DE2207948A1 - Anschlußleiter für integrierte Schaltkreis-Bausteine und Verfahren zur Herstellung eines Gestells dieser Leiter - Google Patents

Anschlußleiter für integrierte Schaltkreis-Bausteine und Verfahren zur Herstellung eines Gestells dieser Leiter

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Claudio Dipl.-Phys. Ivrea Turin Dalmasso (Italien)
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Description

Anschlußleiter für integrierte Schaltkreis-Bausteine und Verfahren zur Herstellung eines Gestells dieser Leiter
Die Erfindung betrifft Anschlußleiter für integrierte Schaltkreis-Bausteine und insbesondere die Füße, die diese Bausteine tragen. Die Erfindung schließt auch Verfahren zur Anfertigung dieser Tragefüße ein.
Halter bzw. Aufnahmeplatten für Schaltkreise, z.B. integrierte elektronische Schaltkreise in Halbleiterausführung, benötigen Anschlüsse, die außerhalb des Halters die Signale übertragen, die diese Schaltkreise mit äußeren Schaltkreisnetzwerken austauschen sollen. Diese Anschlüsse dienen ebenfalls dazu, eine feste mechanische Verbindung mit solohen äußeren Schaltkreisen zu besorgen.
IKe Anschlüsse für die äußere Verbindung eines Halters haben allgemein die Form von Füßen, die in Gruppen mit eine· konstanten Abt ind aufgestellt und duroh die Grundplatte des Halters getragen wert? "\, auf dem die integrierten Schaltkreise befestigt sind.
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Mittels solcher Füße wird die mechanische Befestigung und elektrische Verbindung des Halters z.B. auf eine gedruckte Schaltkarte bewerkstelligt; die Füße werden in leitende Öffnungen eingesetzt und eingelötet, die in dieser Schaltkarte vorliegen und mit dem gleichen Abstand wie die Füße verteilt sind ; die Füße können auch an kleine leitende Quadrate oder Plattformen angelötet werden, die auf der Karte mit dem gleichen Abstand wie die Füße verteilt sind.
Um einen Baustein auf einer Schaltkarte richtig zu befestigen, müssen diese Füße eine wesentliche mechanische Festigkeit besitzen. Diese Festigkeit wird bei den bekannten Iialterarten durch Schneiden eines Metallstreifens zur Formung eines Verbindungsmusters und durch nachträgliches festes Anbringen z.B. Kitten des Metallmusters auf die keramische Grundplatte erhalten. Die Füße für das Verbinden des Halters werden durch die Arme des Metallmusters gebildet, die von den Kanten dieser Platte hervorragen und die einem nachfolgenden Abbiegen ausgesetzt sind. Diese Lösung besitzt den infolge einer metallisch-keramischen Schweißung mit geringem Widerstand gegen Beanspruchungen entstandenen ernsten Naohteil, daß auf die Füße ausgeübte Biegekräfte die Lösung des Metallmusters von der tragenden Platte verursachen können.
Bei einer anderen bekannten Halterart wird das verbindende Muster des keramischen Plättchens durch Maskendruck von leitendem Material auf die keramische Grundplatte erhalten; in diesem Fall ist eine feste Haftung zwisohen dem verbindenden Muster und der tragenden Grundplatte sichergestellt, jedoch ist die Verbindung zwischen den Füßen und der Grundplatte selbst weniger sicher und baltbar, weil die Füße aus einem Metallstreifen durch Schneiden gebildet werden und an das Metall der nach dem Maskendruck aufgebrachten Leiter angelötet werden müssen. Da die Füße verhältnismäßig dick sind, ist das Anlöten an die gedruckte Metallisierung schwierig und erfordert zusätzliche Materialien; weiterhin müssen die Füße nach dem Löten abgebogen werden, wobei dieses Abbiegen, das in einer
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der Lötzone sehr nahegelegenen Zone durchgeführt wird, Spannungen und Anrisse in den gelöteten Verbindungsstellen hervorruft, die die mechanische Festigkeit der Verbindung vermindern.
ErfindungsgemUß werden die Füße an der Stelle, an der diese an die gedruckten Leiter der Grundplatte angelötet werden, genügend dünn ausgeführt, um so die Benutzung von Schnellöt-Techniken zu ermöglichen, z.B. Thermodruck- oder elektrische Entladungstechnik; diese dünnen Stellen erstrecken sich auch bis zur Abbiegezone; deshalb verursacht der Abbiegevorgang keine Zerstörung der gelöteten Verbindungsstellen, weil nur ein geringer Kraftaufwand benötigt wird, um die abgedünnten Teile der Füße zu biegen.
Die Erfindung wird durch Ausführung des Gestells für die Füße mittels einer chemischen Bearbeitung von Grundplatten aus Metall durch ein fotolithografisches Verfahren verwirklicht.
Die Füße für die Außenverbindung der Schaltkreis-Bausteine werden als Zungen aus leitendem Metall ausgeführt, die geeignet sind, um an einem Ende an in diesem Baustein vorliegende leitende Platt-r formen angelötet zu werden. Die Plattformen bilden die verbreiterten äußeren Teile der gedruckten Leiter, die auf der Grundplatte aufgebracht sind. Die Grundplatte trägt außerdem einen oder mehrere integrierte elektronische Schaltkreise, die mit den gedruckten Leitern verbunden sind. Diese Endzone eines jeden Fußes wird im Hinblick auf den verbleibenden Teil der Füße dünner ausgeführt, so daß ein Anlöten dieser Füße an die Plattformen ohne Ilinzufügung von Materialien ermöglicht und das Abbiegen dieser Füße nach dem Lütvorganc erleiditert wird.
Ein erfindungsgemäß eine Vielzahl von Füßen enthaltendes Gestell kann durch folgendes Verfahren hergestellt werden: Ausgehend von einer leitenden Metallplatte werden zwei fotografische Masken auf den zwei Seiten aufgesetzt, die die Form dieses Gestells zwecks Destimmune der Umcrenzungslinien für einen Fotogravürevorgang
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wiedergeben, der mittels eines chemischen Angriffs durchgeführt wird; eine dieser Hasken wird so ausgeführt, daß während des Fotogravürevorgangs die Endzonen dieser Füße ungeschützt dem chemischen Angriff auf einer Seite der Platte überlassen werden, wodurch der chemische Angriffsvorgang auf dieser Fläche eine Verminda-ung der Stärke dieser Zonen im Hinblick auf den verbleibenden Teil des Gestells hervorruft.
Diese und weitere Einzelheiten der Erfindung sind nachstehend anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Halters für integrierte Schaltkreise mit für die Außenverbindung vorgesehenen Füßen gemäß der Erfindung,
Fig. 2 eine Schnittansicht einer Ausführungsart des Halters für
integrierte Schaltkreise nach Fig. 1; Fig. 3 eine Draufsicht einer in den in Fig. 2 dargestellten Halter eingeschlossenen Grundplatte;
Fig. 'ia ein zur Anbringung an den in Fig. 1 und 2 dargestellten Halter benutztes Gestell von Füßen gemäß der Erfindung; Fig. hb eine Schnittansicht von einem der in Fig. 4a dargestellten Füße;
Fig. 3a und 5b zwei bei dem chemischen Angriffsverfahren für die Herstellung eines wie in Fig. Ία und >tb dargestellten Gestells von Füßen gemäß der Erfindung benutzte fotografische Masken.
Nachstehend wird ein Halter für integrierte Schaltkreise in llalbleiterausführung beschrieben, an welchem eine Vielzahl von Füßen, z.B. 40 Füße (Fig. l), für die Außenverbindung gemäß der Erfindung angebracht ist.
Der Halter ist aus folgenden Teilen (Fig. 2 und 3) zusammengesetzt:
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a) Eine keramische Grundplatte 1, die eine Anzahl z.B. durch ein Maskendruckverfahren aufgedruckter Leiter 8 trägt, die geeignet sind, um eine Reihe von Verbindungen zwischen dem Mittelteil der Grundplatte, in welchem ein oder mehrere integrierte elektronische Schaltkreisplättchen 6 angebracht sind, und dem äußeren Hand herzustellen, der eine Anzahl leitender Plattformen 9 enthält;
b) ein Satz von Hetallfüßen 3 (z.B. aus Phosphorbronze, die an wenigstens einer Oberfläche verzinnt oder vergoldet sein kann), die Füße sind an die leitenden Plattformen 9 angelötet;
c) ein Glasrahmen 10 wird durch aufeinanderfolgende Maskendruckverfahren erhalten und den gedruckten Leitern 8 in der Zwischenzone der Grundplatte 1 zwischen den äußeren leitenden Plattformen 9 und den mittigen verbindenden Enden dieser gedruckten Leiter 8 überlagert;
d) ein oder mehrere Kissen oder Auflager 2, die in den Mittelteil der Grundplatte 1 für die Auflagerung eines oder mehrerer halbleiterintegrierter Schaltkreisplättchen 6 gedruckt sind, deren Anschlüsse mit den mittigen verbindenden Enden 8 auf der Grundplatte mittels z.B. angelöteter Drähte 11 verbunden sind;
e) eine Schutzabdeckung Ί, die z.B. aus Metall hergestellt ist und eine Anflächung 5 besitzt, die an den Glasrahmen 10 durch verschiedene Verfahren angelötet oder angeklebt werden kann;
f) eine alle vorangegangenen Einzelteile mit Ausnahme der freien Enden der Füße 3f die am Halter für die herzustellenden Verbindungen mit äußeren Schaltkreisen herausragen, einhüllende Kapsel 7 aus Kunststoffmaterial (z.B. Silikon- oder Epoxydkunstharz); diese Kapsel ist besonders für den Fall wichtig, daß die gelötete Verbindungsstelle zwischen der Abdeckung k und dem Glasrahmen 10 nicht luftdicht ist.
Jeder Halter hat vier Gruppen von Füßen 3, für jede Seite eine Gruppe, mittels der eine Verbindung zwischen der Grundplatte, auf der die integrierten Schaltkreise angeordnet sind, und den gedruckten Schaltkarten, auf die der Halter befestigt werden soll, be-
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werkstelligt wird.
Bei der dargestellten Ausführung eines Halters ist eine gonane Anpassung der Ausdehnungskoeffizienten des Materials für die Füße und jenes für die Grundplatte nicht erforderlich, und es genügt deshalb, für die Fülle ein Material zu verwenden, das eine hohe Oxidationsbeständigkeit aufweist und das mechanische und chemische Dearbeitbarlceit besitzt.
Mit Bezug auf Fig. 'ia hat sich herausgestellt, daß optimale Ergebnisse durch Verwendung von Phosphorbronze in Streifenforni erzielt werden, die so bearbeitet wurde, daß die Abbiegerichtung (dargestellt durch die gestrichelte Linie 13) für die Füße senkrecht zu der Richtung 12 liegt; die Richtung 12 ist die Richtung, in der das Metall gewalzt wurde.
Der beschriebene Halter, der hO Anschlüsse besitzt, erfordert zwei ungleiche Gruppen von Füßen, wobei eine Gruppe zwei Sätze von neun Füßen und die andere zwei Sätze von elf Füßen (Fig. l) umfaßt; die Sätze mit neun Füßen liegen an der kurzen Seite des Halters an und die Sätze mit elf Füßen an der langen Seite.
Eine Stärke von beispielsweise 0,25 nim kann für den Streifen verwendet werden, aus dem die Füße entstehen sollen.
Die Füße sind erfindungsgemaß in der Endzone dünner, die an der leitenden Plattform 9 (Fig. 2 und 4b) angelötet werden soll, um so ein Löten ohne Verwendung zusätzlicher Materialien zu gestatten und das anschließende Abbiegen der Füße zu erleichtern.
Diese Verdünnung beseitigt Deformationen und Brüche sowohl im Metall der Füße als auch in den gelöteten Verbindungen während des Abbiegevorgangs, der normalerweise nach Ausführung des Lötens der Füße durchgeführt wird. Die dünnen Teile der Füße verursachen keine Schwächung des Bausteins gegenüber ,jenen, die rait Füßen
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üblicher Stärke hergestellt sind, weil die Kunststoffkapsel 7 die dünnen Teile einschalt und absteift. Die Füße sind in Gruppen angefertigt, wobei jede Gruppe ein Gestell bildet, das durch chemische Bearbeitung aus einem Streifen Phosphorbronze durch ein fotolithografisches Verfahren erhalten wird. Das Verfahren zur Herstellung eines Gestells von Füßen gemäß der Erfindung unterscheidet sich von den bekannten Techniken, die das alleinige Schneiden der Füße anwenden. Das Schneidverfahren kann nicht benutzt v/erden, um Verbindungsfüße herzustellen, die durch Schnelltechniken (d.h. durch jene Techniken, die kein zusätzliches Lötiuetall und keine Vorarbeit für einen überzug der Füße mit einem Lötmetall, z.U. durch Verzinnung, erfordern) gelötet werden können«
Tatsächlich liegt die optimale Stärke, die gutes Anlöten der Fülle an die leitenden Plattformen der Grundplatte durch Thermodruck gestattet, in der Größenordnung von 50 Mikrometer, während die geeignete Stärke für gute Steifigkeit der Füße zwecks Befestigung zumindest O,:!5 mm beträgt.
Die Verminderung der Stärke an der Anschlußzone der Füße \vrird dadurch erreicht, d*ß eine Oberfläche dieser Zone während der Bearbeitung des Streifens durch den chemischen Angriff ungeschützt bleibt.
Ir.i einzelnen wird ein eine Vielzahl von Verbindungsfüßen ent-Im 11" end e s liestoll erreicht, indem von einem Streifen leitenden Metalls (/..B. lMiosphorbronze) ausgegangen wird, auf dem zwei fotografische Masken (Fig. 5a und 5b) auf die zwei Oberflächen aufgesetzt sind, die die Foni des Gestells zwecks Bestimmung seiner Um;· renzuiigsliiiien mittels eines fotolithografischen Verfahrens wiedergeben. Eine erste fotografische Maske 1? ist in I1I:;. 5a darbest ollt und gibt die Form eines Gestells, wie in l'i'i. hn gezeigt, mit neun Füßen wieder. Fig. 5b zeigt eine zweite fotografische Maske, in der die Form des Gestells mit neun Füßen nur teilweise wiedergegeben ist, wobei die Zonen über der
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Linie Vi (Fig. ha) fehlen; diese Zonen bilden die verdünnten Teile der Füße, wobei die Teile für das Anlöten der Füße an die leitenden Plattformen 9 verwendet werden. Die schraffierten Teile der üasken 17 und 20 in Fig. 5a und 5^ stellen die licht-
undurchlässigen Teile des fotografischen Films dar, während die nichtschraffierten Teile 19 und 21 die Teile darstellen, die die Lichtstrahlen durchlassen.
Die zwei Masken wirken deshalb als fotografische Negative des Gestells von Füßen, das bearbeitet werden soll. Natürlich erfordert die Aufsetzung der zwei Masken auf die zwei sich gegenüberliegenden Flachen der Grundplatte gegenseitiges Zentrieren der üiiigrenzung-slinien des durch die zwei Masken bestimmten Gestells.
Ί/ährend des Fotowiedergabeverfahrens des Musters der zwei Maakon 17 und 20 auf die zwei Gegenüberliegenden Oberflächen der Grundplatte aus leitendem Metall, wirken die Masken 17 und <ίθ in einem fotolithografisehon Verfahren als Schutzschicht für die Grundplattenteile entsprechend den nichtschraffierten Teilen der Maske. Die angewandte bekannte Atztechnik besteht darin, die Grundplatte mit Lichtschutzniasse zu überziehen, die Masken auf die Schutzraasse zu legen, die Flächen der Schutzmasse zu bestrahlen, die durch die Lichttoile der Maske begrenzt sind, jene Lichtschutzniasse zu entfernen,' die nicht bestrahlt wurde und die Platte dem chemischen Angriff auszusetzen. Die mit geeigneten Reagenzien ausgeführte chemische Behandlung erzeugt no ein chemisches Atzen gleichzeitig auf beiden Flächen der Grundplatte, ura so die ganze Stärke an den ungeschützten Teilen anzugreifen, so daß als Ergebnis vollkommener Bearbeitung das vollständige· Gestell von Füßen wie in Fig. ha dargestellt, erhalten wird. An den ungeschützt gelassenen Endzonen wird das chemische Atzen die Stärke der Platte teilweise angreifen; mit den normalerweise für chemische Angriffe verwendeten Maschinen ist es möglich, die Dauer des Angriffs zu kontrollieren, ura eine verminderte Stärke in der Größenordnung von }0 Mikrometer mit einer Toleranz von +_ j Mikrometer zu erhalten.
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Das auf diese Weise erhaltene Gestell, dessen Füße zeitweilig durch den die Beine 18 (Fig. ha) verbindenden Steg 15 zusammengehalten werden, kann danach an die Grundplatte 1 (Fig. 2) durch Aufsetzen der abgedünnten Enden l6 auf die äußeren leitenden Plattformen 9 und Ausführen direkten Lötens (ohne die Verwendung von Lötzusatz) durch bekannte Techniken (Thermodruck, Ultraschall usw.) angebracht werden. Bekanntlich kann eine dünne Schicht aus Gold oder Zinn auf einerOberflache der Füße die Verbindung durch direkte Lötverfahren erleichtern.
Danach können die Füße leicht abgebogen werden, wobei die Biegung noch in der abgedünnten Zone liegt. Dann wird der Steg 13 abgeschnitten, um die vom selben Gestell erhaltenen verschiedenen Füße freistehen zu lassen. Indem für den ganzen Aufbau eine Einhüllung in einen Kunststoffblock 7 besorgt wird, wird der Satz Füße die mechanische Festigkeit zurückgewinnen, die für die anschließende Befestigung des integrierten Schaltkreishalters notwendig ist.
Ein Ergebnis der Anwendung dieses Verfahrens wird dadurch deutlich, daß Zehntel von einem Millimeter auf jeder Seite der Grundplatte i in der brauchbaren Abmessung des Halters gewonnen v/erden können, wenn die Füße so befestigt und angelötet werden, daß die Zone, bei der Metall entfernt wurde, der Höhlung der Biegung zugekehrt ist. Das begründet einen Vorteil, der in den sehr weit fortgeschrittenen Anwendungen der L-S-I- Technik äußerst wichtig sein kann.
Dieselben Ergebnisse wie die oben beschriebenen können auch durch Übernahme anderer Verfahren, z.U. durch Anwemluu.; lios mechanischen Schneidens oder Stanzens als erste Phauo mil ein nachfolgendes Verfahren des Pressons odor des ohomisohnn Angriffs auf die Enden 16, erhalten werden.
Andere chemische Bearbeitungsverfahren zur Herstellung eines Gestells mit verbindenden Füßen können angewandt werden ξ in
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diesen anderen Verfahren wird eine Platte leitenden Metalls als Ausgangsmaterial und ein Paar fotografischer Masken der beschriebenen Art verwendet.
Zwei Verfahren, die nun in ihren aufeinanderfolgenden Phasen genau beschrieben werden, verbinden die chemische Bearbeitung mit einem elektrolytischen Niederschlag auf der Grundplatte mit einer Schicht leitenden Metalls, das verschieden von dem der Platte ist. Diese Niederschlagschicht wird eine Stärke gleich der der abgedünnten Zonen des Gestells von Füßen besitzen, insofern als die nachfolgenden Schritte chemischen Angriffs die Herstellung eines Gestells ergeben, in dem die abgedünnten Teile eines jeden Fußes allein aus der elektrolytischen Belagsschicht bestehen. Das Belagsmetall muß so ausgewählt werden, daß es die gleichen Vorteile wie die Phosphorbronze der Grundplatte im Hinblick auf Lötbarkeit und das Abbiegen der Füße bietet. Das Belagsmetall muß auch gegen die chemischen Reagenzien widerstandsfähig sein, die für die Einwirkung auf die Grundplatte verwendet werden, um zweifaches aufeinanderfolgendes Ätzen durch verschiedene chemische Bearbeitungen zu gestatten; d.h. wenn chemische Angriffe auf die zwei Arten metallischen Materials zu aufeinanderfolgenden Zeiten durchgeführt werden, muß jedes Material gegen das Reagens, das das andere Material angreift, widerstandsfähig sein; z.B. ist es mit einer Platte aus Phospborbronze möglich, Nickel als leitendes Belagsmetall zu verwenden.
In einem Verfahren gemäß der Erfindung wird als eine erste Phase der elektrolytische Niederschlag eines Belags leitenden Metalls auf einer Oberfläche der Grundplatte besorgt, wobei der Niederschlag in der Form der ersten fotografischen Maske (Fig. 5n) erhalten wird, die die geometrische Form des Gestells bestimmt. Die Maske nach Fig. 5a wird auf einer Seitenfläche der Platte aufgesetzt, so daß das sich vollziehende elektrolytische Niederschlagen nur auf einem Gebiet der Platte hervorgerufen wird, das durch die lichtdurchlässige Zone der Maske abgegrenzt wird.
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In der folgenden Phase wird das Ätzen durch ehemischen Angriff der Grundplatte unter Führung der zweiten fotografischen Maske (Fig. 5b) durchgeführt, die auf die andere Seitenfläche der Grundplatte gelegt wird und die die geometrische Form des Gestells ausgenommen der Gebiete der Füße abgrenzt, die abgedünnt werden sollen} der Angriff darf durch die ganze Stärke der Grundplatte hindurchgehen und hört nur auf, wenn der elektrolytische Niederschlag erreicht ist. Die Enden der Füße sind deshalb dünn, da sie allein aus dem elektrolytischen Niederschlag bestehen, während die anderen Teile der Füße aus dem elektrolytiseben Niederschlag plus der Grundplatte bestehen.
In einen anderen Verfahren gemäß der Erfindung besteht die erste Phase in dem elektrolytisehen Niederschlag einer Schicht leitenden Metalls auf einer ganzen Seitenfläche der Grundplatte. Danach werden die zwei fotografischen Masken (Fig. 5a und 5b) auf die Platte aufgelegt, wobei die erste Maske (Fig. 5a) auf die Fläche der Grundplatte aufgesetzt wird, auf der der Niederschlag erfolgen soll, und die zweite Maske auf die freie Seite der Platte. Dann wird das Atzen durch einen chemischen Angriff durchgeführt, der für die Grundschicht und für die Niederschlagsschicht unterschiedlich ist, oder genauer ausgedrückt: Die Grundplatte wird in ihrer ganzen Stärke unter Benutzung der zweiten Maske durchgeätzt, um so die vollständige Gestalt des Gestells zu erhalten, in dem die Beine 18 der Füße durch zwei Metallschichten gebildet werden, während die Enden 16 der Füße allein durch die Schicht elektrolytisehen Metalls gebildet werden.
Es ist offensichtlich möglich, die einzelnen Verfahrenskombinationen elektrolytisehen Niederschlages und fotolithografischen Ätzens zu modifizieren. Das Erhalten eines Gestells von Füßen mit einem Abdünnen der für die Befestigung auf die Grundplatte eines Schaltkreishalters vorgesehenen Zonen ist das Wesen der Erfindung, und deshalb kann die angewandte besondere Technik von den hier
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vorgeschlagenen verschieden sein, ohne den liereich der Erfindung zu verlassen.
Patentansprüche;
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Claims (1)

  1. P atentansprüohe
    Anachliißleiter für integrierten Schal tkrois-Iiau stein mit einem Substratplättchen, einem durch dieses Plättchen getragenen leitenden Muster, einer Vielzahl von mit diesem Muster verbundenen Füßen und einer umgebende Einkapselung, die die Enden dieser Füße für die Befestigung an einem äußeren Schaltungsaufbau freiläßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Füße (3) einen ersten und einen zweiten Teil besitzen, wobei der erste Teil (16) beträchtlich dünner als der zweite Teil ist und dieser erste Teil an dem Muster befestigt wird.
    2. Anschlußleiter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der dünne Teil (i6) eine Stärke zwischen ;i5 und 55 Mikrometer besitzt und an den Muster durch direkte Löttechniken befestigt ist.
    3* Anschlußleiter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der dünne Teil (l6) der Füße (3) abgebogen und in der Kapsel (7) eingeschalt ist,
    4. Anschlußleiter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der dünne Teil (i6) gebildet wird, indem beide Seiten der Füße (3) mit einem Schutzbelag versehen werden mit Ausnahme ,jenes Teils auf einer Seite der Füße, der den dünnen Teil darstellen soll und in dem die Füße einem chemischen Angriff auegesetzt werden, üb Metallschichten von dem ungeschützten Teil zu entfernen.
    5. Anschlußletter nach einen der Ansprüche i bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der dünne Teil (16) erhalten wird, inden zuerst eine dünne Metallschicht auf eine ganze Seite detj Metalls der Füße (3) elektrolytisch niedergeschlagen wird und indem dann unr, Metall der Füße von jenem Teil des elektrolytisch niedergeschlagenen Metalls chemisch entfernt wird, der den dünnen Teil darstellen soll.
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    6. Verfahren zur Herstellung eines Schaltkreis-Bausteins nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die benutzten Schritte für die Beschaffung eines eine Vielzahl von Füßen enthaltenden Gestells die Aufsetzung von zwei fotografischen Hasken auf die zwei Seiten einer leitenden Metallplatte einschließen, indem diese Masken die Fora dieses Gestells zwecks Bestimmung der Umgrenzungslinien für einen nachfolgenden Fotograviirevor— gang wiedergeben, der mittels eines chemischen Angriffs durchgeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß eine dieser Masken (17» 20) derart ausgeführt ist, daß diese während des Fotogravürevorgangs für das Muster des Gestells auf der iictallplatte dem chemischen Angriff die Endzonen der Füüe (3) auf einer Seite der Füße ungeschützt überläßt, wodurch der chemische Angriffsvorgang auf dieser Seite eine Verminderung der Stärke dieser Zonen im Hinblick auf den verbleibenden Teil des Gestelle hervorruft.
    7. Verfahren zur Herstellung eines Schaltkreis-Bausteins nach einem der Ansprüche 1 bis 3» wobei die benutzten Schritte für die Beschaffung eines eine Vielzahl von Füßen enthaltenden Gestells von einer leitenden Metallplatte ausgehen, auf die auf die zwei Seiten eine erste und eine zweite fotografische Maske aufgesetzt wird, wobei diese Masken das Muster des Gestells wiedergeben, gekennzeichnet durch folgende Schritte:
    a) ein auf eine erste Seite dieser Platte wahlweises elektrolytisches Niederschlagen einer Schicht leitenden Metalls, das verschieden von dem der Platte und widerstandsfähig gegenüber chemischen Reagenzien ist, die für das Angreifen der Platte benutzt werden, wobei der elektrolytische Niederschlag durch die erste (17) der fotografischen Masken gelenkt wird, die die vollständige geometrische Form dieses Gestells bestimmt;
    b) wahl weises durch die ganze Stärke der Platte hindurchpellendes Atzen durch chemischen Angriff unter der Führung der /weiten fotografischen Maske (iio), die auf die zweite Seite dieser Platte gelegt wird, um die geoiactrische Form des Gestells
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    ausgenommen die Zonen entsprechend jenen Enden dieser Füße, die an einer auf ein Substratplättchen dieses Schaltkreisiiaustoins aufgebrachten Metallisierung befestigt werden sollen, v.-obei der chemische Angriff eine Abdünnung dieser Zonen im Hinblick auf den verbleibenden Teil des Gestells hervorruft.
    b. Verfahren zur Herstellung eines Schaltkreis-Bausteins nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die benutzten Schritte für die Beschaffung eines eine Vielzahl von Füßen enthaltenden Gestells von einer leitenden Metallplatte ausgehen, auf die auf die beiden Seiten eine erste und eine zweite fotografische Maske aufgesetzt wird, wobei diese Masken das Muster des Gestells wiedergeben, gekennzeichnet durch folgende Schritte:
    a) ein auf eine erste Seite dieser Platte elektrolytisches Kiederschlagen einer Schicht leitenden Metalls, das verschieden von dem der Platte und widerstandsfähig gegenüber chemischen Reagenzien is1.., die für das Angreifen der Platte benutzt werden, wobei der elektrolytische Niederschlag die ganze Fläche dieser ersten Seite der Platte überzieht;
    b) die Anwendung der zwei fotografischen Masken (17, 20) durch Aufsetzen der ersten Maske (17) auf die freie Seite der Platte und der zweiten Maske (20) auf die überzogene Seite der Platte;
    c) wahlweises durch die ganze Stärke der Platte hindurchgehendes Atzen der Platte durch chemischen Angriff unter Führung der zweiten fotografischen Maske (20), die die geometrische Form dieses Gestells ausgenommen die Zonen entsprechend jenen Enden dieser Püße, die an einer auf ein Substratplättchen dieses Schaltkreis-Bausteins aufgebrachten Metallisierung befestigt werden sollen.
    d) wahlweises durch die ganze Stärke der elektrolytischen Schicht hindurchgehendes Ätzen des elektrolytischen Überzuges durch chemischen Angriff unter Lenkung der ersten fotografischen liaske, die die vollständige geometrische Form dieses Gestells
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    bestimmt, wobei der chemische Angriff eine Abdünnung dieser Zonen im Hinblick auf den verbleibenden Teil des Gestells hervorruft.
    Rd/Di - 22 893
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