DE19910412A1 - Verfahren zur Ausrichtung eines im Computer gespeicherten Bildes auf einen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger, z.B. einer Leiterplatte - Google Patents
Verfahren zur Ausrichtung eines im Computer gespeicherten Bildes auf einen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger, z.B. einer LeiterplatteInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ausrichtung eines im
Computer gespeicherten (computergespeicherten) Bildes auf einen
lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger, z. B. einer Leiterplatte.
Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf eine
Direktbelichtung von mit sogenanntem Foto-Resist-Material
beschichteten Leiterplatten zur Herstellung gedruckter
Schaltungen.
Zur Direktbelichtung können bekannte dafür geeignete
Fotoplotter verwendet werden.
Nach dem Stand der Technik (Informationsblatt "Xenon-Plotter"
der Firma MIVATEC Hard- und Software GmbH, D-71171 Schönaich,
vom 15.10.1996, sind Fotoplotter bekannt, die ein
computergespeichertes Rasterbild auf einen ebenen
lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger aufzeichnen. Bei dieser
Aufzeichnung wird ein sogenannter Belichtungskopf (mit einer
Aufzeichnungsfläche von ca. 5 × 7,5 mm) über einen relativ zu
ihm großflächigen Aufzeichnungsträger (bis ca. 720 × 600 mm)
zur Aufzeichnung von Bildelementen geführt, aus denen das
Aufzeichnungsträger -Rasterbild zusammengesetzt ist. Im
Belichtungskopf ist eine sogenannte LCD-Matrix lichtsteuernder
Elemente vorgesehen (LCD : liquid crystal device =
Flüssigkeit- Kristall-Anordnung). Sie besteht aus einer
Vielzahl matrixförmig angeordneter Flüssig-Kristall-Elemente,
von denen jedes selektiv elektrisch angesteuert werden kann, um
es für Durchlicht zu öffnen oder zu sperren.
Wird diese LCD-Matrix mit Durchlicht beaufschlagt, so kann
dieses die Matrix nur an den Elementen als "Lichtstrahl"
passieren, die auf Durchlaß gesteuert sind.
Die durchgelassenen Lichtstrahlen erzeugen auf dem
lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger jeweils ein Bildelement.
Fehlende Lichtstrahlen -gleichbedeutend mit gesperrten
Elementen- erzeugen "fehlende" Bildelemente.
Das Aufzeichnungsträger-Rasterbild besteht aus einer Vielzahl
von Bildelementen, aufgezeichnete und nicht aufgezeichnete
(fehlende) eingeschlossen.
Da der die LCD-Matrix enthaltende Beleichtungskopf eine
ungleich kleinere Fläche (zu vergleichen mit dem Feld eines
Schachbrettes) als der Aufzeichnungsträger (zu vergleichen
mit dem einem Schachbrett mit enorm vielen Feldern) hat, muß
dieser Belichtungskopf nacheinander auf alle
Schachbrettpositionen geführt werden, damit dort die
Bildelemente aufgezeichnet werden können. Wegen des erstrebten
hohen Auflösungsvermögens des Aufzeichnungsträger-Rasterbildes
sind höchste Toleranzanforderungen an die Präzision der
Bewegungsmechanik zur Verschiebung des Kopfes (über einen
großen den gesamten Aufzeichnungsträger umfassenden Bereich)
erforderlich. Der belichtete und entwickelte
Aufzeichnungsträger versteht sich als Vorlage zur Herstellung
gedruckter Schaltungen.
Im U.S.Patent Nr. 4 505 578 ist eine Aufzeichnungsvorrichtung
beschrieben, bei der ein Laserstrahl über einen
lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger zur digitalen
Bildaufzeichnung geführt wird.
Die Herstellung einer gedruckten Schaltung aus einer
Leiterplatte mit Hilfe einer entsprechenden Fotovorlage, die
ein fotographisches Abbild der "fertigen" Schaltung mit allen
Leitungsverläufen, Bohrungsmarkierungen und
Ausrichtungspositionen enthält, erfolgt nach dem Stand der
Technik folgendermaßen:
Dabei sei vorausgesetzt, daß die Leiterplatte bereits mit Ausrichtungspositionen in der Form von Bohrungen versehen ist und daß sie bereits auch schon Bohrungen enthält, welche für ein späteres Durchkontaktieren für mehrlagige Schaltungen erforderlich sind.
Dabei sei vorausgesetzt, daß die Leiterplatte bereits mit Ausrichtungspositionen in der Form von Bohrungen versehen ist und daß sie bereits auch schon Bohrungen enthält, welche für ein späteres Durchkontaktieren für mehrlagige Schaltungen erforderlich sind.
Die Leiterplatte ist über ihrer Kupferschicht mit einer Schicht
lichtempfindlichen sogenannten Foto-Resist-
Materials versehen.
Nachdem Fotovorlage und Leiterplatte aufeinander ausgerichtet
worden sind - hierzu werden Ausrichtungspositionen benutzt
wird die auf der Foto-Resist-Schicht der Leiterplatte
aufliegende Fotovorlage mit Licht beaufschlagt. Dieses Licht
kann aber nur die durchlässigen Stellen der Fotovorlage
passieren und auf die darunterliegende Foto-Resist-Schicht
treffen. An diesen Stellen ist die Fotovorlage
lichtdurchlässig, an den anderen Stellen geschwärzt
(lichtundurchlässig). Das auf die Foto-Resist-Schicht
auftreffende Licht bewirkt in den belichteten Teilen der
Schicht eine foto-chemische Reaktion mit der Folge, daß nur
"nicht-belichtetes" Foto-Resist-Material durch einen
nachfolgenden Entwicklungsvorgang beseitigt wird, gefolgt von
den bekannten Schritten zur Herstellung der gedruckten
Schaltung.
Das zuvor erwähnte Ausrichten der Fotovorlage auf die
Leiterplatte ist nach dem Stand der Technik mit einem hohen
apparativen Aufwand und einer Reihe von Problemen verknüpft.
Üblicherweise erfolgt im Rahmen einer Serienfertigung das
Ausrichten automatisch in sogenannten Ausricht- und
Belichtungs-Automaten (z. B. vom Typ FAPS 600 der Fa. Bacher).
In einem solchen Automaten wird die Fotovorlage in einer ersten
Ebene fixiert. Die noch unbelichtete Leiterplatte wird in einer
zweiten Ebene eingebracht, die gegenüber der ersten Ebene
verschoben werden kann. Die Position der Ausrichtpositionen
(Bohrungen z. B. an den vier Ecken ) dieser Leiterplatte werden
automatisch mit Hilfe von (zwei oder vier) Kameras eines
Positionsbestimmenden Systems erfaßt. In Kenntnis dieser
Positionskoordinaten und in Kenntnis der Koordinaten der
Ausrichtungspositionen in der Fotovorlage wird die zweite Ebene
mit der Leiterplatte soweit verschoben, bis die
Ausrichtungspositionen der Fotovorlage mit denen der
Leiterplatte übereinstimmen. Dann werden Fotovorlage und
Leiterplatte aufeinander in Kontakt gebracht für einen
nachfolgenden Belichtungsvorgang.
Dieses zuvor beschriebene Verfahren nach dem Stand der Technik
zur Belichtung von Leiterplatten unter Verwendung von
Fotovorlagen ist mit einer Reihe gravierender Nachteile
verknüpft:
- 1. Die Ausrichtung der Fotovorlage auf die Leiterplatte erfordert einen aufwendigen Verschiebe- und Rotationsmechanismus mit Toleranzanforderungen, die mit höheren Auflösungsvermögen steigen.
- 2. Das unterschiedliche Verhalten von Fotovorlage und gedruckter Leiterplatte gegenüber Temperatur, Feuchtigkeit und Herstellungstoleranzen bedingt, daß die Ausrichtungspositionen auf Fotovorlage und der Leiterplatte nicht kongruent sind und diesbezügliche Abweichungen beim Ausrichten so gut wie möglich auszugleichen sind. Zumeist wird ein solcher Ausgleich dadurch vorgenommen, daß Bohrungspositionen auf der Fotovorlage und diesen entsprechende Bohrungen auf der Leiterplatte randwärts möglichst um ein "gleiches" Maß abweichen sollen. Man vermeidet dadurch, daß z. B. bei Kongruenz zwischen Bohrungspositionen in der Fotovorlage und der zugeordneten Bohrung in der Leiterplatte auf der linken Seite der gedruckten Schaltung, auf der rechten Seite ein hohes Maß an Abweichung zwischen Bohrungsposition in der Fotovorlage und der zugeordneten Bohrung in der Leiterplatte zu verzeichnen wäre.
- 3. Ein angenäherter Ausgleich gemäß Punkt 2 bei Abweichungen zwischen Fotovorlage und Leiterplatte gedruckter Schaltung fällt um so schwerer, wenn sich aufgrund des unterschiedlichen Verhaltens von Fotovorlage und Leiterplatte Verzerrungen ergeben, die sich z. B. so äußern können, daß ein auf der Fotovorlage erscheinendes durch Ausrichtungs-Positionen definiertes Rechteck in der Leiterplatte als Parallelogramm erscheint.
Zur Vermeidung dieser Nachteile ist es Aufgabe der Erfindung,
ein Verfahren zur Ausrichtung eines in einem Computer
gespeicherten Computerbildes auf einen lichtempfindlichen
Aufzeichnungsträger zur nachfolgenden Aufzeichnung des
Computerbildes auf denselben anzugeben, welches z. B. keine
Fotovorlage zur Herstellung gedruckter Schaltungen erfordert.
Es ist weiterhin Aufgabe der Erfindung, ein solches Verfahren
so zu gestalten, daß eine mechanische Ausrichtung der
Leiterplatte auf das abzubildende Computerbild entfallen kann.
Es ist weiterhin Aufgabe der Erfindung, daß Abweichungen
zwischen den Ausrichtungspositionen des gespeicherten
Computerbildes (bzw. der Fotovorlage) und der Leiterplatte
ohne mechanische Verschiebungen berücksichtigt werden können.
Diese Aufgaben der Erfindung werden in vorteilhafter Weise
durch die im Anspruch 1 genannten Merkmale gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den
Unteransprüchen gekennzeichnet.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird anhand von Darstellungen
erläutert und im folgenden näher beschrieben. Es zeigen;
Fig. 1 eine schematische Darstellung von Computerbild-
Ausrichtungspositionen mit überlagerten von diesen abweichenden
Leiterplatten-Ausrichtungspositionen in einem X/Y-Rasterbild-
Koordinatensystem;
Fig. 2 eine schematische Darstellung einer
zu belichtenden Leiterplatte mit Ausrichtungspositionen, in
einem X'/Y'-System-Koordinatensystem.
Fig. 1 zeigt ein durch vier Ausrichtungspositionen P1, P2, P3
und P4 in seiner Lage definiertes in einem Computer
gespeichertes Computerbild R. Aus Gründen der Übersicht ist das
Computerbild als solches nicht dargestellt. Das Computerbild
kann z. B. eine bestimmte Anordnung von Leiterbahnen in
Verbindung mit Bohrungsmarkierungen und Ausrichtungspositionen
darstellen. Das Computerbild ist auf ein X/Y-Computerbild-
Koordinatensystem bezogen; jeder Punkt des Computerbildes oder
der Ausrichtungspositionen ist durch seine Koordinatenwerte in
diesem X/Y-Computerbild-Koordinatensystem definiert in Fig. 1
ist das Computerbild durch die vier ein Rechteck bildenden
Ausrichtungspositionen P1, P2, P3 und P4 dargestellt.
Fig. 2 zeigt ein X'/Y'-System-Koordinatensystem. Die noch
unbelichtete Leiterplatte wird in ein positionsbestimmendes
System eingebracht, welches auf diesem X'/Y'-System-
Koordinatensystem basiert. Die Leiterplatte weist vier
Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen auf P1', P2', P3',
P4' auf, welche den Computerbild-Ausrichtungsmarkierungen P1,
P2, P3, P4 entsprechen. D.h., im Idealfall sollten P1', P2',
P3', P4' exakt auf P1, P2, P3, P4 ausgerichtet sein, bevor das
Computerbild per Belichtung und Entwicklung auf die
Leiterplatte übertragen wird.
Die Ermittlung der Koordinaten der Aufzeichnungsträger (hier
Leiterplatten)-Ausrichtungspositionen P1', P2', P3', P4' im
X'/Y'-System-Koordinatensystem erfolgt automatisch mit Hilfe
einer bekannten Positionsbestimmungsmethode mit (2 oder 4)
Kameras. In Kenntnis dieser X'/Y'-Koordinaten und in Kenntnis
der X/Y-Koordinatenwerte für die vier Ausrichtungspositionen
P1, P2, P3 und P4 im Computerbild (bzw. der Fotovorlage, welche
identisch mit dem Computerbild sein sollte) wird nach dem
Stand der Technik die Leiterplatte so verschoben (mechanisch
mit höchster Präzision) bis die Ausrichtungspositionen P1, P2,
P3 und P4 auf die Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen
auf P1', P2', P3', P4' der Leiterplatte ausgerichtet sind.
In diesem Zusammenhang sei bemerkt, daß eine solche mechanisch
bewirkte Verschiebung, eine x-y-Verschiebung und auch eine
Drehung erfordert. Für höchste Auflösungen liegen
Verschiebungsschritte in der Größenordnung von einem
mikrometer.
Erfindungsgemäß wird auf eine solche mechanisch bewirkte
Verschiebung zur Ausrichtung der Leiterplatte auf die
Fotovorlage verzichtet. Dabei entfällt zugleich das Erfordernis
der Fotovorlage.
Die Erfindung erfordert:
ein in einem Computer gespeichertes Computerbild, einen für Direktbelichtung geeigneten Fotoplotter, der das Computerbild auf einen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger (hier eine mit lichtempfindlichem Foto-Resist-Material beschichtete Leiterplatte) überträgt sowie eine Transformation des Computerbildes R.
ein in einem Computer gespeichertes Computerbild, einen für Direktbelichtung geeigneten Fotoplotter, der das Computerbild auf einen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger (hier eine mit lichtempfindlichem Foto-Resist-Material beschichtete Leiterplatte) überträgt sowie eine Transformation des Computerbildes R.
Die Erfindung ermöglicht eine Direktbelichtung der
Leiterplatte, indem das transformierte Computerbild R* direkt
auf der Leiterplatte erzeugt wird (ohne Zwischenschaltung einer
fotographischen Vorlage).
Zu diesem Zweck müssen die Koordinaten der Computerbild-
Ausrichtungspositionen P1, P2, P3, und P4 (im Computer) des
X/Y-Computerbild-Koordinatensystems auf die Kordinaten der
Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen P1', P2', P3', und
P4' des X'/Y'-Systemkoordinaten-Systems ausgerichtet werden.
Das heißt, das gesamte Computerbild R muß so transformiert
(verschoben, skaliert und gedreht) werden (in Kenntnis der P1',
P2', P3', und P4'- Koordinaten), daß die P1, P2, P3, und P4-
Koordinaten mit den P1', P2', P3', und P4'-Koordinaten
übereinstimmen. Wird nunmehr das (per Computerprogramm)
transformierte Computerbild R* mittels eines Fotoplotters auf
die Leiterplatte übertragen, so ist hierzu keine mechanische
Ausrichtung der Ausrichtungspositionen mehr erforderlich, weil
diese quasi durch die Computerprorammgesteuerte Transformation
des Computerspeicherten Rasterbildes R zu R* ersetzt wurde.
Zur Durchführung einer solchen mathematischen Transformation
werden übliche bekannte mathematische Verfahren, z. B. solche
der Matrizen-Transformation herangezogen. Derartige Verfahren
sind z. B. in dem wissenschaftlichen Werk "M.L. Boas,-
Mathematical Methods in the Physical Sciences- John Wiley &
Sons, Inc. New York, London, Sydney 1966, Catalog Card Number
66-17646 Chapter 10, Coordinate transformations" wiedergegeben.
Neben Matrizen-Transformationen sind auch andere mathematische
Transformationen möglich, z. B. durch die sogenannte
"5 Parameter Transformation identischer Punkte" gemäß der
Baden-Württemberg-Vermessungsvorschriften.
Im Ergebnis einer solchen Transformation wird das durch die
Computerbild-Ausrichtungspositionen P1, P2, P3 und P4
definierte Computerbild R in das transformierte Computerbild R*
mit seinen Ausrichtungspositionen P1*, P2*, P3* und P4*
überführt. Diese Überführung ist durch Pfeile von P1 nach P1*
P2 nach P2* etc. gekennzeichnet.
Modifizierte Transformationstechniken (für sich gesehen in der
Mathematik bekannt) gestatten es, Transformationen auch in
solchen Fällen durchzuführen, wenn die (nur im Idealfall in
kongruente Deckung zu bringenden) Ausrichtungspositionen des
Computerbildes und der Leiterplatte relativ voneinander
abweichen.
Solche Abweichungen sind dadurch bedingt, daß das Material der
Leiterplatte durch Temperatur, Feuchtigkeit- oder andere
Einflüsse Änderungen erfährt.
Die Leiterplatte kann sich dadurch z. B. in ihrer Abmessung
verändern; dadurch verändert sich auch die Lage ihrer
Ausrichtungspositionen, die letztlich auf die im Computerbild
dafür enthaltenen Daten zurückgehen.
Desweiteren können auch Bohrtoleranzen in der Leiterplatte zu
einer Veränderung führen. Unabhängig davon werden die aktuellen
Koordinaten der Aufzeichnungsträger (hier Leiterplatten)-
Ausrichtungspositionen erfaßt und relative Abweichungen
gegenüber den Computerbild-Ausrichtungskoordinaten bei der
Transformation mit berücksichtigt, unabhängig davon ob die
Leiterplatten-Ausrichtungspositionen gegenüber den Computerbild-
Ausrichtungspositionen relativ proportionale Abstandänderungen
aufweisen oder ob irgendwelche Verzerrungen vorliegen.
Derartige Änderungen und Verzerrungen können mit einer
entsprechend modifizierten Transformation beseitigt werden,
indem das Computerbild so transformiert wird, daß im Ergebnis
die Computerbild-Ausrichtungspositionen auf die
Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen ausgerichtet sind.
Die Matrixtransformation ist mit einem relativ geringen
programmiertechnischen Aufwand durchzuführen, wenn die
Koordinaten der Computerbild-relevanten Punkte als
Vektorkoordinaten vorliegen. Transformationen sind jedoch auch
für alle anderen Arten von Koordinaten und Koordinatensystemen
möglich.
Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren der Direktbelichtung
entfallen aufwendige mechanische Verschiebeeinrichtungen und
die damit verbundene Toleranzproblematik.
Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht eine universelle
programmgesteuerte Transformation des Computerbildes bei
beliebigen Abweichungen der Aufzeichnungsträger-
Ausrichtungspositionen bezüglich der Computerbild-
Ausrichtungspositionen und macht damit das Verfahren unabhängig
von Veränderungen des Leiterplatten-Materials.
Claims (9)
1. Verfahren zur Ausrichtung eines im Computer gespeicherten
Bildes (Computerbild) auf einen lichtempfindlichen
Aufzeichnungsträger zur nachfolgenden Aufzeichnung des Bildes
auf denselben,wobei
das Computerbild gemäß eines Computerbild-Koordinatensystems (XY) erfaßt ist und
Computerbild-Ausrichtungspositionen (P1, P2, P3 und P4) aufweist und wobei
der Aufzeichnungsträger Aufzeichnungsträger- Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') aufweist und
einem positionsbestimmenden System mit einem System- Koordinatensystem (X',Y') zugeführt wird, durch welches je nach Lage des Aufzeichnungsträgers in diesem System- Koordinatensystem die Koordinaten der Computerbild- Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') erfaßt werden, und wobei die Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') mit den Computerbild- Ausrichtungspositionen (P1, P2, P3 und P4) deckungsgleich oder mit ausgleichenden Abständen aufeinander ausgerichtet werden, dadurch gekennzeichnet, daß
bei Abweichungen der Koordinaten der Computerbild- Ausrichtungspositionen (P1, P2, P3 und P4) im Computerbild- Koordinatensystems (XY ) von denen der Aufzeichnungsträger- Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') im System- Koordinatensystem (X',Y') das Computerbild,basierend auf diesen Abweichungen, einer mathematischen Transformation derart unterzogen wird,
daß die transformierten Computerbild-Ausrichtungspositionen (P1*, P2*, P3* und P4*) mit den Aufzeichnungsträger- Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') übereinstimmen oder daß sich untereinander ausgeglichene Abstände zu den Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') ergeben, für eine nachfolgende Aufzeichnung des transformierten Computerbildes R* auf den Aufzeichnungsträger A.
das Computerbild gemäß eines Computerbild-Koordinatensystems (XY) erfaßt ist und
Computerbild-Ausrichtungspositionen (P1, P2, P3 und P4) aufweist und wobei
der Aufzeichnungsträger Aufzeichnungsträger- Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') aufweist und
einem positionsbestimmenden System mit einem System- Koordinatensystem (X',Y') zugeführt wird, durch welches je nach Lage des Aufzeichnungsträgers in diesem System- Koordinatensystem die Koordinaten der Computerbild- Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') erfaßt werden, und wobei die Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') mit den Computerbild- Ausrichtungspositionen (P1, P2, P3 und P4) deckungsgleich oder mit ausgleichenden Abständen aufeinander ausgerichtet werden, dadurch gekennzeichnet, daß
bei Abweichungen der Koordinaten der Computerbild- Ausrichtungspositionen (P1, P2, P3 und P4) im Computerbild- Koordinatensystems (XY ) von denen der Aufzeichnungsträger- Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') im System- Koordinatensystem (X',Y') das Computerbild,basierend auf diesen Abweichungen, einer mathematischen Transformation derart unterzogen wird,
daß die transformierten Computerbild-Ausrichtungspositionen (P1*, P2*, P3* und P4*) mit den Aufzeichnungsträger- Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') übereinstimmen oder daß sich untereinander ausgeglichene Abstände zu den Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') ergeben, für eine nachfolgende Aufzeichnung des transformierten Computerbildes R* auf den Aufzeichnungsträger A.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die mathematische Transformation proportionale
Abweichungen oder Verzerrungen des Aufzeichnungsträgers
gegenüber der gedachten Computerbildfläche oder Differenzen
der Abstände zwischen den Aufzeichnungsträger-
Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') und den diesen
entsprechenden Computerbild-Ausrichtungspositionen (P1, P2,
P3 und P4) ausgleicht oder verringert.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Computerbild in Vektorkoordinaten eines kartesischen Koorinatensystems gespeichert ist und
daß die Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') im System-Koordinatensystem ebenfalls als Vektorkoordinaten eines kartesischen Koordinatensystems erfaßt werden.
das Computerbild in Vektorkoordinaten eines kartesischen Koorinatensystems gespeichert ist und
daß die Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') im System-Koordinatensystem ebenfalls als Vektorkoordinaten eines kartesischen Koordinatensystems erfaßt werden.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß
die mathematische Transformation des Computerbildes durch
eine Matrix-Transformation erfolgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen (P1', P2',
P3', P4') Löcher sind.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Computerbild und der Aufzeichnungsträger rechteckig
flächenhaft sind und die Computerbild-Ausrichtungspositionen
(P1, P2, P3 und P4) und die Aufzeichnungsträger-
Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') ecknah oder
randnah angeordnet sind.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß
zwei oder vier Computer-Ausrichtungspositionen (P1, P2, P3
und P4) und zwei oder vier Aufzeichnungsträger-
Ausrichtungspositionen (P1', P2', P3', P4') vorgesehen sind.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Erfassung der Aufzeichnungsträger-Ausrichtungspositionen
(P1', P2', P3', P4') in an sich bekannter Weise mittels eines
automatisierten computerprogrammgestützten
Bilderkennungssystems erfolgt.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8
gekennzeichnet durch
seine Anwendung zur Direktbelichtung von Photo-Resist-
Aufzeichnungsträgern zur Aufzeichnung des
computergespeicherten, transformierten Computerbildes R* auf
den Aufzeichnungsträger.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1999110412 DE19910412A1 (de) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | Verfahren zur Ausrichtung eines im Computer gespeicherten Bildes auf einen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger, z.B. einer Leiterplatte |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1999110412 DE19910412A1 (de) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | Verfahren zur Ausrichtung eines im Computer gespeicherten Bildes auf einen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger, z.B. einer Leiterplatte |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19910412A1 true DE19910412A1 (de) | 1999-08-12 |
Family
ID=7900291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1999110412 Withdrawn DE19910412A1 (de) | 1999-03-10 | 1999-03-10 | Verfahren zur Ausrichtung eines im Computer gespeicherten Bildes auf einen lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger, z.B. einer Leiterplatte |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19910412A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9664628B2 (en) | 2010-11-23 | 2017-05-30 | Koh Young Technology Inc. | Inspection method |
-
1999
- 1999-03-10 DE DE1999110412 patent/DE19910412A1/de not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9664628B2 (en) | 2010-11-23 | 2017-05-30 | Koh Young Technology Inc. | Inspection method |
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Legal Events
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8130 | Withdrawal |