DE102011086642A1

DE102011086642A1 - Prüfverfahren

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Publication number: DE102011086642A1
Application number: DE102011086642A
Authority: DE
Inventors: Soo-Young Cho; Bong-Ha HWANG; Min-Young Kim
Original assignee: Koh Young Technology Inc; Industry Academic Cooperation Foundation of KNU
Current assignee: Koh Young Technology Inc; Industry Academic Cooperation Foundation of KNU
Priority date: 2010-11-23
Filing date: 2011-11-18
Publication date: 2012-05-24
Also published as: JP5441990B2; US20120130666A1; TWI448700B; JP2012112961A; US9664628B2; KR101692277B1; TW201229532A; CN102564346B; CN102564346A; KR20120055322A

Abstract

Zum Prüfen einer Platine wird ein Messbereich auf einer Platine eingestellt, und Referenzdaten und Messdaten des Messbereichs werden erfasst. Dann wird eine Umrechnungsbedingung für den Messbereich erstellt, und gemäß einem Verzerrungsgrad zwischen den Referenzdaten und Messdaten wird eine Umrechnungsbeziehung erfasst. Danach wird unter Verwendung mindestens eines der folgenden: des Verifizierens, dass ein Vergleichsmerkmalsobjekt die Umrechnungsbeziehung erfüllt, des Verifizierens, dass ein aus den Merkmalsobjekten ausgewähltes Verifizierungsmerkmalsobjekt die Umrechnungsbeziehung erfüllt, und des Verifizierens, dass ein auf der Platine ausgebildetes Pad die Umrechnungsbeziehung erfüllt, die Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung verifiziert. Dann wird die Umrechnungsbedingung bestätigt, und ein Prüfbereich zum Prüfen eines Messziels wird gemäß der bestätigten Umrechnungsbedingung eingestellt. Somit kann ein Prüfbereich korrekt eingestellt werden, so dass die Verzerrung kompensiert wird.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
GEBIET DER ERFINDUNG
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung betreffen ein Prüfverfahren. Insbesondere betreffen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung ein Prüfverfahren für eine Platine.
ERÖRTERUNG DES HINTERGRUNDS
Im Allgemeinen wird in einer elektronischen Vorrichtung mindestens eine Leiterplatte (printed circuit board – PCB) eingesetzt, und verschiedene Schaltungselemente, wie z. B. ein Schaltungsmuster ein Anschlusspadteil, ein mit dem Anschlusspadteil elektrisch verbundener Treiberchip etc., sind auf der PCB montiert.
Typischerweise wird ein Formmessgerät verwendet, um zu prüfen, ob die verschiedenen Schaltungselemente auf der Leiterplatte gut ausgebildet oder konfiguriert sind oder nicht.
Bei einem herkömmlichen Formmessgerät wird ein vorbestimmter Prüfbereich eingestellt, um zu prüfen, ob Schaltungselemente im Prüfbereich gut ausgebildet sind oder nicht. Bei einem herkömmlichen Verfahren zum Einstellen eines Prüfbereichs wird einfach ein Bereich, in dem sich theoretisch Schaltungselemente befinden, als Prüfbereich eingestellt.
Wenn der Prüfbereich an einem korrekten Ort eingestellt ist, wird eine Messung eines gewünschten Schaltungselements gut durchgeführt. Bei einem Messziel, wie z. B. einer PCB, kann jedoch eine Verwindung, wie z. B. eine Wölbung, Verdrehung etc., einer Grundplatte erzeugt werden. Somit wird bei dem herkömmlichen Verfahren zum Einstellen eines Prüfbereichs der Prüfbereich nicht korrekt an einem gewünschten Ort eingestellt, und ein Ort, der einem Bild entspricht, das in einer Kamera eines Bilderaufnahmeteils erfasst wird, weicht ein wenig von einem Ort ab, wo ein Schaltungselement tatsächlich vorhanden ist. Somit muss ein Prüfbereich die Verwindung des Messziels kompensieren.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung stellen ein Prüfgerät bereit, das in der Lage ist, einen Prüfbereich, in dem die Verwindung eines Messziels kompensiert wird, einzustellen und eine Umrechnungsbeziehung, die beim Kompensieren der Verwindung verwendet wird, korrekter zu definieren.
Zusätzliche Merkmale der Erfindung werden in der folgenden Beschreibung dargelegt und ergeben sich zum Teil aus der Beschreibung oder erschließen sich durch die Praktizierung der Erfindung.
Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung offenbart ein Prüfverfahren. Das Prüfverfahren beinhaltet das Einstellen eines Messbereichs auf einer Platine, das Erfassen von Referenzdaten und Messdaten des Messbereichs, das Erstellen einer Umrechnungsbedingung einschließlich eines Vergleichsmerkmalsobjekts für den Messbereich, das Erfassen einer Umrechnungsbeziehung gemäß einem Verzerrungsgrad durch Vergleichen der Referenzdaten und Messdaten, die dem Vergleichsmerkmalsobjekt entsprechen, miteinander, das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung unter Verwendung mindestens eines eines ersten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass das Vergleichsmerkmalsobjekt die Umrechnungsbeziehung erfüllt, eines zweiten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Verifizierungsmerkmalsobjekt, das aus den Merkmalsobjekten mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts ausgewählt ist, die Umrechnungsbeziehung erfüllt, und eines dritten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Pad, das einem auf der Platine ausgebildeten Prüfziel entspricht, die Umrechnungsbeziehung erfüllt, das Bestätigen der Umrechnungsbedingung im Fall, dass die Umrechnungsbeziehung als gültig beurteilt wird, und das Einstellen eines Prüfbereichs zum Prüfen eines Messziels gemäß der bestätigten Umrechnungsbedingung.
Das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung kann beispielsweise in der Reihenfolge des ersten Verifizierungsverfahrens, des zweiten Verifizierungsverfahrens und des dritten Verifizierungsverfahrens durchgeführt werden.
Bei einem Ausführungsbeispiel kann das Prüfverfahren im Fall, dass die Umrechnungsbeziehung als Ergebnis der Verifizierung der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, ferner das Ändern der Umrechnungsbedingung und das Wiederholen des Schritts des Erfassens der Umrechnungsbeziehung und der folgenden Schritte beinhalten.
Die Umrechnungsbedingung kann beispielsweise ferner mindestens eine(s) eines Koordinatenumrechnungsmodells und einer Beleuchtungseinstellung einer Beleuchtungsvorrichtung beinhalten.
Bei einem Ausführungsbeispiel kann das Prüfverfahren im Fall, dass die Umrechnungsbeziehung als Ergebnis der Verifizierung der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, ferner das Wiederholen des Schritts des Erfassens der Umrechnungsbeziehung und der folgenden Schritte unter Verwendung einer Umrechnungsbedingung eines benachbarten Messbereichs, der dem Messbereich benachbart ist, beinhalten.
Der eingestellte Messbereich kann beispielsweise Plural sein, und die Umrechnungsbedingung kann für jeden Messbereich erstellt werden.
Ein anderes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung offenbart ein Prüfverfahren. Das Prüfverfahren beinhaltet das Einstellen eines Messbereichs auf einer Platine, das Erfassen von Referenzdaten und Offline-Messdaten des Messbereichs, das Erstellen einer Umrechnungsbedingung einschließlich eines Vergleichsmerkmalsobjekts für den Messbereich, das Erfassen einer Offline-Umrechnungsbeziehung gemäß einem vorbestimmten Koordinatenumrechnungsmodell durch Vergleichen der Referenzdaten und Offline-Messdaten, die dem Vergleichsmerkmalsobjekt entsprechen, miteinander, das Verifizieren der Gültigkeit der Offline-Umrechnungsbeziehung unter Verwendung mindestens eines eines ersten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass das Vergleichsmerkmalsobjekt die Offline-Umrechnungsbeziehung erfüllt, eines zweiten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Verifizierungsmerkmalsobjekt, das aus den Merkmalsobjekten mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts ausgewählt ist, die Offline-Umrechnungsbeziehung erfüllt, und eines dritten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Pad, das einem auf der Platine ausgebildeten Prüfziel entspricht, die Inline-Umrechnungsbeziehung erfüllt, das Bestätigen der Umrechnungsbedingung im Fall, dass die Offline-Umrechnungsbeziehung als gültig beurteilt wird, und das Einstellen eines Prüfbereichs zum Prüfen eines Messziels gemäß der bestätigten Umrechnungsbedingung.
Noch ein anderes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung offenbart ein Prüfverfahren. Das Prüfverfahren beinhaltet das Einstellen eines Messbereichs auf einer Platine, das Erfassen von Referenzdaten des Messbereichs, das Erfassen von Inline-Messdaten des Messbereichs, das Erfassen einer Inline-Umrechnungsbeziehung gemäß einem vorbestimmten Koordinatenumrechnungsmodell durch Vergleichen der Referenzdaten und Inline-Messdaten, die dem Vergleichsmerkmalsobjekt entsprechen, miteinander, das Verifizieren der Gültigkeit der Inline-Umrechnungsbeziehung unter Verwendung mindestens eines ersten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass das Vergleichsmerkmalsobjekt die Inline-Umrechnungsbeziehung erfüllt, und eines zweiten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Verifizierungsmerkmalsobjekt, das aus den Merkmalsobjekten mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts ausgewählt ist, die Offline-Umrechnungsbeziehung erfüllt, und das Einstellen eines Prüfbereichs zum Prüfen eines Messziels unter Verwendung der Inline-Umrechnungsbedingung im Fall, dass die Inline-Umrechnungsbeziehung als gültig beurteilt wird.
Das Vergleichsmerkmalsobjekt und das Verifzierungsmerkmalsobjekt können beispielsweise durch eine Blockeinheit als Merkmalsblock definiert sein.
Noch ein anderes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung offenbart ein Prüfverfahren. Das Prüfverfahren beinhaltet das Einstellen eines Messbereichs auf einer Platine, das Erfassen von Referenzdaten und Messdaten des Messbereichs, das Erstellen einer Umrechnungsbedingung, die mindestens zwei Merkmalsobjekte einschließt, für den Messbereich, das Erfassen einer Umrechnungsbeziehung gemäß einem Verzerrungsgrad durch Vergleichen der Referenzdaten und Messdaten, die mindestens einem der Merkmalsobjekte entsprechen, miteinander und das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung.
Das Merkmalsobjekt kann beispielsweise ein Vergleichsmerkmalsobjekt, das zum Erfassen der Umrechnungsbeziehung verwendet wird, und ein Verifizierungsmerkmalsobjekt mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts beinhalten.
Bei einem Ausführungsbeispiel kann das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung durchgeführt werden, indem verifiziert wird, dass mindestens eines eines Vergleichsmerkmalsobjekts, das zum Erfassen der Umrechnungsbeziehung verwendet wird, eines Verifizierungsmerkmalsobjekts mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts und eines auf der Platine ausgebildeten Pads die Umrechnungsbeziehung erfüllt.
Bei einem Ausführungsbeispiel kann im Falle einer Inline-Prüfung das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung durchgeführt werden, indem verifiziert wird, dass mindestens eines eines Vergleichsmerkmalsobjekts, das zum Erfassen der Umrechnungsbeziehung verwendet wird, und eines Verifizierungsmerkmalsobjekts mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts die Umrechnungsbeziehung erfüllt.
Bei einem Ausführungsbeispiel kann im Falle einer Offline-Prüfung das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung durchgeführt werden, indem verifiziert wird, dass mindestens eines eines Vergleichsmerkmalsobjekts, das zum Erfassen der Umrechnungsbeziehung verwendet wird, eines Verifizierungsmerkmalsobjekts mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts und eines auf der Platine ausgebildeten Pads die Umrechnungsbeziehung erfüllt.
Im Fall, dass die Umrechnungsbeziehung als Ergebnis der Verifizierung der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, kann das Prüfverfahren ferner das Ändern der Umrechnungsbedingung und das Wiederholen des Schritts des Erfassens der Umrechnungsbeziehung und des/r folgenden Schritts oder Schritte beinhalten.
Die Umrechnungsbedingung kann beispielsweise ferner mindestens eine(s) eines Koordinatenumrechnungsmodells und einer Beleuchtungseinstellung einer Beleuchtungsvorrichtung beinhalten.
Erfindungsgemäß werden Merkmalsobjekte in einem auf einer Platine eingestellten Messbereich für ein Vergleichsmerkmalsobjekt und ein Verifizierungsmerkmalsobjekt verwendet, und es wird eine Umrechnungsbeziehung zwischen Referenzdaten und Messdaten erstellt und verifiziert, um dadurch einen Prüfbereich korrekter einzustellen.
Zusätzlich können korrekte Verifizierungen für jeden Schritt durch das Anwenden unterschiedlicher Verifizierungskriterien für inline und offline durchgeführt werden.
Zusätzlich kann basierend auf dem wie oben beschrieben eingestellten Messbereich eine Arbeit, wie z. B. eine Prüfung von Bauteilen, durchgeführt werden, um dadurch korrekter zu beurteilen, ob die Platine gut oder schlecht ist.
Es versteht sich, dass sowohl die vorstehende allgemeine Beschreibung als auch die folgende detaillierte Beschreibung beispielhaft und erläuternd sind und zwecks der weiter gehenden Erläuterung der beanspruchten Erfindung bereitgestellt sind.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Die anliegenden Zeichnungen, die zwecks des weiter gehenden Verständnisses der Erfindung beigeschlossen sind und in diese Beschreibung integriert sind und einen Teil derselben bilden, stellen Ausführungsformen der Erfindung dar und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, die Prinzipien der Erfindung zu erläutern.
1 ist ein Flussdiagramm, das ein Prüfverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellt.
2 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel von Referenzdaten im Prüfverfahren, das in 1 gezeigt ist, darstellt.
3 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel des Verifizierens der Gültigkeit einer Offline-Umrechnungsbeziehung in 1 darstellt.
4 ist ein Flussdiagramm, welches das Einstellen eines Prüfbereichs gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellt.
5 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel des Verifizierens der Gültigkeit einer Inline-Umrechnungsbeziehung in 4 darstellt.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER DARGESTELLTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Die vorliegende Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen, in denen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung gezeigt sind, umfassender beschrieben. Die vorliegende Erfindung kann jedoch in vielen unterschiedlichen Formen ausgeführt sein und sollte nicht als auf die hierin dargelegten Ausführungsbeispiele beschränkt ausgelegt werden. Vielmehr sind diese Ausführungsbeispiele zwecks der Gründlichkeit und Vollständigkeit der Offenbarung bereitgestellt und vermitteln dem Fachmann den Umfang der vorliegenden Erfindung umfassend. In den Zeichnungen können die Größen und relativen Größen der Schichten und Bereiche zwecks Klarheit übertrieben sein.
Es versteht sich, dass, wenn gesagt wird, dass ein Element oder eine Schicht „auf”, „verbunden mit” oder „gekoppelt mit” einem anderen Element oder einer anderen Schicht vorliegt, diese(s) direkt auf, verbunden oder gekoppelt mit dem anderen Element oder der anderen Schicht sein kann, oder dazwischen liegende Elemente oder Schichten vorhanden sein können. Im Gegensatz dazu sind, wenn gesagt wird, dass ein Element „direkt auf”, „direkt verbunden mit” oder „direkt gekoppelt mit” einem anderen Element oder einer anderen Schicht vorliegt, keine dazwischen liegenden Elemente oder Schichten vorhanden. Ähnliche Bezugszeichen beziehen sich durchgehend auf ähnliche Elemente. Im Rahmen dieser Schrift beinhaltet der Ausdruck „und oder” jede und alle Kombinationen) eines oder mehrerer der zugehörigen aufgezählten Elemente.
Es versteht sich, dass, obwohl die Begriffe erster, zweiter, dritter etc. hierin verwendet sein können, um verschiedene Elemente, Bauteile, Bereiche, Schichten und/oder Abschnitte zu beschreiben, diese Elemente, Bauteile, Bereiche, Schichten und/oder Abschnitte nicht auf diese Begriffe beschränkt sein sollten. Diese Begriffe werden nur verwendet, um ein Element, Bauteil, einen Bereich, eine Schicht oder einen Abschnitt von einem anderen Bereich, einer anderen Schicht oder einem anderen Abschnitt zu unterscheiden. Somit könnte ein erstes Element, Bauteil, erster Bereich, eine erste Schicht oder ein erster Abschnitt, wenn unten erörtert, als zweites Element, Bauteil, zweiter Bereich, zweite Schicht oder zweiter Abschnitt bezeichnet werden, ohne von den Lehren der vorliegenden Erfindung abzugehen.
Räumlich relative Begriffe, wie z. B. „unterhalb”, „unter”, „unterer”, „über”, „oberer” und dergleichen, können hierin zur Vereinfachung der Beschreibung verwendet sein, um die Beziehung eines Elements oder Merkmals zu einem anderen Element/anderen Elemente oder einem anderen Merkmal/anderen Merkmalen, wie in den Figuren dargestellt, zu beschreiben. Es versteht sich, dass die räumlich relativen Begriffe verschiedene Ausrichtungen der in Benutzung oder Betrieb befindlichen Vorrichtung, zusätzlich zur in den Figuren abgebildeten Ausrichtung, einschließen sollen. Wenn beispielsweise die Vorrichtung in den Figuren umgedreht wird, wären Elemente, die als „unter” oder „unterhalb” anderer Elemente oder Merkmale beschrieben sind, dann „über” den anderen Elementen oder Merkmalen ausgerichtet. Somit kann der beispielhafte Begriff „unter” sowohl eine Ausrichtung über als auch eine Ausrichtung unter einschließen. Die Vorrichtung kann anderweitig ausgerichtet sein (um 90 Grad gedreht oder mit anderen Ausrichtungen), und die hierin verwendeten räumlich relativen Deskriptoren können entsprechend interpretiert werden.
Die hierin verwendete Terminologie dient nur dem Zweck der Beschreibung bestimmter Ausführungsbeispiele und soll für die vorliegende Erfindung nicht beschränkend sein. im Rahmen dieser Schrift sollen die Singularformen „ein/eine/eines” und „der/die/das” auch die Pluralformen beinhalten, sofern der Kontext nicht eindeutig dagegen spricht. Es versteht sich ferner, dass die Begriffe „umfasst” und/oder „umfassend” bei Verwendung in dieser Beschreibung das Vorhandensein der genannten Merkmale, ganzen Zahlen, Schritte, Vorgänge, Elemente und/oder Bauteile konstatieren, jedoch nicht das Vorhandensein oder die Hinzufügung eines oder mehrerer anderer Merkmale, ganzer Zahlen, Schritte, Vorgänge, Elemente, Bauteile und/oder Gruppen derselben ausschließen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind hierin unter Bezugnahme auf Querschnittsdarstellungen beschrieben, die schematische Darstellungen idealisierter Ausführungsbeispiele (und Zwischenstrukturen) der vorliegenden Erfindung sind. Somit ist mit Abweichungen von den Formen der Darstellungen, beispielsweise infolge von Herstellungstechniken und/oder Toleranzen, zu rechnen. Somit sollten Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung nicht als auf die bestimmten Formen von hierin dargestellten Bereichen beschränkt ausgelegt werden, sondern Abweichungen in den Formen, die beispielsweise aus der Herstellung resultieren, sollen einbezogen sein. Beispielsweise weist ein implantierter Bereich, der als Rechteck dargestellt ist, typischerweise gerundete oder gekrümmte Merkmale und/oder einen Implantationskonzentrationsgradienten an seinen Kanten statt einer binären Änderung vom implantierten zum nicht-implantierten Bereich auf. In ähnlicher Weise kann ein durch Implantation ausgebildeter vergrabener Bereich eine gewisse Implantation im Bereich zwischen dem vergrabenen Bereich und der Oberfläche, durch welche die Implantation stattfindet, zur Folge haben. Somit sind die in den Figuren dargestellten Bereiche ihrer Natur nach schematisch und ihre Formen sollen nicht die tatsächliche Form eines Bereichs einer Vorrichtung darstellen und sollen den Umfang der vorliegenden Erfindung nicht beschränken.
Sofern nicht anderweitig definiert, haben alle hierin verwendeten Begriffe (einschließlich technischer und wissenschaftlicher Begriffe) die gleiche Bedeutung, die üblicherweise von einem Fachmann auf dem Gebiet, zu dem die Erfindung gehört, verstanden wird. Es versteht sich ferner, dass Begriffe, wie z. B. solche, die in üblicherweise verwendeten Wörterbüchern definiert sind, mit einer Bedeutung interpretiert werden sollten, die mit ihrer Bedeutung im Kontext des relevanten Fachgebiets übereinstimmt, und nicht in einem idealisierten oder übermäßig förmlichen Sinne interpretiert werden, sofern hierin nicht ausdrücklich so definiert.
Nachstehend werden unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung detailliert beschrieben.
1 ist ein Flussdiagramm, das ein Prüfverfahren gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellt. 2 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel von Referenzdaten im Prüfverfahren, das in 1 gezeigt ist, darstellt.
Bezug nehmend auf 1 und 2, wird zum Einstellen eines Prüfbereichs, in dem die Verwindung kompensiert wird, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung in Schritt S110 zuerst ein Messbereich FOV auf einer Platine 100 eingestellt.
Der Messbereich FOV gibt einen vorbestimmten Bereich an, der auf der Platine 100 eingestellt ist, um zu prüfen, ob die Platine schlecht ist oder nicht, und kann beispielsweise basierend auf einem „Gesichtsfeld” einer in einem Prüfgerät, wie z. B. einem dreidimensionalen Formmessgerät, installierten Kamera definiert sein.
Dann werden in Schritt S120 Referenzdaten RI und Offline-Messdaten des Messbereichs FOV erfasst.
Die Referenzdaten RI können beispielsweise einer theoretischen Draufsicht auf die Platine 100, wie in 2 gezeigt, entsprechen.
Bei einem Ausführungsbeispiel können die Referenzdaten RI aus CAD-Informationen oder Gerber-Informationen erhalten werden, in denen eine Form der Platine 100 aufgezeichnet ist. Die CAD-Informationen oder die Gerber-Informationen können Designinformationen der Platine beinhalten und beinhalten typischerweise Konfigurationsinformationen eines Pads 10, eines Schaltungsmusters 30, eines Lochmusters 40 etc.
Bei einem anderen Ausführungsbeispiel können die Referenzdaten RI aus in einem Lernmodus erhaltenen Lerninformationen erfasst werden. Der Lernmodus kann durch Prozesse realisiert werden, wie beispielsweise das Suchen von Platineninformationen in einer Datenbank, das Erkennen einer unbestückten Platine im Fall, dass die Platineninformationen nicht in der Datenbank sind, und das Speichern der Platineninformationen in der Datenbank nach dem Erzeugen der Platineninformationen durch das Erkennen der unbestückten Platine. Das heißt, im Lernmodus wird eine unbestückte Platine einer PCB erkannt und Designreferenzinformationen der PCB werden erfasst und die Referenzdaten RI können durch Erhalten der Lerninformationen durch den Lernmodus erfasst werden.
Die Offline-Messdaten können Daten entsprechen, die durch Messen der Platine 100 vor dem Ausbilden eines Bauteils etc. auf der Platine 100, wie in 2 gezeigt, erfasst werden, und können beispielsweise ein Bild für die Platine 100 sein, das den Referenzdaten RI entspricht, das tatsächlich unter Verwendung eines Prüfgeräts, wie z. B. eines dreidimensionalen Formmessgeräts, aufgenommen wird. Die Offline-Messdaten weisen ein ähnliches Bild auf wie die in 2 gezeigten Referenzdaten RI. Aufgrund von Wölbung, Verdrehung etc. der Platine 100 sind die Offline-Messdaten jedoch gegenüber den Referenzdaten RI etwas verzerrt.
Bei einem Ausführungsbeispiel können die Offline-Messdaten durch das Beleuchten des Messbereichs FOV unter Verwendung des Beleuchtungsabschnitts des Prüfgeräts und das Aufnehmen eines durch das bereitgestellte Licht reflektierten Bildes unter Verwendung einer im Prüfgerät installierten Kamera erfasst werden. Alternativ können die Offline-Messdaten durch das Projizieren von Gittermusterlicht auf den Messbereich FOV unter Verwendung eines Gittermusterprojektionsabschnitts des Prüfgeräts, das Aufnehmen eines durch das projizierte Gittermusterlicht reflektierten Bildes zum Erhalt von Daten für eine dreidimensionale Form und das Mitteln der Daten für die dreidimensionale Form erfasst werden.
Danach wird in Schritt S130 eine Umrechnungsbedingung für den Messbereich FOV erstellt.
Die Umrechnungsbedingung kann zum Erfassen einer Offline-Umrechnungsbeziehung vorbestimmt sein, was später beschrieben wird, und unter der vorbestimmten Umrechnungsbedingung wird eine Umrechnungsbeziehung gemäß der Änderung zwischen den Referenzdaten und den Offline-Messdaten erfasst.
Der eingestellte Messbereich FOV kann Plural sein, und bei einem Ausführungsbeispiel kann die Umrechnungsbedingung für jeden Messbereich erstellt werden.
Die Umrechnungsbedingung beinhaltet ein Vergleichsmerkmalsobjekt, und das Vergleichsmerkmalsobjekt kann gemäß der Form, dem Ort, der Verteilung etc. korrekt aus verschiedenen Merkmalsobjekten ausgewählt sein, um die Umrechnungsbedingung auszubilden.
Das Vergleichsmerkmalsobjekt kann für eine Vergleichsreferenz verwendet werden, um eine Umrechnungsbeziehung zwischen den Referenzdaten RI und den Offline-Messdaten zu erfassen, was später beschrieben wird. Das heißt, die Umrechnungsbeziehung wird unter Verwendung eines Grads, um den das Vergleichsmerkmalsobjekt zwischen den Referenzdaten RI und den Offline-Messdaten aufgrund der Verwindung der Platine 100 verändert ist, definiert.
Das Vergleichsmerkmalsobjekt kann ein Objekt beinhalten, das eine vorbestimmte, bei einer bestimmten Koordinate in den Referenzdaten RI und den Offline-Messdaten befindliche Form aufweist. Das Vergleichsmerkmalsobjekt kann beispielsweise ein Lochmuster, einen Eckabschnitt eines gebogenen Schaltungsmusters etc., die auf der Platine 100 ausgebildet sind, beinhalten, und eine Umrechnungsbeziehung, die später beschrieben wird, kann durch Vergleichen der Referenzdaten RI mit den Offline-Messdaten basierend auf einer Koordinate eines zentralen Punkts des Lochmusters und einer Koordinate eines Eckpunkts des gebogenen Schaltungsmusters erfasst werden.
Alternativ kann das Vergleichsmerkmalsobjekt, wie in 2 gezeigt, durch eine Blockeinheit als Merkmalsblock FT definiert sein. Im Fall des Definierens des Vergleichsmerkmalsobjekts als Merkmalsblock können die Referenzdaten RI und die Offline-Messdaten genau miteinander verglichen werden, da die Referenzdaten RI und die Offline-Messdaten basierend auf verschiedenen, in den Merkmalsblock FT einbezogenen Formen miteinander verglichen werden können.
Da das Vergleichsmerkmalsobjekt als Vergleichsreferenz verwendet wird, um eine Umrechnungsbeziehung zwischen den Referenzdaten RI und den Offline-Messdaten zu erfassen, ist es wünschenswert, das Vergleichsmerkmalsobjekt in den Referenzdaten RI und den Offline-Messdaten genau zu erstellen. Für die obige genaue Erstellung kann es passieren, dass im Messbereich FOV kein Objekt oder wenige Objekte, die als Vergleichsmerkmalsobjekt auswählbar sind, vorhanden sind. Somit können zur Sicherung ausreichender Vergleichsmerkmalsobjekte die Vergleichsmerkmalsobjekte aus benachbarten Messbereichen, die dem Messbereich FOV benachbart sind, extrahiert werden.
Die Umrechnungsbedingung kann ferner ein Koordinatenumrechnungsmodell beinhalten. Die Offline-Messdaten sind aufgrund von Wölbung, Verdrehung etc. der Platine gegenüber den Referenzdaten RI, die den theoretischen Referenzinformationen entsprechen, verzerrt. Die Umrechnungsbeziehung kann zwischen den Referenzdaten RI und den Offline-Messdaten gemäß einem Verzerrungsgrad, der einen Grad der Verzerrung ausdrückt, erstellt werden. Die Umrechnungsbeziehung kann in verschiedenen Formen mathematischer Modelle ausgedrückt sein, und die mathematischen Modelle entsprechen dem Koordinatenumrechnungsmodell.
Das Koordinatenumrechnungsmodell und die Umrechnungsbeziehung werden später detailliert beschrieben.
Die Umrechnungsbedingung kann ferner eine Beleuchtungseinstellung eines Prüfgeräts, wie beispielsweise eines dreidimensionalen Formmessgeräts, beinhalten. Anders ausgedrückt, kann die Umrechnungsbedingung eine Beleuchtungseinstellung beinhalten, da die Offline-Messdaten gemäß der Beleuchtung eines Prüfgeräts veränderlich sein können. Die Beleuchtungseinstellung kann beispielsweise einen beleuchteten Winkel, eine Farbe, eine Helligkeit etc. zum Erfassen der Offline-Messdaten beinhalten.
Dann werden die Referenzdaten und Offline-Messdaten, die dem Vergleichsmerkmalsobjekt entsprechen, miteinander verglichen, und in Schritt S140 wird gemäß dem Verzerrungsgrad zwischen den Referenzdaten und den Offline-Messdaten eine Offline-Umrechnungsbeziehung erfasst.
Die Offline-Umrechnungsbeziehung kann unter Verwendung mindestens einer/s der folgenden: einer Ortsänderung, einer Neigungsänderung, einer Größenänderung und eines Transformationsgrads, die durch Vergleichen der Referenzdaten RI und der Messdaten PI, die dem Vergleichsblock entsprechen, miteinander erfasst werden, bestimmt werden.
Die Umrechnungsbeziehung kann beispielsweise als Gleichung 1 unter Verwendung des Koordinatenumrechnungsmodells ausgedrückt werden.
P_CADf (tm) = P_real Gleichung 1
In der Gleichung 1 ist P_CAD eine Koordinate eines Ziels in den CAD-Informationen oder Gerber-Informationen, d. h. eine Koordinate in den Referenzdaten RI, f(tm) entspricht dem Koordinatenumrechnungsmodell, das als Umrechnungsmatrix oder Transfermatrix dient, und P_real ist eine Koordinate des Ziels in den Offline-Messdaten, die durch eine Kamera erfasst wird. Wenn die theoretische Koordinate P_CAD in den Referenzdaten RI und die reale Koordinate P_real in den Offline-Messdaten gefunden sind, kann die Umrechnungsmatrix bekannt sein.
Die Umrechnungsmatrix kann beispielsweise eine Koordinatenumrechnungsmatrix gemäß einer affinen Umrechnung oder einer perspektivischen Umrechnung beinhalten, in welcher die Punkt-zu-Punkt-Beziehung als Form erster Ordnung in einem n-dimensionalen Raum ausgedrückt ist. Zum Definieren der Koordinatenumrechnungsmatrix kann die Zahl der Merkmalsobjekte korrekt erstellt werden, beispielsweise mehr als oder gleich drei im Fall einer affinen Umrechnung und mehr als oder gleich vier im Fall einer perspektivischen Umrechnung.
Das Koordinatenumrechnungsmodell dient als Umrechnungsbedingung und wird vorab in einem beliebigen Modell erstellt. Das Koordinatenumrechnungsmodell kann gemäß einem Verifizierungsprozess, der später beschrieben wird, zu einem anderen Koordinatenumrechnungsmodell abgewandelt werden.
Danach wird in Schritt S150 die Gültigkeit der Offline-Umrechnungsbeziehung verifiziert.
Das Verifizierungsverfahren des Verifizierens der Gültigkeit der Offline-Umrechnungsbeziehung beinhaltet mindestens eines eines ersten Verifizierungsverfahrens, eines zweiten Verifizierungsverfahrens und eines dritten Verifizierungsverfahrens.
Das erste Verifizierungsverfahren entspricht einem Verfahren des Verifizierens, dass das Vergleichsmerkmalsobjekt die Offline-Umrechnungsbeziehung erfüllt.
Das Vergleichsmerkmalsobjekt entspricht einem Merkmalsobjekt, das zum Erfassen der Offline-Umrechnungsbeziehung verwendet wird, aber beim Anwenden der erfassen Offline-Umrechnungsbeziehung kann ein großer Fehler auftreten. Somit kann im Fall, dass der Fehler einen vorbestimmten Toleranzbereich überschreitet, die Umrechnungsbeziehung als ungültig beurteilt werden.
Das zweite Verifizierungsverfahren entspricht einem Verfahren des Verifizierens, dass ein Verifizierungsmerkmalsobjekt, das aus den Merkmalsobjekten mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts ausgewählt ist, die Offline-Umrechnungsbeziehung erfüllt.
Da das Verifizierungsmerkmalsobjekt einem Merkmalsobjekt entspricht, das nicht zum Erfassen der Offline-Umrechnungsbeziehung verwendet wird, kann die Offline-Umrechnungsbeziehung als zuverlässiger beurteilt werden, wenn ein Fehler beim Anwenden des Verifizierungsmerkmalsobjekts auf die erfasste Offline-Umrechnungsbeziehung nicht sehr groß ist. Somit kann die Umrechnungsbeziehung als gültig beurteilt werden, wenn der Fehler beim Anwenden des Verifizierungsmerkmalsobjekts nicht den vorbestimmten Toleranzbereich überschreitet.
Das Verifizierungsmerkmalsobjekt kann beispielsweise gleichzeitig mit der Extraktion des Vergleichsmerkmalsobjekts extrahiert werden, und alternativ kann das Verifizierungsmerkmalsobjekt bei einer Änderung der Umrechnungsbedingung neu extrahiert werden, was später beschrieben wird.
Das dritte Verifizierungsverfahren entspricht einem Verfahren des Verifizierens, dass ein Pad, das einem auf der Platine ausgebildeten Prüfziel entspricht, die Offline-Umrechnungsbeziehung erfüllt.
Obwohl die Umrechnungsbeziehung durch das erste und zweite Verifizierungsverfahren als gültig beurteilt wird, ist es im Fall, dass ein Prüfziel beispielsweise ein Pad ist, auf dem Lot ausgebildet wird, schwierig, dass das Prüfergebnis zuverlässig ist, wenn das Pad die Offline-Umrechnungsbeziehung nicht erfüllt. Somit kann, wenn das Pad, das einem realen Prüfziel entspricht, als Merkmalsobjekt dient, die Umrechnungsbeziehung im Fall, dass das Pad den vorbestimmten Toleranzbereich überschreitet, als ungültig beurteilt werden.
Der Fehler kann beispielsweise anhand der Differenz zwischen einer realen Koordinate des Merkmalsobjekts und einer erwarteten Koordinate nach dem Anwenden der Umrechnungsbeziehung auf die Referenzdaten berechnet werden.
Die Zuverlässigkeit der erfassten Offline-Umrechnungsbeziehung kann durch die Verifizierungsverfahren, wie oben beschrieben, gesichert werden.
Das erste, zweite und dritte Verifizierungsverfahren werden selektiv oder insgesamt verwendet. Im Fall, dass mindestens zwei des ersten, zweiten und dritten Verifizierungsverfahrens verwendet werden, können die Verfahren vorzugsweise in der Reihenfolge des ersten Verifizierungsverfahrens, des zweiten Verifizierungsverfahrens und des dritten Verifizierungsverfahrens durchgeführt werden.
3 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel des Verifizierens der Gültigkeit einer Offline-Umrechnungsbeziehung in 1 darstellt.
Bezug nehmend auf 1 und 3, wird zuerst in Schritt S152 das Vergleichsmerkmalsobjekt gemäß dem ersten Verifizierungsverfahren verifiziert, und in Schritt S153 wird beurteilt, ob die Offline-Umrechnungsbeziehung gültig ist oder nicht. Wenn die Offline-Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, wird in Schritt S170 die Umrechnungsbedingung geändert, und danach wird zum Schritt des Erfassens der Offline-Umrechnungsbeziehung (S140) zurückgegangen.
Dann wird, wenn die Offline-Umrechnungsbeziehung gültig ist, in Schritt S154 das Verifizierungsmerkmalsobjekt gemäß dem zweiten Verifizierungsverfahren verifiziert, und in Schritt S155 wird beurteilt, ob die Offline-Umrechnungsbeziehung gültig ist oder nicht. Wenn die Offline-Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, wird in Schritt S170 die Umrechnungsbedingung geändert, und danach wird zum Schritt des Erfassens der Offline-Umrechnungsbeziehung (S140) zurückgegangen.
Danach wird, wenn die Offline-Umrechnungsbeziehung gültig ist, in Schritt S154 das einem Prüfziel entsprechende Pad gemäß dem dritten Verifizierungsverfahren verifiziert, und in Schritt S155 wird beurteilt, ob die Offline-Umrechnungsbeziehung gültig ist oder nicht. Wenn die Offline-Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, wird in Schritt S170 die Umrechnungsbedingung geändert, und danach wird zum Schritt des Erfassens der Offline-Umrechnungsbeziehung (S140) zurückgegangen.
Dann wird im Fall, dass die Offline-Umrechnungsbeziehung als gültig beurteilt wird, in Schritt S160 die Umrechnungsbedingung bestätigt.
Im Fall, dass die Umrechnungsbeziehung als Ergebnis der Verifizierung der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, wie oben beschrieben, wird nach dem Ändern der Umrechnungsbedingung in Schritt S170 zum Schritt des Erfassens der Offline-Umrechnungsbeziehung (S140) zurückgegangen, und danach werden die folgenden Schritte wiederholt.
Danach wird gemäß der bestätigten Umrechnungsbedingung in Schritt S180 durch Kompensieren der Verzerrung ein Prüfbereich zum Prüfen eines Messziels im Messbereich FOV eingestellt.
4 ist ein Flussdiagramm, welches das Einstellen eines Prüfbereichs gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung darstellt.
Bezug nehmend auf 2 und 4, werden zuerst in Schritt S182 Inline-Messdaten des Messbereichs FOV erfasst.
Die Inline-Messdaten können Daten entsprechen, die durch Messen einer realen PCB, auf der ein auf der Platine 100 montiertes Bauteil, ein Anschlusspunkt 22, eine an dem Bauteil ausgebildete Polanzeige 24, ein Schaltungsmuster, ein Loch etc. vorhanden sind, erfasst werden, und können beispielsweise ein Bild für eine PCB sein, auf der ein Bauteil, ein Muster etc. auf der den Referenzdaten RI entsprechenden Platine 100 ausgebildet sind, das tatsächlich unter Verwendung eines Prüfgeräts, wie z. B. eines dreidimensionalen Formmessgeräts, aufgenommen wird. Die Inline-Messdaten weisen ein ähnliches Bild auf wie die in 2 gezeigten Referenzdaten RI. Aufgrund von Wölbung, Verdrehung etc. der Platine 100 sind die Inline-Messdaten jedoch gegenüber den Referenzdaten RI etwas verzerrt.
Ein Verfahren zum Erfassen der Inline-Messdaten entspricht im Wesentlichen dem Verfahren zum Erfassen der Offline-Messdaten, und somit wird auf die weitere Beschreibung verzichtet.
Dann werden die Referenzdaten, die dem Vergleichsmerkmalsobjekt entsprechen, und die Inline-Messdaten miteinander verglichen, und in Schritt S183 wird gemäß einem Verzerrungsgrad zwischen den Referenzdaten und den Inline-Messdaten eine Inline-Umrechnungsbeziehung erfasst.
Ein Verfahren zum Erfassen der Inline-Umrechnungsbeziehung entspricht im Wesentlichen dem Verfahren zum Erfassen der Offline-Umrechnungsbeziehung mit der Ausnahme, dass es inline durchgeführt wird, und somit wird auf die weitere Beschreibung verzichtet.
Danach wird in Schritt S184 die Gültigkeit der Inline-Umrechnungsbeziehung verifiziert. Das Verfahren zum Verifizieren der Gültigkeit der Inline-Umrechnungsbeziehung beinhaltet mindestens eines eines vierten Verifizierungsverfahrens und eines fünften Verifizierungsverfahrens.
Das vierte Verifizierungsverfahren und das fünfte Verifizierungsverfahren entsprechen im Wesentlichen dem ersten Verifizierungsverfahren bzw. dem zweiten Verifizierungsverfahren mit der Ausnahme, dass sie inline durchgeführt werden und im Fall, dass die Inline-Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, eine Umrechnungsbedingung eines benachbarten Messbereichs verwendet wird, und somit wird auf die weitere Beschreibung verzichtet.
Nachstehend wird unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen ein Ausführungsbeispiel des Verifizierens der Gültigkeit der Inline-Umrechnungsbeziehung detailliert beschrieben.
5 ist ein Flussdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel des Verifizierens der Gültigkeit einer Inline-Umrechnungsbeziehung in 4 darstellt.
Bezug nehmend auf 4 und 5, wird zuerst in Schritt S184a das Vergleichsmerkmalsobjekt gemäß dem vierten Verifizierungsverfahren verifiziert, und in Schritt S184b wird beurteilt, ob die Inline-Umrechnungsbeziehung gültig ist oder nicht. Wenn die Inline-Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, wird in Schritt S186 die Umrechnungsbedingung geändert, und danach wird zum Schritt des Erfassens der Inline-Umrechnungsbeziehung (S183) zurückgegangen. Die Umrechnungsbedingung kann unter Verwendung einer Umrechnungsbedingung eines benachbarten Messbereichs geändert werden. Wenn der benachbarte Messbereich Plural ist, kann die Umrechnungsbedingung durch Auswählen eines der benachbarten Messbereiche oder unter Verwendung eines Durchschnitts von zwei oder mehr benachbarten Messbereichen geändert werden.
Dann wird, wenn die Inline-Umrechnungsbeziehung gültig ist, in Schritt S184c das Verifizierungsmerkmalsobjekt gemäß dem fünften Verifizierungsverfahren verifiziert, und in Schritt S184d wird beurteilt, ob die Inline-Umrechnungsbeziehung gültig ist oder nicht. Wenn die Inline-Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, wird in Schritt S186 die Umrechnungsbedingung geändert, und danach wird zum Schritt des Erfassens der Inline-Umrechnungsbeziehung (S183) zurückgegangen. Die Umrechnungsbedingung kann unter Verwendung einer Umrechnungsbedingung eines benachbarten Messbereichs geändert werden.
Wenn der benachbarte Messbereich Plural ist, kann die Umrechnungsbedingung durch Auswählen eines der benachbarten Messbereiche oder unter Verwendung eines Durchschnitts von zwei oder mehr benachbarten Messbereichen geändert werden.
Dann wird im Fall, dass die Inline-Umrechnungsbeziehung als gültig beurteilt wird, in Schritt S185 unter Verwendung der Inline-Umrechnungsbeziehung der Prüfbereich eingestellt.
Im Fall, dass die Inline-Umrechnungsbeziehung als Ergebnis der Verifizierung der Gültigkeit der Inline-Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, wie oben beschrieben, wird nach dem Ändern der Umrechnungsbedingung unter Verwendung einer Umrechnungsbedingung eines benachbarten Messbereichs, der dem Messbereich FOV benachbart ist, in Schritt S186 zum Schritt des Erfassens der Inline-Umrechnungsbeziehung (S183) zurückgegangen, und danach werden die folgenden Schritte wiederholt.
Gemäß dem oben Gesagten werden Merkmalsobjekte in einem auf einer Platine eingestellten Messbereich für ein Vergleichsmerkmalsobjekt und ein Verifizierungsmerkmalsobjekt verwendet, und es wird eine Umrechnungsbeziehung zwischen Referenzdaten und Messdaten erstellt und verifiziert, um dadurch einen Prüfbereich korrekter einzustellen.
Zusätzlich können korrekte Verifizierungen für jeden Schritt durch das Anwenden unterschiedlicher Verifizierungskriterien für inline und offline durchgeführt werden.
Zusätzlich kann basierend auf dem wie oben beschrieben eingestellten Messbereich eine Arbeit, wie z. B. eine Prüfung von Bauteilen, durchgeführt werden, um dadurch korrekter zu beurteilen, ob die Platine gut oder schlecht ist.
Es ist für den Fachmann offensichtlich, dass in der vorliegenden Erfindung verschiedene Abwandlungen und Veränderungen vorgenommen werden können, ohne vom Geist oder Umfang der Erfindung abzugehen. Es ist somit beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung die Abwandlungen und Veränderungen dieser Erfindung abdeckt, vorausgesetzt sie fallen in den Umfang der beigefügten Ansprüche und ihrer Äquivalente.

Claims

Prüfverfahren, umfassend: Einstellen eines Prüfbereichs auf einer Platine; Erfassen von Referenzdaten und Messdaten des Messbereichs; Erstellen einer Umrechnungsbedingung einschließlich eines Vergleichsmerkmalsobjekts für den Messbereich; Erfassen einer Umrechnungsbeziehung gemäß einem Verzerrungsgrad durch Vergleichen der Referenzdaten und Messdaten, die dem Vergleichsmerkmalsobjekt entsprechen, miteinander; Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung unter Verwendung mindestens eines eines ersten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass das Vergleichsmerkmalsobjekt die Umrechnungsbeziehung erfüllt, eines zweiten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Verifizierungsmerkmalsobjekt, das aus den Merkmalsobjekten mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts ausgewählt ist, die Umrechnungsbeziehung erfüllt, und eines dritten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Pad, das einem auf der Platine ausgebildeten Prüfziel entspricht, die Umrechnungsbeziehung erfüllt; Bestätigen der Umrechnungsbedingung im Fall, dass die Umrechnungsbeziehung als gültig beurteilt wird; und Einstellen eines Prüfbereichs zum Prüfen eines Messziels gemäß der bestätigten Umrechnungsbedingung.
Prüfverfahren nach Anspruch 1, wobei das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung in der Reihenfolge des ersten Verifizierungsverfahrens, des zweiten Verifizierungsverfahrens und des dritten Verifizierungsverfahrens durchgeführt wird.
Prüfverfahren nach Anspruch 1, im Fall, dass die Umrechnungsbeziehung als Ergebnis der Verifizierung der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, ferner umfassend: Ändern der Umrechnungsbedingung; und Wiederholen des Schritts des Erfassens der Umrechnungsbeziehung und der folgenden Schritte.
Prüfverfahren nach Anspruch 1, wobei die Umrechnungsbedingung ferner mindestens eine(s) eines Koordinatenumrechnungsmodells und einer Beleuchtungseinstellung einer Beleuchtungsvorrichtung beinhaltet.
Prüfverfahren nach Anspruch 1, wobei im Fall, dass die Umrechnungsbeziehung als Ergebnis der Verifizierung der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, ferner umfassend: das Wiederholen des Schritts des Erfassens der Umrechnungsbeziehung und der folgenden Schritte unter Verwendung einer Umrechnungsbedingung eines benachbarten Messbereichs, der dem Messbereich benachbart ist.
Prüfverfahren nach Anspruch 1, wobei der eingestellte Messbereich Plural ist und die Umrechnungsbedingung für jeden Messbereich erstellt wird.
Prüfverfahren, umfassend: Einstellen eines Prüfbereichs auf einer Platine; Erfassen von Referenzdaten und Offline-Messdaten des Messbereichs; Erstellen einer Umrechnungsbedingung einschließlich eines Vergleichsmerkmalsobjekts für den Messbereich; Erfassen einer Offline-Umrechnungsbeziehung gemäß einem vorbestimmten Koordinatenumrechnungsmodell durch Vergleichen der Referenzdaten und Offline-Messdaten, die dem Vergleichsmerkmalsobjekt entsprechen, miteinander; Verifizieren der Gültigkeit der Offline-Umrechnungsbeziehung unter Verwendung mindestens eines eines ersten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass das Vergleichsmerkmalsobjekt die Offline-Umrechnungsbeziehung erfüllt, eines zweiten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Verifizierungsmerkmalsobjekt, das aus den Merkmalsobjekten mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts ausgewählt ist, die Offline-Umrechnungsbeziehung erfüllt, und eines dritten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Pad, das einem auf der Platine ausgebildeten Prüfziel entspricht, die Offline-Umrechnungsbeziehung erfüllt; Bestätigen der Umrechnungsbezinung im Fall, dass die Offline-Umrechnungsbeziehung als gültig beurteilt wird; und Einstellen eines Prüfbereichs zum Prüfen eines Messziels gemäß der bestätigten Umrechnungsbedingung.
Prüfverfahren, umfassend: Einstellen eines Prüfbereichs auf einer Platine; Erfassen von Referenzdaten des Messbereichs; Erfassen von Inline-Messdaten des Messbereichs; Erfassen einer Inline-Umrechnungsbeziehung gemäß einem vorbestimmten Koordinatenumrechnungsmodell durch Vergleichen der Referenzdaten und Inline-Messdaten, die dem Vergleichsmerkmalsobjekt entsprechen, miteinander; Verifizieren der Gültigkeit der Inline-Umrechnungsbeziehung unter Verwendung mindestens eines ersten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass das Vergleichsmerkmalsobjekt die Inline-Umrechnungsbeziehung erfüllt, und eines zweiten Verifizierungsverfahrens des Verifizierens, dass ein Verifizierungsmerkmalsobjekt, das aus den Merkmalsobjekten mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts ausgewählt ist, die Inline-Umrechnungsbeziehung erfüllt; und Einstellen eines Prüfbereichs zum Prüfen eines Messziels unter Verwendung der Inline-Umrechnungsbedingung im Fall, dass die Inline-Umrechnungsbeziehung als gültig beurteilt wird.
Prüfverfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Vergleichsmerkmalsobjekt und das Verifizierungsmerkmalsobjekt durch eine Blockeinheit als Merkmalsblock definiert sind.
Prüfverfahren, umfassend: Einstellen eines Prüfbereichs auf einer Platine; Erfassen von Referenzdaten und Messdaten des Messbereichs; Erstellen einer Umrechnungsbedingung, die mindestens zwei Merkmalsobjekte für den Messbereich einschließt; Erfassen einer Umrechnungsbeziehung gemäß einem Verzerrungsgrad durch Vergleichen der Referenzdaten und Messdaten, die mindestens einem der Merkmalsobjekte entsprechen, miteinander; und Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung.
Prüfverfahren nach Anspruch 10, wobei das Merkmalsobjekt ein Vergleichsmerkmalsobjekt, das zum Erfassen der Umrechnungsbeziehung verwendet wird, und ein Verifizierungsmerkmalsobjekt mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts beinhaltet.
Prüfverfahren nach Anspruch 10, wobei das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung durchgeführt wird, indem verifiziert wird, dass mindestens eines eines Vergleichsmerkmalsobjekts, das zum Erfassen der Umrechnungsbeziehung verwendet wird, eines Verifizierungsmerkmalsobjekts mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts und eines auf der Platine ausgebildeten Pads die Umrechnungsbeziehung erfüllt.
Prüfverfahren nach Anspruch 10, wobei im Falle einer Inline-Prüfung, das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung durchgeführt wird, indem verifiziert wird, dass mindestens eines eines Vergleichsmerkmalsobjekts, das zum Erfassen der Umrechnungsbeziehung verwendet wird, und eines Verifizierungsmerkmalsobjekts mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts die Umrechnungsbeziehung erfüllt.
Prüfverfahren nach Anspruch 10, wobei im Falle einer Offline-Prüfung, das Verifizieren der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung durchgeführt wird, indem verifiziert wird, dass mindestens eines eines Vergleichsmerkmalsobjekts, das zum Erfassen der Umrechnungsbeziehung verwendet wird, eines Verifizierungsmerkmalsobjekts mit Ausnahme des Vergleichsmerkmalsobjekts und eines auf der Platine ausgebildeten Pads die Umrechnungsbeziehung erfüllt.
Prüfverfahren nach Anspruch 10, im Fall, dass die Umrechnungsbeziehung als Ergebnis der Verifizierung der Gültigkeit der Umrechnungsbeziehung nicht gültig ist, ferner umfassend: Ändern der Umrechnungsbedingung; und Wiederholen des Schritts des Erfassens der Umrechnungsbeziehung und des/r folgenden Schritts oder Schritte.
Prüfverfahren nach Anspruch 10, wobei die Umrechnungsbedingung ferner mindestens eine(s) eines Koordinatenumrechnungsmodells und einer Beleuchtungseinstellung einer Beleuchtungsvorrichtung beinhaltet.