DE1945247A1

DE1945247A1 - Materialpruefverfahren mittels Roentgenbildaufnahme und -vergleich

Info

Publication number: DE1945247A1
Application number: DE19691945247
Authority: DE
Inventors: John Suierveld
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1968-09-13
Filing date: 1969-09-06
Publication date: 1970-03-19
Also published as: GB1237809A; JPS4944229B1; US3573455A; DE1945247B2; FR2018025A1; DE1945247C3

Description

IBM Deutschland Internationale Büro-Maschinen Geaelhthaft mbH

Böblingen, 3. September 1969 ni-rz

Anmelderin: International Business Machines

Corporation, Armonk, N.Y. 10

Amtliches Aktenzeichen: . Neuanmeldung Aktenzeichen der Anmelderin: Docket PO 968 03g Materialprüfverfahren mittels Röntgenbildaufnahme und -vergleich

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Prüfen von Gegenständen auf während eines oder mehrerer Fertigungsschritte entstandene Strukturveränderungen im Material durch Röntgenbildaufnahme und -vergleich, insbesondere von Platten für gedruckte Schaltungen vor und nach einer vorgenommenen Schichtung«

Bei der Herstellung von technischen Gegenständen der verschiedensten Art, die durch mechanische Bearbeitung, durch Wärmebehandlung oder auch Wachstumsprozesse u. ä. in kontinuierlich oder diskret aufeinanderfolgenden Fertigungsschritten ihre endgültige Struktur oder Gestalt erreichen, ist es zum Zwecke der Qualitätsbeurteilung und einer entsprechenden Steuerung des Her-' Stellungsprozesses oft von entscheidender Bedeutung, den Einfluß der jeweils angewandten Bearbeitungsverfahren genau erfassen

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zu können· Dazu wurde bereits die eine oder andere dem jeweils zu prüfenden Objekt angepasste spezifische Prüf methode und u. a. auch eine RÖntgenbildausmessung vorgeschlagen, wobei jeweils die interessierenden technischen Daten des Prüflings im Zustand während verschiedener Entstehungsperioden aufgenommen und diese einzelnen Daten dann miteinander verglichen werden· Es ist z.B. eine Röntgenbildvergleichsvorrichtung bekannt, die dem Umstand Rechnung trägt, daß kaum jemals zwei Röntgenaufnahmen von einem Gegenstand aus genau derselben Entfernung oder unter genau demselben Winkel gemacht werden, wenn zwischen den Aufnahmezeitpunkten ein längerer Zeitraum und folglich ein Abbau und Wiederaufbau der Aufnahmeanordnung liegen. Um die veränderten Bedingungen bei der Prüfung der einzelnen Röntgenbilder auf Strukturveränderungen des Prüflings wie z.B. dessen Größe berücksichtigen zu können, wird aus diesem Grunde ein visueller Vergleich unter Verwendung einer punktförmigen Lichtquelle im w Austausch gegen die bei der Aufnahme zur Filmbelichtung eingesetzte Röntgenstrahlungsquelle durchgeführt· Der von der Lichtquelle ausgesandte Lichtstrahl wird vom oberen bis zum unteren Tangential-Berührungspunkt mit der Umrißlinie des Prüflings über den ganzen Kegelbereich geschwenkt und jeweils in einer solchen Lage durch Einstellmarken aufgezeichnet, in der er die Lage eines den Zustand des Prüflings charakterisierenden Merkmals definiert. Danach wird mit dem zweiten Röntgenbild analog verfahren und durch Vergleich der durch die entsprechenden Lichtstrahlen definierten Meßdaten die Art der Strukturveränderung im Prüfling von Hand festgestellt. Docket PO 968 O3⁹ 0 0 9 8 12/1259

Es ist. einleuchtend, daß «it Hilfe solcher Messungen, die eine mechanische Einjustierung ohne einaal festgelegte Bezugsmarken erforderlich machen, nicht die gewünschte und notwendige Genauigkeit bei« Prüfen von Strukturveränderungen durch Fertigungseingriffe zulassen. Deshalb ist es die Aufgabe dieser Erfindung, ein verbessertes Materialprüfverfahren für schrittweise gefertigte Gegenstände anzugeben, mit Hilfe dessen Veränderungen von Struktureinzelheiten wie z.B. Materialdichtestellen in den Schichten von Platten mit gedruckten Schaltungen unter Einhaltung geringster Toleranzen festgestellt werden können.

Diese Aufgab, wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Prüfling im Zustand vor einem weiteren Fertigungsschritt in einer eine Abbildung ermöglichenden, vorbestimmten Lage zu einem ersten strahlungsempfindlichen Röntgenfilm auf einer Justierplatte fixiert wird, daß dieser Röntgenfilm durch, den Prüfling hindurch mittels einer Röntgenstrahlung vorbestimmter Richtung, Dauer und Intensität flächenmäßig begrenzt belichtet und zu einem Transparenzbild der Struktureinzelheiten des Prüflingsmaterials entwickelt wird, daß der Prüfling gegen eine in der selben Lage wie dieser angeordnete, mit einem Bezugssystem aus Markierungslöchern versehene Strahlungsabsorbierende Maskenplatte ausgetauscht und die vorausgegangene Rontgenbildauf nähme in analoger Weise zur Herstellung eines ersten kombinierten Röntgenbildes auf dem ersten Film wiederholt wird, daß vom Prüfling im Zustand nach dem erfolgten weiteren Fertigungsschritt bei Austausch des ersten Röntgenfilmes gegen einen Docket PO 968 039 G 0 2 b ' 2 / 1 2 5 8

zweiten in analoger Weise ein zweites kombiniertes Röntgenbild erstellt wird, daß die beiden kombinierten Röntgenbilder derart überlagert und aufeinander ausgerichtet werden, daß sich die abgebildeten Markierungslöcher genau decken und daß die Art der Strukturveränderungen durch optischen Vergleich der in den übereinander angeordneten Röntgenbildern enthaltenen, sich entsprechenden Strukturmerkmale festgestellt wird.

Der besondere Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist besonders zu sehen, daß auf jedes vom Prüfling aufgenommene Röntgenbild flächenmäßig abgegrenzt ein für alle Aufnahmen gleichbleibendes Bezugssystem von Markierungslöchern abgebildet wird, so daß unter einer Vergrößerungsoptik eine Einjustierung zweier oder mehrerer Bilder aufeinander auf das Genaueste möglich ist. Außerdem sind durch die direkte Gegenüberstellung zweier Momentanaufnahmen auch nicht direkt meßbare Unterschiede der Struktureinzelheiten im Material abschätzbar·

Ein weiterer Vorteil ergibt sich nach der Erfindung aus der Tatsache, daß die Genauigkeit des Verfahrens nur durch einen einmal vorgegebenen Toleranzbereich beim Einpassen der Justier-

locher des Gegenstandes bzw. der Maskenplatte auf die Justierstifte beeinflußt wird, wodurch Verschiebungen von Markierungen oder Struktureinzelheiten in der Ebene der Filme aufgrund unterschiedlicher Behandlung vermieden werden.

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Im folgenden wird zur näheren Erläuterung der Erfindung ein Ausführungsbeispiel anhand der beigefügten Zeichnungen beschrieben, indem als Prüfling eine Schichtplatte einer gedruckten Schaltungsplatte vor und nach einer Schichtung verwendet wird.

In den beigefügten Zeichnungen zeigt:

Fig. 1 die teilweise aufgeschnittene Vorderansicht einer beispielsweisen Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Prüfverfahrens während des Prüfschritts 1 und 4

Fig. 2 die teilweise aufgeschnittene Vorderansicht der beispielsweisen Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Prüfverfahrens während des Prüfschritts 2

Fig. 3 die teilweise aufgeschnittene Vorderansicht eines Teils der beispielsweisen Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Prüfverfahrens während des Prüfschritte

Fig. 4 eine Draufsicht auf die übereinandergelegten, entwickelten Röntgenbilder entsprechend dem erfindungsgemäßen Prüfverfahren

Fig. 5 die vergrößerten Darstellungen von in den übereinandergelegten Röntgenbildern der Fig. 4 enthaltenen Struktur-

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- 6 -einzelheiten

Fig. 9 die teilweise Vorderansicht eines Teils einer Variante der beispielsweisen Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Prüfverfahrens gemäß Fig. 1 und 2, mit Hilfe derer die erfindungsgemäße Prüfung in weniger Prüfschritten durchgeführt werden kann.

Wie im Vorigen bereits kurz angedeutet, wird zur Erläuterung der Erfindung aus Gründen der Einfachheit und Klarheit der Beschreibung als zu prüfender Gegenstand die beschichtete Platte einer gedruckten Schaltung während diskreter Schichtungsschritte verwendet. Die einzelnen Schichten solcher Platten werden mit geringen Toleranzen hergestellt, wobei Genauigkeiten von größenordnungsmäßig 1/100 mm bezüglich der Lage und des Abstandes von Struktureinzelheiten wie z.B. Leitefbreite und -abstand oder Justierlöcherdurchmesser und Mittelpunktabstand eingehalten werden müssen. Zur Prüfung, ob sich beim Auflegen einer neuen Schicht auf die teilweise fertige gedruckte Schaltung irgendwelche Veränderungen eingestellt haben, werden nach der Erfindung zwei Röntgenbilder, die von zu prüfenden Gegenstand vor bzw. nach dem jeweiligen Schichtungsschritt gemacht worden sind, miteinander verglichen. Die Röntgenbilder sind natürlich in der Form von Transparenzbildern hergestellt und werden in einer Vergrößerungsoptik zum Vergleich übereinander angeordnet· Die Ausrichtung der beiden überlagerten Röntgenbilder wird durch Marken * bewerkstelligt, die nach einen zweimaligen Belichtungsverfahren Docket PO 968 039 009812/1259

auf den Filmen angebracht sind. Dazu wird der jeweils zu behandelnde FiIa durch eine Mit den Justiermarken entsprechenden Bohrungen versehene Maske hindurch einer ersten Röntgenstrahlbelichtung ausgesetzt, wonach die Maske unter Beibehaltung der Lage des FiIns entfernt und der FiIn nach Bedeckung mit dem zu analysierenden Gegenstand einer zweiten Röntgenstrahlbelichtung unterworfen wird. Dabei wird der Gegenstand «it Hilfe einer Justierschablone in eine genaue Lage zum Film und zum Maskenmuster gebracht·

Gemäß den Fign. 1 bis 3 ist die ganze Anordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Prüfverfahrens auf einer Justierplatte 1 aus vorzugsweise hartem und dichtem Material wie z.B. Stahl aufgebaut, aus der eine Anzahl (hier 2) von Justierstiften 2 herausragen. Ober der Justierplatte 1 kommt zwischen zwei Schutzschichten 9 der Röntgenfilm und darüber eine Maskenplatte 3 aus Messing mit genau eingearbeiteten und angepassten Bohrungen zur Aufnahme der Justierstifte 2 zu liegen. Die Maskenplatte 3 hat außerdem noch sorgfältig eingearbeitete kleinere Bohrungen zur Herstellung der oben bereits beschriebenen Markierungen für das Ausrichten der übereinandergelegten Filme. Die Platte ist ausreichend dick zur Absorption der auf sie einwirkenden Röntgenstrahlen außerhalb der zur Markierungsherstellung vorgesehenen Bohrungen. Die Oberflächen 5 und 6 der Justierplatte bzw. der Maskenplatte sind in höchsten Maße plan bearbeitet und besitzen eine hohe Oberflächengüte. Dadurch ist eine genaue Ausrichtung der Maskenplatte und des zu prüfenden Gegenstandes auf den Film gewährleistet. Die zu Docket PO 968 039 009 8 12/1259

prüfende gedruckte Schaltungsplatte ist in Fig. 2 bei 7 vor der Schichtung und in Fig. 3 bei 8 nach der Schichtung dargestellt. Die einzelnen Schichten und Filme, die in der folgenden Beschreibung des Verfahrensablaufes nacheinander aufeinander gelegt werden, sind ebenfalls mit genauen Justierlöchern zur Aufnahme der Justierstifte 2 versehen.

P Die Belichtung der Filme mit Röntgenstrahlung und die Schichtung der zu prüfenden Schaltungsρlatte läuft beispielsweise nach folgenden Verfahrensschritten ab:

1. Der Film 1 wird gegen Licht durch die Schutzschichten 9 geschützt zusammen mit der Maskenplatte 3 auf der Justierplatte 1 gemäß Fig. 1 angeordnet und dann der Röntgenstrahlung IO ausgesetzt» deren Richtung, Dauer und Intensität den For- äetwmg&i zut Erzeugung des gewünschten Bildes der Löcherän» · uTimsrng -ssif &@t Mas kenplatt© angepasst ist· Beispielsweise betrug «ils? Abstand der Röntgenstrahlungsquelle vom Film 2,1 υ waa dl© Bauer der Belichtung "60 sek. bei einer Spannung von- §0" kV 'und einem Strom von 4 mA.

2« -(fetter Festhalten des Filmes 1 in seiner bisherigen Lage

Mira lie Platte 3 entfernt und werden.die zwei diskreten Sefeielitea 11 und 12'der bisher noch nicht bearbeite ten - - ScfKichtplatte liier den Film 1 auf der Justierplatte 1 ange- '. ' arJiiete Sine Bf₅^Xplatte 13 aus Glas dient.dazu, den Prüfling . * jffidi Sen Film plan gegen die Justierplatte zu drücken» Nach Docket PO S68 O3₉ 0 0 9 8 12/1259

Fig. 2 wird der Film 1 einer zweiten Belichtung mit der Röntgenstrahlung 14 unterworfen, wobei die Betriebsspannung bei dieser Belichtung je nach Dicke des Prüflings zwischen 90 und 110 kV gewählt wird, um die gewünschte Schärfe im Bild des unfertigen Prüflings auf dem Film 1 zu erhalten. Dieses zuletzt erhaltene Bild ist nun genau auf das Bild der Maskenplatte einjustiert, da der Film überhaupt nicht bewegt wurde. Da die Platte 3 in Fig. 1 für die Röntgenstrahlen 10 in all den Flächenbereichen, wo beim nächsten Verfahrensschritt wichtige Struktureinzelheiten des Prüflings zu liegen kommen, relativ strahlungsundurchlässig ist, ist das von der Strahlung 14 erzeugte Bild des Prüflings in allen wichtigen Zonen unbeeinflußt durch die erste Belichtung mit der Strahlung 10. Die Teilschichten 11 und 12 und der Film 1 werden nun von der Justierplatte entfernt und der Film 1 nachfolgend entwickelt.

3. Die Teilschichten 11 und 12 der zu prüfenden Schaltungsplatte werden in einem Schichtungsvorgang zu einer einzigen Platte verarbeitet.

4. Der Film 2 und die Platte 3 werden gemäß Fig. 1 auf der Justierplatte 1 zum ersten Belichtungsvorgang des Filmes 2 mit den Röntgenstrahlen 10 aufgebaut.

5. . Die Platte 3 wird, wie aus Fig. 3 ersichtlich, gegen den

Prüfling, der nun aus der aus zwei Schichten zusammenge-Docket PO 968 030 0 0 9 812/1259

schichteten Platte 8 besteht, und die Deckplatte 13 aus Glas ausgetauscht, während der Film 2 in seiner bisherigen Lage verbleibt. Der Film 2 wird gemäß Fig. 3 der Röntgenstrahlung 15 ausgesetzt und anschließend zu seiner Entwicklung von der Justierplatte abgenommen.

6. Die entwickelten Röntgenbilder auf den Filmen 1 und 2

werden nach Fig. 4 auf einer Einrichtung mit Durchleuchtungsschirm und Vergrößerungsoptik übereinander angeordnet. Die Abbildungen der Struktureinzelheiten des Prüflings und der Bohrungen in der Maskenplatte 3 erscheinen naturgemäß als schwarze Flächen auf den Filmen. Während der eine Film in einer bestimmten Lage fixiert wird, wird der andere solange verschoben, bis sich die Justiermarken 17 auf den beiden Filmen decken. Dann können, falls erwünscht, die Justierlöcher 18 und 18a in den Filmen aufeinander ausgerichtet ) werden, was normalerweise erforderlich ist, da sich das Zelluloidmaterial der Filme bei der Behandlung und beim Gebrauch leicht verzieht. Diese Tatsache, daß das Filmmaterial eine spezifisch geringe Festigkeit besitzt, ist in der Tat der Grund dafür, daß beim erfindungsgemäßen Prüfverfahren die einzelnen Schritte des Aufsetzens und des Entfernens der Platte 3 und des zweimaligen Eelichtens notwendig ist. Wie aus Fig. 4 ersichtlich ist, enthält der in der Fotografie abgebildete Prüfling 6 diskrete Flächenbereiche 19, die bei einem späteren Arbeitsprozeß, wenn nötig z.B. durch Ausschneiden voneinander getrennt werden Docket PO 968 035g 0 0 9 8 12/1259

können. Einzelne Lochkonfigurationen ZO bis 23 zeigen die Fign. 5 bis 8 in vergrößerter Darstellung. Aus Gründen der Deutlichkeit wurden die Darstellungen von zahlreichen anderen Struktureinzelheiten des Prüflings in der Zeichnung weggelassen. Die Röntgenbilder besitzen dunkle Randflächen 24 und 25, wo der Prüfling und -die Platte 3 die Filme nicht abgedeckt haben.

7. Die Lochbildpaare 20a, 20b bis 23a find 23b auf den Röntgenbilde rn des Prüflings vor und nach der Schichtung sind in vergrößerter Darstellung in den Fign. 5 bis 8 gezeigt. Wie aus diesen Fign. ersichtlich ist, können bein Schichtungsprozeß nach Betrag und Richtung unterschiedliche Schrumpf verschiebungen von QberfläeheabeTeiehsn des zu

j prüfenden Gegenstandes auftreten. Dies ks&a nun durch direktes Fotografieren der vergrößerten Darstellungen auf dem

Durchleuchtungsschirm als permanente Aufzeichnung fixiert

* werden, ohne daß negativeEinflüsse durch unsachgemäße spätere Behandlung der Röntgenbilder in Kauf genommen werden müssen.

Aus den Zeichnungen geht hervor, daß die Oberfläche S der Justierplatte 1 und die Justierstifte 2 ein genaues Bezugssystem für die Lagebestimmung der Platte 3 und des Prüflings gegenüber dem jeweiligen Film bilden. Natürlich trifft dies besonders auf das hier verwendete Ausführungsbeispiel zu, indem sowohl der Prüfling als auch die ihm zugeordneten Jus tiere inDocke t PO 968 03§ -009 S "2/1259

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richtungen plan und somit genauesten bearbeitbar sind. Aber es können durchaus auch andere und andersgeformte, jeweils den Gegebenheiten des Prüflings angepasste Justiereinrichtungen Verwendung finden, ohne deshalb von den Prinzipien des erfindungsgemäßen Verfahrens abweichen zu müssen. So kann z.B. gemäß Fig. 9 eine Abwandlung der Erfindung in Betracht gezogen werden, in der die Justierplatte 1a, die Platte 3a und die Filme so dimensioniert sind, daß vom Prüfling in einem einzigen Belichtungsschritt eine Röntgenaufnahme gemacht werden kann. Dabei würde die Platte 3a den Prüfling 7a/8a z.B. in der Form eines Bilderrahmens einfassen, wodurch mit einer einzigen Aufnahme die Justiermarken fixiert werden könnten. Lediglich ist dabei darauf zu achten, daß diese Anordnung durch die Größe des Prüflings begrenzt ist, da die Maskenplatte im Bereich der Justierstifte noch über dem Prüfling zu liegen kommen muß und da die auf dem Prüfling zu untersuchenden Flächenbereiche innerhalb des Randes der Maskenplatte liegen müssen, wenn sie eindeutig abgebildet werden sollen.

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Claims

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PATE NTANSPROCHE

Verfahren zum Prüfen von Gegenständen auf während eines oder mehrerer Fertigungsschritte entstandene Strukturveränderungen im Material durch Röntgenbildaufnahme und -vergleich, insbesondere von Schichtplatten mit gedruckten Schaltungen vor und nach einer vorgenommenen Schichtung, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfling im Zustand vor einem weiteren Fertigungsschritt in einer eine Abbildung ermöglichenden, vorbestimmten Lage zu einem ersten strahlungsempfindlichen Röntgenfilm auf einer Justierplatte fixiert wird, daß dieser Röntgenfilm durch den Prüfling hindurch mittels einer Röntgenstrahlung vorbestimmter Richtung, Dauer und Intensität flächenmäßig begrenzt belichtet und zu einem Transparenzbild der Struktureinzelheiten des Prüflingsmaterials entwickelt wird, daß der Prüfling gegen eine in derselben Lage wie dieser angeordnete, mit einem Bezugssystem aus Markierungslöchern versehene strahlungsabsorbierende Maskenplatte ausgetauscht und die vorausgegangene Röntgenbildaufnahme in analoger Weise zur Herstellung eines ersten kombinierten Röntgenbildes auf dem ersten Film wiederholt wird, daß vom Prüfling im Zustand nach dem erfolgten weiteren Fertigungsschritt bei Austausch des ersten Röntgenfilmes gegen einen zweiten in analoger Weise ein zweites kombiniertes Röntgenbild erstellt wird, daß die . beiden kombinierten Röntgenbilder derart überlagert und

aufeinander ausgerichtet werden, daß sich die abgebildeten Docket PO 968 03 9 0 0 9 8 12/1259

Markierungslöcher genau decken und daß die Art der Strukturveränderungen durch optischen Vergleich der in den übereinander angeordneten Röntgenbildern enthaltenen, sich entsprechenden Strukturmerkmale festgestellt wird·
2. Verfahren n^ch Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet» daß jeweils der Röntgenfilm und der Prüfling (7, 8) bzw. die Maskenplatte (3), die mit entsprechenden Bohrungen (18) versehen sind, auf zwei aus der Justierplatte (1) senkrecht herausragende, feststehende Justierstifte (2) gegen seitliche Verschiebung gesichert aufgesteckt werden.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Justierplatte (1) und die Maskenplatte (3) entsprechend der ebenen Form der den Prüfling darstellenden Schichtplatte einer unfertigen gedruckten Schaltungsplatte (7) eben gewählt wird und die Schichtplatte bzw. die Maskenplatte mit

. dem jeweils eben auf der Justierplatte aufgelegten Film in engen, ebenen, flächenhaften Kontakt gebracht wird.
4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Markierungslöcherachsen und die Richtung der jeweils angewandten Röntgenstrahlung (10, 15) senkrecht zur Filmebene gewählt werden.
5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Struktureinzelheiten Materialdichtestellen in (20 bis 23)

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den Schichtplatten (7, 8) vor und nach einer vorgenommenen Schichtung herangezogen werden.
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine flächenhafte Begrenzung der Belichtung des jeweiligen Films derart erfolgt, daß die Markierungslöcher (17) und Justierstifte (2) außerhalb der Flächenbereiche der Dichtestellen (20 bis 23) positioniert und nur diese Flächenbereiche ie zugehörigen Beiichtungsschritt belichtet werden.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausrichten und der optische Vergleich der superponierten kombinierten Röntgenbilder unter Benutzung eines Durchleuchtungsschirms als Unterlage und einer Vergrößerungsoptik durchgeführt wird.
8. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtestellen (20 bis 23) auf Verschiebungen der Umrißlinien ihrer Flächenbereiche geprüft werden.
9. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1,7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Ergebnis des optischen Vergleichs durch fotografieren der vergrößerten Oberlagerung der entsprechenden Dichtestellen (20a und 20b bis 23a und 23b) fixiert wird.

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