DE1194939B - Verfahren zur Herstellung von Matrizen fuer elektronische Schaltungseinheiten - Google Patents

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

DEUTSCHES

PATENTAMT

AUSLEGESCHRIFT

Int. α.:

HOIb

Deutsche KL: 21c-2/34

Nummer: 1194 939

Aktenzeichen: J 24497 VIII d/21 c

Anmeldetag: 28. September 1963

Auslegetag: 16. Juni 1965

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Matrizen für elektronische Schaltungseinheiten von Datenverarbeitungs- und ähnlichen Anlagen, bei dem jeweils ein Teil der Verbindungswege zwischen den einzelnen Punkten eines Modulgrandmusters unterbrochen wird und das insbesondere für die Herstellung von miniaturisierten Schaltungseinheiten geeignet ist.

Zur Ausstattung von Datenverarbeitungs- und ähnlichen Anlagen, die eine große Anzahl elektronischer Schaltungselemente und -verbindungen benötigen, gehören Schaltungseinheiten, die als selbständige Platten hergestellt werden und in entsprechende Fassungen der Maschine einsteckbar sind, so daß sie leicht montiert und ausgetauscht werden können. Größere Anlagen der genannten Art enthalten eine oft sehr große Anzahl solcher vorzugsweise in Form von Platten ausgebildeten Schaltungseinheiten, sogenannten Moduln, die daher, um sie auf geringstmöglicheni Raum unterbringen zu können, möglichst klein gestaltet werden müssen. Eine solche Miniaturisierung ist auch bei den Schaltungseinheiten von Anlagen erforderlich, die wegen ihrer speziellen Anwendung, z. B. in Luft- und Raumfahrzeugen, besonders leicht und gedrängt ausgebildet sein müssen.

Die Schaltungseinheiten, wie Schaltplatten, -rahmen usw. werden nahezu ausschließlich als sogenannte gedruckte Schaltungen ausgeführt, bei denen eine beispielsweise kupferbeschichtete Platte mit dem gewünschten Schaltungsmuster bedruckt wird, und anschließend entfernt man die nicht bedruckten Flächen der Platte, z.B. durch Ätzen. Da die Gestaltung der Schaltungen auf den einzelnen Platten im allgemeinen verschieden ist, müssen die Platten in großer Zahl einzeln hergestellt werden, indem, von einem Grundmuster der Schaltung ausgehend, unterschiedliche Verbindungswege zwischen den Kreuzungspunkten der Grundschaltung entfernt werden.

Die Aufgabe, auf der die Erfindung aufbaut, ist, ein Verfahren zu finden, bei dem ein universales Grundmuster verwendet werden kann, das alle Verbindungswege zwischen den Kreuzungspunkten der Schaltung enthält, die überhaupt benötigt werden, und bei dem auf eine einfache, wirtschaftliche Weise für jede einzelne spezielle Schaltungsplatte bei deren Herstellung die entsprechenden Verbindungswege unterbrochen werden. Das erfindungsgemäße Verfahren besteht darin, daß nach Herstellung des Modulgrundmusters mittels einer durch eine Daten-Verarbeitungsanlage oder einen Datenspeicher programmgesteuerten optischen Einrichtung ein Trennverfahren zur Herstellung von Matrizen für
elektronische Schaltungseinheiten

Anmelder:

International Business Machines Corporation,

Armonk, N.Y. (V. St. A.)

Vertreter:

Dipl.-Ing. H. E. Böhmer, Patentanwalt,
Böblingen (Württ.), Sindelfinger Str. 49

Als Erfinder benannt:
Herman Frederick Köhler,
Wappingers Falls, N.Y. (V. St. A.)

Beanspruchte Priorität:

V. St. v. Amerika vom 3. Oktober 1962 (228 079)

punktmuster hergestellt wird, daß das so erhaltene Trennpunktmuster mit dem Modulgrundmuster ausgerichtet und mittels eines optischen Übertragungsverfahrens auf eine beschichtete Schaltungsplatte das die Schaltung darstellende Abbild des durch das Trennpunktmuster abgedeckten Modulgrundmusters erzeugt wird.

Die so hergestellten Schaltungsplatten werden anschließend geätzt und — nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens — mit anderen Schaltungsplatten zu einem Plattenpaket lamellenartig verbunden, wobei die einzelnen, einander entsprechenden Kreuzungspunkte der einzelnen Platten miteinander galvanisch verbunden, z. B. verlötet werden.

Als optische Einrichtung zur Herstellung des Trennpunktmusters wird vorzugsweise eine Strahlungsquelle in Verbindung mit einem den lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger tragenden, in seiner Ebene beweglichen Tisch verwendet, wobei Strahlungsquelle und Tisch durch die gespeicherten Daten synchron gesteuert werden. Die erforderlichen Daten können beispielsweise von einem Magnetband oder einem anderen Speicher zugeführt werden, indem die zu erstellenden Trennpunktmuster als Verkörperung der herzustellenden Schaltungseinheit programmiert gespeichert sind.

Zur Herstellung mehrerer Platten mit gleicher Schaltungsanordnung wird der Vorgang der op-

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tischen Übertragung der Bilder mittels des Zusam- der Anordnung zu isolieren. Dabei wird angenom-

menwirkens einer Strahlungsquelle mit dem mit dem men, daß das dargestellte Trennpunktmuster auch

Trennpunktmuster entsprechend ausgerichteten Mo- an jedem benachbarten Punkt erscheint, so daß, ob-

dulgrundmuster und der kupferbeschichteten Schal- wohl die mit dem Punkt 22 verbundene Leitung 28

tungsplatte in entsprechender Anzahl wiederholt. 5 nicht unterbrochen dargestellt ist, eine nicht ge-

Sollen jedoch Schaltungsplatten unterschiedlicher zeigte, mit den benachbarten Stromkreispunkten ver-

Schaltungsverbindungen hergestellt werden, so sind bundene Leitung einen entsprechenden Trennpunkt

nach dem erfindungsgemäßen Verfahren eine ent- einschließt, der den Punkt 22 von den anderen

sprechende Anzahl Trennpunktmuster zu bilden, die Punkten im Muster isoliert.

dann zur Herstellung der einzelnen Platten beliebig io Die horizontalen vertikalen Stromwege 24 und 26 oft reproduzierbar sind und zur Verfügung stehen. sind selbstverständlich nicht auf die in der F i g. 1 Ein wesentlicher Vorteil des Verfahrens ist, daß das gezeigte Richtungsanordnung beschränkt, sondern Modulgrundmuster für alle zu erstellenden Schal- können auch in eine beliebige Richtung gedreht wertungsplatten das gleiche ist und die verschiedenen den, ohne daß die Verbindung zweier Punkte in Schaltungsmodifikationen mittels einfacher, schneller 15 ihrer Anordnung verändert wird. Die gewählten und billiger Erstellung der Trennpunktmuster her- Richtungen dienen jedoch zur einfachen Darstellung gestellt werden können. des Trennpunktmusters, da die Kombination von

Das erfindungsgemäße Verfahren wird im folgen- Modulgrundmuster und Trennpunktmuster einer

den an Hand der Zeichnungen in Ausführungsbei- ganz bestimmten Schaltungsanordnung dient,

spielen näher erläutert. Es zeigt 20 Die Anzahl der möglichen Verbindungen zwi-

Fig. 1 eine schematische Darstellung der Verbin- sehen SStromkreispunkten der gleichen Spalte kann

dungswege im Bereich von drei Schaltungspunkten, durch zusätzliche vertikale Leitungen 26' zwischen

F i g. 2 ein Beispiel für ein Modulgrundmuster mit den Schaltungspunkten vergrößert werden. Begrenzt

mehreren Punkten, den erforderlichen Verbindungs- ist die Anzahl der vertikalen Leitungen nur durch

wegen und den vorgesehenen Trennpunkten, 25 den zur Verfügung stehenden Zwischenraum zwi-

F i g. 3 das in dem Grundmuster gemäß F i g. 2 sehen den einzelnen Punkten und die erforderliche

verwendete Trennpunktmuster, Breite der Leiter. Jeder einem Muster hinzugefügte

Fig. 4 die Ansicht einer Anzahl von Modulgrund- vertikale Stromweg 26' erfordert zwei zusätzliche

mustern der in Fig. 1 gezeigten Art, auf einer Schal- Trennpunkte 30' und 30", um jeden Punkt dieser

tungsplatte angeordnet, 3° Spalte von den anderen Stromkreispunkten oder

Fig. 5 eine schematische Übersicht der Verfahrens- -Wegen der Anordnung isolieren zu können. Es wird

schritte zur Herstellung einer Schaltungsplatte in betont, daß der zusätzliche Stromweg 26'das Trenn-

Blockdiagrammform, muster im Sinne der Gesamtanordnung erweitert,

Fig. 6A bis 6C schematische Darstellungen der was, wie später noch deutlich wird, beim Über-

Verfahrensschritte bei der Herstellung einer Schal- 35 tragen eines gebrochenen topologischen Musters in

tungsplatte, eine eindeutige Stromkreisanordnung besonders

F i g. 7 eine Darstellung des Modulgrundmusters nützlich ist.

gemäß Fig. 2, in dem sämtliche Trennpunkte gemäß Fig. 2 und 3 zeigen das Modulgrundmuster und

dem Muster nach F i g. 3 wirksam gemacht wurden, das Trennpunktmuster einer Schaltungsmatrix. Das

Fig. 8 ein anderes Beispiel für ein Modulgrund- 40 Muster in der Fig. 2 enthält die Schaltungspunkte

muster, in dem sämtliche möglichen Trennpunkte 32, 34, 36 und 38, wobei jeder dieser Punkte mit

eingezeichnet sind, jedem der anderen Punkte verbunden ist. Der hori-

F i g. 9 die Anordnung der Trennpunkte für das zontale Abstand zwischen den Punkten ist so, daß

Muster gemäß F i g. 8 und zur Verbindung der Punkte mit allen anderen Punk-

Fig. 10 die schaubildliche Darstellung mehrerer 45 ten außerhalb des gezeigten Moduls drei vertikale

schichtweise zusammengesetzter Schaltungsplatten, Stromwege 40, 42 und 44 durch das modulare

wobei die Verbindungen zwischen den einzelnen Muster verlaufen. Die Verbindung der Punkte in

Schaltungspunkten angedeutet sind. horizontaler Richtung erfolgt durch den Weg 46 mit

Das in der Fig. 1 gezeigte Modulgrundmuster den Abschnitten a, b, c und d, der die vertikalen enthält Stromwege zur Verbindung der Punkte 20, 50 Wege 40, 42 und 44 kreuzt, sowie die vertikalen 21 und 22 und einen vertikalen Weg zwischen den Wege 48, die zwischen den Punkten 32 und 36 bzw. Punkten 20 und 22, und zwar im wesentlichen eine den Punkten 34 und 38 verlaufen,
horizontale Leitung 24 und eine vertikale Leitung 28. Durch Überquerung der horizontalen und verti-Der zusätzliche vertikale Stromweg 26 dient für Ver- kalen Wege kann also jede beliebige Verbindung bindungen zwischen nicht benachbarten Punkten in 55 zwischen zwei Punkten im Modularmuster herder gleichen Spalte ohne Durchgang durch andere gestellt werden. Ein solcher zu einer Matrix erwei-Punkte. Einzelverbindungen zwischen zwei beliebi- terter Modul ist in der F i g. 4 dargestellt, in der die gen Punkten können durch Unterbrechung bestimm- den gleichen Teilen in F i g. 2 entsprechenden EIeter Wege — außer der gewünschten Verbindung — mente mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet hergestellt werden. Zur Herstellung solcher Unter- 60 sind.

brechungen bestimmter Wege in der topologischen Ein zur Verwendung mit dem Modulgrund-Gestaltung wird ein Trennmuster verwendet, das muster 101 gemäß F i g. 2 geeignetes Trennpunktsicherstellt, daß irgendein Punkt des Musters von muster 100 ist in der F i g. 3 dargestellt, wobei die den anderen Punkten isoliert werden kann. Das Kreisform für die einzelnen Punkte nur als beispiels-Trennpunktmuster für die in der F i g. 1 gezeigte 65 weise geometrische Figur eingesetzt ist. Das Muster Anordnung ist durch Kreuze 30 angedeutet. Es sind ist durch die Kreise 50' dargestellt, und je ein solbeispielsweise vier Kreuzpunkte 30 erforderlich, um eher Kreis ist in allen Abschnitten der vertikalen die Punkte 20, 21 und 22 von den übrigen Punkten Wege 40, 42 und 44 und in den horizontalen Wegen

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46 α bis 46 d angeordnet. Durch Weglassen bestimm- Leitungsbreite ist etwa 0,25 mm. Alle Leitungen ter Punkte kann eine Verbindung zwischen einem müssen einen Mindestabstand voneinander von Punkt und einem beliebigen anderen Punkt der 0,5 mm haben. Mikrominiaturisierte elektronische Matrix hergestellt werden. Der Durchmesser der Elemente können an diesen Schaltungspunkten auf Kreise ist so gewählt, daß geringe Abweichungen 5 geeignete Weise, z.B. Löten oder Stecken befestigt hinsichtlich der Übereinstimmung des Stromkreis- werden, wodurch die einzelnen Verbindungen zwimusters gemäß F i g. 2 und des Punktmusters gemäß sehen den Komponenten vervollständigt werden.
F i g. 3 ein einwandfreies Abdecken des Stromweg- Der nächste Schritt im Verfahren zur Erstellung musters durch das Punktmuster nicht beeinträchti- der Matrizen für die Herstellung einer Schaltungsgen, ίο verbindung ist die durch den Block 52 in Fig. 5

Die Verfahrensschritte zur Herstellung bestimm- dargestellte Erzeugung eines Trennpunktmusters, ter elektrischer Schaltungskreise sind in der F i g. 5 das zur Entwicklung einer bestimmten mikrominiaschematisch dargestellt. Das Verfahren bezieht sich turisierten elektrischen Schaltung mit dem Modulim allgemeinen auf einen subtraktiven Vorgang zur muster kombiniert wird. Hierzu wird zweckmäßig Herstellung einer gedruckten Schaltung, jedoch 15 eine bekannte, durch einen Rechner gesteuerte Einkann in Abwandlung auch der Weg des additiven richtung für die Erzeugung von elektrischen Strom-Vorgangs beschriften werden. Lediglich zur besseren kreisen verwendet. Eine solche sendet ein proErläuterung wurde das subtraktive Verfahren ge- grammgesteuertes Lichtbündel aus, das eine auf wählt. einem in den beiden Dimensionen seiner Ebene ver-

Der erste Verfahrensschritt zur Herstellung einer 20 schiebbaren Tisch befestigte lichtempfindliche Karte

Schaltung ist die Anfertigung des Modulgrund- belichtet. Die von einem Magnetband abgetasteten

musters der Schaltung durch einen Zeichner. Die Daten steuern sowohl das Lichtbündel als auch die

gewählte topologische Gestaltung, z. B. gemäß Bewegung des Tisches, so daß die Muster auf die

Fig. 2, wird auf transparentem Material, z.B. Per- lichtempfindlich beschichtete Karte oder einen Film

gament, aufgezeichnet, und zwar mit etwa 60facher 25 gezeichnet werden. Die dabei erzeugten einzelnen

Vergrößerung des endgültigen, in der Schaltungs- Punkte entsprechen den zur Überschneidung der

matrix verwendeten Musters, wodurch eine gute Ge- verschiedenen horizontalen und vertikalen Strom-

nauigkeit hinsichtlich der Dimensionen im Schal- wegen in jedem einzelnen Schaltungsmodul erfor-

tungsmuster erzielbar ist. Außerdem ist eine bessere derlichen Kreisen. Nach Fertigstellung der fotogra-

Kontrolle der Leitungsbreite und -teilung möglich. 30 fischen Platte kann diese im erforderlichen Maßstab

Das endgültige, verkleinerte Schaltungsmuster ist so weit vergrößert oder verkleinert werden, daß sie

daher, was sehr wichtig ist, bezüglich der Leitungs- mit der durch den Verfahrensschritt 50 erstellten

breite, der .Leitungsteilung und der Strompunkt- Schaltungsmatrix genau übereinstimmt,

teilung sehr genau. Nach Erstellung des Trennmusters wird, wie durch

Nach Fertigstellung der Transparentzeichnung 35 den Block 54 in Fig. 5 dargestellt, im nächsten wird das Muster auf eine Kunststoffplatte mit Aze- Verfahrensschritt das Muster auf einem kupfertatbasis übertragen. Diese Platte wird in einem foto- beschichteten Teil reproduziert. Eine verkupferte grafischen Verfahren verwendet, bei dem das Schal- Platte56 aus Isolationsmaterial (Fig. 6A) wird zutungsmuster zwei- oder dreimal reduziert wird, wie nächst gereinigt und dann mit einem lichtempfmdes für die Herstellung gedruckter Schaltungen be- 40 lichen Material beschichtet, das anschließend gekannt ist. Nach dem Entwickeln des verkleinerten trocknet wird.

fotografischen Grundmusters wird mittels einer Gemäß Fig. 6B werden das Stromkreismuster Schritt- bzw. Wiederholungskamera eine Matrixan- und das Trennpunktmuster zusammen mit der Verordnung des modularen Musters der in der F i g. 2 kupierten, lichtempfindlich beschichteten Platte in gezeigten Art erstellt. Kurz zusammengefaßt, umfaßt 45 einen optischen Drucker eingelegt und die Strahdieser Vorgang im wesentlichen die Schritte der len einer Lichtquelle 58 durch das Stromkreismuster Darstellung des reduzierten Schaltungsmusters als und das Punktmuster auf die lichtempfindlich beBild auf einem geeigneten Material, das Fotogra- schichtete verkupferte Platte 56 geleitet. Das Punktfieren des Bildes auf einer bestimmten Stelle am muster ist ein Positiv und das Modulgrundmuster ein Film der Schritt- und Wiederholungskamera und 50 Negativ, so daß das Licht durch die Muster in jenen schließlich das Einrichten der Kamera zur Auf- Bereichen übertragen wird, in denen ein Punkt fehlt nähme von zwei Bildern nebeneinander. Dieser Vor- und ein Stromweg vorhanden ist, also an den zur gang wird fortgesetzt, bis eine Reihe von Bildern Verbindung der gewünschten Stromkreispunkte ererzeugt ist. Diese Einzelreihe des Schaltungsmusters forderlichen Stellen. Alle anderen Punkte sind durch bildet einen Teil der Schaltungsmatrix. Der Vorgang 55 das Trennpunktmuster abgeschirmt. Das Modulkann sodann fortgesetzt werden durch das Einsetzen muster läßt nun Licht durch alle Stromwege durch, jeder Reihe, oder die einzelne Reihe kann entwickelt außer in den Bereichen, wo ein Punkt das Muster und als das zweite Bild dargestellt werden. Das abdeckt. Das auf der verkupferten Platte 56 entstanzweite Bild kann dann mit der notwendigen Anzahl dene Bild ist dann eine gehärtete Reproduktion der von Wiederholungen in den entsprechenden Dirnen- 60 gewünschten Schaltung. Durch Waschen der Platte sions-Verhältnissen zur Vervollständigung der Ma- 56 im Wasser oder anderen Substanzen werden die trix fotografiert werden. Die letzte Fotografie wird nicht gehärteten Bereiche entfernt, so daß nur die auf eine Glasplatte übertragen und auf die Größe durch Lichteinwirkung gehärteten Teile verbleiben, der endgültigen Abmessungen der Matrix verklei- Hierauf wird die Platte 56 in ein Ätzbad, z. B. in nert. Dieses endgültige Modulmuster ist in Fig. 4 65 Chloreisenoxyd, gelegt für eine von der Dicke der dargestellt: Der horizontale und vertikale Zwischen- Kupferschicht auf der Platte 56 abhängige Dauer, raum zwischen den Schaltungspunkten 32 und 34 Das Ätzbad entfernt das Kupfer von der Oberfläche bzw. 32 und 36 liegt im Bereich von 3,2 mm, die der Platte 56 mit Ausnahme der gehärteten Bereiche.

Dann wird die Platte 56 zur Entfernung überschüssiger Säure gewaschen, die geätzte Tafel (Fig. 6C) von Hand geprüft und mit zusätzlichem Ätzmaterial behandelt, um etwaige Fehler in der Platte zu entfernen. Die Platte enthält im übrigen Richtmarken 60 zur Verwendung in mehrschichtig lamellierten Kartenanordnungen.

F i g. 7 zeigt einen Teil der so hergestellten Platte. Die Verbindungen zwischen den Stromkreispunkten 32, 34, 36 und 38 sowie die übrigen Verbindungskombinationen sind unterbrochen durch Entfernung der kreisförmigen Teile in den entsprechenden Leitungswegen mittels des Punktmusters.

F i g. 8 zeigt ein anders gestaltetes Modulgrundmuster 102 mit einer Reihe von diagonalen Stromwegen mit diagonal angeordneten Stromkreispunkten. Bei der hier gezeigten Stromweganordnung sind die Punkte 32 und 34 oder 36 und 38 nicht, wie bei dem Beispiel nach F i g. 2, miteinander verbunden, sondern durch von rechts oben nach links unten verlaufende Diagonalen, z. B. die Punkte 34 und 36 durch die diagonale Leitung 70. Zusätzliche Wege 72 und 74 verlaufen ebenfalls diagonal dazwischen. Verbindungen von den Leitungswegen 72 und 74 zu den Stromkreispunkten 34 bzw. 38 werden durch die Leitungen 73 bzw. 75 hergestellt. Der Stromkreispunkt 32 ist mit dem Punkt 38 des nächsten oberhalb des gezeigten Moduls anschließenden Moduls verbunden. In gleicher Weise ist der Stromkreispunkt 38 mit dem Punkt 32 des nächsten unterhalb des gezeigten liegenden Moduls verbunden.

Auch als Punktmuster in der Anordnung nach F i g. 8 hat ein gegenüber dem Beispiel gemäß F i g. 2 unterschiedliches Trennpunktmuster 104, das F i g. 9 zeigt. Da weniger Punkte mit direkter Verbindung untereinander vorgesehen sind, werden weniger Trennpunkte 106 benötigt. Trotzdem erhält man nach Durchführung des beschriebenen Verfahrens mit dem Trennpunktmuster und dem topologischen Muster gemäß den F i g. 8 und 9 eine Schaltung, die der in F i g. 7 gezeigten entspricht. Die erhaltene Schaltung verbindet vorausgewählte Stromkreispunkte, und alle anderen Stromwege werden durch das erläuterte Verfahren unterbrochen.

Die Anzahl der Verbindungsmöglichkeiten zwischen einer Vielzahl von Punkten kann durch mehrschichtig angeordnete Schaltungskarten vergrößert werden. F i g. 10 zeigt ein erstes Stromkreismuster 80 mit der Matrixgestaltung gemäß F i g. 2 über einem Muster 82 mit einer Stromkreisanordnung gemäß Fig. 8. Die Karte 82 liegt ihrerseits über einer Karte 84 mit der gleichen Stromkreisgestaltung (Fig. 8) und ähnlich der in der Karte 82, abweichend lediglich in der Richtung der diagonalen Wege, die in der Karte 84 um 90° gedreht sind. Die Karte 84 ihrerseits liegt über einer Karte 86, die die gleiche Stromkreisanordnung aufweist, wie in der F i g. 2 dargestellt, und ähnlich der Karte 80 ist, nur, daß hier die vertikalen Wege um 90° gedreht sind. Vor dem schichtartigen Zusammensetzen der Karten werden die Richtmarken 60 entsprechend angebracht. Dann können die geschichteten Karten in einer Tischpresse gegeneinander befestigt werden, so daß man eine einzige Karte mit einer erhöhten Anzahl von Verbindungsmöglichkeiten erhält, die durch die Verbindung der Karten 80, 82, 84 und 86 an den Stromkreispunkten mittels plattierter Durchgangslöcher erhalten wird. Jeder Punkt der Karten 80, 82, 84 und 86 kann dann durch Leitungswege über der Oberfläche der einen Karte abwärts zu einer oder mehreren anderen Karten und über deren Oberfläche und eventuell zurückkehrend zur ersten Karte mit dem erforderlichen Anschlußpunkt verbunden werden.
Zur Abschirmung der Signale kann in bestimmten

ίο Fällen die Anordnung einer Erdungsebene in die geschichtete Schaltungsplatte erforderlich sein. Daher wird, wie in F i g. 5 schematisch dargestellt, das Verfahren vervollständigt durch die Lamellierung einer Anzahl geätzter Karten (Block 57) und die Verbin-

dung der Karten (Block 59) zu einer mehrschichtigen Schaltungsmatrix mit im wesentlichen unbegrenzten Verbindungsmöglichkeiten zwischen den modularen Stromkreispunkten.

Claims (5)

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung von Matrizen für Schaltungseinheiten von Datenverarbeitungs- und ähnlichen Anlagen, bei dem jeweils ein Teil der Verbindungswege zwischen den einzelnen Punkten eines Modulgrundmusters unterbrochen wird, dadurch gekennzeichnet, daß nach Herstellung des Modulgrundmusters mittels einer durch eine Datenverarbeitungsanlage oder einen Datenspeicher programmgesteuerten optischen Einrichtung ein Trennpunktmuster hergestellt wird, daß das so erhaltene Trennpunktmuster mit dem Modulgrundmuster ausgerichtet und mittels eines optischen Ubertragungsverfahrens auf eine beschichtete Schaltungsplatte das die Schaltung darstellende Abbild des durch das Trennpunktmuster abgedeckten Modulgrundmusters erzeugt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltungsplatte eine Kupfer- und eine lichtempfindliche Schicht aufweist und nach der Belichtung gewaschen und geätzt wird.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die geätzte Schaltungsplatte mit anderen, aus dem gleichen Modulgrundmuster erstellten Platten zu einem Plattenpaket lamelliert wird und die Punkte des Modulgrundmusters miteinander verbunden werden.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einrichtung zur Herstellung des Trennpunktmusters eine Strahlungsquelle und einen den lichtempfindlichen Aufzeichnungsträger führenden, in seiner Ebene beweglichen Aufspanntisch aufweist, wobei Strahlungsquelle und Tisch die zugeführten Daten synchron gesteuert werden.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trennpunktmuster positiv und das Modulgrundmuster negativ aufgezeichnet werden, derart, daß bei der Erstellung der Schaltungsplatte das Modulgrundmuster nur in den Bereichen unterbrochen wird, in denen ein Trennpunkt fehlt, also eine durchgehende Schaltungsverbindung vorhanden ist.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

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