DE102010003376B4

DE102010003376B4 - Untersuchungsverfahren

Info

Publication number: DE102010003376B4
Application number: DE102010003376.6A
Authority: DE
Inventors: Hee-Tae Kim; Bong-Ha HWANG; Seung-Jun Lee; Kwangill Koh
Original assignee: Koh Young Technology Inc
Current assignee: Koh Young Technology Inc
Priority date: 2009-03-30
Filing date: 2010-03-29
Publication date: 2021-04-01
Anticipated expiration: 2030-03-30
Also published as: DE102010003376A1; CN101852745B; TW201043949A; TWI440847B; CN101852745A; JP2010237210A; US20100246931A1; JP5690774B2; JP2012198229A; US8260030B2

Abstract

Untersuchungsverfahren, umfassend:Festlegen (S210) eines Messbereichs (FOV) auf einer Platine;Einholen (S220) von Referenzdaten (RI) für den Messbereich (FOV);Gewinnen (S230) von Messdaten (PI) für den Messbereich (FOV);Festlegen (S240) mindestens eines Merkmalsblocks (FBI, FB2) durch Bestimmen eines Blocks in dem Messbereich (FOV);Vergleichen (S250) von ersten Forminformationen des Merkmalsblocks (FB1, FB2) in den Referenzdaten (RI) mit zweiten Forminformationen des Merkmalsblocks (FB1, FB2) in den Messdaten (PI), um eine Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten (RI) und den Messdaten (PI) zu gewinnen; undKompensieren der Verzerrung durch Verwendung der Konvertierungsbeziehung, um einen Untersuchungsbereich zum Untersuchen eines Messobjekts (10) festzulegen (S260),wobei Festlegen mindestens eines Merkmalsblocks (FB1, FB2) für vorbestimmte Forminformationen in dem Messbereich (FOV) durch einen Block Folgendes umfasst:Festlegen eines Vergleichsmerkmalsblocks, um die Forminformationen zu vergleichen; undFestlegen eines Verifizierungsmerkmalsblocks, um die Gültigkeit des festgelegten Untersuchungsbereichs des Messobjekts (10) zu verifizieren, undwobei das Verfahren ferner umfasst, durch Verwendung des Verifizierungsmerkmalsblocks zu beurteilen, ob der festgelegte Untersuchungsbereich des Messobjekts (10) gültig ist oder nicht,wobei das Beurteilen, ob der festgelegte Untersuchungsbereich des Messobjekts (10) gültig ist, Folgendes umfasst:Konvertieren (S272) des Verifizierungsmerkmalsblocks durch Verwendung der Konvertierungsbeziehung;Messen des Verifizierungsmerkmalsblocks;Vergleichen des konvertierten Merkmalsblocks und des gemessenen Verifizierungsmerkmalsblocks, um zu beurteilen (S272), ob sich der Ortsunterschied zwischen dem konvertierten Merkmalsblock und dem gemessenen Verifizierungsmerkmalsblock innerhalb einer Toleranz befindet; undRücksetzen der Konvertierungsbeziehung, wenn sich der Ortsunterschied außerhalb der Toleranz befindet.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
GEBIET DER ERFINDUNG
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung betreffen ein Untersuchungsverfahren. Insbesondere betreffen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung ein Untersuchungsverfahren für ein Messobjekt in einem Formmessgerät.
DISKUSSION DES HINTERGRUNDS
Im Allgemeinen wird in einer elektronischen Vorrichtung mindestens eine gedruckte Leiterplatte (PCB) eingesetzt, und verschiedene Schaltungselemente, wie zum Beispiel ein Schaltungsmuster, ein Verbindungspadteil, ein elektrisch mit dem Verbindungspadteil verbundener Treiberchip usw. sind auf der gedruckten Leiterplatte montiert.
Ein Formmessgerät wird üblicherweise verwendet, um zu prüfen, ob die verschiedenen Schaltelemente auf der Leiterplatte gut ausgebildet und konfiguriert sind oder nicht.
In einem herkömmlichen Formmessgerät ist ein vorbestimmter Untersuchungsbereich festgelegt, um zu untersuchen, ob Schaltelemente in dem Untersuchungsbereich gut ausgebildet sind oder nicht. In einem herkömmlichen Verfahren zum Festlegen eines Untersuchungsbereichs wird ein Bereich, in dem theoretisch Schaltelemente angeordnet sind, einfach als Untersuchungsbereich festgelegt.
Wenn der Untersuchungsbereich auf einen richtigen Ort festgelegt ist, wird eine Messung eines gewünschten Schaltelements gut durchgeführt. In einem Messobjekt wie einer gedruckten Leiterplatte kann jedoch Verzerrung, wie zum Beispiel Wölbung, Verdrehung usw., einer Grundplatine generiert werden. Daher wird in dem herkömmlichen Verfahren zum Festlegen eines Untersuchungsbereichs der Untersuchungsbereich nicht richtig auf den gewünschten Ort festgelegt, und ein Ort, der einem in einer Kamera gewonnenen Bild eines Fotografierabschnitts entspricht, unterscheidet sich ein wenig von einem Ort, an dem ein Schaltelement tatsächlich vorhanden ist.
Daher muss ein Untersuchungsbereich derart festgelegt werden, dass die Verzerrung des Messobjekts kompensiert wird.
In der US 5,023,917 A ist ein Kompensationsverfahren bekannt, bei dem einzelne Punkte eines aufgenommenen Musters mit Punkten eines entsprechenden Referenzmusters verglichen werden, um einen Koordinaten-Offset zu bestimmen. Auf der Grundlage der einzelnen Koordinaten-Offsets wird ein Deformationsparameter bestimmt.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung stellen ein Untersuchungsverfahren bereit, das in der Lage ist, einen Untersuchungsbereich festzulegen, in dem Verzerrung eines Messobjekts kompensiert wird.
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung stellen auch ein Untersuchungsverfahren bereit, das in der Lage ist, einen Untersuchungsbereich festzulegen, in dem Verzerrung eines Messobjekt kompensiert wird, und einen Untersuchungsbereich durch Festlegen und Verifizieren eines Merkmals einschließlich einer Vielzahl von Formmustern richtig festzulegen, wenn ähnliche Muster auf einer Platine benachbart sind.
Zusätzliche Merkmale der Erfindung werden in der folgenden Beschreibung dargelegt und werden teilweise aus der Beschreibung deutlich oder können durch Anwendung der Erfindung erlernt werden.
Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung offenbart ein Untersuchungsverfahren wie in Patentanspruch 1 aufgeführt. Das Untersuchungsverfahren beinhaltet Festlegen eines Messbereichs auf einer Platine, Einholen von Referenzdaten für den Messbereich, Gewinnen von Messdaten für den Messbereich, Festlegen mindestens eines Merkmalsblocks durch Bestimmen eines Blocks in dem Messbereichs, Vergleichen von ersten Forminformationen des Merkmalsblocks in den Referenzdaten mit zweiten Forminformationen des Merkmalsblocks in den Messdaten, um eine Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten und den Messdaten zu gewinnen, sowie Kompensieren der Verzerrung durch Verwendung der Konvertierungsbeziehung, um einen Untersuchungsbereich zum Untersuchen eines Messobjekts festzulegen.
Dabei beinhaltet das Festlegen mindestens eines Merkmalsblocks für vorbestimmte Forminformationen in dem Messbereich durch einen Block Festlegen eines Vergleichsmerkmalsblocks, um die Forminformationen zu vergleichen, und Festlegen eines Verifizierungsmerkmalsblocks, um die Gültigkeit des festgelegten Untersuchungsbereichs des Messobjekts zu verifizieren. Das Verfahren beinhaltet ferner, durch Verwendung des Verifizierungsmerkmalsblocks zu beurteilen, ob der festgelegte Untersuchungsbereich des Messobjekts gültig ist oder nicht. Das Beurteilen, ob der festgelegte Untersuchungsbereich des Messobjekts gültig ist oder nicht, beinhaltet Konvertieren des Verifizierungsmerkmalsblocks durch Verwendung der Konvertierungsbeziehung, Messen des Verifizierungsmerkmalsblocks, Vergleichen des konvertierten Merkmalsblocks und des gemessenen Verifizierungsmerkmalsblocks, um zu beurteilen, ob sich der Ortsunterschied zwischen dem konvertierten Merkmalsblock und dem gemessenen Verifizierungsmerkmalsblock innerhalb einer Toleranz befindet, sowie Rücksetzen der Konvertierungsbeziehung, wenn sich der Ortsunterschied außerhalb der Toleranz befindet.
Eine Vielzahl von Formen kann in den dem Merkmalsblock entsprechenden Forminformationen enthalten sein. Mindestens zwei Formen der Formen in den Forminformationen können im Wesentlichen dieselben sein. Die Forminformationen können einen zweidimensionalen Identifikator aufweisen. Der Merkmalsblock kann in Vielzahl vorhanden sein. In einem Ausführungsbeispiel kann das Vergleichen der Forminformationen, die dem Merkmalsblock in den Referenzdaten entsprechen, und der Forminformationen, die dem Merkmalsblock in den Messdaten entsprechen, um die Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten und den Messdaten zu gewinnen, Auswählen mindestens zweier Merkmalsblöcke aus der Vielzahl von Merkmalsblöcken und Gewinnen einer quantifizierten Konvertierungsformel zwischen den Referenzdaten und den Messdaten durch Verwendung der ausgewählten mindestens zwei Merkmalsblöcke beinhalten.
In einem Ausführungsbeispiel kann das Verfahren ferner Überlagern der Referenzdaten und der Messdaten beinhalten. Zusätzlich kann das Verfahren ferner Entfernen eines Rauschmusters in dem Merkmalsblock durch Vergleichen der Rauschmuster, vorhanden in den Messdaten und nicht vorhanden in den Referenzdaten unter Verwendung der Überlagerung beinhalten.
Gemäß dem Obigen wird erachtet, dass die Veränderungsmenge des Messobjekts, die von der geometrischen Verzerrung des Messobjekts verursacht wird, die Veränderungsmenge des Messobjekts kompensiert. Daher kann ein Untersuchungsbereich für das Messobjekt richtig festgelegt werden.
Zusätzlich werden vorbestimmte Forminformationen in dem auf der Platine festgelegten Messbereich durch einen Block als der Merkmalsblock festgelegt, und die Forminformationen, die dem Merkmalsblock der Referenzdaten und der Messdaten entsprechen, werden verglichen, um die Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten und den Messdaten zu gewinnen, wodurch der Untersuchungsbereich richtig festgelegt wird.
Zusätzlich kann der Merkmalsblock ohne Verwechslung bestimmt werden, selbst wenn ähnliche Muster auf der Platine benachbart sind. Auch kann der Untersuchungsbereich durch einen Schritt des Festlegens und Verifizierens des eine Vielzahl von Formmustern enthaltenden Merkmalsblocks richtig festgelegt werden.
Zusätzlich kann in dem Fall, dass die dem Merkmalsblock entsprechenden Forminformationen eine Vielzahl von Formen aufweisen, die Konvertierungsbeziehung richtiger gewonnen werden. In dem Fall, dass mindestens zwei Formen in den Forminformationen im Wesentlichen dieselben sind, werden die Forminformationen bezüglich eines Blocks verglichen, um Verwechselbarkeit zu reduzieren.
Zusätzlich kann die Verwechselbarkeit beim Vergleichen der Forminformationen reduziert werden, wenn die Forminformationen in dem Merkmalsblock einen zweidimensionalen Identifikator aufweisen.
Zusätzlich kann eine Arbeit wie eine Untersuchung von Teilen basierend auf dem festgelegten Untersuchungsbereich durchgeführt werden, um dadurch richtiger zu beurteilen, ob die Platine gut oder schlecht ist.
Es versteht sich, dass sowohl die vorangehende allgemeine Beschreibung als auch die folgende detaillierte Beschreibung exemplarisch und erläuternd sind und dazu intendiert sind, weitere Erklärung der beanspruchten Erfindung bereitzustellen.
Figurenliste
Die beiliegenden Zeichnungen, die beigefügt sind, um ein weiteres Verständnis der Erfindung bereitzustellen, und in dieser Spezifikation inkorporiert sind und einen Teil derselben bilden, illustrieren Ausführungen der Erfindung und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, die Prinzipien der Erfindung zu erklären.

1 ist eine schematische Ansicht, die ein 3D-Formmessgerät illustriert, das ein Untersuchungsverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendet.
2 ist ein Flussdiagramm, das ein Untersuchungsverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung illustriert.
3 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel für ein Detailverfahren zum Gewinnen von Messdaten für ein Messobjekt in dem in 2 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert.
4 ist ein Flussdiagramm, das ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein Detailverfahren zum Gewinnen von Messdaten für ein Messobjekt in dem in 2 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert.
5 ist eine Draufsicht, die ein Merkmalsobjekt in dem in 2 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert.
6 bis 12 sind schematische Ansichten, die eine Veränderungsmenge des Messobjekts gemäß geometrischer Verzerrung des Messobjekts illustrieren.
13 ist ein Flussdiagramm, das ein Untersuchungsverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung illustriert.
14 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel von Referenzdaten in dem in 13 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert.
15 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel von Messdaten in dem in 13 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert.
16 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel eines Verfahrens zur Gewinnung einer Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten und den Messdaten illustriert.
17 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel eines Verfahrens zur Verifizierung der Gültigkeit des festgelegten Untersuchungsbereichs illustriert.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ILLUSTRIERTEN AUSFÜHRUNGEN
Die vorliegende Erfindung wird nachstehend vollständiger mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung gezeigt sind. Die vorliegende Erfindung kann jedoch in vielen verschiedenen Formen ausgeführt werden und sollte nicht als auf die hier dargelegten Ausführungsbeispiele beschränkt interpretiert werden. Diese Ausführungsbeispiele werden vielmehr bereitgestellt, damit diese Offenbarung gründlich und vollständig ist, und werden dem Fachmann den Umfang der vorliegenden Erfindung vollständig vermitteln. In den Zeichnungen können die Größen und relativen Größen von Schichten und Bereichen der Klarheit halber übertrieben sein.
Es versteht sich, dass, wenn ein Element oder eine Schicht als „auf“ oder „verbunden mit“ einem anderen Element oder einer anderen Schicht bezeichnet wird, es oder sie direkt auf oder verbunden mit dem anderen Element oder der anderen Schicht sein kann oder auch dazwischenliegende Elemente oder Schichten vorhanden sein können. Im Gegensatz dazu sind keine dazwischenliegenden Elemente oder Schichten vorhanden, wenn ein Element als „direkt auf oder „direkt verbunden mit“ einem anderen Element oder einer anderen Schicht bezeichnet wird. Ähnliche Zahlen beziehen sich durchweg auf ähnliche Elemente. Wie hierin verwendet beinhaltet der Ausdruck „und/oder“ sämtliche Kombinationen eines oder mehrerer der assoziierten aufgezählten Elemente.
Es versteht sich, dass, obwohl die Begriffe erste, zweite, dritte usw. hierin verwendet sein können, um verschiedene Elemente, Bauteile, Bereiche, Schichten und/oder Abschnitte zu beschreiben, diese Elemente, Bauteile, Bereiche, Schichten und/oder Abschnitte nicht durch diese Begriffe beschränkt sein sollen. Diese Begriffe werden lediglich verwendet, um ein Element, Bauteil, Bereich, Schicht oder Abschnitt von einem anderen Bereich, Schicht oder Abschnitt zu unterscheiden. Somit könnte ein nachstehend erörtertes erstes Element, Bauteil, Bereich, Schicht oder Abschnitt als ein zweites Element, Bauteil, Bereich, Schicht oder Abschnitt bezeichnet werden, ohne von den Lehren der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
Räumlich relative Begriffe, wie zum Beispiel „unterhalb“, „unter“, „untere“, „über“, „obere“ und dergleichen können hierin zur einfacheren Beschreibung verwendet werden, um die in den Figuren illustrierte Beziehung eines Elementes oder Merkmals zu (einem) anderen Element(en) oder Merkmal(en) zu beschreiben. Es versteht sich, dass die räumlich relativen Begriffe verschiedene Ausrichtungen der Vorrichtung bei Verwendung oder Betrieb zusätzlich zu der in den Figuren abgebildeten Ausrichtung umfassen sollen. Wenn zum Beispiel die Vorrichtung in den Figuren umgedreht wird, wären Elemente, die als „unter“ anderen Elementen oder Merkmalen beschrieben sind, nun „über“ den anderen Elementen oder Merkmalen orientiert. Somit kann der beispielhafte Begriff „unter“ sowohl die Ausrichtung „über“ als auch „unter“ umfassen. Die Vorrichtung kann anders ausgerichtet sein (um 90 Grad gedreht oder mit anderen Ausrichtungen), und die hierin verwendeten räumlich relativen Deskriptoren können entsprechend interpretiert werden.
Die hierin verwendete Terminologie dient ausschließlich dem Zweck des Beschreibens bestimmter Ausführungsbeispiele und soll nicht die vorliegende Erfindung einschränken. Wie hierin verwendet sollen die Singularformen „ein/eine“ und „der/die/das“ ebenfalls die Pluralformen beinhalten, es sei denn, der Kontext bringt deutlich das Gegenteil zum Ausdruck. Es versteht sich ferner, dass die Begriffe „umfasst“ und/oder „umfassend“, wenn sie in dieser Spezifikation verwendet werden, das Vorhandensein ausgewiesener Merkmale, Ganzzahlen, Schritte, Operationen, Elemente und/oder Bauteile angeben, aber nicht das Vorhandensein oder Hinzufügen eines oder mehrerer weiterer Merkmale, Ganzzahlen, Schritte, Operationen, Elemente, Bauteile und/oder Gruppen derselben ausschließen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden hierin unter Bezug auf Querschnittsdarstellungen beschrieben, die schematische Darstellungen von idealisierten Ausführungsbeispielen (und Zwischenstrukturen) der vorliegenden Erfindung sind. Somit sind Abweichungen von den Formen der Darstellungen als Ergebnis zum Beispiel von Herstellungstechniken und/oder -toleranzen zu erwarten. Daher sollten Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung nicht als auf die hierin dargestellten bestimmten Formen von Bereichen beschränkt interpretiert werden, sondern sollen Abweichungen in Formen beinhalten, die zum Beispiel aus der Herstellung resultieren. Zum Beispiel weist ein als Rechteck illustrierter implantierter Bereich üblicherweise abgerundete oder gekrümmte Umrisse auf und/oder ein Gradient von Implantatkonzentration an seinen Kanten anstatt einer binären Veränderung von implantiertem zu nicht implantiertem Bereich. Ebenso kann ein durch Implantierung ausgebildeter verdeckter Bereich etwas Implantierung in dem Bereich zwischen dem verdeckten Bereich und der Oberfläche, durch die die Implantierung stattfindet, zur Folge haben. Daher sind die in den Figuren illustrierten Bereiche von schematischer Natur, und ihre Formen sollen nicht die eigentlich Form eines Bereichs einer Vorrichtung illustrieren, und sie sollen nicht den Umfang der vorliegenden Erfindung limitieren.
Sofern nicht anders definiert, haben alle hierin verwendeten Begriffe (einschließlich technischer und wissenschaftlicher Begriffe) dieselbe Bedeutung wie sie ein Durchschnittsfachmann des Gebietes, zu dem diese Erfindung gehört, üblicherweise verstehen würde. Es versteht sich ferner, dass Begriffe wie die in üblicherweise verwendeten Wörterbüchern definierten mit einer Bedeutung interpretiert werden sollten, die mit ihrer Bedeutung in dem Kontext des relevanten Gebiets konsistent ist, und nicht in einem idealisierten oder überformalen Sinn interpretiert werden sollen, sofern hierin nicht ausdrücklich so definiert.
Nachstehend wird ein Untersuchungsverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
1 ist eine schematische Ansicht, die ein 3D-Formmessgerät illustriert, das ein Untersuchungsverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendet.
Unter Bezug auf 1 kann ein 3D-Formmessgerät, das ein Untersuchungsverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung verwendet, einen Messgestellteil 100, einen Bildfotografierteil 200, erste und zweite Beleuchtungsteile 300 und 400, einen Bildgewinnungsteil 500, einen Modulsteuerteil 600 sowie einen zentralen Steuerteil 700 beinhalten.
Der Messgestellteil 100 kann ein ein Messobjekt 10 unterstützendes Gestell 110 sowie eine das Gestell 110 umsetzende Gestellumsetzeinheit 120 beinhalten. In einem Ausführungsbeispiel kann ein Messort in dem Messobjekt 10 in Entsprechung dazu verändert werden, wie sich das Messobjekt 10 durch das Gestell 110 bezüglich des Bildfotografierteils 200 und der ersten und zweiten Beleuchtungsteile 300 und 400 bewegt.
Der Bildfotografierteil 200 ist über dem Gestell 110 angeordnet, um von dem Messobjekt 10 reflektiertes Licht zu erhalten und ein Bild des Messobjekts 10 zu messen. Das heißt der Bildfotografierteil 200 erhält das Licht, das aus den ersten und zweiten Beleuchtungsteilen 300 und 400 austritt und von dem Messobjekt 10 reflektiert wird, und fotografiert ein ebenes Bild des Messobjekts 10.
Der Bildfotografierteil 200 kann eine Kamera 210, eine Bildgebungslinse 220, ein Filter 230 sowie eine Lampe 240 beinhalten. Die Kamera 210 empfängt das von dem Messobjekt 10 reflektierte Licht und fotografiert das ebene Bild des Messobjekts 10. Die Kamera 210 kann zum Beispiel eine einer CCD-Kamera und einer CMOS-Kamera beinhalten. Die Bildgebungslinse 220 ist unter der Kamera 210 angeordnet, um das von dem Messobjekt 10 reflektierte Licht auf der Kamera 210 abzubilden. Das Filter 230 ist unter der Bildgebungslinse 220 angeordnet, um das von dem Messobjekt 10 reflektierte Licht zu filtern und das gefilterte Licht der Bildgebungslinse 220 bereitzustellen. Das Filter 230 kann zum Beispiel eines eines Frequenzfilters, eines Farbfilters und eines Lichtintensitätssteuerfilters beinhalten. Die Lampe 240 kann unter dem Filter 230 in einer Kreisform angeordnet sein, um dem Messobjekt 10 das Licht bereitzustellen, um ein bestimmtes Bild, wie zum Beispiel eine zweidimensionale Form des Messobjekts 10, zu fotografieren.
Der erste Beleuchtungsteil 300 kann zum Beispiel an einer rechten Seite des Bildfotografierteils 200 angeordnet sein, um bezüglich des das Messobjekt 10 unterstützenden Gestells 110 geneigt zu sein. Der erste Beleuchtungsteil 300 kann eine erste Beleuchtungseinheit 310, eine erste Gittereinheit 320, eine erste Gitterumsetzeinheit 330 sowie einen ersten Kondensor 340 beinhalten. Die erste Beleuchtungseinheit 310 kann eine Lichtquelle sowie mindestens eine Linse beinhalten, um Licht zu generieren, und die erste Gittereinheit 320 ist unter der ersten Beleuchtungseinheit 310 angeordnet, um das von der ersten Beleuchtungseinheit 310 generierte Licht in ein erstes Gittermusterlicht mit einem Gittermuster zu verändern. Die erste Gitterumsetzeinheit 330 ist mit der ersten Gittereinheit 320 verbunden, um die erste Gittereinheit 320 umzusetzen, und kann zum Beispiel eine einer piezoelektrischen Umsetzeinheit und einer feinen linearen Umsetzeinheit beinhalten. Der erste Kondensor 340 ist unter der ersten Gittereinheit 320 angeordnet, um das erste Gittermusterlicht, das aus der ersten Gittereinheit 320 austritt, auf dem Messobjekt 10 zu kondensieren
Zum Beispiel kann der zweite Beleuchtungsteil 400 an einer linken Seite des Bildfotografierteils 200 angeordnet sein, um bezüglich des das Messobjekt 10 unterstützenden Gestells 110 geneigt zu sein. Der zweite Beleuchtungsteil 400 kann eine zweite Beleuchtungseinheit 410, eine zweite Gittereinheit 420, eine zweite Gitterumsetzeinheit 430 sowie einen zweiten Kondensor 440 beinhalten. Der zweite Beleuchtungsteil 400 gleicht im Wesentlichen dem oben beschriebenen ersten Beleuchtungsteil 300, und daher wird jede weitere Beschreibung weggelassen.
Wenn die erste Gitterumsetzeinheit 330 die erste Gittereinheit 320 sequenziell N mal bewegt und in dem ersten Beleuchtungsteil 300 N erste Gittermusterlichte auf das Messobjekt 10 geleuchtet werden, kann der Bildfotografierteil 200 sequenziell die N ersten von dem Messobjekt 10 reflektierten Gittermusterlichte empfangen und N erste Musterbilder fotografieren. Wenn die zweite Gitterumsetzeinheit 430 die zweite Gittereinheit 420 sequenziell N mal bewegt und in dem zweiten Beleuchtungsteil 400 N erste Gittermusterlichte auf das Messobjekt 10 geleuchtet werden, kann des Weiteren der Bildfotografierteil 200 sequenziell die N zweiten von dem Messobjekt 10 reflektierten Gittermusterlichte empfangen und N zweite Musterbilder fotografieren. Das ‚N‘ ist eine natürliche Zahl und kann zum Beispiel vier betragen.
In einem Ausführungsbeispiel sind die ersten und zweiten Beleuchtungsteile 300 und 400 als ein Beleuchtungsgerät, das die ersten und zweiten Gittermusterlichte generiert, beschrieben. Wahlweise kann der Beleuchtungsteil größer oder gleich drei sein. Mit anderen Worten kann das Gittermusterlicht in verschiedenen Richtungen auf das Messobjekt 10 geleuchtet werden, und verschiedene Musterbilder können fotografiert werden. Wenn zum Beispiel drei Beleuchtungsteile in einer gleichseitigen Dreiecksform angeordnet sind, wobei der Bildfotografierteil 200 den Mittelpunkt der gleichseitigen Dreiecksform bildet, können drei Gittermusterlichte in verschiedenen Richtungen auf das Messobjekt 10 geleuchtet werden. Wenn zum Beispiel vier Beleuchtungsteile in einer Quadratform angeordnet sind, wobei der Bildfotografierteil 200 den Mittelpunkt der Quadratform bildet, können vier Gittermusterlichte in verschiedenen Richtungen auf das Messobjekt 10 geleuchtet werden.
Der Bildgewinnungsteil 500 ist elektrisch mit der Kamera 210 des Bildfotografierteils 200 verbunden, um die Musterbilder von der Kamera 210 aufzunehmen und die aufgenommenen Musterbilder zu speichern. Zum Beispiel kann der Bildgewinnungsteil 500 ein Bildsystem beinhalten, das die in der Kamera 210 fotografierten N ersten Musterbilder und N zweiten Musterbilder empfängt und die Bilder speichert.
Der Modulsteuerteil 600 ist elektrisch mit dem Messgestellteil 100, dem Bildfotografierteil 200, dem ersten Beleuchtungsteil 300 und dem zweiten Beleuchtungsteil 400 verbunden, um den Messgestellteil 100, den Bildfotografierteil 200, den ersten Beleuchtungsteil 300 und den zweiten Beleuchtungsteil 400 zu steuern. Der Modulsteuerteil 600 kann zum Beispiel eine Beleuchtungssteuereinheit, eine Gittersteuereinheit und eine Gestellsteuereinheit beinhalten. Die Beleuchtungssteuereinheit steuert die ersten und zweiten Beleuchtungseinheiten 310 und 410, so dass sie Licht generieren, und die Gittersteuereinheit steuert die ersten und zweiten Gitterumsetzeinheiten 330 und 430, so dass sie die ersten und zweiten Gittereinheiten 320 und 420 bewegen. Die Gestellsteuereinheit steuert die Gestellumsetzeinheit 120, so dass sie das Gestell 110 in einer Auf-und-ab-Bewegung und einer Links-und-rechts-Bewegung bewegt.
Der zentrale Steuerteil 700 ist elektrisch mit dem Bildgewinnungsteil 500 und dem Modulsteuerteil 600 verbunden, um den Bildgewinnungsteil 500 und den Modulsteuerteil 600 zu steuern. Insbesondere empfängt der zentrale Steuerteil 700 die N ersten Musterbilder und die N zweiten Musterbilder von dem Bildsystem des Bildgewinnungsteils 500, um die Bilder zu verarbeiten, so dass die dreidimensionale Form des Messobjekts gemessen werden kann. Zusätzlich kann der zentrale Steuerteil 700 eine Beleuchtungssteuereinheit, eine Gittersteuereinheit und eine Gestellsteuereinheit des Modulsteuerteils 600 steuern. Somit kann der zentrale Steuerteil eine Bildverarbeitungsplatine, eine Steuerplatine und eine Schnittstellenplatine beinhalten.
Um eine Form einer in dem Messobjekt 10 verwendeten gedruckten Leiterplatte durch Verwendung des oben beschriebenen 3D-Formmessgeräts zu messen, wird zuerst ein Untersuchungsbereich für die Messung festgelegt. Wenn der Untersuchungsbereich festgelegt ist, misst das 3D-Formmessgerät auf der Grundlage des Untersuchungsbereichs einen Teil in dem Untersuchungsbereich.
Im Folgenden wird ein Untersuchungsverfahren im Detail in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
2 ist ein Flussdiagramm, das ein Untersuchungsverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung illustriert.
Unter Bezug auf 1 und 2 wird, um gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung einen Untersuchungsbereich festzulegen, zuerst in Schritt S110 das Messobjekt 10 auf dem Gestell 110 angeordnet.
Das Messobjekt 10 kann zum Beispiel eine gedruckte Leiterplatte oder ein auf einer gedruckten Leiterplatte ausgebildetes Teil, Muster usw. beinhalten.
Dann werden in Schritt S120 Referenzdaten für das Messobjekt 10 eingeholt.
Die Referenzdaten können einer Entwurfsreferenz für das Messobjekt 10 entsprechende theoretische Informationen beinhalten. Die Referenzdaten können einen Referenzort, eine Referenzform usw. verschiedener auf dem Messobjekt 10 ausgebildeter oder angeordneter Schaltelemente beinhalten. Das heißt die Referenzdaten können einen Ort, eine Form usw. innehaben, die die auf dem Messobjekt 10 angeordneten Schaltelemente theoretisch aufweisen.
In einem Ausführungsbeispiel können die Referenzdaten aus CAD-Informationen oder Gerberdaten, in denen eine Form des Messobjekts 10 aufgezeichnet ist, gewonnen werden. Die CAD-Informationen oder die Gerberdaten können Entwurfsinformationen des Messobjekts 10 beinhalten.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel können die Referenzdaten aus in einem Lernmodus gewonnenen Lerninformationen gewonnen werden. Der Lernmodus kann zum Beispiel aufeinanderfolgend Suchen von Platineninformationen in einer Datenbank, Lernen einer blanken Platine in dem Fall, dass sich die Platineninformationen nicht in der Datenbank befinden, und Speichern der Platineninformationen in der Datenbank, nachdem die Platineninformationen durch Lernen der blanken Platine erzeugt wurden, beinhalten.
Das heißt in dem Lernmodus wird eine blanke Platine einer gedruckten Leiterplatte gelernt, und Entwurfsreferenzinformationen der gedruckten Leiterplatte werden gewonnen, und die Referenzdaten können durch Gewinnen der Lerninformationen durch den Lernmodus gewonnen werden.
Dann werden in Schritt S130 Messdaten für das Messobjekt gewonnen.
Die Messdaten repräsentieren die durch Messen des Messobjekts 10 gewonnenen Daten, zum Beispiel die Daten für das fotografierte Bild des Messobjekts 10. Das fotografierte Bild kann ein zweidimensionales Bild sein. Die Messdaten können einen Ausbildungsort, eine Ausbildungsform usw. verschiedener tatsächlich auf dem Messobjekt 10 ausgebildeter oder angeordneter Schaltelemente beinhalten. Das heißt die Messdaten können einen Ort, eine Form usw. beinhalten, in denen die Schaltelemente tatsächlich auf dem Messobjekt 10 ausgebildet sind.
3 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel für ein Detailverfahren zum Gewinnen von Messdaten für ein Messobjekt in dem in 2 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert.
Unter Bezug auf 1 bis 3 wird, um die Messdaten für das Messobjekt 10 zu gewinnen, zuerst in Schritt S132a eine Lichtquelle zum Messen eines zweidimensionalen Bildes auf das Messobjekt geleuchtet.
Die Lichtquelle zum Messen des zweidimensionalen Bildes kann in einem Ausführungsbeispiel eine in 1 illustrierte Lampe 240 beinhalten. Wahlweise kann das in 1 dargestellte 3d-Formmessgerät eine 2D-Bildmesslichtquelle für verschiedene Zwecke beinhalten, die in der Lichtquelle zum Messen des zweidimensionalen Bildes verwendet werden kann.
Dann wird das reflektierte Bild des geleuchteten Lichts fotografiert, um in Schritt S132b zweidimensionale Messdaten zu gewinnen.
Insbesondere wird das von der Lichtquelle zum Messen des zweidimensionalen Bildes generierte Licht auf das Messobjekt 10 geleuchtet. Wenn das geleuchtete Licht von dem Messobjekt 10 reflektiert wird, wird das reflektierte Bild von dem in 1 illustrierten Bildfotografierteil 200 fotografiert, um die zweidimensionalen Messdaten zu gewinnen.
4 ist ein Flussdiagramm, das ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein Detailverfahren zum Gewinnen von Messdaten für ein Messobjekt in dem in 2 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert.
Unter Bezug auf 1, 2 und 4 wird, um die Messdaten für das Messobjekt 10 zu gewinnen, zuerst in Schritt S134a eine Lichtquelle zum Messen eines höhenbasierten dreidimensionalen Bildes auf das Messobjekt geleuchtet.
Die Lichtquelle zum Messen eines höhenbasierten dreidimensionalen Bildes kann in einem Ausführungsbeispiel den ersten Beleuchtungsteil 300 und den zweiten Beleuchtungsteil 400, die in 1 illustriert sind, beinhalten. Wahlweise kann die Lichtquelle zum Messen eines höhenbasierten dreidimensionalen Bildes drei oder mehr Beleuchtungsteile wie in 1 beschrieben beinhalten.
Dann wird das reflektierte Bild des geleuchteten Lichts fotografiert, um in Schritt S134b höhenbasierte dreidimensionale Messdaten zu gewinnen.
Insbesondere wird das von der Lichtquelle zum Messen eines höhenbasierten dreidimensionalen Bildes generierte Musterlicht auf das Messobjekt 10 geleuchtet. Wenn das geleuchtete Musterlicht von dem Messobjekt 10 reflektiert wird, wird das reflektierte Bild von dem in 1 illustrierten Bildfotografierteil 200 fotografiert, um ein Musterbild zu gewinnen. Wie in 1 beschrieben wird das von dem Bildfotografierteil 200 gewonnene Musterbild in dem Bildgewinnungsteil 500 gespeichert, und das Musterbild wird in dem zentralen Steuerteil 700 verarbeitet, um höhenbasierte dreidimensionale Messdaten zu gewinnen.
Danach werden in Schritt S134c die höhenbasierten dreidimensionalen Messdaten gemittelt, um zweidimensionale Messdaten zu gewinnen.
Obwohl die auf dreidimensionaler Höhe basierenden Messdaten nicht direkt die zweidimensionalen Messdaten beinhalten, können die auf dreidimensionaler Höhe basierenden Messdaten gemittelt werden, um die zweidimensionalen Messdaten einfach zu gewinnen.
Zum Beispiel sind Detailprozesse zur Gewinnung zweidimensionaler Messdaten durch Mitteln der höhenbasierten dreidimensionalen Messdaten wie folgt. $i_{n} = a + b c o s (ϕ + Δ_{n}), (w h e r e Δ_{n} = 0, \frac{π}{2}, π, \frac{3 π}{2})$
$i_{1} = a + b c o s ϕ$
$i_{2} = a + b c o s (ϕ + π / 2)$
$i_{3} = a + b c o s (ϕ + π)$
$i_{4} = a + b c o s (ϕ + 3 π / 2)$
$i_{1} = a + b cos ϕ$
$i_{2} = a - b sin ϕ$
$i_{3} = a - b cos ϕ$
$i_{4} = a + b c o s ϕ$
$∴ a = \frac{i_{1} + i_{2} + i_{3} + i_{4}}{4}$
Im Obigen ist ‚i‘ von dem Bildfotografierteil 200 während der Gewinnung der höhenbasierten dreidimensionalen Messdaten gewonnene Lichtintensität, und ‚a‘ und ‚b‘ sind ein Mittelwert beziehungsweise eine Amplitude. Zum Beispiel wird, wenn die höhenbasierten dreidimensionalen Messdaten durch Verwendung von vier Gittermusterlichten gewonnen werden, ‚a‘ wie oben ausgedrückt gewonnen, was als die zweidimensionalen Messdaten verwendet werden kann.
Unter erneutem Bezug auf 1 und 2 werden dann die Messdaten für das Messobjekt 10 und die Referenzdaten für das Messobjekt 10 verglichen, um in Schritt S140 mindestens ein Merkmalsobjekt auszuwählen.
5 ist eine Draufsicht, die ein Merkmalsobjekt in dem in 2 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert.
Unter Bezug auf 1, 2 und 5 ist ein Merkmalsobjekt 20 ein Objekt, in dem eine Veränderungsmenge zwischen den Messdaten und den Referenzdaten, die später beschrieben werden, gemessen wird. Das Merkmalsobjekt 20 existiert in dem Messobjekt 10. Im Prinzip kann das Merkmalsobjekt 20 irgendein in dem Messobjekt 10 vorhandenes Objekt sein. Zum Beispiel kann das Merkmalsobjekt 20 mindestens eines eines Punkts 22, einer Linie 24 und einer Figur, die einen Punkt und eine Linie beinhaltet, wie zum Beispiel ein Viereck 26, beinhalten. Die Linie kann eine gerade Linie und eine Kurvenlinie beinhalten, und die Figur kann eine mathematisch undefinierte Figur zusätzlich zu mathematisch definierten Figuren, wie zum Beispiel einem
Kreis, einem Polygon usw., beinhalten.
Beim Auswählen des Merkmalsobjekts 20 kann ein Objekt, dessen Veränderungsmenge einfach gemessen werden kann und das oft auf dem Messobjekt 10 zu finden ist, als das Merkmalsobjekt 20 ausgewählt werden. Zum Beispiel können, wenn das Messobjekt 10 eine gedruckte Leiterplatte ist, mindestens eines von Mustern, Löchern, die auf der gedruckten Leiterplatte ausgebildet sind, Formen von verschiedenen Schaltelementen und Eckpunkten des Musters als das Merkmalsobjekt 20 ausgewählt werden.
Nach dem Vergleichen der Messdaten für das Messobjekt 10 und der Referenzdaten für das Messobjekt 10 kann ein Objekt, das sowohl in den Messdaten als auch den Referenzdaten vorhanden ist, als das Merkmalsobjekt 20 ausgewählt werden.
Danach wird in Schritt S150 der Wert mindestens einer Merkmalsvariable des ausgewählten Merkmalsobjekts 20 aus den Referenzdaten und den Messdaten extrahiert.
Zum Beispiel kann die Merkmalsvariable mindestens eines einer Koordinate eines Punktes, einer Steigung einer Linie, einer Größe einer Linie und eines Unterschieds zwischen Koordinaten zweier Punkte beinhalten. Wenn das Merkmalsobjekt 20 ein Punkt 22 ist, kann die Merkmalsvariable eine Koordinate des Punkts 22, ein Radius des Punkts 22 usw. sein. Wenn das Merkmalsobjekt 20 eine Linie 24 ist, kann die Merkmalsvariable Koordinaten beider Endpunkte der Linie 24, eine Koordinate eines Mittelpunkts der Linie 24, eine Steigung der Linie 24, eine Länge der Linie 24, eine Breite der Linie 24 usw. sein. Wenn das Merkmalsobjekt 20 eine Figur ist, zum Beispiel ein Viereck 26, kann die Merkmalsvariable eine Koordinate jedes Punkts des Vierecks 26, eine Steigung jeder Seite des Vierecks 26, eine Länge jeder Seite des Vierecks 26, ein Unterschied zwischen Koordinaten von Punkten des Vierecks 26 usw. sein.
Dann wird in Schritt S160 eine Veränderungsmenge des Messobjekts 10 durch Verwendung des Werts der Merkmalsvariable und einer quantifizierten Konvertierungsformel erzeugt.
Die Konvertierungsformel ist eine Formel, die mathematisch die Referenzdaten in die Messdaten konvertiert. Zum Beispiel kann die Konvertierungsformel eine Koordinatenkonvertierungsformel gemäß einer affinen Konvertierung oder einer perspektivischen Konvertierung beinhalten, in der die Punkt-zu-Punkt-Beziehung als eine Form erster Ordnung in einem n-dimensionalen Raum ausgedrückt wird.
Die Veränderungsmenge des Messobjekts 10 entspricht einem Verzerrungsgrad des Messobjekts 10, der durch Wölbung, Verdrehung usw. verursacht wird. Die Veränderungsmenge des Messobjekts 10 kann durch geometrische Messverzerrung verursacht werden, die beim Messen des Messobjekts 10 verursacht wird. Zum Beispiel kann die Veränderungsmenge des Messobjekts 10 durch geometrische Verzerrung generiert werden, die durch Wölbung, Verdrehung usw. des Messobjekts 10 generiert wird.
6 bis 12 sind schematische Ansichten, die eine Veränderungsmenge des Messobjekts gemäß geometrischer Verzerrung des Messobjekts illustrieren.
Unter Bezug auf 6 bis 12 kann die Veränderungsmenge des Messobjekts 10 mindestens eine einer Veränderungsmenge AV von vertikaler Steigung, einer Veränderungsmenge H von Höhe, einer Veränderungsmenge AH von horizontaler Steigung und einer Veränderungsmenge (x1-x0, y1-y0) eines Ortes (x,y) beinhalten.
6 ist eine Seitenansicht, die einen Zustand zeigt, in dem verschiedene geometrische Verzerrungen in dem Messobjekt 10 vorhanden sind. 7 ist eine Seitenansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Veränderungsmenge AV von vertikaler Steigung aus den verschiedenen geometrischen Verzerrungen entfernt ist. 8 ist eine Seitenansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Veränderungsmenge H von Höhe aus den geometrischen Verzerrungen in 7 entfernt ist. Bezugszahl 50 bezeichnet eine ideale Ebene und entspricht den Referenzdaten. 9 ist eine Draufsicht von 8.10 ist eine Draufsicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Veränderungsmenge AH von horizontaler Steigung aus den geometrischen Verzerrungen in 9 entfernt ist. 11 ist eine Draufsicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Veränderungsmenge (x1-x0, y1-y0) des Ortes (x,y) aus den geometrischen Verzerrungen in 10 entfernt ist. 11 ist eine Draufsicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Veränderungsmenge AV von vertikaler Steigung, die Veränderungsmenge H von Höhe, die Veränderungsmenge AH von horizontaler Steigung und die Veränderungsmenge (x1-x0, y1-y0) des Ortes (x,y) aus den verschiedenen geometrischen Verzerrungen entfernt sind. 12 ist eine Draufsicht, in der das in 6 gezeigte Messobjekt 10 projiziert ist. 11 illustriert also ein Beispiel der Referenzdaten, und 12, die 6 entspricht, illustriert ein Beispiel der Messdaten.
In 12 wird, da sich ein linker Teil näher an dem Bildfotografierteil 200 (siehe 1) befindet, als ein rechter Teil in dem Messobjekt 10, ein Messdaten des linken Teils entsprechendes Messbild groß fotografiert. Zusätzlich wird, da sich sowohl der linke Teil als auch der rechte Teil näher an dem Bildfotografierteil 200 befinden als die ideale Ebene 50, ein den Messdaten entsprechendes Messbild größer als die reale Größe fotografiert.
Mit anderen Worten werden in dem Fall, dass in dem Bildfotografierteil 200 durch die geometrische Verzerrung des Messobjekts 10 der linke Teil wie oben beschrieben größer als der rechte Teil fotografiert wird, so dass das Messobjekt 10 in einer Form ähnlich einem Trapez gemessen wird, die oben beschriebenen höhenbasierten dreidimensionalen Referenzdaten für das Messobjekt 10 und die gemessenen dreidimensionalen Messdaten für das Messobjekt 10 verglichen, um die geometrische Transformation des Messobjekts 10, d. h. die Transformation, die der Veränderungsmenge von vertikaler Steigung des Messobjekts 10 entspricht, gemäß einer perspektivischen Konvertierung zu prüfen und zu kompensieren.
In einem Ausführungsbeispiel kann die Konvertierungsformel durch Verwendung mindestens eines einer Ortsänderung, einer Steigungsänderung, einer Größenänderung und eines Transformationsgrades zwischen dem Wert der Merkmalsvariable der Referenzdaten und dem Wert der Merkmalsvariable der Messdaten bestimmt werden. Das heißt, dass wie oben beschrieben eine Ortsänderung, eine Steigungsänderung, eine Größenänderung, ein Transformationsgrad usw. in den in 11 als Beispiel beschriebenen Referenzdaten und den in 12 als Beispiel beschriebenen Messdaten generiert werden. Der Transformationsgrad entspricht einer Veränderung, die durch eine Abstandstransformation oder Projektionstransformation generiert wird.
Die Veränderungen können im Vorhinein als die Konvertierungsformel festgelegt werden. Das heißt, ein dem Merkmalsobjekt der Referenzdaten in 11 entsprechender Koordinatenraum wird auf einen ersten Koordinatenraum, zum Beispiel den (X, Y)-Raum, gesetzt, und ein dem Merkmalsobjekt der Messdaten in 12 entsprechender Koordinatenraum wird auf einen zweiten Koordinatenraum, zum Beispiel den (U,V)-Raum, gesetzt. Dann wird eine Koordinatenkonvertierungsbeziehungsgleichung für mindestens eines einer Ortsänderung, einer Steigungsänderung, einer Größenänderung und eines Transformationsgrades von dem ersten Koordinatenraumes in den zweiten Koordinatenraum als eine lineare Konvertierungsgleichung ausgedrückt. Allgemein werden gemäß der Zeit, zu der das Messobjekt 10 gemessen wird, und dem Ort, an dem das Messobjekt 10 vorhanden ist, die Art und der Grad der Veränderung variiert. Zusätzlich werden die Art und der Grad der Veränderung auch variiert, wenn das Messobjekt 10 geändert wird. Somit sind aus der linearen Konvertierungsgleichung zusammengesetzte Konvertierungskoeffizienten unbekannt. Die Konvertierungsformel kann jedoch im Vorhinein festgelegt werden.
Unter erneutem Bezug auf 1 und 2 wird danach in Schritt S170 die erzeugte Veränderungsmenge kompensiert, um einen Untersuchungsbereich festzulegen. Da die Veränderungsmenge des Messobjekts 10 durch die geometrische Verzerrung beim Messen des Messobjekts 10 generiert wird, kann ein falscher Untersuchungsbereich beim Kompensieren der Veränderungsmenge korrigiert werden.
Zum Beispiel werden nach den vorangehenden Prozessen, dass die Referenzdaten in Schritt S120 eingeholt werden und die Messdaten in Schritt S130 gewonnen werden, der Wert der Merkmalsvariable des Merkmalsobjekts für die Referenzdaten und der Wert der Merkmalsvariable des Merkmalsobjekts für die Messdaten als die lineare Konvertierungsgleichung ausgedrückt. Dann wird die in der linearen Konvertierungsgleichung enthaltene Unbekannte gewonnen, um die Konvertierungsformel zu vollenden. Nachdem die Konvertierungsformel vollendet ist, kann der Untersuchungsbereich, in dem die von der Veränderungsmenge verursachte Verzerrung kompensiert wird, durch Verwendung der Konvertierungsformel festgelegt werden.
Gemäß dem Untersuchungsverfahren der vorliegenden Erfindung wird erachtet, dass die von der geometrischen Verzerrung des Messobjekts 10 verursachte Veränderungsmenge des Messobjekts 10 die Veränderungsmenge des Messobjekts 10 kompensiert. Somit kann ein Untersuchungsbereich für das Messobjekt 10 richtig festgelegt werden.
13 ist ein Flussdiagramm, das ein Untersuchungsverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung illustriert. 14 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel von Referenzdaten in dem in 13 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert. 15 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel von Messdaten in dem in 13 illustrierten Untersuchungsverfahren illustriert.
Unter Bezug auf 13 bis 15 wird, um einen verzerrungskompensierten Untersuchungsbereich gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung festzulegen, zuerst in Schritt S210 ein Messbereich FOV auf einer Platine festgelegt.
Der Messbereich FOV kennzeichnet einen vorbestimmten Bereich, der auf der Platine festgelegt wird, um zum Beispiel zu untersuchen, ob die Platine gut oder schlecht ist. Der Messbereich FOV kann auf der Grundlage von Fotografierbereich oder Sichtfeld der in einem Untersuchungsgerät, wie zum Beispiel dem in 1 illustrierten 3D-Formmessgerät, verwendeten Kamera 210 festgelegt werden.
Dann werden in Schritt S220 Referenzdaten RI für die Platine einschließlich des Messbereichs FOV eingeholt. Die Referenzdaten RI können zum Beispiel wie in 14 gezeigt ein theoretisches ebenes Bild der Platine sein.
In einem Ausführungsbeispiel können die Referenzdaten RI aus CAD-Informationen oder Gerberdaten, in denen eine Form der Platine aufgezeichnet ist, gewonnen werden. Die CAD-Informationen oder die Gerberdaten können Entwurfsinformationen der Platine beinhalten und beinhalten üblicherweise Konfigurationsinformationen eines Pads 60, eines Schaltmusters 80, eines Lochmusters 90 usw.
In einem weiteren Ausführungsbeispiel können die Referenzdaten RI aus in einem Lernmodus gewonnenen Lerninformationen gewonnen werden. Der Lernmodus kann zum Beispiel durch Prozesse realisiert werden, wie das Suchen von Platineninformationen in einer Datenbank, Lernen einer blanken Platine in dem Fall, dass sich die Platineninformationen nicht in der Datenbank befinden, und Speichern der Platineninformationen in der Datenbank, nachdem die Platineninformationen durch Lernen der blanken Platine erzeugt wurden. Das heißt in dem Lernmodus wird eine blanke Platine einer gedruckten Leiterplatte gelernt, und Entwurfsreferenzinformationen der gedruckten Leiterplatte werden gewonnen, und die Referenzdaten RI können durch Gewinnen der Lerninformationen durch den Lernmodus gewonnen werden.
Dann werden in Schritt S230 Messdaten PI für den Messbereich FOV gewonnen.
Die Messdaten PI können zum Beispiel, wie in 15 gezeigt, ein reales fotografiertes Bild für die gedruckte Leiterplatte sein, in dem ein auf der Leiterplatte montiertes Teil 20, ein Anschluss 22, eine an einem Teil 24 ausgebildete polare Markierung, ein Schaltmuster 80, ein Loch 92 usw. gezeigt sind. Die Messdaten PI weisen, wie in 15 gezeigt, bis auf zusätzliche Elemente wie zum Beispiel das Teil 20 dasselbe Bild wie die Referenzdaten RI auf. Die Messdaten PI sind jedoch im Vergleich zu den Referenzdaten RI aufgrund von Wölbung, Verdrehung usw. der Leiterplatte verzerrt.
In einem Ausführungsbeispiel können die Messdaten PI durch Leuchten von Licht auf den Messbereich FOV unter Verwendung des Beleuchtungsteils des Untersuchungsgeräts und Fotografieren eines durch das geleuchtete Licht reflektierten Bildes unter Verwendung einer in dem Untersuchungsgerät installierten Kamera gewonnen werden. Wahlweise können die Messdaten PI durch Leuchten von Gittermusterlicht auf den Messbereich FOV unter Verwendung eines Gittermusterbeleuchtungsteils des Untersuchungsgeräts, Fotografieren eines durch das geleuchtete Gittermusterlicht reflektierten Bildes zur Gewinnung von Daten für eine dreidimensionale Form sowie Mitteln der Daten für die dreidimensionale Form gewonnen werden.
Dann wird in Schritt S240 mindestens ein Merkmalsblock für vorbestimmte Forminformationen in dem Messbereich FOV durch einen Block festgelegt.
Die vorbestimmten Forminformationen können dem in 1 bis 12 beschriebenen Merkmalsobjekt entsprechen. Die dem Merkmalsobjekt entsprechenden vorbestimmten Forminformationen werden durch einen Block festgelegt, was im Vergleich zu einem Verfahren, bei dem die Referenzdaten RI und die Messdaten PI auf der Grundlage einer Koordinate, wie zum Beispiel eines Eckpunktes, eines Kreises und eines Lochs verglichen werden, korrekter sein kann.
Da viele Eckpunkte, Kreise usw. auf der Platine existieren, kann es in dem Fall, dass wie in 14 und 15 gezeigt Eckpunkte 80a und 80b benachbart angeordnet sind oder Kreise 90a und 90b benachbart angeordnet sind, verwirrend sein, wenn die Eckpunkte 80a und 80b und die Kreise 90a und 90b zwischen den Referenzdaten RI und den Messdaten PI verglichen werden. Zum Beispiel kann es passieren, dass der Fehler begangen wird, dass der an einem oberen Teil der Referenzdaten RI angeordnete Eckpunkt 80a mit dem an einem unteren Teil der Messdaten PI angeordneten Eckpunkt 80b verglichen werden kann, oder der an einem unteren Teil der Referenzdaten RI angeordnete Kreis 90b kann mit dem an einem oberen Teil der Messdaten PI angeordneten Kreis 90a verglichen werden. Zusätzlich kann, wenn ein Kreis 90 und ein Loch 92, die in 14 und 15 gezeigt sind, verglichen werden, ein richtiger Vergleich aufgrund von Genauigkeit des Lochbohrens nicht stattfinden, d. h. das Loch 92 kann wie in 15 gezeigt verschoben sein.
Im Gegensatz dazu existieren sehr verschiedene Formen in dem Merkmalsblock. Somit kann gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung Vergleichen blockbezogener Forminformationen der Referenzdaten RI mit blockbezogenen Forminformationen der Messdaten PI einen Fehler im Bestimmen eines Zielobjekts zum Vergleich verhindern.
Wenn im Wesentlichen dieselben Formen wiederholt beim Festlegen des Merkmalsblocks existieren, kann beim Vergleichen von Forminformationen innerhalb des Merkmalsblocks in den Referenzdaten RI mit Forminformationen innerhalb des Merkmalsblocks in den Messdaten PI ein Fehler beim Bestimmen eines Zielobjekts zum Vergleich auftreten. Somit kann der Merkmalsblock festgelegt werden, um die Möglichkeit auszuschließen, die Forminformationen in dem Merkmalsblock mit benachbarten Forminformationen zu verwechseln.
Zusätzlich kann festgelegt werden, dass der Merkmalsblock einen zweidimensionalen Identifikator aufweist, um die Verwechselbarkeit auszuschließen. Da der Merkmalsblock an einem Teil der Referenzdaten RI und einem Teil der Messdaten PI festgelegt wird, wie in 14 und 15 gezeigt, kann der Merkmalsblock insbesondere den zweidimensionalen Identifikator aufweisen, der in der Lage ist, eine zweidimensionale Ebene zu definieren, die genau den beiden Forminformationen entspricht, um die Forminformationen der Referenzdaten RI mit den Forminformationen der Messdaten PI zu vergleichen. Zum Beispiel können eine gebogene Linie, ein Viereck, ein Kreis und eine Kombination derselben innerhalb des Merkmalsblocks beinhaltet sein.
Ein oder eine Vielzahl von Merkmalsblöcken können in dem Untersuchungsbereich festgelegt werden, zum Beispiel können, wie in 14 und 15 gezeigt, zwei Merkmalsblöcke von ersten und zweiten Merkmalsblöcken FB1 und FB2 in den Referenzdaten RI und den Messdaten PI festgelegt werden.
Zum Beispiel können die Forminformationen in dem Merkmalsblock eine Vielzahl von Formen, wie zum Beispiel den zweiten Merkmalsblock FB2, aufweisen, und somit kann die Konvertierungsbeziehung richtig gewonnen werden. Zusätzlich können in diesem Fall mindestens zwei Formen der Formen in den Forminformationen im Wesentlichen dieselben sein. Das heißt, dass obwohl mindestens zwei Formen im Wesentlichen dieselben sind, die Formen in den Forminformationen bezüglich eines Blocks verglichen werden, um Verwechselbarkeit auszuschließen.
In diesem Fall kann die Vielzahl von Formen in den Forminformationen einen zweidimensionalen Identifikator aufweisen. Somit kann Verwechselbarkeit beim Vergleichen der Forminformationen reduziert werden.
Der Merkmalsblock kann zuerst in den Referenzdaten RI festgelegt werden, und dann kann der entsprechende Merkmalsblock in den Messdaten PI festgelegt werden. Wahlweise kann der Merkmalsblock zuerst in den Messdaten PI festgelegt werden, und dann kann der entsprechende Merkmalsblock in den Referenzdaten RI festgelegt werden. Mit anderen Worten, wenn der Merkmalsblock in einem der Messdaten PI und der Referenzdaten RI festgelegt wird, kann der entsprechende Merkmalsblock in dem anderen der Messdaten PI und der Referenzdaten RI ermittelt werden.
Bevor der Merkmalsblock festgelegt wird, können die Referenzdaten RI und die Messdaten PI überlagert werden. Nach dem Überlagern der Referenzdaten RI und der Messdaten PI kann der Merkmalsblock festgelegt werden, um Verwechselbarkeit auszuschließen. Die Überlagerung kann ein Konzept des physischen Überlagems eines den Referenzdaten RI entsprechenden Bildes und eines den Messdaten PI entsprechenden Bildes sowie ein Konzept des abstrakten Überlagerns der Referenzdaten RI und der Messdaten PI beinhalten. Nachdem der Untersuchungsbereich festgelegt ist, was später beschrieben wird, kann die Überlagerung der Referenzdaten RI und der Messdaten PI auch durchgeführt werden, um den festgelegten Untersuchungsbereich zu verifizieren.
In einem Ausführungsbeispiel kann der Merkmalsblock manuell festgelegt werden. Insbesondere kann der Merkmalsblock auf der Grundlage mindestens eines der Referenzdaten RI und der Messdaten PI oder der überlagerten Referenzdaten RI und Messdaten PI von einem Arbeiter definiert werden. Zum Beispiel kann der Arbeiter einige Blöcke festlegen, die voneinander beabstandet sind und einen zweidimensionalen Identifikator als den Merkmalsblock in dem Messbereich FOV beinhalten. Der Arbeiter kann eine Vielzahl von gleichförmig in dem Messbereich FOV verteilten Bereichen als den Merkmalsblock festlegen.
Wahlweise kann der Merkmalsblock automatisch festgelegt werden. Insbesondere kann der Merkmalsblock durch Bildanalyse festgelegt werden. In dem Messbereich FOV gleichförmig verteilte Bereiche können als der Merkmalsblock festgelegt werden.
Ein Rauschmuster kann durch Verwendung der Überlagerung in dem Merkmalsblock entfernt werden. Zum Beispiel können die Messdaten PI ein auf eine blanke Platine gedrucktes Siebmuster, das sich von den Referenzdaten RI unterscheidet, beinhalten. Somit wird, um die Forminformationen richtig zu vergleichen, zuerst ein Siebmuster aus den Messdaten PI oder den überlagerten Referenzdaten RI und Messdaten PI entfernt. Dann kann der Merkmalsblock für die Messdaten PI ohne das Siebmuster festgelegt werden.
Danach werden in Schritt S250 die Forminformationen in den Referenzdaten, die dem Merkmalsblock entsprechen, und die Forminformationen in den Messdaten, die dem Merkmalsblock entsprechen, verglichen, um die Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten und den Messdaten zu gewinnen.
16 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel eines Verfahrens zur Gewinnung einer Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten und den Messdaten illustriert.
Unter Bezug auf 16 werden zuerst in Schritt S252 mindestens zwei Merkmalsblöcke aus einer Vielzahl von Merkmalsblöcken ausgewählt. Zum Beispiel können die ausgewählten Merkmalsblöcke die ersten und zweiten Merkmalsblöcke FBI und FB2 in 14 und 15 sein.
Dann wird in Schritt S254 durch Verwendung der ausgewählten mindestens zwei Merkmalsblöcke FBI und FB2 eine quantifizierte Konvertierungsformel zwischen den Referenzdaten RI und den Messdaten PI gewonnen. Die Messdaten PI sind im Vergleich zu den den theoretischen Referenzinformationen entsprechenden Referenzdaten RI aufgrund von Wölbung, Verdrehung usw. der Platine verzerrt. Die Konvertierungsformel entspricht einer Formel, die mathematisch die Referenzdaten RI in die Messdaten PI konvertiert, um den verzerrten Grad zu kompensieren. Die quantifizierte Konvertierungsformel kann durch Verwendung mindestens eines einer Ortsänderung, einer Steigungsänderung, einer Größenänderung und eines Transformationsgrades bestimmt werden, die durch Vergleichen der Referenzdaten RI und der Messdaten PI, die den mindestens zwei ausgewählten Merkmalsblöcken FB1 und FB2 entsprechen, gewonnen werden.
Zum Beispiel kann die Konvertierungsformel durch Verwendung von Gleichung 1 gewonnen werden. $P_{CAD} f (tm) = P_{real}$
In Gleichung 1 ist P_CAD eine Koordinate eines Objekts in CAD-Informationen oder Gerberdaten, d. h. eine Koordinate in den Referenzdaten RI, f(tm) entspricht der Konvertierungsformel als Konvertierungsmatrix oder Transfermatrix, und P_real ist eine Koordinate des Objekts in den Messdaten PI, die von einer Kamera gewonnen wird. Wenn die theoretische Koordinate P_CAD in den Referenzdaten RI und die reale Koordinate P_real in den Messdaten PI gefunden wurden, kann die Konvertierungsmatrix bekannt sein.
Zum Beispiel kann die Konvertierungsmatrix eine Koordinatenkonvertierungsmatrix gemäß einer affinen Konvertierung oder einer perspektivischen Konvertierung beinhalten, in der die Punkt-zu-Punkt-Beziehung als eine Form erster Ordnung in einem n-dimensionalen Raum ausgedrückt wird. Um die Koordinatenkonvertierungsmatrix zu definieren, kann die Anzahl der Merkmalsblöcke richtig festgelegt werden, zum Beispiel drei oder mehr im Fall einer affinen Konvertierung und vier oder mehr im Fall einer perspektivischen Konvertierung.
Unter erneutem Bezug auf 13 bis 15 wird dann in Schritt S260 durch Verwendung der Konvertierungsbeziehung, um einen Untersuchungsbereich zur Untersuchung eines Messobjekts in dem Messbereich festzulegen, Verzerrung kompensiert.
Zum Beispiel kann der Untersuchungsbereich zur Untersuchung des Messobjekts in dem Messbereich durch Konvertierung der Messdaten PI durch Verwendung des Konvertierungswerts des Verzerrungsgrads in dem Messobjekt, der durch die Konvertierungsbeziehung gewonnen wird, oder durch Anwenden der Gleichung bezüglich der Konvertierungsbeziehung auf die Referenzdaten RI zur Konvertierung festgelegt werden.
Da die Konvertierungsbeziehung durch Vergleichen der Messdaten PI mit den Referenzdaten RI die in den Messdaten PI erzeugte Verzerrung kompensiert, kann die Form in dem festgelegten Untersuchungsbereich näher an der Form für die reale Platine liegen. Der Untersuchungsbereich kann bezüglich des gesamten Bereichs des Messbereichs FOV festgelegt werden und kann bezüglich lediglich eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs, für den Untersuchung gewünscht wird, festgelegt werden.
Zum Beispiel können, nachdem ein vorbestimmter Untersuchungsbereich, für den Untersuchung gewünscht wird, festgelegt wurde und durch Verwendung der Konvertierungsbeziehung ein Untersuchungsbereich in den Messdaten PI festgelegt wurde, verschiedene Zustände, wie zum Beispiel ein Verbindungszustand von Teilen, in dem Untersuchungsbereich untersucht werden. In der Untersuchung können die Messdaten PI verwendet werden, die vorher in dem Schritt des Gewinnens der Messdaten PI für den Messbereich FOV (Schritt S230) gewonnen wurden.
Danach kann in Schritt S270 optional verifiziert werden, ob der festgelegte Untersuchungsbereich gültig ist oder nicht.
In einem Ausführungsbeispiel kann für die Verifizierung zusätzlich zu einem Merkmalsblock für den Vergleich der Forminformationen, der in einem Schritt des Festlegens des Merkmalsblocks (Schritt S240) festgelegt wird (nachstehend als „Vergleichsmerlαnalsblock“ bezeichnet), ein Merkmalsblock zum Verifizieren der Gültigkeit des festgelegten Untersuchungsbereichs (nachstehend als „Verifizierungsmerkmalsblock“ bezeichnet) zusätzlich festgelegt werden. Der Vergleichsmerlanalsblock und der Verifizierungsmerkmalsblock können gleichzeitig in einem Schritt des Festlegens des Merkmalsblocks (Schritt S240) festgelegt werden, oder der Verifizierungsmerkmalsblock kann später festgelegt werden.
Entsprechend kann durch Verwendung des Verifizierungsmerkmalsblocks beurteilt werden, ob der festgelegte Untersuchungsbereich des Messobjekts gültig ist oder nicht.
17 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel eines Verfahrens zur Verifizierung, ob der festgelegte Untersuchungsbereich gültig ist, illustriert.
Unter Bezug auf 17 wird in Schritt S272 zuerst der Verifizierungsmerkmalsblock durch Verwendung der Konvertierungsbeziehung konvertiert, und der konvertierte Merkmalsblock wird mit dem tatsächlich gemessenen Verifizierungsmerkmalsblock verglichen.
Da Forminformationen in dem konvertierten Verifizierungsmerkmalsblock in dem festgelegten Untersuchungsbereich existieren, in dem die Verzerrung durch die Konvertierungsbeziehung kompensiert ist, sind im Prinzip die Forminformationen in dem konvertierten Verifizierungsmerkmalsblock ortsmäßig fast dieselben wie die Forminformationen in dem tatsächlich gemessenen Verifizierungsmerkmalsblock, und es kann geurteilt werden, dass der festgelegte Untersuchungsbereich gültig ist.
Dann wird in Schritt S273 als Ergebnis des Vergleichs beurteilt, ob der ortsmäßige Unterschied innerhalb einer Toleranz liegt oder nicht.
Zum Beispiel wird nachdem ein Ort, an dem die Forminformationen in dem konvertierten Verifizierungsmerkmalsblock angeordnet sind, als Koordinate festgelegt wurde, und ein Ort, an dem die Forminformationen in dem tatsächlich gemessenen Verifizierungsmerkmalsblock angeordnet sind, ebenfalls als Koordinate festgelegt wurde, geprüft, ob der Unterschied zwischen den Koordinaten innerhalb einer vorbestimmten Toleranz liegt oder nicht. Die Toleranz kann durch eine Größe der Platine, ein notwendiges Kriterium der Platine zur Beurteilung von gut oder schlecht usw. bestimmt werden.
Dann wird in Schritt S274 der festgelegte Untersuchungsbereich verifiziert.
Insbesondere wird in dem Fall, dass der Unterschied zwischen angeordneten Orten innerhalb der Toleranz liegt, der festgelegte Untersuchungsbereich als gültig beurteilt, und in dem Fall, dass der Unterschied zwischen angeordneten Orten nicht innerhalb der Toleranz liegt, wird der festgelegte Untersuchungsbereich als nicht gültig beurteilt. In dem Fall, dass der festgelegte Untersuchungsbereich als nicht gültig beurteilt wird, können die vorangehenden Prozesse wiederholt werden, um die Konvertierungsbeziehung zurückzusetzen.
Gemäß dem Obigen werden vorbestimmte Forminformationen in dem auf der Platine festgelegten Messbereich FOV durch einen Block als die Merkmalsblöcke FB1 und FB2 festgelegt, und die Forminformationen, die den Merkmalsblöcken FB1 und FB2 der Referenzdaten RI und der Messdaten PI entsprechen, werden verglichen, um die Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten RI und den Messdaten PI zu gewinnen, wodurch der Untersuchungsbereich richtig festgelegt wird.
Zusätzlich kann in dem Fall, dass die den Merkmalsblöcken FB1 und FB2 entsprechenden Forminformationen eine Vielzahl von Formen aufweisen, die Konvertierungsbeziehung richtiger gewonnen werden. In dem Fall, dass mindestens zwei Formen in den Forminformationen im Wesentlichen dieselben sind, werden die Formen in den Forminformationen bezüglich eines Blocks verglichen, um Verwechselbarkeit zu reduzieren.
Zusätzlich kann die Verwechselbarkeit beim Vergleichen der Forminformationen reduziert werden, wenn die Forminformationen in den Merkmalsblöcken FB1 und FB2 einen zweidimensionalen Identifikator aufweisen.
Zusätzlich kann eine Arbeit wie eine Untersuchung von Teilen auf der Grundlage des festgelegten Untersuchungsbereichs durchgeführt werden, um dadurch richtiger zu beurteilen, ob die Platine gut oder schlecht ist.

Claims

Untersuchungsverfahren, umfassend: Festlegen (S210) eines Messbereichs (FOV) auf einer Platine; Einholen (S220) von Referenzdaten (RI) für den Messbereich (FOV); Gewinnen (S230) von Messdaten (PI) für den Messbereich (FOV); Festlegen (S240) mindestens eines Merkmalsblocks (FBI, FB2) durch Bestimmen eines Blocks in dem Messbereich (FOV); Vergleichen (S250) von ersten Forminformationen des Merkmalsblocks (FB1, FB2) in den Referenzdaten (RI) mit zweiten Forminformationen des Merkmalsblocks (FB1, FB2) in den Messdaten (PI), um eine Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten (RI) und den Messdaten (PI) zu gewinnen; und Kompensieren der Verzerrung durch Verwendung der Konvertierungsbeziehung, um einen Untersuchungsbereich zum Untersuchen eines Messobjekts (10) festzulegen (S260), wobei Festlegen mindestens eines Merkmalsblocks (FB1, FB2) für vorbestimmte Forminformationen in dem Messbereich (FOV) durch einen Block Folgendes umfasst: Festlegen eines Vergleichsmerkmalsblocks, um die Forminformationen zu vergleichen; und Festlegen eines Verifizierungsmerkmalsblocks, um die Gültigkeit des festgelegten Untersuchungsbereichs des Messobjekts (10) zu verifizieren, und wobei das Verfahren ferner umfasst, durch Verwendung des Verifizierungsmerkmalsblocks zu beurteilen, ob der festgelegte Untersuchungsbereich des Messobjekts (10) gültig ist oder nicht, wobei das Beurteilen, ob der festgelegte Untersuchungsbereich des Messobjekts (10) gültig ist, Folgendes umfasst: Konvertieren (S272) des Verifizierungsmerkmalsblocks durch Verwendung der Konvertierungsbeziehung; Messen des Verifizierungsmerkmalsblocks; Vergleichen des konvertierten Merkmalsblocks und des gemessenen Verifizierungsmerkmalsblocks, um zu beurteilen (S272), ob sich der Ortsunterschied zwischen dem konvertierten Merkmalsblock und dem gemessenen Verifizierungsmerkmalsblock innerhalb einer Toleranz befindet; und Rücksetzen der Konvertierungsbeziehung, wenn sich der Ortsunterschied außerhalb der Toleranz befindet.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei eine Vielzahl von Formen in den dem Merkmalsblock (FB1, FB2) entsprechenden Forminformationen enthalten ist.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei mindestens zwei Formen der Formen in den Forminformationen im Wesentlichen dieselben sind.
Verfahren nach Anspruch 2, wobei die Forminformationen zweidimensionale Informationen aufweisen, die eine zweidimensionale Ebene definieren.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei eine Vielzahl von Merkmalsblöcken (FB1, FB2) verfügbar ist, und das Vergleichen der Forminformationen, die dem Merkmalsblock (FB1, FB2) in den Referenzdaten (RI) entsprechen, und der Forminformationen, die dem Merkmalsblock (FBI, FB2) in den Messdaten (PI) entsprechen, um die Konvertierungsbeziehung zwischen den Referenzdaten (RI) und den Messdaten (PI) zu gewinnen, Folgendes umfasst Auswählen mindestens zweier Merkmalsblöcke (FB1, FB2) aus der Vielzahl von Merkmalsblöcken (FB1, FB2); und Gewinnen einer quantifizierten Konvertierungsformel zwischen den Referenzdaten (RI) und den Messdaten (PI) durch Verwendung der ausgewählten mindestens zwei Merkmalsblöcke (FB1, FB2).
Verfahren nach Anspruch 1, ferner umfassend Überlagern der Referenzdaten (RI) und der Messdaten (PI).
Verfahren nach Anspruch 6, ferner umfassend Entfernen eines Rauschmusters in dem Merkmalsblock durch Vergleichen der Rauschmuster, vorhanden in den Messdaten (PI) und nicht vorhanden in den Referenzdaten (RI) unter Verwendung der Überlagerung.