KR101474859B1 - 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법에 관한 것이다. 상기 방법은 베어 기판을 스캔하여 상기 베어 기판에 대한 영상정보를 획득하는 단계, 상기 영상정보에서 추출한 패드 좌표 정보와 미리 저장되어 있는 설계 정보 상의 패드 좌표 정보를 이용하여 보상 매트릭스를 생성하는 단계, 상기 보상 매트릭스를 상기 영상정보에 적용하여 특징 객체의 좌표 정보를 포함하는 기준 데이터를 생성하는 단계를 포함한다. 상기 방법에 의하면, 기판 검사 시 필요한 캐드 정보를 생성하지 않고 기준 데이터를 신속하게 생성함으로써 작업 효율을 극대화시킬 수 있다.

Description

기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법{REFERENCE DATA GENERATING METHOD FOR INSPECTING A CIRCUIT}
본 발명은 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 베어 기판의 영상정보 상의 패드 좌표정보와 설계 정보 상의 패드 좌표정보를 이용하여 보상 매트릭스를 생성하고, 이를 상기 영상정보에 적용하여 기판 검사를 위한 기준 데이터를 생성하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전자장치 내에는 적어도 하나의 인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)이 구비되며, 이러한 인쇄회로기판 상에는 회로패턴, 연결 패드부, 상기 연결 패드부와 전기적으로 연결된 구동칩 등 다양한 회로 소자들이 실장된다.
일반적으로 상기와 같은 다양한 회로 소자들이 상기 인쇄회로기판에 제대로 형성 또는 배치되었는지 확인하기 위하여 기판 검사 장치가 사용된다.
일반적으로 기판 검사를 수행하기 위하여 기준 데이터를 획득한다. 상기 기준 데이터는 기판에 대한 이론적인 평면 이미지일 수 있다. 상기 기준 데이터는 상기 기판에 대한 형상을 기록한 캐드(CAD) 정보로부터 획득될 수 있다. 상기 캐드 정보는 상기 기판의 설계 기준정보를 포함하며, 일반적으로 패드, 회로 패턴, 홀 패턴 등에 관한 배치정보를 포함한다.
하지만, 기판에 대한 캐드 정보를 생성하기 위해서는 상당한 처리 시간이 소요되며, 캐드 정보 생성 시 에러가 발생하는 경우 캐드 정보 생성 작업을 다시 진행해야 하기 때문에 캐드 정보 생성은 기판 검사의 작업 효율을 떨어 뜨린다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 베어 기판에 대한 영상정보 상의 패드 좌표 정보와 미리 저장된 설계정보 상의 패드 좌표정보를 이용하여 보상 매트릭스를 생성하고, 상기 보상 매트릭스를 상기 베어 기판에 대한 영상정보에 적용하여 특징 객체의 좌표 정보를 포함하는 기준 데이터를 생성함으로써 캐드 정보의 생성 없이 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성 방법은 베어 기판을 스캔하여 상기 베어 기판에 대한 영상정보를 획득하는 단계, 상기 영상정보에서 추출한 패드 좌표 정보와 미리 저장되어 있는 설계 정보 상의 패드 좌표 정보를 이용하여 보상 매트릭스를 생성하는 단계, 상기 보상 매트릭스를 상기 영상정보에 적용하여 특징 객체의 좌표 정보를 포함하는 기준 데이터를 생성하는 단계를 포함한다.
상기 기준 데이터를 생성하여 단계는 상기 영상정보에서 특징객체의 좌표 정보를 추출하는 단계, 상기 보상 매트릭스를 상기 추출된 특징객체의 좌표에 적용하여 기준 데이터를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 특징객체는 상기 베어 기판 상의 홀 패턴, 서클 패턴 또는 굽은 패턴의 코너 부분 중 적어도 하나일 수 있다.
상기 기준 데이터는, 상기 생성된 보상 매트릭스를 상기 영상정보에 적용하여 생성한 이미지 정보일 수 있다.
상기 영상정보는 상기 베어 기판에 대한 2차원 영상정보일 수 있다.
상기 방법을 수행하기 위한 컴퓨터에서 구동 가능한 프로그램은 기록매체에 저장될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법 및 이를 이용한 기판 검사 방법에 의하면, 기판 검사를 위하여 인쇄회로 기판에 대한 캐드 데이터를 생성할 필요가 없이, 상기 캐드 데이터를 대체할 수 있는 기준데이터를 생성할 수 있기 때문에 캐드 데이터 생성을 위한 시간을 절약할 수 있어 작업효율성을 현저히 높일 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 것으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사 시의 측정영역 보상 방법을 수행하기 위한 기판검사장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법의 순서도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법을 설명하기 위한 베어 기판의 평면도이다.
본 발명의 목적 및 효과, 그리고 그것들을 달성하기 위한 기술적 구성들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 뒤에 설명이 되는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐를 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 뒤에 설명되는 용어들은 본 발명에서의 구조, 역할 및 기능 등을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다.
그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 오로지 특허청구범위에 기재된 청구항의 범주에 의하여 정의될 뿐이다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하며, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법을 수행하기 위한 기판검사장치의 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법의 순서도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법을 설명하기 위한 베어 기판의 평면도이다.
상기 도 1을 참조하면, 기판검사장치(100)는 기판검사장치(100)의 작동을 제어하고 각종 기능을 수행하기 위한 연산을 처리하는 제어부(110)와, 검사 대상인 기판을 이송 및 탑재하여 고정하는 스테이지부(120), 상기 스테이지부(120)에 탑재된 기판에 대하여 검사를 수행하기 위한 측정부(130)와 기판검사장치(100)를 구동하기 위한 프로그램 및 데이터를 저장하는 메모리부(140), 기판검사장치(100)의 작동 상태 및 검사 결과 등을 출력하기 위한 디스플레이부(150) 및 사용자의 명령을 입력 받기 위한 사용자인터페이스부(160) 등을 포함할 수 있다.
상기 도 2 및 도 3을 참조하면, 우선, 측정부(130)를 통해 베어 기판(200)을 스캔하여 상기 베어 기판에 대한 영상정보를 획득한다(S100).
베어 기판(200)은 도 3에 도시된 바와 같이, 납이 도포되기 전의 기판으로 실제로 납이 도포될 패드 영역(210)과 납이 도포되지 않은 홀(220) 및 실크(230) 와 같은 특징객체가 형성된 기판을 의미한다.
상기 특징객체는 베어 기판 상에 형성된 홀 패턴, 서클 패턴 또는 굽은 패턴의 코너 부분 중 적어도 하나일 수 있다.
이때, 상기 영상정보는 상기 베어 기판(200)에 대한 2차원 영상정보일 수 있다.
그리고 나서, 제어부(110)는 상기 영상정보에서 추출한 패드(210)의 좌표 정보와 미리 저장되어 있는 설계 정보 상의 패드 좌표 정보를 이용하여 보상 매트릭스를 생성한다(S110).
이때, 상기 보상 매트릭스는 아핀변환(affine transformation) 행렬 또는 사영변환(projective transformation) 행렬 중 하나일 수 있다.
그리고 나서, 상기 제어부(110)는 상기 보상 매트릭스를 상기 영상정보에 적용하여 특징 객체의 좌표 정보를 포함하는 기준 데이터를 생성한다(S120).
이때, 기준 데이터는 특징 객체의 좌표정보로 생성되거나 특징 객체의 좌표정보를 포함하는 이미지 정보로 생성될 수 있다.
예를 들어, 상기 영상정보에서 특징객체의 좌표 정보를 추출하고 나서, 상기 보상 매트릭스를 상기 추출된 특징객체의 좌표에 적용하여 기준 데이터를 생성할 수 있다. 이때는 특징 객체의 좌표 정보가 기준 데이터로서 생성된다.
한편, 상기 생성된 보상 매트릭스를 상기 베어 기판에 대한 영상정보에 적용하여 상기 영상정보를 보상하여 생성된 이미지가 기준 데이터로 생성될 수도 있다.
캐드 정보를 생성하는 대신에, 상기에서 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 특징 객체의 좌표 정보를 포함하는 기준 데이터를 생성함으로써 기판 검사 시의 작업 효율성을 극대화시킬 수 있다.
한편, 상기에서 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성 방법에 의해 생성된 기준 데이터를 기판 검사 시에 사용할 수 있다. 검사 대상 기판을 검사 시에, 기판 상에서 특징 객체를 추출하여 해당 특징 객체의 좌표 정보와 상기 기준 데이터 상의 특징 객체의 좌표 정보를 이용하여 보상 매트릭스를 생성할 수 있다. 그리고 나서, 생성된 보상 매트릭스를 미리 저장된 설계 정보 상의 패드의 좌표 정보에 적용하여 상기 기판 상에서의 검사할 패드의 좌표 정보를 생성할 수 있다. 상기 패드의 좌표 정보 상의 위치에서 기판 검사를 수행할 수 있다.
상기에서 설명한 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다.
발명의 실시예에 따른 기판 검사 시 측정영역 보상 방법에 의하면 현재의 측정영역 내의 특징객체들의 정보를 이용하여 생성하는 보상 매트릭스의 유효성을 신뢰할 수 없을 때 이웃한 측정영역 내의 특징객체들의 정보를 이용하여 보상 매트릭스를 생성함으로써 현재의 측정영역에 대한 기판 검사 결과의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것으로 이해되어야 한다.
100: 기판 검사 장치 110: 제어부
120: 스테이지부 130: 측정부
140: 메모리부 150: 디스플레이부
160: 사용자인터페이스부 200: 베어 기판
210: 패드 영역 220: 홀
230: 실크

Claims (6)

  1. 패드 및 특징 객체를 포함하는 베어 기판을 스캔하여 상기 베어 기판에 대한 영상정보를 획득하는 단계;
    상기 영상정보에서 추출한 패드 좌표 정보와 미리 저장되어 있는 설계 정보 상의 패드 좌표 정보를 이용하여 보상 매트릭스를 생성하는 단계;
    상기 보상 매트릭스를 상기 영상정보에 적용하여 상기 특징 객체의 좌표 정보를 포함하는 기준 데이터를 생성하는 단계를 포함하는
    기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기준 데이터를 생성하는 단계는
    상기 영상정보에서 특징객체의 좌표 정보를 추출하는 단계;
    상기 보상 매트릭스를 상기 추출된 특징객체의 좌표에 적용하여 기준 데이터를 생성하는 단계를 포함하는,
    기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 특징객체는 상기 베어 기판 상의 홀 패턴, 서클 패턴 또는 굽은 패턴의 코너 부분 중 적어도 하나인,
    기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기준 데이터는,
    상기 생성된 보상 매트릭스를 상기 획득한 영상정보에 적용하여 생성한 이미지 정보인
    기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 영상정보는 상기 베어 기판에 대한 2차원 영상정보인,
    기판 검사를 위한 기준 데이터 생성방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 방법을 수행하기 위한 컴퓨터에서 구동 가능한 프로그램이 저장된 기록매체.

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