DE1194939C2 - Verfahren zur Herstellung von Matrizen fuer elektronische Schaltungseinheiten - Google Patents

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

PATENTSCHRIFT

Int. Cl.:

HOIb

Deutsche Kl.: 21c-2/34

Nummer:

Aktenzeichen:

Anmeldetag:

J24497VIIId/21c
28. September 1963
16.Juni 1965
10. Februar 1966

Auslegetag:

Ausgabetag:

Patentschrift stimmt mit der Auslegeschrift überein

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Matrizen für elektronische Schaltungseinheiten von Datenverarbeitungs- und ähnlichen Anlagen, bei dem jeweils ein Teil der Verbindungswege zwischen den einzelnen Punkten eines Modulgrundmusters unterbrochen wird und das insbesondere für die Herstellung von miniaturisierten Schaltungseinheiten geeignet ist.

Zur Ausstattung von Datenverarbeitungs- und ähnlichen Anlagen, die eine große Anzahl elektronischer Schaltungselemente und -verbindungen benötigen, gehören Schaltungseinheiten, die als selbständige Platten hergestellt werden und in entsprechende Fassungen der Maschine einsteckbar sind, so daß sie leicht montiert und ausgetauscht werden können. Größere Anlagen der genannten Art enthalten eine oft sehr große Anzahl solcher vorzugsweise in Form von Platten ausgebildeten Schaltungseinheiten, sogenannten Moduln, die daher, um sie auf geringstmöglichem Raum unterbringen zu können, möglichst klein gestaltet werden müssen. Eine solche Miniaturisierung ist auch bei den Schaltungseinheiten von Anlagen erforderlich, die wegen ihrer speziellen Anwendung, z. B. in Luft- und Raumfahrzeugen, besonders leicht und gedrängt ausgebildet sein müssen.

Die Schaltungseinheiten, wie Schaltplatten, -rahmen usw. werden nahezu ausschließlich als sogenannte gedruckte Schaltungen ausgeführt, bei denen eine beispielsweise kupferbeschichtete Platte mit dem gewünschten Schaltungsmuster bedruckt wird, und anschließend entfernt man die nicht bedruckten Flächen der Platte, z.B. durch Ätzen. Da die Gestaltung der Schaltungen auf den einzelnen Platten im allgemeinen verschieden ist, müssen die Platten in großer Zahl einzeln hergestellt werden, indem, von einem Grundmuster der Schaltung ausgehend, unterschiedliche Verbindungswege zwischen den Kreuzungspunkten der Grundschaltung entfernt werden.

Die Aufgabe, auf der die Erfindung aufbaut, ist, ein Verfahren zu finden, bei dem ein universales Grundmuster verwendet werden kann, das alle Verbindungswege zwischen den Kreuzungspunkten der Schaltung enthält, die überhaupt benötigt werden, und bei dem auf eine einfache, wirtschaftliche Weise für jede einzelne spezielle Schaltungsplatte bei deren Herstellung die entsprechenden Verbindungswege unterbrochen werden. Das erfindungsgemäße Verfahren besteht darin, daß nach Herstellung des Modulgrundmusters mittels einer durch eine Datenverarbeitungsanlage oder einen Datenspeicher programmgesteuerten optischen Einrichtung ein Trenn-Verfahren zur Herstellung von Matrizen für
elektronische Schaltungseinheiten

Patentiert für:

International Business Machines Corporation,
Armonk, N.Y. (V. St. A.)

Vertreter:

Dipl.-Ing. H. E. Böhmer, Patentanwalt,
Böblingen (Württ), Sindelfinger Str. 49

Als Erfinder benannt:
Herman Frederick Köhler,
Wappingers Falls, N.Y. (V. St. A.)

Beanspruchte Priorität:

V. St. ν·. Amerika vom 3. Oktober 1962 (228 079)

punktmuster hergestellt wird, daß das so erhaltene Trennpunktmuster mit dem Modulgrundmuster ausgerichtet und mittels eines optischen Übertragungsverfahrens auf eine beschichtete Schaltungsplatte das die Schaltung darstellende Abbild des durch das Trennpunktmuster abgedeckten Modulgrundmusters erzeugt wird.

Die so hergestellten Schaltungsplatten werden anschließend geätzt und — nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens — mit anderen Schaltungsplatten zu einem Plattenpaket lamellenartig verbunden, wobei die einzelnen, einander entsprechenden Kreuzungspunkte der einzelnen Platten miteinander galvanisch verbunden, z. B. verlötet werden.

Als optische Einrichtung zur Herstellung des Trennpunktmusters wird vorzugsweise eine Strahlungsquelle in Verbindung mit einem den lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger tragenden, in seiner Ebene beweglichen Tisch verwendet, wobei Strahlungsquelle und Tisch durch die gespeicherten Daten synchron gesteuert werden. Die erforderlichen Daten können beispielsweise von einem Magnetband oder einem anderen Speicher zugeführt werden, indem die zu erstellenden Trennpunktmuster als Verkörperung der herzustellenden Schaltungseinheit programmiert gespeichert sind.

Zur Herstellung mehrerer Platten mit gleicher Schaltungsanordnung wird der Vorgang der op-

509 782/93

tischen Übertragung der Bilder mittels des Zusammenwirkens einer Strahlungsquelle mit dem mit dem Trennpunktmuster entsprechend ausgerichteten Modulgrundmuster und der kupferbeschichteten Schaltungsplatte in entsprechender Anzahl wiederholt. Sollen jedoch Schaltungsplatten unterschiedlicher Schaltungsverbindungen hergestellt werden, so sind nach dem erfindungsgemäßen Verfahren eine entsprechende Anzahl Trennpunktmuster zu bilden, die dann zur Herstellung der einzelnen Platten beliebig oft reproduzierbar sind und zur Verfügung stehen. Ein wesentlicher Vorteil des Verfahrens ist, daß das Modulgrundmuster für alle zu erstellenden Schaltungsplatten das gleiche ist und die verschiedenen Schaltungsmodifikationen mittels einfacher, schneller und billiger Erstellung der Trennpunktmuster hergestellt werden können.

Das erfindungsgemäße Verfahren wird im folgenden an Hand der Zeichnungen in Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine schematische Darstellung der Verbindungswege im Bereich von drei Schaltungspunkten,

Fig. 2 ein Beispiel für ein Modulgrundmuster mit mehreren Punkten, den erforderlichen Verbindungswegen und den vorgesehenen Trennpunkteh,

Fig. 3 das in dem Grundmuster gemäß Fig. 2 verwendete Trennpunktmuster,

F i g. 4 die Ansicht einer Anzahl von Modulgrundmustern der in F i g. 1 gezeigten Art, auf einer Schaltungsplatte angeordnet,

F i g. 5 eine schematische Übersicht der Verfahrensschritte zur Herstellung einer Schaltungsplatte in Blockdiagrammform,

Fig. 6A bis 6C schematische Darstellungen der Verfahrensschritte bei der Herstellung einer Schaltungsplatte,

F i g. 7 eine Darstellung des Modulgrundmusters gemäß Fig. 2, in dem sämtliche Trennpunkte gemäß dem Muster nach F i g. 3 wirksam gemacht wurden,

Fig. 8 ein anderes.Beispiel für ein Modulgrundmuster, in dem sämtliche möglichen Trennpunkte eingezeichnet sind,

F i g. 9 die Anordnung der Trennpunkte für das Muster gemäß F i g. 8 und

Fig. 10 die schaubildliche Darstellung mehrerer schichtweise zusammengesetzter Schaltungsplatten, wobei die Verbindungen zwischen den einzelnen Schaltungspunkten angedeutet sind.

Das in der Fig. 1 gezeigte Modulgrundmuster enthält Stromwege zur Verbindung der Punkte 20, 21 und 22 und einen vertikalen Weg zwischen den Punkten 20 und 22, und zwar im wesentlichen eine horizontale Leitung 24 und eine vertikale Leitung 28. Der zusätzliche vertikale Stromweg 26 dient für Verbindungen zwischen nicht benachbarten Punkten in der gleichen Spalte ohne Durchgang durch andere Punkte. Einzelverbindungen zwischen zwei beliebigen Punkten können durch Unterbrechung bestimmter Wege — außer der gewünschten Verbindung — hergestellt werden. Zur Herstellung solcher Unterbrechungen bestimmter Wege in der topologischen Gestaltung wird ein Trennmuster verwendet, das sicherstellt, daß irgendein Punkt des Musters von den anderen Punkten isoliert werden kann. Das Trennpunktmuster für die in der F i g. 1 gezeigte Anordnung ist durch Kreuze 30 angedeutet. Es sind beispielsweise vier Kreuzpunkte 30 erforderlich, um die Punkte 20, 21 und 22 von den übrigen Punkten der Anordnung zu isolieren. Dabei wird angenommen, daß das dargestellte Trennpunktmuster auch an jedem benachbarten Punkt erscheint, so daß, obwohl die mit dem Punkt 22 verbundene Leitung 28 nicht unterbrochen dargestellt ist, eine nicht gezeigte, mit den benachbarten Stromkreispunkten verbundene Leitung einen entsprechenden Trennpunkt einschließt, der den Punkt 22 von den anderen Punkten im Muster isoliert.

ίο Die horizontalen vertikalen Stromwege 24 und 26 sind selbstverständlich nicht auf die in der Fig. 1 gezeigte Richtungsanordnung beschränkt, sondern können auch in eine beliebige Richtung gedreht werden, ohne daß die Verbindung zweier Punkte in ihrer Anordnung verändert wird. Die gewählten Richtungen dienen jedoch zur einfachen Darstellung des Trennpunktmusters, da die Kombination von Modulgrundmuster und Trennpunktmuster einer ganz bestimmten Schaltungsanordnung dient.

Die Anzahl der möglichen Verbindungen zwischen SStromkreispunkten der gleichen Spalte kann durch zusätzliche vertikale Leitungen 26' zwischen den Schaltungspunkten vergrößert werden. Begrenzt ist die Anzahl der vertikalen Leitungen nur durch den zur Verfügung stehenden Zwischenraum zwischen den einzelnen Punkten und die erforderliche Breite der Leiter. Jeder einem Muster hinzugefügte vertikale Stromweg 26' erfordert zwei zusätzliche Trennpunkte 30' und 30", um jeden Punkt dieser Spalte von den anderen Stromkreispunkten oder -Wegen der Anordnung isolieren zu können. Es wird betont, daß der zusätzliche Stromweg 26' das Trennmuster im Sinne der Gesamtanordnung erweitert, was, wie später noch deutlich wird, beim Übertragen eines gebrochenen topologischen Musters in eine eindeutige Stromkreisanordnung besonders nützlich ist.

F i g. 2 und 3 zeigen das Modulgrundmuster und das Trennpunktmuster einer Schaltungsmatrix. Das Muster in der F i g. 2 enthält die Schaltungspunkte 32, 34, 36 und 38, wobei jeder dieser Punkte mit jedem der anderen Punkte verbunden ist. Der horizontale Abstand zwischen den Punkten ist so, daß zur Verbindung der Punkte mit allen anderen Punkten außerhalb des gezeigten Moduls drei vertikale Stromwege 40, 42 und 44 durch das modulare Muster verlaufen. Die Verbindung der Punkte in horizontaler Richtung erfolgt durch den Weg 46 mit den Abschnitten a, b, c und d, der die vertikalen Wege 40, 42 und 44 kreuzt, sowie die vertikalen Wege 48, die zwischen den Punkten 32 und 36 bzw. den Punkten 34 und 38 verlaufen.

Durch Überquerung der horizontalen und vertikalen Wege kann also jede beliebige Verbindung zwischen zwei Punkten im Modularmuster hergestellt werden. Ein solcher zu einer Matrix erweiterter Modul ist in der F i g. 4 dargestellt, in der die den gleichen Teilen in F i g. 2 entsprechenden Elemente mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind.

Ein zur Verwendung mit dem Modulgrundmuster 101 gemäß F i g. 2 geeignetes Trennpunktmuster 100 ist in der F i g. 3 dargestellt, wobei die Kreisform für die einzelnen Punkte nur als beispielsweise geometrische Figur eingesetzt ist. Das Muster ist durch die Kreise 50' dargestellt, und je ein solcher Kreis ist in allen Abschnitten der vertikalen Wege 40, 42 und 44 und in den horizontalen Wegen

5 6

46 α bis 46 d angeordnet. Durch Weglassen bestimm- Leitungsbreite ist etwa 0,25 mm. Alle Leitungen ter Punkte kann eine Verbindung zwischen einem müssen einen Mindestabstand voneinander von Punkt und einem beliebigen anderen Punkt der 0,5 mm haben. Mikrominiaturisierte elektronische Matrix hergestellt werden. Der Durchmesser der Elemente können an diesen Schaltungspunkten auf Kreise ist so gewählt, daß geringe Abweichungen 5 geeignete Weise, z.B. Löten oder Stecken befestigt hinsichtlich der Übereinstimmung des Stromkreis- werden, wodurch die einzelnen Verbindungen zwimusters gemäß F i g. 2 und des Punktmusters gemäß sehen den Komponenten vervollständigt werden. F i g. 3 ein einwandfreies Abdecken des Stromweg- Der nächste Schritt im Verfahren zur Erstellung musters durch das Punktmuster nicht beeinträchti- der Matrizen für die Herstellung einer Schaltungsgen. 10 verbindung ist die durch den Block 52 in Fig. 5 Die Verfahrensschritte zur Herstellung bestimm- dargestellte Erzeugung eines Trennpunktmusters, ter elektrischer Schaltungskreise sind in der F i g. 5 das zur Entwicklung einer bestimmten mikrominiaschematisch dargestellt. Das Verfahren bezieht sich turisierten elektrischen Schaltung mit dem Modulim allgemeinen auf einen subtraktiven Vorgang zur muster kombiniert wird. Hierzu wird zweckmäßig Herstellung einer gedruckten Schaltung, jedoch 15 eine bekannte, durch einen Rechner gesteuerte Einkann in Abwandlung auch der Weg des additiven richtung für die Erzeugung von elektrischen Strom-Vorgangs beschriften werden. Lediglich zur besseren kreisen verwendet. Eine solche sendet ein proErläuterung wurde das subtraktive Verfahren ge- grammgesteuertes Lichtbündel aus, das eine auf wählt. einem in den beiden Dimensionen seiner Ebene ver-Der erste Verfahrensschritt zur Herstellung einer 20 schiebbaren Tisch befestigte lichtempfindliche Karte Schaltung ist die Anfertigung des Modulgrund- belichtet. Die von einem Magnetband abgetasteten musters der Schaltung durch einen Zeichner. Die Daten steuern sowohl das Lichtbündel als auch die gewählte topologische Gestaltung, z.B. gemäß Bewegung des'Tisches, so daß die Muster auf die F i g. 2, wird auf transparentem Material, z. B. Per- lichtempfindlich beschichtete Karte oder einen Film gament, aufgezeichnet, und zwar mit etwa 60facher 25 gezeichnet werden. Die dabei erzeugten einzelnen Vergrößerung des endgültigen, in der Schaltungs- Punkte entsprechen den zur Überschneidung der matrix verwendeten Musters, wodurch eine gute Ge- verschiedenen horizontalen und vertikalen Stromnauigkeit hinsichtlich der Dimensionen im Schal- wegen in jedem einzelnen Schaltungsmodul erfortungsmuster erzielbar ist. Außerdem ist eine bessere derlichen Kreisen. Nach Fertigstellung der fotogra-Kontrolle der Leitungsbreite und -teilung möglich. 30 fischen Platte kann diese im erforderlichen Maßstab Das endgültige, verkleinerte Schaltungsmuster ist so weit vergrößert oder verkleinert werden, daß sie daher, was sehr wichtig ist, bezüglich der Leitungs- mit der durch den Verfahrensschritt 50 erstellten breite, der Leitungsteilung und der Strompunkt- Schaltungsmatrix genau übereinstimmt, teilung sehr genau. Nach Erstellung des Trennmusters wird, wie durch Nach Fertigstellung der Transparentzeichnung 35 den Block 54 in Fig. 5 dargestellt, im nächsten wird das Muster auf eine Kunststoffplatte mit Aze- Verfahrensschritt das Muster auf einem kupfertatbasis übertragen. Diese Platte wird in einem foto- beschichteten Teil reproduziert. Eine verkupferte grafischen Verfahren verwendet, bei dem das Schal- Platte56 aus Isolationsmaterial (Fig. 6A) wird zutungsmuster zwei- oder dreimal reduziert wird, wie nächst gereinigt und dann mit einem lichtempfindes für die Herstellung gedruckter Schaltungen be- 40 lichen Material beschichtet, das anschließend gekannt ist. Nach dem Entwickeln des verkleinerten trocknet wird.

fotografischen Grundmusters wird mittels einer Gemäß Fig. 6B werden das Stromkreismuster Schritt- bzw. Wiederholungskamera eine Matrixan- und das Trennpunktmuster zusammen mit der Verordnung des modularen Musters der in der F i g. 2 kupierten, lichtempfindlich beschichteten Platte in gezeigten Art erstellt. Kurz zusammengefaßt, umfaßt 45 einen optischen Drucker eingelegt und die Strahdieser Vorgang im wesentlichen die Schritte der len einer Lichtquelle 58 durch das Stromkreismuster Darstellung des reduzierten Schaltungsmusters als und das Punktmuster auf die lichtempfindlich beBild auf einem geeigneten Material, das Fotogra- schichtete verkupferte Platte 56 geleitet. Das Punktfieren des Bildes auf einer bestimmten Stelle am muster ist ein Positiv und das Modulgrundmuster ein Film der Schritt- und Wiederholungskamera und 50 Negativ, so daß das Licht durch die Muster in jenen schließlich das Einrichten der Kamera zur Auf- Bereichen übertragen wird, in denen ein Punkt fehlt nähme von zwei Bildern nebeneinander. Dieser Vor- und ein Stromweg vorhanden ist, also an den zur gang wird fortgesetzt, bis eine Reihe von Bildern Verbindung der gewünschten Stromkreispunkte ererzeugt ist. Diese Einzelreihe des Schaltungsmusters forderlichen Stellen. Alle anderen Punkte sind durch bildet einen Teil der Schaltungsmatrix. Der Vorgang 55 das , Trennpunktmuster abgeschirmt. Das Modulkann sodann fortgesetzt werden durch das Einsetzen muster läßt nun Licht durch alle Stromwege durch, jeder Reihe, oder die einzelne Reihe kann entwickelt außer in den Bereichen, wo ein Punkt das Muster und als das zweite Bild dargestellt werden. Das abdeckt. Das auf der verkupferten Platte 56 entstanzweite Bild kann dann mit der notwendigen Anzahl dene Bild ist dann eine gehärtete Reproduktion der von Wiederholungen in den entsprechenden Dirnen- 60 gewünschten Schaltung. Durch Waschen der Platte sions-Verhältnissen zur Vervollständigung der Ma- 56 im Wasser oder anderen Substanzen werden die trix fotografiert werden. Die letzte Fotografie wird nicht gehärteten Bereiche entfernt, so daß nur die auf eine Glasplatte übertragen und auf-die Größe durch Lichteinwirkung gehärteten Teile verbleiben, der endgültigen Abmessungen der Matrix verklei- Hierauf wird die Platte 56 in ein Ätzbad, z. B. in nert. Dieses endgültige Modulmuster ist in F i g. 4 65 Chloreisenoxyd, gelegt für eine von der Dicke der dargestellt: Der horizontale und vertikale Zwischen- Kupferschicht auf der Platte 56 abhängige Dauer, raum zwischen den Schaltungspunkten 32 und 34 Das Ätzbad entfernt das Kupfer von der Oberfläche bzw. 32 und 36 liegt im Bereich von 3,2 mm. die der Platte 56 mit Ausnahme der gehärteten Bereiche.

Dann wird die Platte 56 zur Entfernung überschüssiger Säure gewaschen, die geätzte Tafel (F i g. 6 C) von Hand geprüft und mit zusätzlichem Ätzmaterial behandelt, um etwaige Fehler in der Platte zu entfernen. Die Platte enthält im übrigen Richtmarken 60 zur Verwendung in mehrschichtig lamellierten Kartenanordnungen.

F i g. 7 zeigt einen Teil der so hergestellten Platte. Die Verbindungen zwischen den Stromkreispunkten 32, 34, 36 und 38 sowie die übrigen Verbindungskombinationen sind unterbrochen durch Entfernung der kreisförmigen Teile in den entsprechenden Leitungswegen mittels des Punktmusters.

F i g. 8 zeigt ein anders gestaltetes Modulgrundmuster 102 mit einer Reihe von diagonalen Stromwegen mit diagonal angeordneten Stromkreispunkten. Bei der hier gezeigten Stromweganordnung sind die Punkte 32 und 34 oder 36 und 38 nicht, wie bei dem Beispiel nach F i g. 2, miteinander verbunden, sondern durch von rechts oben nach links unten verlaufende Diagonalen, z. B. die Punkte 34 und 36 durch die diagonale Leitung 70. Zusätzliche Wege 72 und 74 verlaufen ebenfalls diagonal dazwischen. Verbindungen von den Leitungswegen 72 und 74 zu den Stromkreispunkten 34 bzw. 38 werden durch die Leitungen 73 bzw. 75 hergestellt. Der Stromkreispunkt 32 ist mit dem Punkt 38 des nächsten oberhalb des gezeigten Moduls anschließenden Moduls verbunden. In gleicher Weise ist der Stromkreispunkt 38 mit dem Punkt 32 des nächsten unterhalb des gezeigten liegenden Moduls verbunden.

Auch als Punktmuster in der Anordnung nach F i g. 8 hat ein gegenüber dem Beispiel gemäß F i g. 2 unterschiedliches Trennpunktmuster 104, das F i g. 9 zeigt. Da weniger Punkte mit direkter Verbindung untereinander vorgesehen sind, werden weniger Trennpunkte 106 benötigt. Trotzdem erhält man nach Durchführung des beschriebenen Verfahrens mit dem Trenn punktmuster und dem topologischen Muster gemäß den Fig. 8 und 9 eine Schaltung, die der in F i g. 7 gezeigten entspricht. Die erhaltene Schaltung verbindet vorausgewählte Stromkreispunkte, und alle anderen Stromwege werden durch das erläuterte Verfahren unterbrochen.

Die Anzahl der Verbindungsmöglichkeiten zwischen einer Vielzahl von Punkten kann durch mehrschichtig angeordnete Schaltungskarten vergrößert werden. Fig. 10 zeigt ein erstes Stromkreismuster80 mit der Matrixgestaltung gemäß F i g. 2 über einem Muster 82 mit einer Stromkreisanordnung gemäß Fig. 8. Die Karte 82 liegt ihrerseits über einer Karte 84 mit der gleichen Stromkreisgestaltung (Fig. 8) und ähnlich der in der Karte 82, abweichend lediglich in der Richtung der diagonalen Wege, die in der Karte 84 um 90° gedreht sind. Die Karte 84 ihrerseits liegt über einer Karte 86, die die gleiche Stromkreisanordnung aufweist, wie in der F i g. 2 dargestellt, und ähnlich der Karte 80 ist, nur, daß hier die vertikalen Wege um 90° gedreht sind. Vor dem schichtartigen Zusammensetzen der Karten werden die Richtmarken 60 entsprechend angebracht. Dann können die geschichteten Karten in einer Tischpresse gegeneinander befestigt werden, so daß man eine einzige Karte mit einer erhöhten Anzahl von Verbindungsmöglichkeiten erhält, die durch die Verbindung der Karten 80, 82, 84 und 86 an den Stromkreispunkten mittels plattierter Durchgangslöcher erhalten wird. Jeder Punkt der Karten 80, 82, 84 und 86 kann dann durch Leitungswege über der Oberfläche der einen Karte abwärts zu einer oder mehreren anderen Karten und über deren Oberfläche und eventuell zurückkehrend zur ersten Karte mit dem erforderlichen Anschlußpunkt verbunden werden.
Zur Abschirmung der Signale kann in bestimmten

ίο Fällen die Anordnung einer Erdungsebene in die geschichtete Schaltungsplatte erforderlich sein. Daher wird, wie in Fig. 5 schematisch dargestellt, das Verfahren vervollständigt durch die Lamellierung einer Anzahl geätzter Karten (Block 57) und die Verbindung der Karten (Block 59) zu einer mehrschichtigen Schaltungsmatrix mit im wesentlichen unbegrenzten Verbindungsmöglichkeiten zwischen den modularen Stromkreispunkten.

Claims (5)

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung von Matrizen für Schaltungseinheiten von Datenverarbeitungs- und ähnlichen Anlagen, bei dem jeweils ein Teil der Verbindungswege zwischen den einzelnen Punkten eines Modulgrundmusters unterbrochen wird, dadurch gekennzeichnet, daß nach Herstellung des Modulgrundmusters mittels einer durch eine Datenverarbeitungsanlage oder einen Datenspeicher programmgesteuerten optischen Einrichtung ein Trennpunktmuster hergestellt wird, daß das so erhaltene Trennpunktmuster mit dem Modulgrundmuster ausgerichtet und mittels eines optischen Übertragungsverfahrens auf eine beschichtete Schaltungsplatte das die Schaltung darstellende Abbild des durch das Trennpunktmuster abgedeckten Modulgrundmusters erzeugt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltungsplatte eine Kupfer- und eine lichtempfindliche Schicht aufweist und nach der Belichtung gewaschen und geätzt wird.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die geätzte Schaltungsplatte mit anderen, aus dem gleichen Modulgrundmuster erstellten Platten zu einem Plattenpaket lamelliert wird und die Punkte des Modulgrundmusters miteinander verbunden werden.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einrichtung zur Herstellung des Trennpunktmusters eine Strahlungsquelle und einen den lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger führenden, in seiner Ebene beweglichen Aufspanntisch aufweist, wobei Strahlungsquelle und Tisch die zugeführten Daten synchron gesteuert werden.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trennpunktmuster positiv und das Modulgrundmuster negativ aufgezeichnet werden, derart, daß bei der Erstellung der Schaltungsplatte das Modulgrundmuster nur in den Bereichen unterbrochen wird, in denen ein Trennpunkt fehlt, also eine durchgehende Schaltungsverbindung vorhanden ist.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen