상기 인쇄회로기판에 형성된 패턴, 홀(hole), 회로 소자의 형상 및 코너 포인트 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 검사영역의 설정방법은 상기 정보데이터를 불러들이는 단계 이전에, 상기 측정 대상물에 대한 형상을 기록한 캐드정보로부터 상기 정보데이 터를 획득하는 단계 및 학습모드에 의해 획득된 학습정보로부터 상기 정보데이터를 획득하는 단계 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 측정 대상물에 대한 상기 이미지데이터를 획득하는 단계는, 2차원 이미지 측정을 위한 광원을 이용하여 상기 측정 대상물에 조사하는 단계 및 상기 조사된 광의 반사 이미지를 촬상하여 2차원 이미지데이터를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
다른 실시예로, 상기 측정 대상물에 대한 상기 이미지데이터를 획득하는 단계는, 3차원 이미지 측정을 위한 광원을 이용하여 상기 측정 대상물에 조사하는 단계, 상기 조사된 광의 반사 이미지를 촬상하여 3차원 이미지데이터를 획득하는 단계 및 상기 3차원 이미지데이터를 평균화하여 2차원 이미지데이터를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
일 예로, 상기 특징변수는 점의 좌표, 선의 기울기, 선의 크기 및 두 점간의 좌표의 차이 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 측정대상물의 변화량은, 수직 기울기의 변화량, 높이의 변화량, 수평 기울기의 변화량 및 위치의 변화량 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 이때, 상기 수직 기울기의 변화량은, 상기 측정대상물에 대한 3차원 정보데이터와, 상기 측정대상물의 측정된 3차원 이미지데이터를 비교하여, 상기 측정대상물의 기하학적 변형을 확인하여 보상할 수 있다.
상기 검사영역의 설정방법은 상기 변수 값 및 정량화된 변환 공식을 이용하여 상기 측정 대상물의 변화량을 산출하는 단계 이전에, 상기 정보데이터의 변수 값 및 상기 이미지데이터의 변수 값 사이의 위치의 변화, 기울기의 변화, 크기의 변화 및 변형도 중 적어도 하나를 이용하여 상기 변환 공식을 설정하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 변환 공식을 설정하는 단계는, 상기 정보데이터의 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제1 좌표 공간으로 설정하는 단계, 상기 이미지데이터의 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제2 좌표 공간으로 설정하는 단계 및 상기 제1 좌표 공간으로부터 상기 제2 좌표 공간으로 상기 위치의 변화, 기울기의 변화, 크기의 변화 및 변형도 중 적어도 하나의 좌표 변환 관계식을 각각 미지수를 포함하는 일차 변환식으로 표현하는 단계를 포함할 수 있으며, 상기 검사영역을 설정하는 단계는, 상기 정보데이터의 특징객체의 변수 값 및 상기 이미지데이터의 특징객체의 변수 값을 상기 일차 변환식으로 표현하는 단계, 상기 일차 변환식에 포함된 상기 미지수를 획득하여, 상기 변환 공식을 확정하는 단계 및 상기 확정된 변환 공식을 이용하여 상기 변화량에 의한 왜곡이 보상된 검사영역을 설정하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 예시적인 다른 실시예에 따른 검사영역의 설정방법은 스테이지에 측정 대상물을 배치시키는 단계, 상기 측정 대상물에 대한 다수의 제1 특징객체를 포함하는 정보데이터를 불러들이는 단계, 상기 측정 대상물에 대한 다수의 제2 특징객체를 포함하는 이미지데이터를 획득하는 단계, 상기 정보데이터의 제1 특징객체 중 적어도 하나를 추출하는 단계, 상기 이미지데이터 중 상기 추출된 제1 특징객체와 대응되는 제2 특징객체를 추출하는 단계, 상기 추출된 제1 특징객체와 상기 추출된 제2 특징객체의 위치를 비교함과 아울러, 상기 제1 특징객체와 상기 제2 특 징객체의 크기, 수평기울기 및 수직기울기 값 중 어느 하나 이상의 값을 비교하여 상기 측정 대상물의 변화량을 산출하는 단계, 및 상기 변화량에 근거하여 검사영역을 설정하는 단계를 포함한다.
예를 들면, 상기 특징객체는 점, 선 및 도형 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상기 측정 대상물은 인쇄회로기판을 포함할 수 있으며, 상기 특징객체는 상기 인쇄회로기판에 형성된 패턴, 홀, 회로 소자의 형상 및 코너 포인트 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 검사영역의 설정방법은 상기 정보데이터를 불러들이는 단계 이전에, 상기 측정 대상물에 대한 형상을 기록한 캐드정보로부터 상기 정보데이터를 획득하는 단계 및 학습모드에 의해 획득된 학습정보로부터 상기 정보데이터를 획득하는 단계 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 측정 대상물에 대한 상기 이미지데이터를 획득하는 단계는, 2차원 이미지 측정을 위한 광원을 이용하여 상기 측정 대상물에 조사하는 단계 및 상기 조사된 광의 반사 이미지를 촬상하여 2차원 이미지데이터를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
다른 실시예로, 상기 측정 대상물에 대한 상기 이미지데이터를 획득하는 단계는, 3차원 이미지 측정을 위한 광원을 이용하여 상기 측정 대상물에 조사하는 단계, 상기 조사된 광의 반사 이미지를 촬상하여 3차원 이미지데이터를 획득하는 단계 및 상기 3차원 이미지데이터를 평균화하여 2차원 이미지데이터를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 기하학적 왜곡에 기인한 측정 대상물의 변화량을 반영하여 상기 측정 대상물의 검사영역을 정확하게 보상할 수 있으므로, 이를 통해, 상기 측정 대상물에 대한 검사영역을 정확하게 설정할 수 있다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사영역의 설정방법을 사용하는 예시적인 3차원 형상 측정장치를 도시한 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 의한 검사영역의 설정방법을 사용하는 3차원 형상 측정장치는 측정 스테이지부(100), 영상 촬영부(200), 제1 및 제2 조명부들(300,400), 영상 획득부(500), 모듈 제어부(600) 및 중앙 제어부(700)를 포함할 수 있다.
상기 측정 스테이지부(100)는 측정 대상물(10)을 지지하는 스테이지(110) 및 상기 스테이지(110)를 이송시키는 스테이지 이송유닛(120)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 상기 스테이지(110)에 의해 상기 측정 대상물(10)이 상기 영상 촬영부(200)와 상기 제1 및 제2 조명부들(300,400)에 대하여 이동함에 따라, 상기 측정 대상물(10)에서의 측정위치가 변경될 수 있다.
상기 영상 촬영부(200)는 상기 스테이지(110)의 상부에 배치되어, 상기 측정 대상물(10)로부터 반사되어온 광을 인가받아 상기 측정 대상물(10)에 대한 영상을 측정한다. 즉, 상기 영상 촬영부(200)는 상기 제1 및 제2 조명부들(300,400)에서 출사되어 상기 측정 대상물(10)에서 반사된 광을 인가받아, 상기 측정 대상물(10)의 평면영상을 촬영한다.
상기 영상 촬영부(200)는 카메라(210), 결상렌즈(220), 필터(230) 및 램프(240)를 포함할 수 있다. 상기 카메라(210)는 상기 측정 대상물(10)로부터 반사되는 광을 인가받아 상기 측정 대상물(10)의 평면영상을 촬영하며, 일례로 CCD 카메라나 CMOS 카메라 중 어느 하나가 채용될 수 있다. 상기 결상렌즈(220)는 상기 카메라(210)의 하부에 배치되어, 상기 측정 대상물(10)에서 반사되는 광을 상기 카메라(210)에서 결상시킨다. 상기 필터(230)는 상기 결상렌즈(220)의 하부에 배치되어, 상기 측정 대상물(10)에서 반사되는 광을 여과시켜 상기 결상렌즈(220)로 제공하고, 일례로 주파수 필터, 컬러필터 및 광세기 조절필터 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. 상기 램프(240)는 상기 필터(230)의 하부에 원형으로 배치되어, 상기 측정 대상물(10)의 2차원 형상과 같은 특이영상을 촬영하기 위해 상기 측정 대상물(10)로 광을 제공할 수 있다.
상기 제1 조명부(300)는 예를 들면 상기 영상 촬영부(200)의 우측에 상기 측 정 대상물(10)을 지지하는 상기 스테이지(110)에 대하여 경사지게 배치될 수 있다. 상기 제1 조명부(300)는 제1 조명유닛(310), 제1 격자유닛(320), 제1 격자 이송유닛(330) 및 제1 집광렌즈(340)를 포함할 수 있다. 상기 제1 조명유닛(310)은 조명원과 적어도 하나의 렌즈로 구성되어 광을 발생시키고, 상기 제1 격자유닛(320)은 상기 제1 조명유닛(310)의 하부에 배치되어 상기 제1 조명유닛(310)에서 발생된 광을 격자무늬 패턴을 갖는 제1 격자 패턴광으로 변경시킨다. 상기 제1 격자 이송유닛(330)은 상기 제1 격자유닛(320)과 연결되어 상기 제1 격자유닛(320)을 이송시키고, 일례로 PZT(Piezoelectric) 이송유닛이나 미세직선 이송유닛 중 어느 하나를 채용할 수 있다. 상기 제1 집광렌즈(340)는 상기 제1 격자유닛(320)의 하부에 배치되어 상기 제1 격자유닛(320)로부터 출사된 상기 제1 격자 패턴광을 상기 측정 대상물(10)로 집광시킨다.
상기 제2 조명부(400)는 예를 들면 상기 영상 촬영부(200)의 좌측에 상기 측정 대상물(10)을 지지하는 상기 스테이지(110)에 대하여 경사지게 배치될 수 있다. 상기 제2 조명부(400)는 제2 조명유닛(410), 제2 격자유닛(420), 제2 격자 이송유닛(430) 및 제2 집광렌즈(440)를 포함할 수 있다. 상기 제2 조명부(400)는 위에서 설명한 상기 제1 조명부(300)와 실질적으로 동일하므로, 중복되는 상세한 설명은 생략한다.
상기 제1 조명부(300)는 상기 제1 격자 이송유닛(330)이 상기 제1 격자유닛(320)을 N번 순차적으로 이동하면서 상기 측정 대상물(10)로 N개의 제1 격자 패턴광들을 조사할 때, 상기 영상 촬영부(200)는 상기 측정 대상물(10)에서 반사된 상기 N개의 제1 격자 패턴광들을 순차적으로 인가받아 N개의 제1 패턴영상들을 촬영할 수 있다. 또한, 상기 제2 조명부(400)는 상기 제2 격자 이송유닛(430)이 상기 제2 격자유닛(420)을 N번 순차적으로 이동하면서 상기 측정 대상물(10)로 N개의 제2 격자 패턴광들을 조사할 때, 상기 영상 촬영부(200)는 상기 측정 대상물(10)에서 반사된 상기 N개의 제2 격자 패턴광들을 순차적으로 인가받아 N개의 제2 패턴영상들을 촬영할 수 있다. 여기서, 상기 N은 자연수로, 일 예로 4일 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 상기 제1 및 제2 격자 패턴광들을 발생시키는 조명장치로 상기 제1 및 제2 조명부들(300,400)만을 설명하였으나, 이와 다르게 상기 조명부의 개수는 3개 이상일 수도 있다. 즉, 상기 측정 대상물(10)로 조사되는 격자 패턴광이 다양한 방향에서 조사되어, 다양한 종류의 패턴영상들이 촬영될 수 있다. 예를 들어, 3개의 조명부들이 상기 영상 촬영부(200)를 중심으로 정삼각형 형태로 배치될 경우, 3개의 격자 패턴광들이 서로 다른 방향에서 상기 측정 대상물(10)로 인가될 수 있고, 4개의 조명부들이 상기 영상 촬영부(200)를 중심으로 정사각형 형태로 배치될 경우, 4개의 격자 패턴광들이 서로 다른 방향에서 상기 측정 대상물(10)로 인가될 수 있다.
상기 영상 획득부(500)는 상기 영상 촬영부(200)의 카메라(210)와 전기적으로 연결되어, 상기 카메라(210)로부터 상기 패턴영상들을 획득하여 저장한다. 예를 들어, 상기 영상 획득부(500)는 상기 카메라(210)에서 촬영된 상기 N개의 제1 패턴영상들 및 상기 N개의 제2 패턴영상들을 인가받아 저장하는 이미지 시스템을 포함한다.
상기 모듈 제어부(600)는 상기 측정 스테이지부(100), 상기 영상 촬영부(200), 상기 제1 조명부(300) 및 상기 제2 조명부(400)와 전기적으로 연결되어 제어한다. 상기 모듈 제어부(600)는 예를 들어, 조명 콘트롤러, 격자 콘트롤러 및 스테이지 콘트롤러를 포함한다. 상기 조명 콘트롤러는 상기 제1 및 제2 조명유닛들(310,410)을 각각 제어하여 광을 발생시키고, 상기 격자 콘트롤러는 상기 제1 및 제2 격자 이송유닛들(330,430)을 각각 제어하여 상기 제1 및 제2 격자유닛들(320, 420)을 이동시킨다. 상기 스테이지 콘트롤러는 상기 스테이지 이송유닛(120)을 제어하여 상기 스테이지(110)를 상하좌우로 이동시킬 수 있다.
상기 중앙 제어부(700)는 상기 영상 획득부(500) 및 상기 모듈 제어부(600)와 전기적으로 연결되어 각각을 제어한다. 구체적으로, 상기 중앙 제어부(700)는 상기 영상 획득부(500)의 이미지 시스템으로부터 상기 N개의 제1 패턴영상들 및 상기 N개의 제2 패턴영상들을 인가받아, 이를 처리하여 상기 측정 대상물의 3차원 형상을 측정할 수 있다. 또한, 상기 중앙 제어부(700)는 상기 모듈 제어부(600)의 조명 콘트롤러, 격자 콘트롤러 및 스테이지 콘트롤러를 각각 제어할 수 있다. 이와 같이, 상기 중앙 제어부는 이미지처리 보드, 제어 보드 및 인터페이스 보드를 포함할 수 있다.
상기와 같은 3차원 형상 측정장치를 이용하여 상기 측정 대상물(10)로 채용된 인쇄회로기판의 형상을 측정하기 위하여, 먼저 측정을 위한 검사영역을 설정한다. 상기 검사영역이 설정되면, 상기 3차원 형상 측정장치는 상기 검사영역을 기초로 상기 검사영역 내를 측정하게 된다.
이하, 상기 검사영역을 설정하는 방법을 보다 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사영역의 설정방법을 나타낸 흐름도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 검사영역을 설정하기 위하여, 먼저 스테이지(110)에 측정 대상물(10)을 배치시킨다(S110). 상기 측정 대상물(10)은 일 예로 인쇄회로기판을 포함할 수 있다.
이어서, 상기 측정 대상물(10)에 대한 정보데이터를 불러들인다(S120). 상기 정보데이터는 상기 측정 대상물(10)의 기준이 되는 데이터를 의미한다. 상기 정보데이터는 상기 측정 대상물(10)에 형성 또는 배치되는 다양한 회로 소자의 기준 위치와 형태 등을 포함한다. 즉, 상기 정보데이터는 상기 측정 대상물(10) 상에 배치된 회로 소자가 이론적으로 갖는 위치와 형태 등을 포함한다.
일 실시예로, 상기 정보데이터는 상기 측정 대상물에 대한 형상을 기록한 캐드(CAD)정보로부터 획득될 수 있다. 상기 캐드정보는 상기 측정 대상물의 설계정보를 포함한다.
다른 실시예로, 상기 정보데이터는 학습모드에 의해 얻어진 학습정보로부터 획득될 수 있다. 상기 학습모드는 예를 들면 순차적으로, 데이터베이스에서 보드정보를 검색하는 단계, 상기 데이터베이스 검색 결과, 보드정보가 없으면 베어보드의 학습을 실시하는 단계 및 베어보드의 학습이 완료되어 베어보드에 따른 보드정보가 산출되면, 상기 보드정보를 데이터베이스에 저장하는 단계와 같은 방식으로 구현될 수 있다.
즉, 상기 학습모드는 인쇄회로기판의 베어보드를 학습하여 인쇄회로기판의 설계 기준정보를 획득하는 것이며, 상기 학습모드를 통하여 학습정보를 획득함으로써 상기 정보데이터를 획득할 수 있다.
다음으로, 상기 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득한다(S130). 상기 이미지데이터는 상기 측정 대상물(10)을 촬영한 이미지에 대한 데이터를 의미하며, 일 예로 상기 촬영 이미지는 2차원 이미지이다. 상기 이미지데이터는 상기 측정 대상물(10)에 실제로 형성 또는 배치된 다양한 회로 소자의 형성 위치와 형태 등을 포함한다. 즉, 상기 이미지데이터는 상기 회로 소자가 실제로 형성된 위치와 형태 등을 포함한다.
도 3은 도 2의 검사영역의 설정방법 중 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득하는 구체적인 과정의 일 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 측정 대상물(10)에 대한 이미지데이터를 획득하기 위하여, 먼저 2차원 이미지 측정을 위한 광원을 이용하여 상기 측정 대상물에 조사한다(S132a). 상기 2차원 이미지 측정을 위한 광원은 일 실시예로 도 1에 도시된 원형램프(240)를 포함할 수 있다. 이와는 다르게, 도 1에 도시된 3차원 형상 측정장치는 다양한 목적을 위한 2차원 이미지 측정 광원을 포함할 수 있으며, 상기 2차원 이미지 측정 광원이 상기 2차원 이미지 측정을 위한 광원에 적용될 수 있다.
이어서, 상기 조사된 광의 반사 이미지를 촬상하여 2차원 이미지데이터를 획득한다(S132b). 구체적으로, 상기 2차원 이미지 측정을 위한 광원으로부터 발생된 광은 상기 측정 대상물(10)에 조사되고, 조사된 광이 상기 측정 대상물(10)로부터 반사되면, 반사된 영상을 도 1에 도시된 영상 촬영부(200)에서 촬상하여 2차원 이미지데이터를 획득할 수 있다.
도 4는 도 2의 검사영역의 설정방법 중 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득하는 구체적인 과정의 다른 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 1, 도 2 및 도 4를 참조하면, 상기 측정 대상물(10)에 대한 이미지데이터를 획득하기 위하여, 먼저 높이 기반의 3차원 이미지 측정을 위한 광원을 이용하여 상기 측정 대상물에 조사한다(S134a). 상기 3차원 이미지 측정을 위한 광원은 일 실시예로 도 1에 도시된 제1 조명부(300) 및 제2 조명부(400)를 포함할 수 있다. 이와는 다르게, 높이 기반의 상기 3차원 이미지 측정을 위한 광원은 도 1에서도 설명한 바와 같이 3개 이상의 조명부를 포함할 수 있다.
이어서, 상기 조사된 광의 반사 이미지를 촬상하여 높이 기반의 3차원 이미지데이터를 획득한다(S134b). 구체적으로, 상기 높이 기반의 3차원 이미지 측정을 위한 광원으로부터 발생된 패턴광은 상기 측정 대상물(10)에 조사되고, 조사된 패턴광이 상기 측정 대상물(10)로부터 반사되면, 반사된 영상을 도 1에 도시된 영상 촬영부(200)에서 촬상하여 패턴영상을 획득한다. 도 1에서 설명한 바와 같이, 상기 영상 촬영부(200)에서 획득된 상기 패턴영상은 영상 획득부(500)에서 저장되며, 중앙 제어부(700)에서 상기 패턴영상을 처리하여 높를 기반으로 하는 3차원 이미지데이터를 획득할 수 있다.
다음으로, 상기 높이 기반의 3차원 이미지데이터를 평균화(averaging)하여 2 차원 이미지데이터를 획득한다(S134c). 상기 3차원의 높이를 기반으로 하는 이미지데이터가 2차원 이미지데이터를 직접 포함하지 않더라도, 상기 3차원 높이를 기반으로 하는 이미지데이터를 평균화를 통하여 상기 2차원 이미지데이터를 용이하게 획득할 수 있다.
이때, 상기 높이 기반의 3차원 이미지데이터를 평균화하여 2차원 이미지 데이터를 획득하는 구체적은 수식은 예를 들면 다음과 같다.
Figure 112009019224595-pat00001
상기 수식에서, i는 상기 높이 기반의 3차원 이미지데이터를 획득하는 과정에서 상기 영상 촬영부(200)에서 획득한 휘도 값이며, a와 b는 각각 휘도의 평균값 및 진폭을 의미한다. 일 예로, 4개의 격자 패턴광에 높이 기반의 3차원 이미지데이터를 획득하는 경우, 상기 수식과 같이 a를 구할 수 있으며, 이를 2차원 이미지 데이터의 값으로 활용할 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 이어서, 상기 측정 대상물(10)에 대한 이미지데이터와 상기 측정 대상물(10)에 대한 정보데이터를 비교하여, 적어도 하나 이상의 특징객체를 선택한다(S140).
도 5는 도 2의 검사영역의 설정방법에서 특징객체를 설명하기 위한 평면도이다.
도 1, 도 2 및 도 5를 참조하면, 특징객체(20)는 후술되는 상기 이미지데이터와 상기 정보데이터 사이의 변화량을 측정할 대상이 되는 것으로, 상기 측정 대상물(10) 상에 존재한다. 상기 특징객체(20)는 원칙적으로 상기 측정 대상물(10) 상에 존재하는 모든 객체가 될 수 있으며, 예를 들면, 점(22), 선(24) 및 사각형(26)과 같은 점과 선을 포함하는 도형 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 이때, 상기 선은 직선, 곡선을 모두 포함할 수 있으며, 상기 도형은 원, 다각형 등의 수학적으로 정의되어 있는 도형뿐만 아니라 수학적으로 정의되지 않은 도형을 널리 포함할 수 있다.
상기 특징객체(20)를 선택함에 있어서, 상기 변화량을 측정하기 용이하고, 상기 측정 대상물(10)에 빈번히 나타나는 객체를 상기 특징객체(20)로 선택할 수 있다. 예를 들어, 상기 측정 대상물(10)이 인쇄회로기판인 경우, 상기 인쇄회로기판에 형성된 패턴, 홀(hole), 각종 회로 소자의 형상 및 상기 각 패턴들의 코너(corner) 포인트 중 적어도 하나를 상기 특징객체(20)로 선택할 수 있다.
한편, 상기 측정 대상물(10)에 대한 이미지데이터 및 정보데이터를 비교하 여, 상기 이미지데이터 및 상기 정보데이터에 모두 존재하는 객체를 상기 특징객체(20)로 선택할 수 있다.
다음으로, 상기 정보데이터 및 상기 이미지데이터로부터 상기 선택된 특징객체(20)의 적어도 하나 이상의 특징변수에 대한 변수 값을 각각 추출한다(S150).
일 예로, 상기 특징변수는 점의 좌표, 선의 기울기, 선의 크기 및 두 점간의 좌표의 차이 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 특징객체(20)가 점(22)인 경우, 상기 특징변수는 상기 점(22)의 좌표, 상기 점(22)의 반경 등이 될 수 있다. 상기 특징객체(20)가 선(24)인 경우, 상기 특징변수는 상기 선(24)의 양 끝점의 좌표, 상기 선(24)의 중심의 좌표, 상기 선(24)의 기울기, 상기 선(24)의 길이, 상기 선(24)의 폭 등이 될 수 있다. 상기 특징객체(20)가 도형, 예를 들어 사각형(26)인 경우, 상기 특징변수는 상기 사각형(26)의 각 꼭지점의 좌표, 상기 사각형(26)의 각 변의 기울기, 상기 사각형(26)의 각 변의 길이, 상기 사각형(26)의 각 꼭지점간의 좌표의 차이 등이 될 수 있다.
이어서, 상기 변수 값 및 정량화된 변환 공식을 이용하여 상기 측정 대상물(10)의 변화량을 산출한다(S160).
상기 변환 공식은 상기 정보데이터를 수학적으로 상기 이미지데이터로 변환하는 공식이다. 예를 들면, 상기 변환 공식은 n차원 공간 상의 점대응 관계가 1차식에 의해 표현되는 아핀(affine) 변환 또는 퍼스펙티브(Perspective) 변환에 따른 좌표변환 공식을 포함할 수 있다.
상기 측정 대상물(10)의 변화량은 휨, 뒤틀림 등으로 발생된 상기 측정 대상 물(10)의 왜곡된 정도를 의미한다. 상기 측정 대상물(10)의 변화량은 상기 측정 대상물(10)의 측정시 발생하는 측정상의 기하학적 왜곡에 의하여 야기될 수 있다. 예를 들면, 상기 측정 대상물(10)의 변화량은 상기 측정 대상물(10)의 휨, 뒤틀림 등에 의하여 발생하는 기하학적 왜곡에 의하여 발생할 수 있다.
도 6 내지 도 12는 측정 대상물의 기하학적 왜곡에 따른 측정 대상물의 변화량을 설명하기 위한 개념도들이다.
도 6 내지 도 11을 참조하면, 상기 측정 대상물(10)의 변화량은 수직 기울기의 변화량(AV), 높이의 변화량(H), 수평 기울기의 변화량(AH) 및 위치((x,y))의 변화량((x1-x0, y1-y0)) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
도 6은 상기 측정 대상물(10)에 다양한 기하학적 왜곡들이 존재하는 상태를 나타낸 측면도이다. 도 7은 상기 다양한 기하학적 왜곡들 중 수직 기울기의 변화량(AV)이 제거된 상태를 나타낸 측면도이다. 도 8은 도 7의 기하학적 왜곡들 중 높이의 변화량(AV)이 제거된 상태를 나타낸 측면도이다. 도면부호 50은 이상 평면(ideal plane)으로서, 상기 정보데이터에 해당하는 평면이다. 도 9는 도 8의 평면도이다. 도 10은 도 9의 기하학적 왜곡들 중 수평 기울기의 변화량(AH)이 제거된 상태를 나타낸 평면도이다. 도 11은 도 10의 기하학적 왜곡들 중 위치((x,y))의 변화량((x1-x0, y1-y0))이 제거된 상태를 나타낸 평면도이다. 도 11은 상기 다양한 기하학적 왜곡들 중 수직 기울기의 변화량(AV), 높이의 변화량(H), 수평 기울기의 변화량(AH) 및 위치((x,y))의 변화량((x1-x0, y1-y0))이 제거된 상태를 나타낸다. 도 12는 도 6에 도시된 측정 대상물(10)을 투영한 평면도이다. 따라서, 도 11은 상기 정보데이터의 일 예를 나타내며, 도 6에 대응하는 도 12는 상기 이미지데이터의 일 예를 나타낸다.
도 12에서, 상기 측정 대상물(10)은 좌측이 우측보다 영상 촬영부(200)(도 1 참조)에 보다 가깝게 위치하므로 이미지데이터는 좌측이 더 크게 촬영된다. 또한, 좌측 및 우측 모두 이상 평면(50)보다 가깝게 위치하므로, 실제 크기보다 더 크게 촬영된다.
다시 말해, 이 경우 상기 측정 대상물(10)이, 그 자체의 기하학적 왜곡에 의해 상기와 같이 좌측이 우측보다 영상 촬영부(200)에 보다 더 크게 촬영되어 사다리꼴과 유사한 형상으로 측정될 경우, 전술한 높이 기반의 측정 대상물(10)에 대한 3차원 정보데이터와, 상기 측정 대상물(10)의 측정된 3차원 이미지데이터를 비교하여, 퍼스펙티브(perspective) 변환에 따른 상기 측정대상물의 기하학적 변형, 즉, 상기 측정 대상물(10)의 수직 기울기 변화량에 대한 변형을 확인하여 보상할 수 있다.
한편, 일 실시예로, 상기 변환 공식은 상기 정보데이터의 변수 값 및 상기 이미지데이터의 변수 값 사이의 위치의 변화, 기울기의 변화, 크기의 변화 및 변형도 중 적어도 하나를 이용하여 설정할 수 있다. 즉, 전술한 바와 같이 도 11에서 일 예로 나타낸 정보데이터와 도 12에서 일 예로 나타낸 이미지데이터는 위치의 변화, 기울기의 변화, 크기의 변화 및 변형도 등이 발생한다. 이때, 상기 변형도는 원근 변형 또는 투영 변형에 의하여 발생되는 변화이다.
이러한 변화들은 미리 변환 공식으로 설정할 수 있다. 즉, 도 11의 정보데 이터의 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제1 좌표 공간, 예를 들어 (X,Y) 공간으로 설정하고, 도 12의 이미지데이터의 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제2 좌표 공간, 예를 들어 (U,V) 공간으로 설정한다. 이어서, 상기 제1 좌표 공간으로부터 상기 제2 좌표 공간으로 상기 위치의 변화, 기울기의 변화, 크기의 변화 및 변형도 중 적어도 하나의 좌표 변환 관계식을 각각 일차 변환식으로 표현한다. 일반적으로, 상기 측정 대상물(10)을 측정하는 시점과 측정 대상물(10)의 위치에 따라 변화의 종류와 정도도 변하며, 상기 측정 대상물(10)이 바뀌면 변화의 종류와 정도도 역시 변하므로, 상기 일차 변환식을 구성하는 변환 계수들은 미지수이지만, 상기 변환 공식은 미리 설정할 수 있다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 다음으로, 상기 산출된 변화량을 보상하여 검사영역을 설정한다(S170). 즉, 상기 측정 대상물(10)의 변화량은 측정시의 기하학적 왜곡에 의하여 발생된 것이므로, 이를 보상하면 어긋난 검사영역을 올바르게 설정할 수 있다.
예를 들어, 앞선 과정에서 상기 정보데이터를 불러들이고(S120) 상기 이미지데이터를 획득하면(S130), 상기 정보데이터의 특징객체의 변수 값 및 상기 이미지데이터의 특징객체의 변수 값을 상기 일차 변환식으로 표현한 후, 상기 일차 변환식에 포함된 상기 미지수를 획득하여 상기 변환 공식을 확정할 수 있다. 상기 변환 공식이 확정되면 상기 변환 공식을 이용하여 상기 변화량에 의한 왜곡이 보상된 상기 검사영역을 설정할 수 있다.
상기와 같이 본 발명에 의한 검사영역의 설정방법에 따르면, 측정 대상물의 기하학적 왜곡에 기인한 측정 대상물(10)의 변화량을 반영하여 상기 측정 대상물의 변화량을 보상할 수 있으므로, 이를 통해, 상기 측정 대상물에 대한 검사영역을 정확하게 설정할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.　 따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사영역의 설정방법을 사용하는 예시적인 3차원 형상 측정장치를 도시한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사영역의 설정방법을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 도 2의 검사영역의 설정방법 중 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득하는 구체적인 과정의 일 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 4는 도 2의 검사영역의 설정방법 중 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득하는 구체적인 과정의 다른 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 5는 도 2의 검사영역의 설정방법에서 특징객체를 설명하기 위한 평면도이다.
도 6 내지 도 12는 측정 대상물의 기하학적 왜곡에 따른 측정 대상물의 변화량을 설명하기 위한 개념도들이다.
<주요 도면번호에 대한 간단한 설명>
10 : 측정 대상물 20 : 특징객체
50 : 이상 평면 100 : 측정 스테이지부
200 : 영상 촬영부 300 : 제1 조명부
400 : 제2 조명부 500 : 영상 획득부
600 : 모듈 제어부 700 : 중앙 제어부
AH : 수평 기울기의 변화량 AV : 수직 기울기의 변화량
H : 높이의 변화량

Claims (17)

  1. 스테이지에 측정 대상물을 배치시키는 단계;
    상기 측정 대상물에 대한 정보데이터를 불러들이는 단계;
    상기 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득하는 단계;
    상기 측정 대상물에 대한 이미지데이터와 상기 측정 대상물에 대한 정보데이터에서 적어도 하나 이상의 특징객체를 선택하는 단계;
    상기 정보데이터 및 상기 이미지데이터로부터 상기 선택된 특징객체에 대한 적어도 하나 이상의 특징변수를 각각 추출하는 단계; 및
    상기 특징변수 및 정량화된 변환 공식을 이용하여 상기 측정 대상물의 변화량을 산출하는 단계; 및
    상기 산출된 변화량을 보상하여 검사영역을 설정하는 단계를 포함하고,
    상기 특징변수 및 정량화된 변환 공식을 이용하여 상기 측정 대상물의 변화량을 산출하는 단계 이전에,
    상기 정보데이터의 특징변수 및 상기 이미지데이터의 특징변수 사이의 위치의 변화, 기울기의 변화, 크기의 변화 및 변형도 중 적어도 하나를 이용하여 상기 변환 공식을 설정하는 단계를 더 포함하고,
    상기 변환 공식을 설정하는 단계는,
    상기 정보데이터의 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제1 좌표 공간으로 설정하는 단계;
    상기 이미지데이터의 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제2 좌표 공간으로 설정하는 단계; 및
    상기 제1 좌표 공간으로부터 상기 제2 좌표 공간으로 상기 위치의 변화, 기울기의 변화, 크기의 변화 및 변형도 중 적어도 하나의 좌표 변환 관계식을 각각 미지수를 포함하는 변환식으로 표현하는 단계를 포함하고,
    상기 검사영역을 설정하는 단계는,
    상기 정보데이터의 특징변수 및 상기 이미지데이터의 특징변수를 상기 변환식으로 표현하는 단계;
    상기 변환식에 포함된 상기 미지수를 획득하여, 상기 변환 공식을 확정하는 단계; 및
    상기 확정된 변환 공식을 이용하여 상기 변화량에 의한 왜곡이 보상된 검사영역을 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정 대상물은 인쇄회로기판을 포함하고,
    상기 특징객체는 상기 인쇄회로기판에 형성된 패턴, 홀, 회로 소자의 형상 및 코너 포인트 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 특징변수는,
    점의 좌표, 선의 기울기, 선의 크기 및 두 점간의 좌표의 차이 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 정보데이터를 불러들이는 단계 이전에,
    상기 측정 대상물에 대한 형상을 기록한 캐드정보로부터 상기 정보데이터를 획득하는 단계; 및
    학습모드에 의해 획득된 학습정보로부터 상기 정보데이터를 획득하는 단계 중 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 측정 대상물에 대한 상기 이미지데이터를 획득하는 단계는,
    2차원 이미지 측정을 위한 광원을 이용하여 상기 측정 대상물에 조사하는 단계; 및
    상기 조사된 광의 반사 이미지를 촬상하여 2차원 이미지데이터를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 측정 대상물에 대한 상기 이미지데이터를 획득하는 단계는,
    3차원 이미지 측정을 위한 광원을 이용하여 상기 측정 대상물에 조사하는 단 계;
    상기 조사된 광의 반사 이미지를 촬상하여 3차원 이미지데이터를 획득하는 단계; 및
    상기 3차원 이미지데이터를 평균화하여 2차원 이미지데이터를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 특징 변수는,
    수직 기울기의 변화량 및 높이의 변화량 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 수직 기울기의 변화량은,
    상기 측정 대상물에 대한 3차원 정보데이터와, 상기 측정 대상물의 측정된 3차원 이미지데이터를 비교하여 산출된 상기 측정대상물의 기하학적 변형을 이용하여 획득되는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 수직 기울기의 변화량은,
    상기 정보데이터에서 선택된 특징객체의 평면적 형상과, 상기 획득된 이미지데이터에서 상기 선택된 특징객체에 대응되는 특징객체의 평면적 형상을 비교하여 산출된 기하학적 변형을 이용하여 획득되는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 스테이지에 측정 대상물을 배치시키는 단계;
    상기 측정 대상물에 대한 제1 특징객체를 포함하는 정보데이터를 불러들이는 단계;
    상기 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득하는 단계;
    상기 이미지데이터 중 상기 제1 특징객체와 대응되는 제2 특징객체를 추출하는 단계;
    상기 제1 특징객체의 평면적 형상과 상기 추출된 제2 특징객체의 평면적 형상을 적어도 하나의 특징변수를 통해 비교하여 기하학적 변형을 확인하고, 상기 기하학적 변형을 정량화하여 상기 측정 대상물의 수직 방향의 변화량을 산출하는 단계; 및
    상기 수직 방향의 변화량에 근거하여 검사영역을 설정하는 단계를 포함하고,
    상기 검사영역을 설정하는 단계 이전에,
    상기 정보데이터의 제1 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제1 좌표 공간으로 설정하는 단계;
    상기 이미지데이터의 제2 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제2 좌표 공간으로 설정하는 단계; 및
    상기 제1 좌표 공간으로부터 상기 제2 좌표 공간으로 위치의 변화, 기울기의 변화, 크기의 변화 및 변형도 중 적어도 하나의 좌표 변환 관계식을 각각 미지수를 포함하는 변환식으로 표현하여 변환 공식을 설정하는 단계를 포함하고,
    상기 검사영역을 설정하는 단계는,
    상기 정보데이터의 특징변수 및 상기 이미지데이터의 특징변수를 상기 변환식으로 표현하는 단계;
    상기 변환식에 포함된 상기 미지수를 획득하여, 상기 변환 공식을 확정하는 단계; 및
    상기 확정된 변환 공식을 이용하여 검사영역을 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제1 특징객체는 다각형 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  14. 스테이지에 측정 대상물을 배치시키는 단계;
    상기 측정 대상물에 대한 정보데이터를 불러들이는 단계;
    상기 측정 대상물에 대한 이미지데이터를 획득하는 단계;
    상기 측정 대상물에 대한 이미지데이터와 상기 측정 대상물에 대한 정보데이터에서 적어도 하나 이상의 특징객체를 선택하는 단계;
    상기 정보데이터 및 상기 이미지데이터로부터 상기 선택된 특징객체에 대한 적어도 하나 이상의 특징변수에 기초한 기하학적 변형량을 각각 추출하는 단계; 및
    상기 기하학적 변형량 및 정량화된 변환 공식을 이용하여 상기 측정 대상물의 수직 기울기의 변화 및 높이의 변화 중 적어도 하나에 의해 발생하는 왜곡을 보상하여 상기 측정대상물의 검사영역을 설정하는 단계를 포함하고,
    상기 검사영역을 설정하는 단계 이전에,
    상기 정보데이터의 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제1 좌표 공간으로 설정하는 단계;
    상기 이미지데이터의 특징객체에 해당하는 좌표 공간을 제2 좌표 공간으로 설정하는 단계; 및
    상기 제1 좌표 공간으로부터 상기 제2 좌표 공간으로 상기 수직 기울기의 변화 및 상기 높이의 변화 중 적어도 하나의 좌표 변환 관계식을 각각 미지수를 포함하는 변환식으로 표현하여 변환 공식을 설정하는 단계를 포함하고,
    상기 검사영역을 설정하는 단계는,
    상기 정보데이터의 특징변수 및 상기 이미지데이터의 특징변수를 상기 변환식으로 표현하는 단계;
    상기 변환식에 포함된 상기 미지수를 획득하여, 상기 변환 공식을 확정하는 단계; 및
    상기 확정된 변환 공식을 이용하여 검사영역을 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 특징 객체는 평면적 형상을 가지며,
    상기 기하학적 변형량은 평면적 형상의 변형량을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사영역의 설정방법.
  16. 삭제
  17. 삭제
KR1020090027162A 2009-03-30 2009-03-30 검사영역의 설정방법 KR101237497B1 (ko)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090027162A KR101237497B1 (ko) 2009-03-30 2009-03-30 검사영역의 설정방법
US12/748,801 US8260030B2 (en) 2009-03-30 2010-03-29 Inspection method
DE102010003376.6A DE102010003376B4 (de) 2009-03-30 2010-03-29 Untersuchungsverfahren
TW099109394A TWI440847B (zh) 2009-03-30 2010-03-29 檢測方法
JP2010075613A JP2010237210A (ja) 2009-03-30 2010-03-29 検査方法
CN2010101583269A CN101852745B (zh) 2009-03-30 2010-03-30 检查方法
JP2012122488A JP5690774B2 (ja) 2009-03-30 2012-05-29 検査方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090027162A KR101237497B1 (ko) 2009-03-30 2009-03-30 검사영역의 설정방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100108877A KR20100108877A (ko) 2010-10-08
KR101237497B1 true KR101237497B1 (ko) 2013-02-26

Family

ID=43130078

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090027162A KR101237497B1 (ko) 2009-03-30 2009-03-30 검사영역의 설정방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101237497B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101447570B1 (ko) * 2013-04-30 2014-10-07 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사방법 및 이를 이용한 기판 검사장치
KR20180043463A (ko) * 2016-10-20 2018-04-30 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101281454B1 (ko) 2010-10-13 2013-07-03 주식회사 고영테크놀러지 측정장치 및 이의 보정방법
KR101231597B1 (ko) 2010-11-15 2013-02-08 주식회사 고영테크놀러지 검사방법
KR101311215B1 (ko) * 2010-11-19 2013-09-25 경북대학교 산학협력단 기판 검사방법
WO2012091494A2 (ko) 2010-12-29 2012-07-05 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사방법
KR101642897B1 (ko) * 2011-07-13 2016-07-26 주식회사 고영테크놀러지 검사방법
KR101444258B1 (ko) * 2013-09-12 2014-10-30 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사 시의 보상 매트릭스의 유효성 판단 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100323513B1 (ko) 1999-05-19 2002-02-04 구자홍 프린트기판의 외관 검사장치 및 그 검사방법
KR20020017532A (ko) * 2000-08-30 2002-03-07 이형도 인쇄회로기판의 회로불량 검사방법
JP2006099758A (ja) * 2004-09-06 2006-04-13 Omron Corp 基板検査方法および基板検査装置
KR100612933B1 (ko) * 2005-12-14 2006-08-14 주식회사 고영테크놀러지 3차원 형상 측정장치 및 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100323513B1 (ko) 1999-05-19 2002-02-04 구자홍 프린트기판의 외관 검사장치 및 그 검사방법
KR20020017532A (ko) * 2000-08-30 2002-03-07 이형도 인쇄회로기판의 회로불량 검사방법
JP2006099758A (ja) * 2004-09-06 2006-04-13 Omron Corp 基板検査方法および基板検査装置
KR100612933B1 (ko) * 2005-12-14 2006-08-14 주식회사 고영테크놀러지 3차원 형상 측정장치 및 방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101447570B1 (ko) * 2013-04-30 2014-10-07 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사방법 및 이를 이용한 기판 검사장치
KR20180043463A (ko) * 2016-10-20 2018-04-30 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법
KR101893831B1 (ko) 2016-10-20 2018-08-31 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100108877A (ko) 2010-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5690774B2 (ja) 検査方法
KR101237497B1 (ko) 검사영역의 설정방법
JP6317296B2 (ja) ３次元形状の測定方法及び測定装置
JP5256251B2 (ja) 測定対象物の検査方法
JP5562407B2 (ja) 基板検査装置及び検査方法
KR101081538B1 (ko) 3차원 형상 측정장치 및 측정방법
KR101196219B1 (ko) 3차원 형상 측정장치의 높이 측정방법 및 이를 이용한 3차원 형상 측정장치
JP5307876B2 (ja) 検査方法
KR101659302B1 (ko) 3차원 형상 측정장치
CN105823438B (zh) 三维形状测量装置的高度测量方法
JP5411913B2 (ja) 端子のチップ位置設定方法
KR20110089486A (ko) 실장기판 검사장치 및 검사방법
KR20110086222A (ko) 3차원 형상 측정장치
KR101547218B1 (ko) 기판 검사방법
KR101144749B1 (ko) 소자의 불량 검사방법
KR101684244B1 (ko) 기판 검사방법
KR101056995B1 (ko) 3차원 형상 검사방법
KR101133641B1 (ko) 3차원 형상 검사방법
KR101132792B1 (ko) 기판 검사방법
KR20110002985A (ko) 터미널 검사방법
KR101311255B1 (ko) 측정대상물 검사방법
KR101216453B1 (ko) 측정대상물 검사방법
KR20110097748A (ko) 터미널 검사방법
KR20120049196A (ko) 3차원형상 측정방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160128

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161206

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171204

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181211

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191210

Year of fee payment: 8