KR101275187B1

KR101275187B1 - 패널 검사 장치 및 그 방법

Info

Publication number: KR101275187B1
Application number: KR1020110076155A
Authority: KR
Inventors: 마정식; 김현곤; 이효형; 정대화; 공성배; 김두현
Original assignee: 엘지전자 주식회사
Priority date: 2011-07-29
Filing date: 2011-07-29
Publication date: 2013-06-17
Also published as: KR20130014191A

Abstract

본 명세서는 패널 등과 같은 대상체의 표면 결함과 그 결함의 위치를 정확하게 검사할 수 있는 패널 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 본 명세서의 실시예들에 따른 패널 검사 장치는, 패널의 표면에 광을 조사하는 광 발생부와; 상기 패널의 표면에 대해 서로 다른 시야각을 가지며, 상기 패널의 표면을 촬영하는 다수의 카메라와; 상기 다수의 카메라에 의해 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하는 처리부와; 상기 3차원 영상을 표시하는 표시부를 포함하며, 상기 처리부는 상기 3 차원 영상의 회전축을 기준으로 상기 3 차원 영상을 회전시킬 수 있다.

Description

패널 검사 장치 및 그 방법{PANEL TESTING APPARATUS AND METHOD THEREOF}

본 발명은 패널 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 패널 검사는 검사자가 평판 디스플레이 패널과 같은 패널의 표면을 직접 육안 검사를 통해 상기 표면의 얼룩 등을 검사하였다. 종래 기술에 따른 디스플레이 패널 검사 방법 및 그 장치는 한국 특허 출원번호 10-2008-0041648에 개시되어 있다.

본 명세서는 패널 등과 같은 대상체의 표면 결함과 그 결함의 위치를 정확하게 검사할 수 있는 패널 검사 장치 및 그 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 명세서의 실시예들에 따른 패널 검사 장치는, 패널의 표면에 광을 조사하는 광 발생부와; 상기 패널의 표면에 대해 서로 다른 시야각을 가지며, 상기 패널의 표면을 촬영하는 다수의 카메라와; 상기 다수의 카메라에 의해 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하는 처리부와; 상기 3차원 영상을 표시하는 표시부를 포함하며, 상기 처리부는 상기 3 차원 영상의 회전축을 기준으로 상기 3 차원 영상을 회전시킬 수 있다.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 처리부는 상기 3 차원 영상을 미리설정된 각도만큼씩 회전시키면서 상기 표시부에 표시할 수 있다.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 패널은 평판 디스플레이, 액정 패널, 유리 패널 중 어느 하나일 수 있다.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 패널의 후면에 탈부착되는 회전체와; 상기 회전체에 부착된 상기 패널을 미리설정된 각도만큼씩 회전시키는 회전부를 더 포함할 수 있다.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 처리부는 상기 패널이 상기 미리설정된 각도만큼씩 회전될 때마다 상기 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라들을 통해 상기 표면의 분할된 영역들을 순차적으로 촬영할 수 있다.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 처리부는 상기 분할된 영역들의 영상들을 병합함으로써 다수의 시야각에서 촬영된 상기 패널의 표면에 대응하는 영상들을 생성하고, 상기 생성된 영상들을 합성함으로써 상기 3차원 영상을 생성할 수 있다.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 처리부는 상기 패널의 표면이 분할된 영역들에 대응하는 방향으로 상기 다수의 카메라를 순차적으로 이동시켜 상기 분할된 영역들을 촬영하도록 상기 다수의 카메라의 이동을 제어하는 구동부를 더 포함할 수 있다.

본 발명과 관련된 일 예로서, 통신부와; 상기 3차원 영상의 회전을 상기 기준 축을 기준으로 제어하는 제어부를 더 포함하며, 상기 처리부는 상기 통신부를 통해 상기 제어부에 상기 3차원 영상을 전송할 수 있다.

본 발명과 관련된 일 예로서, 상기 제어부는 상기 다수개의 분할 영역을 순차적으로 촬영하기 위해 상기 미리설정된 각도만큼씩 상기 회전체를 회전시키기 위한 제어 신호를 발생하고, 상기 발생한 제어 신호를 상기 통신부를 통해 상기 회전부에 전송할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 명세서의 실시예들에 따른 패널 검사 방법은, 패널의 표면에 광을 조사하는 단계와; 상기 패널의 표면에 대해 서로 다른 시야각을 갖지는 다수의 카메라를 통해 상기 패널의 표면을 촬영하는 단계와; 상기 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하는 단계와; 상기 3차원 영상을 표시부에 표시하는 단계와; 상기 3 차원 영상의 회전축을 기준으로 상기 3 차원 영상을 회전시키는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 대상체를 서로 다른 시야각을 갖는 카메라를 통해 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 기준 축을 기준으로 회전시켜 표시부에 표시함으로써, 사용자(검사자)는 상기 대상체의 표면 결함과 그 결함의 위치를 정확하게 검사할 수 있는 효과가 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 대상체가 회전될 때마다 서로 다른 시야각을 갖는 카메라들을 통해 대상체의 표면의 분할된 영역들을 순차적으로 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 표시함으로써, 상기 대상체의 표면의 선명도를 높일 수 있고, 상기 대상체의 표면의 선명도를 높임으로써 상기 대상체의 표면에 존재하는 얼룩, 스크래치 등과 같은 결함 및 그 결함의 위치를 정확하게 사용자(검사자)가 검사할 수 있는 효과도 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 대상체가 회전될 때마다 서로 다른 시야각을 갖는 카메라들을 통해 대상체의 표면의 분할된 영역들을 순차적으로 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 통신망을 통해 상기 표시부에 표시함으로써, 상기 대상체로부터 멀리 떨어져 있는 장소에서도 상기 대상체의 표면에 존재하는 얼룩, 스크래치 등과 같은 결함 및 그 결함의 위치를 정확하게 사용자(검사자)가 검사할 수 있는 효과도 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널 검사 장치의 구성을 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따라 표시부에 표시된 3차원 영상을 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널 검사 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 장치의 구성을 나타낸 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 장치의 구성을 나타낸 구성도이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 방법을 나타낸 흐름도이다.

본 명세서에서 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아님을 유의해야 한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 기술적 용어는 본 명세서에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미로 해석되어야 하며, 과도하게 포괄적인 의미로 해석되거나, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 기술적인 용어가 본 발명의 사상을 정확하게 표현하지 못하는 잘못된 기술적 용어일 때에는, 당업자가 올바르게 이해할 수 있는 기술적 용어로 대체되어 이해되어야 할 것이다. 또한, 본 발명에서 사용되는 일반적인 용어는 사전에 정의되어 있는 바에 따라, 또는 전후 문맥상에 따라 해석되어야 하며, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다.

또한, 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.

또한, 본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 발명의 사상을 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 발명의 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널 검사 장치의 구성을 나타낸 구성도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널 검사 장치는, 하나의 대상체(또는 패널)(예를 들면, 평판 디스플레이 또는 액정 패널, 유리 패널 등)에 대해 서로 다른 시야각(angle of field)을 갖고, 상기 대상체의 표면 결함을 검사하기 위해 상기 대상체의 표면을 촬영하는 다수의 카메라(10-12)와; 상기 다수의 카메라(10-12)에 의해 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하는 처리부(또는 영상 처리부)(20)와; 상기 3차원 영상을 표시하는 표시부(30)를 포함하며, 상기 영상 처리부(20)는 상기 3 차원 영상의 기준 축(회전축)을 기준으로 상기 3 차원 영상을 회전시켜 상기 표시부(30)에 표시한다.

본 발명의 제1 실시예에 따른 패널 검사 장치는, 상기 대상체(예를 들면, 평판 디스플레이 또는 액정 패널, 유리 패널 등)에 인접하게 설치되고, 상기 대상체에 광(빛)을 조사하는 광 발생부(예를 들면, 램프, 발광 다이오드(Light Emitting Diode, LED), 레이저 다이오드 등)(110)를 더 포함할 수 있다.

상기 다수의 카메라(10-12)는 다양한 시야각에 의한 대상체의 표면을 촬영한다. 예를 들면, 상기 다수의 카메라(10-12)는 평면 디스플레이 패널(대상체)의 표면의 수직축(θ2)(평판 디스플레이 패널의 정면)을 기준으로 설치되어 상기 평면 디스플레이의 표면을 촬영하는 제1 카메라(11)와; 상기 제1 카메라(11)의 좌우 양측에 설치되어 각각 미리설정된 시야각(θ1, θ3)을 가지는 제2 카메라(10) 및 제3 카메라(12)로 구성될 수 있으며, 상기 제2 및 제3 카메라(10, 12)뿐만 아니라 서로 다른 미리설정된 시야각을 가진 다수의 카메라가 상기 평면 디스플레이(촬영 대상체)의 표면을 촬영하기 위해 상기 제1 카메라(11)의 좌우 양측에 설치될 수도 있다. 상기 다수의 카메라는 상기 대상체에 대해 20도 내지 170도 사이의 시야각을 가질 수 있다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 다수의 카메라(10-12)에 의해 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성한다. 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는 상기 대상체를 좌측에서 θ1의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 대상체를 정면에서 θ2의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 대상체를 우측에서 θ3의 시야각을 가지고 촬영된 영상을 모두 합성함으로써 하나의 3차원 영상을 생성한다. 상기 영상 처리부(20)는 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)으로 설정하고, 그 설정된 회전축을 기준으로 상기 3차원 영상을 회전시킨다.

상기 영상 처리부(20)는, 마우스, 키보드, 조그셔틀 등과 같은 사용자 조작 장치를 통해 발생한 사용자 입력 신호에 따라 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)을 기준으로 상기 3차원 영상을 회전시키거나, 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)을 기준으로 상기 3차원 영상을 미리설정된 각도(예를 들면, 5도 내지 10도) 만큼씩 자동으로 회전시키면서 상기 표시부(30)에 표시할 수도 있다. 상기 미리설정된 각도는, 설계자에 의해 다양하게 변경될 수 있으며, 상기 미리설정된 다수의 시야각에 대응할 수도 있다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따라 표시부에 표시된 3차원 영상을 나타낸 개략도이다.

도 2에 도시한 바와 같이, 상기 영상 처리부(20)는, 상기 3차원 영상(예를 들면, 평판 디스플레이 패널의 표면)(100A)의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)을 기준으로 상기 3차원 영상(100A)을 회전시키면서 상기 표시부(30)에 표시한다. 즉, 상기 3차원 영상을 상기 다양한 시야각에 따라 회전시킴으로써 다양한 시야각에서 촬영된 영상을 사용자가 확인할 수 있다.

이하에서는, 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널 검사 방법을 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널 검사 방법을 나타낸 흐름도이다.

먼저, 상기 다수의 카메라(10-12)는 사용자의 요청 또는 상기 영상 처리부(20)의 제어 신호에 따라 다수의 시야각에서 하나의 대상체의 표면을 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 상기 영상 처리부(20)에 출력한다(S11).

상기 영상 처리부(20)는 상기 대상체에 대해 다수의 시야각에서 촬영된 영상들을 상기 다수의 카메라(10-12)로부터 수신한다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 수신된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 상기 표시부(30)에 출력한다(S12). 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는 상기 대상체를 좌측에서 θ1의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 대상체를 정면에서 θ2의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 대상체를 우측에서 θ3의 시야각을 가지고 촬영된 영상을 모두 합성함으로써 하나의 3차원 영상을 생성한다.

상기 표시부(30)는 상기 3차원 영상을 화면 상에 표시한다. 이때, 상기 영상 처리부(20)는 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)으로 설정하고, 그 설정된 회전축을 기준으로 상기 3차원 영상을 회전시키면서 상기 표시부(30)에 표시한다(S13).

따라서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 대상체를 다수의(다양한) 시야각을 갖는 카메라를 통해 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 기준 축을 기준으로 회전시켜 표시부에 표시함으로써, 사용자는 상기 대상체의 표면 결함과 그 결함의 위치를 정확하게 검사할 수 있다. 예를 들면, 사용자는 평판 디스플레이 패널의 표면에 존재하는 얼룩, 스크래치 등과 같은 결함 및 그 결함의 위치를 정확하게 검사할 수 있다.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 장치의 구성을 나타낸 구성도이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 장치는, 대상체(또는 패널)(예를 들면, 평판 디스플레이 패널 또는 액정 패널, 유리 패널 등)(100)의 후면에 탈부착되는 회전체(50)와; 상기 회전체(50)를 미리설정된 각도(예를 들면, 90도)만큼씩 회전시키는 회전부(40)와; 상기 대상체(100)의 표면의 중심을 기준으로 상기 미리설정된 각도에 따라 상기 대상체의 표면을 다수개의 영역(예를 들면, 미리설정된 각도가 90도이면 4개의 영역)으로 분할하고, 상기 분할된 다수의 영역 중 특정 영역에 대해 서로 다른 시야각을 갖고, 상기 미리설정된 각도만큼씩 상기 회전체가 회전할 때마다 상기 대상체의 특정 영역을 촬영하는 다수의 카메라(10-12)와; 상기 다수의 카메라(10-12)에 의해 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하는 처리부(예를 들면, 영상 처리부)(20)와; 상기 3차원 영상을 표시하는 표시부(30)를 포함한다. 상기 영상 처리부(20)는 상기 다수개의 분할 영역을 순차적으로 촬영하기 위해 상기 미리설정된 각도만큼씩 상기 회전체(50)를 회전시키기 위한 제어 신호를 발생하고, 상기 발생한 제어 신호를 상기 회전부(40)에 출력한다.

본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 상기 대상체(100)의 표면의 선명도를 높일 수 있고, 상기 대상체의 표면의 선명도를 높음으로 평판 디스플레이 패널의 표면에 존재하는 얼룩, 스크래치 등과 같은 결함 및 그 결함의 위치를 정확하게 사용자가 검사할 수 있도록, 상기 대상체(100)의 표면을 다수의 영역으로 분할하고, 그 분할된 다수의 영역들을 순차적으로 촬영한다.

본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 장치는, 상기 대상체(예를 들면, 평판 디스플레이 또는 액정 패널, 유리 패널 등)에 인접하게 설치되고, 상기 대상체에 광(빛)을 조사하는 광 발생부(예를 들면, 램프, 발광 다이오드(Light Emitting Diode, LED), 레이저 다이오드 등)(110)를 더 포함할 수 있다.

상기 다수의 카메라(10-12)는 다양한 시야각에 의한 대상체의 표면 영상을 촬영한다. 예를 들면, 상기 다수의 카메라(10-12)는 평면 디스플레이 패널(대상체)의 표면의 특정 영역의 수직축(θ2)(평판 디스플레이 패널의 정면)을 기준으로 설치되어 상기 평면 디스플레이의 표면의 특정 영역(예를 들면, 제1 영역)을 촬영하는 제1 카메라(11)와; 상기 제1 카메라(11)의 좌우 양측에 설치되어 각각 미리설정된 시야각(θ1, θ3)을 가지는 제2 카메라(10) 및 제3 카메라(12)로 구성될 수 있으며, 상기 제2 및 제3 카메라(10, 12)뿐만 아니라 서로 다른 미리설정된 시야각을 가진 다수의 카메라가 상기 평면 디스플레이(촬영 대상체)의 표면의 특정 영역(예를 들면, 제1 영역)을 촬영하기 위해 상기 제1 카메라(11)의 좌우 양측에 설치될 수도 있다. 상기 다수의 카메라는 상기 대상체의 특정 영역(예를 들면, 제1 영역)에 대해 20도 내지 170도 사이의 시야각을 가질 수 있다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 3 차원 영상의 기준 축(회전축)을 기준으로 상기 3 차원 영상을 회전하여 상기 표시부(30)에 표시할 수도 있다.

상기 회전부(40)는 스탭핑 모터(Stepping motor)일 수 있다. 예를 들면, 상기 스탭핑 모터의 회전축이 상기 회전체(50)에 연결되며, 상기 스탭핑 모터는 상기 영상 처리부(20)의 제어 신호에 따라 상기 회전체(50)에 장착된 상기 대상체(100)를 상기 미리설정된 회전 각도만큼씩 회전시킨다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 대상체를 90도씩 회전시켜 상기 분할된 영역들을 상기 다수의 카메라(10-12)를 통해 순차적으로 모두 촬영한다. 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는, 상기 대상체(100)의 표면이 4개의 영역으로 분할되었다고 가정할 때, 상기 4개의 영역 중 제1 영역에 대해 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라(10-12)를 통해 상기 제1 영역을 촬영한 후, 상기 대상체(100)를 90도 회전시킴으로써 상기 제1 영역의 위치에 상기 제2 영역이 위치하면 상기 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라(10-12)를 통해 상기 제2 영역을 촬영한다. 또한, 상기 영상 처리부(20)는, 상기 제2 영역을 촬영한 후 상기 대상체(100)를 90도 더 회전시킴으로써 상기 제2 영역의 위치에 상기 제3 영역이 위치하면 상기 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라(10-12)를 통해 상기 제3 영역을 촬영하고, 상기 대상체(100)를 90도 더 회전시킴으로써 상기 제3 영역의 위치에 상기 제4 영역이 위치하면 상기 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라(10-12)를 통해 상기 제4 영역을 촬영한다. 즉, 상기 다수의 카메라(10-12)는 상기 분할된 영영들 중에서 특정 영역(예를 들면, 제1 영역)을 촬영하도록 고정되게 설치되지만, 상기 대상체(100)를 상기 미리설정된 각도만큼씩 회전시킴으로써 상기 분할된 모든 영역들을 촬영할 수 있다.

반면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 장치는, 상기 다수의 카메라(10-12)(다수의 카메라의 촬영 방향)를 상기 분할된 영역들 중 제1 영역에 대응하는 방향으로 이동시켜 상기 제1 영역을 촬영하고, 상기 다수의 카메라(10-12)(다수의 카메라의 촬영 방향)를 상기 분할된 영역들 중 제2 영역에 대응하는 방향으로 이동시켜 상기 제2 영역을 촬영하고, 상기 다수의 카메라(10-12)(다수의 카메라의 촬영 방향)를 상기 분할된 영역들 중 제3 영역에 대응하는 방향으로 이동시켜 상기 제3 영역을 촬영하고, 상기 다수의 카메라(10-12)(다수의 카메라의 촬영 방향)를 상기 분할된 영역들 중 제4 영역에 대응하는 방향으로 이동시켜 상기 제4 영역을 촬영하도록 상기 다수의 카메라를 제어하는 구동부(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 분할된 영역들을 촬영한 영상들을 상기 다수의 카메라(10-12)로부터 수신하고, 그 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 표면 영상들을 생성한다. 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는, 상기 제1 카메라(10)로부터 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 제1 표면 영상을 생성하고, 상기 제2 카메라(11)로부터 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 제2 표면 영상을 생성하고, 상기 제3 카메라(12)로부터 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 제3 표면 영상을 생성한다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 표면 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 상기 표시부(30)에 출력한다. 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는 상기 제1 내지 제3 표면 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성한다. 즉, 상기 영상 처리부(20)는 상기 θ1의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 θ2의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 θ3의 시야각을 가지고 촬영된 영상을 모두 합성함으로써 하나의 3차원 영상을 생성한다. 상기 영상 처리부(20)는 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)으로 설정하고, 그 설정된 회전축을 기준으로 상기 3차원 영상을 회전시킬 수도 있다.

상기 영상 처리부(20)는, 마우스, 키보드, 조그셔틀 등과 같은 사용자 조작 장치를 통해 발생한 신호에 따라 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)을 기준으로 상기 3차원 영상을 회전시키거나, 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)을 기준으로 상기 3차원 영상을 미리설정된 각도(예를 들면, 5도 내지 10도) 만큼씩 자동으로 회전시키면서 상기 표시부(30)에 표시할 수도 있다. 상기 미리설정된 각도는, 설계자에 의해 다양하게 변경될 수 있으며, 상기 미리설정된 다수의 시야각에 대응할 수도 있다.

이하에서는, 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 방법을 도 4 내지 도 5를 참조하여 설명한다.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 방법을 나타낸 흐름도이다.

먼저, 상기 회전부(40)는 상기 영상 처리부(20)의 제어 신호에 따라 상기 대상체(100)를 상기 미리설정된 각도(예를 들면, 90도)씩 회전시킨다(S21).

상기 대상체(100)의 표면이 상기 표면의 중심을 기준으로 상기 미리설정된 각도에 따라 다수의 영역들(예를 들면, 4개의 영역)로 분할되었다고 가정할 때, 상기 다수의 카메라(10-12)는 사용자의 요청 또는 상기 영상 처리부(20)의 제어 신호에 따라 상기 미리설정된 각도(예를 들면, 90도)씩 상기 대상체(100)가 회전될 때마다 서로 다른 시야각에서 상기 다수의 영역들을 순차적으로 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 상기 영상 처리부(20)에 출력한다(S22).

상기 영상 처리부(20)는 상기 분할된 영역들을 촬영한 영상들을 상기 다수의 카메라(10-12)로부터 수신하고, 그 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 표면 영상들을 생성한다(S23). 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는, 상기 제1 카메라(10)로부터 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 제1 표면 영상을 생성하고, 상기 제2 카메라(11)로부터 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 제2 표면 영상을 생성하고, 상기 제3 카메라(12)로부터 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 제3 표면 영상을 생성한다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 표면 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 상기 표시부(30)에 출력한다(S24). 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는 상기 제1 내지 제3 표면 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성한다. 즉, 상기 영상 처리부(20)는 상기 θ1의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 θ2의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 θ3의 시야각을 가지고 촬영된 영상을 모두 합성함으로써 하나의 3차원 영상을 생성한다. 상기 영상 처리부(20)는 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)으로 설정하고, 그 설정된 회전축을 기준으로 상기 3차원 영상을 회전시킬 수도 있다.

상기 표시부(30)는 상기 3차원 영상을 화면 상에 표시한다(S25). 이때, 상기 영상 처리부(20)는 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)으로 설정하고, 그 설정된 회전축을 기준으로 상기 3차원 영상을 회전시키면서 상기 표시부(30)에 표시할 수도 있다.

따라서, 본 발명의 제2 실시예에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 대상체가 회전될 때마다 서로 다른 시야각을 갖는 카메라들을 통해 대상체의 표면의 분할된 영역들을 순차적으로 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 표시함으로써, 상기 대상체의 표면의 선명도를 높일 수 있고, 상기 대상체의 표면의 선명도를 높임으로써 상기 대상체의 표면에 존재하는 얼룩, 스크래치 등과 같은 결함 및 그 결함의 위치를 정확하게 사용자가 검사할 수 있다.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 장치의 구성을 나타낸 구성도이다.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 장치는, 대상체(또는 패널)(예를 들면, 평판 디스플레이 패널 또는 액정 패널, 유리 패널 등)(100)에 탈부착되는 회전체(50)와; 상기 회전체(50)를 미리설정된 각도(예를 들면, 90도)만큼씩 회전시키는 회전부(40)와; 상기 대상체(100)의 표면의 중심을 기준으로 상기 미리설정된 각도에 따라 상기 대상체의 표면을 다수개의 영역(예를 들면, 미리설정된 각도가 90도이면 4개의 영역)으로 분할하고, 상기 분할된 다수의 영역 중 특정 영역에 대해 서로 다른 시야각을 갖고, 상기 미리설정된 각도만큼씩 상기 회전체가 회전할 때마다 상기 대상체의 특정 영역을 촬영하는 다수의 카메라(10-12)와; 상기 다수의 카메라(10-12)에 의해 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하는 처리부(예를 들면, 영상 처리부)(20)와;

상기 3차원 영상을 무선 통신망 또는 유선 통신망을 통해 전송하는 통신부(60)와;

사용자의 요구에 따라 상기 전송된 3차원 영상의 기준 축(회전축)을 기준으로 상기 3 차원 영상을 회전시켜 상기 표시부(30)에 표시하는 제어부(70)를 포함한다. 상기 영상 처리부(20)는 상기 다수개의 분할 영역을 순차적으로 촬영하기 위해 상기 미리설정된 각도만큼씩 상기 회전체(50)를 회전시키기 위한 제어 신호를 발생하고, 상기 발생한 제어 신호를 상기 회전부(40)에 출력한다. 상기 제어 신호는 상기 사용자에 요구에 따라 상기 제어부(70)에서 발생할 수도 있으며, 상기 제어부(70)는 상기 발생한 제어 신호를 상기 회전부(40)에 출력할 수도 있다.

본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 상기 대상체(100)의 표면의 선명도를 높일 수 있고, 상기 대상체의 표면의 선명도를 높음으로 평판 디스플레이 패널의 표면에 존재하는 얼룩, 스크래치 등과 같은 결함 및 그 결함의 위치를 정확하게 사용자가 검사할 수 있도록, 상기 대상체(100)의 표면을 다수의 영역으로 분할하고, 그 분할된 다수의 영역들을 순차적으로 촬영한다. 또한, 본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은 원거리에서 사용자가 상기 대상체(또는 패널)(예를 들면, 평판 디스플레이 패널 또는 액정 패널, 유리 패널 등)(100)의 표면을 검사할 수 있도록 상기 통신부(60)를 통해 상기 3차원 영상을 상기 표시부(30)에 표시한다.

본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 장치는, 상기 대상체(예를 들면, 평판 디스플레이 또는 액정 패널, 유리 패널 등)에 인접하게 설치되고, 상기 대상체에 광(빛)을 조사하는 광 발생부(예를 들면, 램프, 발광 다이오드(Light Emitting Diode, LED), 레이저 다이오드 등)(110)를 더 포함할 수 있다.

상기 회전부(40)는, 스탭핑 모터(Stepping motor)일 수 있으며, 상기 영상 처리부(20)의 제어 신호에 따라 상기 대상체를 상기 미리설정된 회전 각도만큼씩 회전시킨다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 대상체(100)를 90도씩 회전시켜 상기 분할된 영역들을 상기 다수의 카메라(10-12)를 통해 순차적으로 모두 촬영한다. 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는, 상기 대상체(100)의 표면이 4개의 영역으로 분할되었다고 가정할 때, 상기 4개의 영역 중 제1 영역에 대해 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라(10-12)를 통해 상기 제1 영역을 촬영한 후, 상기 대상체(100)를 90도 회전시킴으로써 상기 제1 영역의 위치에 상기 제2 영역이 위치하면 상기 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라(10-12)를 통해 상기 제2 영역을 촬영한다. 또한, 상기 영상 처리부(20)는, 상기 제2 영역을 촬영한 후 상기 대상체(100)를 90도 더 회전시킴으로써 상기 제2 영역의 위치에 상기 제3 영역이 위치하면 상기 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라(10-12)를 통해 상기 제3 영역을 촬영하고, 상기 대상체(100)를 90도 더 회전시킴으로써 상기 제3 영역의 위치에 상기 제4 영역이 위치하면 상기 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라(10-12)를 통해 상기 제4 영역을 촬영한다. 즉, 상기 다수의 카메라(10-12)는 상기 분할된 영영들 중에서 특정 영역(예를 들면, 제1 영역)을 촬영하도록 고정되게 설치되지만, 상기 대상체(100)를 상기 미리설정된 각도만큼씩 회전시킴으로써 상기 분할된 모든 영역들을 촬영할 수 있다.

반면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 장치는, 상기 다수의 카메라(10-12)(다수의 카메라의 촬영 방향)를 상기 분할된 영역들 중 제1 영역에 대응하는 방향으로 이동시켜 상기 제1 영역을 촬영하고, 상기 다수의 카메라(10-12)(다수의 카메라의 촬영 방향)를 상기 분할된 영역들 중 제2 영역에 대응하는 방향으로 이동시켜 상기 제2 영역을 촬영하고, 상기 다수의 카메라(10-12)(다수의 카메라의 촬영 방향)를 상기 분할된 영역들 중 제3 영역에 대응하는 방향으로 이동시켜 상기 제3 영역을 촬영하고, 상기 다수의 카메라(10-12)(다수의 카메라의 촬영 방향)를 상기 분할된 영역들 중 제4 영역에 대응하는 방향으로 이동시켜 상기 제4 영역을 촬영하도록 상기 다수의 카메라를 제어하는 구동부(도시하지 않음)를 더 포함할 수 있다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 표면 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 상기 표시부(30)에 출력한다. 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는 상기 제1 내지 제3 표면 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성한다. 즉, 상기 영상 처리부(20)는 상기 θ1의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 θ2의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 θ3의 시야각을 가지고 촬영된 영상을 모두 합성함으로써 하나의 3차원 영상을 생성한다.

이하에서는, 본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 방법을 도 6 내지 도 7을 참조하여 설명한다.

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 방법을 나타낸 흐름도이다.

먼저, 상기 회전부(40)는 상기 영상 처리부(20)의 제어 신호에 따라 상기 대상체(100)를 상기 미리설정된 각도(예를 들면, 90도)씩 회전시킨다(S31).

상기 대상체(100)의 표면이 상기 표면의 중심을 기준으로 상기 미리설정된 각도에 따라 다수의 영역들(예를 들면, 4개의 영역)로 분할되었다고 가정할 때, 상기 다수의 카메라(10-12)는 사용자의 요청 또는 상기 영상 처리부(20)의 제어 신호에 따라 상기 미리설정된 각도(예를 들면, 90도)씩 상기 대상체(100)가 회전될 때마다 서로 다른 시야각에서 상기 다수의 영역들을 순차적으로 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 상기 영상 처리부(20)에 출력한다(S32).

상기 영상 처리부(20)는 상기 분할된 영역들을 촬영한 영상들을 상기 다수의 카메라(10-12)로부터 수신하고, 그 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 표면 영상들을 생성한다(S33). 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는, 상기 제1 카메라(10)로부터 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 제1 표면 영상을 생성하고, 상기 제2 카메라(11)로부터 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 제2 표면 영상을 생성하고, 상기 제3 카메라(12)로부터 수신한 분할된 영상들을 병합함으로써 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 제3 표면 영상을 생성한다.

상기 영상 처리부(20)는 상기 대상체(100)의 전체 표면에 대한 표면 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 상기 통신부(60)에 출력한다(S34). 예를 들면, 상기 영상 처리부(20)는 상기 제1 내지 제3 표면 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성한다. 즉, 상기 영상 처리부(20)는 상기 θ1의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 θ2의 시야각을 가지고 촬영된 영상과, 상기 θ3의 시야각을 가지고 촬영된 영상을 모두 합성함으로써 하나의 3차원 영상을 생성한다.

상기 통신부(60)는 상기 3차원 영상을 상기 제어부(70)에 전송한다(S35). 예를 들면, 상기 통신부(60)는, 유선을 통해 상기 3차원 영상을 상기 제어부(70)에 전송하거나, WLAN(Wireless LAN), 와이 파이(Wi-Fi), 와이브로(Wireless Broadband : Wibro), 와이맥스(World Interoperability for Microwave Access : Wimax), HSDPA(High Speed Downlink Packet Access) 등과 같은 원거리 통신망을 통해 사기 3차원 영상을 상기 제어부(70)에 전송할 수 있다. 또한, 상기 통신부(60)는 블루투스(Bluetooth), RFID(Radio Frequency Identification), 적외선 통신(IrDA, infrared Data Association), UWB(Ultra Wideband), ZigBee 등과 같은 근거리 통신망을 통해 상기 3차원 영상을 상기 제어부(70)에 전송할 수도 있다.

상기 제어부(70)는 마우스, 키보드, 조그셔틀 등과 같은 사용자 조작 장치를 통해 발생한 신호에 따라 상기 3차원 영상의 X축, Y축, Z축 중에서 어느 하나의 축(예를 들면, Z축)을 회전축(기준 축)을 기준으로 상기 3차원 영상을 회전시켜 상기 표시부(30)에 표시한다(S36). 상기 제어부(70)는 상기 다수개의 분할 영역을 순차적으로 촬영하기 위해 상기 미리설정된 각도만큼씩 상기 회전체(50)를 회전시키기 위한 제어 신호를 발생하고, 상기 발생한 제어 신호를 상기 통신부(60)를 통해 상기 회전부(40)에 전송할 수도 있다.

따라서, 본 발명의 제3 실시예에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 대상체가 회전될 때마다 서로 다른 시야각을 갖는 카메라들을 통해 대상체의 표면의 분할된 영역들을 순차적으로 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 통신망을 통해 상기 표시부에 표시함으로써, 상기 대상체로부터 멀리 떨어져 있는 장소에서도 상기 대상체의 표면에 존재하는 얼룩, 스크래치 등과 같은 결함 및 그 결함의 위치를 정확하게 사용자가 검사할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 대상체를 서로 다른 시야각을 갖는 카메라를 통해 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 기준 축을 기준으로 회전시켜 표시부에 표시함으로써, 사용자(검사자)는 상기 대상체의 표면 결함과 그 결함의 위치를 정확하게 검사할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 대상체가 회전될 때마다 서로 다른 시야각을 갖는 카메라들을 통해 대상체의 표면의 분할된 영역들을 순차적으로 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 표시함으로써, 상기 대상체의 표면의 선명도를 높일 수 있고, 상기 대상체의 표면의 선명도를 높임으로써 상기 대상체의 표면에 존재하는 얼룩, 스크래치 등과 같은 결함 및 그 결함의 위치를 정확하게 사용자(검사자)가 검사할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 패널 검사 장치 및 그 방법은, 대상체가 회전될 때마다 서로 다른 시야각을 갖는 카메라들을 통해 대상체의 표면의 분할된 영역들을 순차적으로 촬영하고, 그 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하고, 그 생성한 3차원 영상을 통신망을 통해 상기 표시부에 표시함으로써, 상기 대상체로부터 멀리 떨어져 있는 장소에서도 상기 대상체의 표면에 존재하는 얼룩, 스크래치 등과 같은 결함 및 그 결함의 위치를 정확하게 사용자(검사자)가 검사할 수 있다.

본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

10-12: 카메라 20: 처리부
30: 표시부 100: 패널
110: 광 발생부(조명)

Claims

패널의 표면에 광을 조사하는 광 발생부와;
상기 패널의 표면에 대해 서로 다른 시야각을 가지며, 상기 패널의 표면을 촬영하는 다수의 카메라와;
상기 패널이 제1 미리설정된 각도만큼씩 회전될 때마다 상기 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라들을 통해 상기 표면의 분할된 영역들을 순차적으로 촬영하고,상기 다수의 카메라에 의해 순차적으로 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하는 처리부와;
상기 3차원 영상을 표시하는 표시부를 포함하며, 상기 처리부는 상기 3 차원 영상의 회전축을 기준으로 상기 3 차원 영상을 제2 미리설정된 각도만큼씩 회전시키면서 상기 표시부에 표시하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
삭제
제1항에 있어서, 상기 패널은 평판 디스플레이, 액정 패널, 유리 패널 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제1항에 있어서,
상기 패널의 후면에 탈부착되는 회전체와;
상기 회전체에 부착된 상기 패널을 상기 제1 미리설정된 각도만큼씩 회전시키는 회전부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
삭제
제1항에 있어서, 상기 처리부는,
상기 분할된 영역들의 영상들을 병합함으로써 다수의 시야각에서 촬영된 상기 패널의 표면에 대응하는 영상들을 생성하고, 상기 생성된 영상들을 합성함으로써 상기 3차원 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제1항에 있어서, 상기 처리부는,
상기 패널의 표면이 분할된 영역들에 대응하는 방향으로 상기 다수의 카메라를 순차적으로 이동시켜 상기 분할된 영역들을 촬영하도록 상기 다수의 카메라의 이동을 제어하는 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제4항에 있어서,
통신부와;
상기 3차원 영상의 회전을 상기 기준 축을 기준으로 제어하는 제어부를 더 포함하며, 상기 처리부는 상기 통신부를 통해 상기 제어부에 상기 3차원 영상을 전송하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
제8항에 있어서, 상기 제어부는,
상기 다수개의 분할 영역을 순차적으로 촬영하기 위해 상기 제1 미리설정된 각도만큼씩 상기 회전체를 회전시키기 위한 제어 신호를 발생하고, 상기 발생한 제어 신호를 상기 통신부를 통해 상기 회전부에 전송하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 장치.
패널의 표면에 광을 조사하는 단계와;
상기 패널이 제1 미리설정된 각도만큼씩 회전될 때마다 서로 다른 시야각을 갖는 다수의 카메라들을 통해 상기 표면의 분할된 영역들을 순차적으로 촬영하는 단계와;
상기 촬영된 영상들을 합성함으로써 3차원 영상을 생성하는 단계와;
상기 3차원 영상을 표시부에 표시하는 단계와;
상기 3 차원 영상의 회전축을 기준으로 상기 3 차원 영상을 제2 미리설정된 각도만큼씩 회전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 방법.
삭제
제10항에 있어서, 상기 패널은 평판 디스플레이, 액정 패널, 유리 패널 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 패널 검사 방법.
삭제
삭제
제10항에 있어서, 상기 3차원 영상을 생성하는 단계는,
상기 분할된 영역들의 영상들을 병합함으로써 다수의 시야각에서 촬영된 상기 패널의 표면에 대응하는 영상들을 생성하는 단계와;
상기 생성된 영상들을 합성함으로써 상기 3차원 영상을 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 방법.
제10항에 있어서,
상기 패널의 표면이 분할된 영역들에 대응하는 방향으로 상기 다수의 카메라를 순차적으로 이동시키는 단계와;
상기 다수의 카메라를 통해 상기 분할된 영역들을 순차적으로 촬영하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 방법.
제10항에 있어서,
상기 3차원 영상을 무선 통신망 또는 유선 통신망을 통해 전송하는 단계와;
상기 전송된 3차원 영상의 회전을 상기 기준 축을 기준으로 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사 방법.