JP2008032491A - 検査装置、検査方法、検査プログラムおよびコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】アライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合でも、当該輝点欠陥を検出することができる検査装置および検査装置が備える位置検出装置を提供する。
【解決手段】液晶パネルモジュール１１に位置検出のためのアライメントマークを目視困難な輝度で点灯させる制御部７と、アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて、その表示用パネルの位置を検出する画像処理部６とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、表示用パネルの位置を検出するための装置に関するものであり、特に表示用パネルの欠陥を検査するための検査装置が備える位置検出装置に関するものである。

フラットパネルディスプレイ(以下、ＦＰＤと称する)は、赤、青、緑の３色に発光する多くのドットの組み合わせで映像の表示を行っている。このＦＰＤの製造において欠陥が発生することがある。欠陥には多くの種類が有り、その中には、ドットが常時発光したままになる輝点欠陥、ドットが点灯しなくなる黒点欠陥、多くのドットの発光量が均一でないムラ欠陥が含まれる。これらの欠陥は検査を行う検査工程で発見され、修正や製品の等級の設定の対象となる。

ＦＰＤの検査工程は、製造工程の様々な段階で行われている。その中で点灯検査工程は、ＦＰＤに映像を表示させ、欠陥がないか検査を行う工程である。この点灯検査工程には、表示を行う板状のパネル部分のみの検査を行う工程と、パネルに強度を持たせる額縁状のベゼルや、パネルを点灯するための電気回路を組み込んだモジュールの状態で検査を行う工程とが含まれる。モジュールは部品としてＦＰＤ のメーカーへ販売されることがあるため、モジュールの状態での検査工程は重要な地位を占めている。

従来モジュールの点灯検査では、検査員による目視検査が行われており、その判定は検査員に欠陥が見えるか否かで判断されていた。ＦＰＤは人間が見るためのものであるため、たとえ回路上に微小な異常があったとしても、人間に見えない異常であれば欠陥ではないともいえる。目視検査を効率良く行うための検査装置は、例えば特許文献１に記載されている。

近年、ＦＰＤの大型化、高精細化が進み、細かな部分を見る必要性と、広い領域を見る必要性が高まり、目視による判定での負担が増大してきている。また、検査員の目視に頼った判定では、見逃しや、判断基準のばらつきがあり、製品の品質管理をしにくいといった問題点がある。

このため、ＦＰＤ点灯検査装置が開発され、実用に供されている。このＦＰＤ点灯検査装置は、ＦＰＤに特定の映像を表示させ、表示された状態を撮像装置で撮像し、撮像した画像に対して画像処理を行うことによって欠陥の有無を判断する。このようなＦＰＤ点灯検査装置は、例えば、特許文献２や３に記載されている。

多くのＦＰＤ点灯検査装置は、パネルのみのＦＰＤの検査を行う検査装置である。パネルのみの検査工程では、パネルは壊れやすく、また、パネルを駆動するためにコンタクトプローブと呼ばれる電極にパネルの端にある電極を正確に接触させるための位置あわせを行う必要があり、作業員の手搬送で行うことは困難である。そのため、搬送系に自動搬送機構及び位置決め機構が搭載されており、作業員は機構部を操作しつつ、目視で検査する作業をこれまで行っていた。そのため、パネルのみの検査工程にＦＰＤ点灯検査装置を導入する場合には、パネルの正確な位置を検出する機構を新たに設ける必要はない。

一方、モジュール状態での検査工程では、パネルはベゼルに保護されているため壊れにくく、パネルを駆動するためにはハーネスと呼ばれる端がコネクタになっている配線を差し込むだけであるため、正確な位置あわせはこれまで必要なかった。また、ハーネスを差し込む作業は自動化が難しい作業であるため、もっぱら作業員が行っていた。さらに、モジュールは、外側のベゼルとパネルとの組み付け精度により、外側のベゼルを正確に位置あわせしても、パネルの位置は製品によって多少ばらつくといった問題もあった。そのため、モジュールの検査工程にＦＰＤ点灯検査装置を導入する場合には、パネルの正確な位置を検出する仕組みが必要となる。

パネルの正確な位置を検出する方法のひとつとして、パターン検査や露光を行うときに、パネルの端にアライメントマークを作成し、そのアライメントマークを照明して撮像を行い、位置を検出する方法が挙げられる。

しかし、モジュールの検査を行う場合、パネルの端部はベゼルに隠れてしまうことから、表示領域付近にアライメントマークを作成する必要がある。更にＦＰＤ点灯検査装置で、輝点欠陥を検出する場合、輝点欠陥のわずかな発光も撮像するために、外乱光が入らないような暗室状態で撮像を行うことが要求されるため、この方法を用いるには、輝点欠陥を検出する撮像装置のほかに、その撮像装置では検出できない波長の光を照明する照明装置と、その波長の光で撮像できる撮像装置とが必要となり、コストが高くなることから、上記の検出方法を実施することは困難である。

パネルの正確な位置を検出する別の方法として、パネルのアライメント時に、当該パネルにアライメントマークを表示させ、そのアライメントマークを撮像し、パネルの位置を検出する方法が挙げられる。このような、パネルの表示画素の位置及び回転角の検出方法は、例えば特許文献４に記載されている。

この位置検出方法において、撮像装置としてエリアセンサ型の撮像装置またはラインセンサ型の撮像装置を用いることができる。エリアセンサ型の撮像装置を用いた場合、パネルと撮像素子との位置関係を変更することなく、撮像を行うことが可能であるため、パネルの領域を認識することが可能な撮像画像を欠陥検出工程の前に取得し、パネルの位置を認識することが可能である。

パネルのアライメント方法は、エリアセンサ型の撮像装置を用いた場合には、光学系とパネルとの位置関係を一度決めてしまえば、点灯パターンを変更し撮像を行っても位置関係は変化しないため、
（１）アライメントマークを表示し位置を確認し、
（２−１）パネルの位置を微調整し、液晶表示パネルの表示画素の位置及び回転角を検出するか、
（２−２）マーク位置を記憶し、そのまま検査し、マーク位置を基に画像内の座標を変換するといった方法をとることができる。

しかしながら、エリアセンサ型の撮像装置は、大型ＴＶ用のＦＰＤを検査するのに十分な画素数を備えたものはなく、複数のカメラを複数搭載する必要がありコストが増加するという問題がある。

これに対し、ラインセンサ型の撮像装置を用いた場合、エリアセンサ型の撮像装置に比べ安価に高画素の画像を得ることが出来る。
特開２００３−４２９５９号公報（２００３年２月１３日公開） 特開２００２−１３１１８０号公報（２００２年５月９日公開） 特開２００２−９８６５１号公報（２００２年４月５日公開） 特開平６−２５０１３８号公報（１９９４年９月９日公開）

しかしながら、上記従来の構成では、撮像装置の型に関わらず、点灯検査では、アライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合、その欠陥を検出することが出来ず、検出不能領域が出来てしまう。この問題を回避するために、アライメントマークの位置を変えて複数回検査を行うと、検査のタクトが伸びてしまうという問題が生じる。

本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、アライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合でも、当該輝点欠陥を検出することができる検査装置および当該検査装置が備える位置検出装置を提供することにある。

本発明に係る検査装置は、上記の課題を解決するために、表示用パネルに位置検出のためのアライメントマークを低輝度かつ目視困難な輝度で点灯させる点灯制御手段と、上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出手段と、上記位置検出手段の検出結果をもとに上記画像の補正を行うとともに、補正された画像に基づいて上記表示用パネルにおける輝点欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えることを特徴としている。

本発明に係る検査方法は、上記の課題を解決するために、表示用パネルの画像に基づいて当該表示用パネルの検査を行う検査装置における検査方法であって、位置検出のためのアライメントマークを、表示用パネルに低輝度かつ目視困難な輝度で点灯させる点灯制御工程と、上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出工程と、上記位置検出工程における検出結果をもとに上記画像の補正を行うとともに、補正された画像に基づいて上記表示用パネルにおける輝点欠陥を検出する欠陥検出工程とを含むことを特徴としている。

輝点欠陥は、基準値よりも高い輝度を有するドットが存在する欠陥であるが、人間の目によって視認されなければ欠陥とはならない。

上記の構成によれば、点灯制御手段は、アライメントマークを目視困難な輝度で表示用パネルに点灯させ、位置検出手段は、上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する。

それゆえ、アライメントマークを形成するドットに輝点欠陥がある場合でも、当該輝点欠陥の輝度は、アライメントマークの輝度よりも高いため、当該ドットを輝点欠陥として検出することができる。換言すれば、アライメントマークの輝度よりも高い輝度を有する、目視可能な輝点欠陥を検出することができる。

したがって、アライメントマークの位置を変えて複数回検査を行う必要がないため、検査装置における検査効率を高めることができる。

また、上記点灯制御手段は、目視困難な輝度の青色のアライメントマークを点灯させることが好ましい。

人間の視角感度は、緑色よりも青色に対して低い。それゆえ、上記の構成により、目視困難なアライメントマークを容易に点灯することができる。

また、上記点灯制御手段は、目視困難な輝度の赤色のアライメントマークを点灯させることが好ましい。

人間の視角感度は、緑色よりも赤色に対して低い。特に暗所では、赤色は目視しにくい。それゆえ、上記の構成により、目視困難なアライメントマークを容易に点灯することができる。

また、上記検査装置は、上記点灯制御手段が出力する信号に基づいて、表示用パネルに上記アライメントマークを点灯させる点灯手段と、上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像する撮像手段とをさらに備えることが好ましい。

上記の構成によれば、点灯手段は、点灯制御手段の制御下において、アライメントマークを目視困難な輝度で表示用パネルに点灯させ、撮像手段は、当該アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像する。そして、位置検出手段は、撮像手段が撮像した画像に基づいて表示用パネルの位置を検出し、欠陥検出手段は、位置検出手段の検出結果を利用して撮像画像を補正するとともに、補正された撮像画像に基づいて表示用パネルの欠陥を検出する。

それゆえ、アライメントマークを形成するドットに輝点欠陥がある場合でも、当該輝点欠陥の有無を検査することができる。

したがって、アライメントマークの位置を変えて複数回検査を行う必要がないため、検査効率を高めることができる。

また、上記撮像手段は、撮像素子を有するセンサと、当該センサを上記表示用パネルの表面と平行な方向に移動させる移動手段とを備えることが好ましい。

上記の構成により、表示用パネルがセンサの撮像エリアに入りきらない大きさであっても、センサを１軸方向に移動させることにより表示用パネル全体を撮像することが可能となる。

また、上記検査装置の上記手段としてコンピュータを機能させるための検査プログラムおよび当該検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の技術的範囲に含まれる。

本発明に係る検査装置は、以上のように、表示用パネルに位置検出のためのアライメントマークを低輝度かつ目視困難な輝度で点灯させる点灯制御手段と、上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出手段と、上記位置検出手段の検出結果をもとに上記画像の補正を行うとともに、補正された画像に基づいて上記表示用パネルにおける輝点欠陥を検出する欠陥検出手段とを備える構成である。

発明に係る検査方法は、以上のように、位置検出のためのアライメントマークを、表示用パネルに低輝度かつ目視困難な輝度で点灯させる点灯制御工程と、上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出工程と、上記位置検出工程における検出結果をもとに上記画像の補正を行うとともに、補正された画像に基づいて上記表示用パネルにおける輝点欠陥を検出する欠陥検出工程とを含む構成である。

それゆえ、アライメントマークを形成するドットに輝点欠陥がある場合でも、当該ドットを輝点欠陥として検出することができるという効果を奏する。

本発明の実施の一形態について図１〜図１９に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

（人間の視感度特性）
まず、本発明を理解する上で重要な、人間の視感度特性について、図１４〜図１９を参照しつつ説明する。図１４は、ＦＰＤの発光波長の分布を示すグラフである。図１５は、人間の明暗視感度特性を示すグラフである。図１６は、ＦＰＤを明所で見た場合の受光感度特性を示すグラフである。図１７は、ＦＰＤを暗所で見た場合の受光感度特性を示すグラフである。図１８は、ＣＣＤのセンサ分光感度特性を示すグラフである。図１９は、ＦＰＤをＣＣＤで撮像した場合の受光感度特性を示すグラフである。

図１４に示すように、ＦＰＤは赤（Ｒ）ドットが６１０ｎｍをピークに５８０ｎｍ〜７００ｎｍ、緑（Ｇ）ドットが５４０ｎｍをピークに４９０ｎｍ〜６１０ｎｍ、青（Ｂ）ドットが４３５ｎｍをピークに４２０ｎｍ〜５１０ｎｍの波長の光を発している。

一方、図１５に示すように、人間の視感度は、明所視で５５５ｎｍをピークに４６０ｎｍ〜６６０ｎｍ、暗所視で５０７ｎｍをピークに４２０ｎｍ〜５９０ｎｍの波長の光に対して高い。また、図１６および図１７に示すように、明所および暗所において、緑色と比較して、青色や赤色の視認性は悪い。特に、暗所では、赤色の視認性が悪い。

これに対し、図１８に示すように、一般的な撮像装置に用いられるＣＣＤ素子の分光感度は、５４０ｎｍをピークに４００ｎｍ〜９５０ｎｍまでの波長の光に対して高く、ＦＰＤの発光するすべての波長の光を検出できる。また、図１９に示すように、ＣＣＤ素子の受光感度は、目視と比較して、青色および赤色に対しても比較的高い感度を保っている。

そのため、明所視の場合、青ドットがＣＣＤ素子に比べ感度が低く、暗所視の場合、赤ドットがＣＣＤ素子に比べ感度が低い。

（本発明の基本的な技術思想）
上記の人間の目の受光感度とＣＣＤ素子の受光感度との差を利用し、本発明の検査装置では、表示用パネルの輝点欠陥検出を行う場合に、表示用パネル上に低輝度のアライメントマークを表示し、このアライメントマークを撮像した画像からアライメントマークの位置を検出し、アライメントマークの位置をもとに表示用パネルの位置を特定する。このとき、明所で使用されることが想定されるＦＰＤ製品のときは、低輝度のＢドットでアライメントマークを表示し、暗所視で使用することが想定されるＦＰＤ製品の場合は、低輝度のＲドットでアライメントマークを表示する。

また、アライメントマークの輝度は、アライメントマークの色と同じ色のドットが輝点欠陥であると判定される輝度（欠陥基準輝度）より低く、撮像装置が検出できる最低輝度より高くする。なお、欠陥基準輝度とは、その輝度よりも高い輝度を有する場合に輝点欠陥であると判定される輝度である。

上記の構成とすることで、アライメントマークを表示したドットに輝点欠陥があった場合でも、その輝点欠陥のドットを輝点欠陥として検出できる。また、アライメントマークの輝度より低い輝度のドットが当該アライメントマークに存在する場合には、そのドットは輝点欠陥ではないため問題とならない。

（検査装置１の構成）
次に、本実施形態の液晶パネルモジュール点灯検査装置１（以下、検査装置１と称する）の構成について図１〜図４を参照しつつ説明する。図１は、検査装置１の構成を示す機能ブロック図である。図２は、検査装置１の構成を示す概略図である。検査装置１は、液晶パネルモジュール１１（表示用パネル）の欠陥を検出するものである。なお、本発明の検査装置の被検査体は、液晶パネルモジュールに限定されず、表示用のパネルであればどのようなものであってもよい。

図１および図２に示すように、検査装置１は、液晶パネルモジュール１１に画像を表示させる点灯部２（点灯手段）、ＴＤＩ（Time Delay Integration）ラインセンサ３とＴＤＩラインセンサ３（センサ）を走査するステージ４（（移動手段）とから構成される撮像部５（撮像手段）、撮像部５が撮像した画像を処理する画像処理部６、点灯部２と撮像部５と画像処理部６とを連携して駆動させる制御部７（点灯制御手段、位置検出装置）からなる。

点灯部２には、予め検査装置１における検査内容に合わせて、液晶パネルモジュール１１に表示させる画像（点灯検査用画像）が登録されており、点灯部２は、制御部７からの指令に従って点灯検査用画像を液晶パネルモジュール１１に表示する。

撮像部５は、図２に示すように、液晶パネルモジュール１１が載置される台（不図示）の上方に配置されている。撮像部５が備えるＴＤＩラインセンサ３の撮像軸は、下方（図２においてＹ軸方向に沿う方向）を向いている。

このＴＤＩラインセンサ３は、ステージ４の伸長方向（時間積分する方向）（図２においてＸ軸方向）に沿って移動可能であり、ＴＤＩラインセンサ３のライン方向は、ステージ４の伸長方向に直交する方向（図２においてＺ軸方向）に設定されている。そして、液晶パネルモジュール１１は、その長手方向がステージ４の伸長方向と略平行になるように配置される。そのため、ＴＤＩラインセンサ３をステージ４に沿って走査することにより、液晶パネルモジュール１１の一方の端部から他方の端部までを撮像することができる。

ＴＤＩラインセンサ３には、レンズ３ａ等の光学部品が取り付けられている。この光学部品は、ＴＤＩラインセンサ３がステージ４に沿って走査された時に液晶パネルモジュール１１の表示面全面を撮像できるよう、倍率およびピント位置が設定されている。

液晶パネルモジュール１１は、工場の搬送装置（不図示）から検査装置１へ搬入され、検査される。その時、上述したように、ＴＤＩラインセンサ３を走査したときに、液晶パネルモジュール１１の液晶パネル表示面全面を撮像できる位置に配置される。

ここで液晶パネル表示面全面とは、液晶パネルモジュール１１の搬入位置の誤差や、液晶パネルをモジュールに組み付けたときの組み付け誤差がある場合でも、必ず液晶パネル表示面全体が入るような領域を意味する。

画像処理部６は、撮像部５が撮像した画像を処理し、液晶パネルモジュール１１の位置や傾きを検出するとともに、液晶パネルモジュール１１の欠陥の有無を検出し、制御部７へ検出結果を送信する。画像処理部６の詳細については後述する。

制御部７は、上記各部を制御するものであり、特に、点灯検査用画像を表示するときの輝度に関する情報を点灯部２へ出力する。

図３は、検査装置１の外観を示す斜視図である。同図に示すように、検査装置１は、その内部が暗室となるよう外壁８で囲まれており、外壁８に設けられた、開閉可能な扉９を通って液晶パネルモジュール１１が搬入出される。そのため、検査時には外乱光の影響を受けない。

（画像処理部６の構成）
画像処理部６の構成について、図４を参照しつつ説明する。図４は、画像処理部６の構成を示す機能ブロック図である。同図に示すように、画像処理部６は、液晶パネルモジュール１１の位置を検出する位置検出部６１（位置検出手段、位置検出装置）および液晶パネルモジュール１１の欠陥を検出する欠陥検出部６７（欠陥検出手段）を備えている。

位置検出部６１は、撮像部５が撮像した撮像画像と、後述するテンプレート画像とをマッチングさせることにより、液晶パネルモジュール１１の位置を検出する。この位置検出部６１は、メモリ６２、一致度算出部６３、距離算出部６４、距離判定部６５、回転角度算出部６６を備えている。

メモリ６２は、テンプレート画像を予め格納するものである。このテンプレート画像とは、回転ズレのない状態で、アライメントマーク１２を表示した液晶パネルモジュール１１を撮像した画像である。テンプレート画像の詳細については後述する。なお、メモリ６２は、位置検出部６１の外部に設けられていてもよい。

一致度算出部６３は、撮像部５が撮像した撮像画像とテンプレート画像とのマッチングを行い、撮像画像における４つのアライメントマークと、テンプレート画像における４つのアライメントマークとの一致度を算出する。ここで、一致度とは、正規化相関（＝ｒ）の自乗である。

このとき、例えば、撮像画像における右上のアライメントマークと、テンプレート画像における右上のアライメントマークとの間の一致度が算出される。すなわち、最も位置の近いアライメントマーク間の一致度が算出される。

そして、一致度算出部６３は、４つのアライメントマークから２つを選んで構成されるアライメントマークのペアを形成し、このペアにおける一致度の和を求める。ここで、４つのアライメントマークから２つを選び出す組み合わせは６通りあるため、一致度算出部６３は、この６通りの一致度の和を算出する。

距離算出部６４は、６通りの一致度の和を数値の高い順にソートする。そして、最も一致度の和が大きいアライメントマークの組み合わせとマッチングした、テンプレート画像におけるアライメントマークのピクセル座標を抽出し、当該ピクセル座標間のピクセル距離を算出する。

距離判定部６５は、距離算出部６４が算出したピクセル距離が、アライメントマーク間の距離として予め定められた範囲内にあるか否かを判定する。２つのアライメントマーク間のピクセル距離が範囲内であった場合、一致度の高い方のアライメントマーク１２の座標を第１アライメントマーク１２ａの座標として確定し、他方のアライメントマーク１２の座標を第２アライメントマーク１２ｂの座標として確定する（後述する図１０参照）。

回転角度算出部６６は、第１アライメントマーク１２ａの座標を用いて、撮像画像における液晶パネルモジュール１１の角部のＸ、Ｚ座標を確定し、第２アライメントマーク１２ｂの座標を用いて液晶パネルモジュール１１の回転角度θを算出する。この回転角度θの算出方法については後述する。回転角度算出部６６は、算出した回転角度θの値を欠陥検出部６７のパネル表示面画像形成部６８へ出力する。

欠陥検出部６７は、パネル表示面画像形成部６８、濃度比較部６９、欠陥判定部７０を備えている。

パネル表示面画像形成部６８は、回転角度算出部６６から出力された回転角度θの値を用いて、撮像部５が撮像した撮像画像から、パネル表示面画像を作成する。具体的には、パネル表示面画像形成部６８は、第１アライメントマーク１２ａの撮像画像におけるピクセル座標と回転角度θとから、撮像画像中のパネル表示面を撮像した領域を算出し、その領域を切り出すことによりパネル表示面画像を形成する。

すなわち、パネル表示面画像は、撮像部５が撮像した撮像画像における液晶パネルモジュール１１のパネル表示面の領域に相当する画像であり、液晶パネルモジュール１１の回転ズレが補正された画像である。また、パネル表示面画像は、濃度比較部６９によって利用される、欠陥検出用の画像である。

濃度比較部６９は、パネル表示面画像形成部６８が形成したパネル表示面画像から、基準濃度を超える濃度のピクセルを抽出する。上記基準濃度は、輝点欠陥と判定される輝度の基準値である欠陥基準輝度を有する輝点欠陥を撮像したときの濃度であり、予め測定し、定められたものである。

より具体的には、上記基準濃度は、欠陥基準輝度を有する、Ｒドット輝点欠陥、Ｇドット輝点欠陥、Ｂドット輝点欠陥を撮像したときの濃度のうち、最も低い濃度に計測再現性を加味した濃度である。濃度比較部６９では、過検出気味に検出しておき、後述する欠陥判定部７０で再判定する。

ここで、輝度とは、液晶パネルモジュール１１が実際に発光している光量の値を意味し、濃度とは、液晶パネルモジュール１１を撮像した画像におけるドットの輝度を意味する。

欠陥判定部７０は、濃度比較部６９によって抽出されたピクセルがＲ，Ｇ，Ｂいずれのドットを撮像したものかを、ピクセルの座標から判定する。そして、欠陥判定部７０は、そのドットの濃度が、当該ドットと同じ色の、欠陥基準輝度を有するドットを撮像したときの濃度より高い場合には、そのピクセルを輝点欠陥を撮像したものとして、輝点欠陥の欠陥コードと、ピクセルの座標と、ピクセルの濃度とを自らが備えるメモリ（不図示）に格納する。

例えば、上記ドットがＲドットである場合には、欠陥判定部７０は、欠陥基準輝度を有するＲドット輝点欠陥を撮像したときの濃度と、当該Ｒドットの濃度とを比較する。

上記のように濃度比較部６９と欠陥判定部７０との２段階で判定することにより、ピクセルの座標から、輝点欠陥を有するドットがＲＧＢのいずれであるかを判定する処理の量を減らすことができ、画像処理を高速に行うことができる。

欠陥判定部７０は、記録された、輝点欠陥のピクセルの座標を、液晶パネルモジュールの表示ドットの位置へ座標変換し、その結果を制御部７へ送信する。

（アライメントマーク１２の表示方法）
次に、液晶パネルモジュール１１におけるアライメントマーク１２の表示方法について、図５〜図７を参照しつつ説明を行う。図５は、液晶パネルモジュール１１に表示する点灯検査用画像１３を示す図である。図６は、アライメントマーク１２を表示する点灯制御値の範囲を示す図である。

輝点検出を行う場合、液晶パネルモジュール１１に表示する点灯検査用画像１３は、各色２５６階調で表示する場合、図５に示すように、画素のＲＧＢ値が（０，０，０）となるようにする。ただし、液晶パネルモジュール１１の四隅付近の予め定めた位置には、アライメント用のマークであるアライメントマーク１２をＲＧＢ値が（０，０，Ｖｍ）となるように表示する。

ここで、欠陥基準輝度と同等の輝度で点灯する欠陥基準制御値Ｖｄと、撮像部５によって検出可能な輝度の最低値と同等の輝度で点灯する最低点灯制御値ＶＬとを予め測定しておく。そして、図６に示すように、Ｖｍは、
ＶＬ＜Ｖｍ＜Ｖｄ
となる値を、検出再現性などから予め定めておく。すなわち、Ｖｍは、撮像部５の検出限界の下限値となる輝度で点灯する点灯制御値よりも大きく、欠陥基準輝度で点灯する点灯制御値よりも小さい、アライメントマーク用の点灯制御値である。

また、Ｖｄは、目視可能な輝度の最低値と略等しい。すなわち、Ｖｄは、アライメントマーク１２を視認できる輝度の下限値と略等しい輝度で点灯する点灯制御値である。

そのため、液晶パネルモジュール１１に点灯されたアライメントマーク１２は、撮像部５によって検出できるが、人間の目では確認できないものとなる。すなわち、アライメントマーク１２は、目視困難な輝度で点灯するものである。よって、このアライメントマーク１２を表示するドットに輝点欠陥があった場合でも、その輝点欠陥のドットを欠陥として検出でき、アライメントマーク１２の輝度より低い輝度のドットが当該アライメントマーク１２に存在する場合には、そのドットは輝点欠陥ではないため問題とならない。

なお、上記目視困難な輝度とは、実際には輝点欠陥であると判定する輝度である。この目視困難な輝度は、製品の納入先や製品の格に応じて設定されるものであり、基本的に目視との相関を有する値である。上記目視困難な輝度は、本来は輝度計等で測定された輝度であることが望ましいが、実際には、基準を決定する人物が近距離から輝点を目視し、欠陥とすべきかを判断している。

この目視困難な輝度は、コントラスト比や画面サイズや画素サイズや階調数により異なる。また、色相により目視感受性が異なるため、Ｒ絵素とＧ絵素とＢ絵素とでは、目視困難な輝度は一般に異なる。

また、同じコントラストの得られる仕様で同じカラーフィルタを使用しても、赤から黄に対する感受性の比較的高い日本人向けと、緑から青に対する感受性の比較的高い欧米人向けとでは、目視困難な輝度は異なる。

また、パネルの使用環境（部屋の明るさ、照明や部屋の壁・天井などの色調、観察距離など）により目視困難な輝度は異なる。

このように、目視困難な輝度は、それぞれのユーザー群・環境によりその基準が変化するが、そのユーザー群・環境での想定されるやや厳しい観察者・環境で目視困難な輝度を、経験的にデータベース化して設定することができる。また、この基準を決定する経験値の高い基準決定者が近距離による目視で、ある色調のある輝度が欠陥に見えるか否かの判断で決定してもよい。

図７は、液晶パネルモジュール１１に表示されたアライメントマーク１２を示す図である。アライメントマーク１２を液晶パネルモジュール１１に表示させる場合、ＲＧＢの３つのドットで１つの画素を構成しているため、同図に示すように、実際には各画素のひとつのドット（同図ではＢ）が点灯する。同図では、９個のＢドットをピラミッド形状に配置することによりアライメントマーク１２を構成した場合の例が示されており、点灯検査用画像の四隅に示されたアライメントマーク１２のうちのひとつ（右上のもの）を含む、縦横５画素の領域が示されている。

ＲＧＢのどのドットをアライメントマーク１２として点灯させるかは、液晶パネルモジュール１１が明所で使用されるものか、暗所で使用されるものかという用途と、上述した人間の視感特性に基づいて設定すればよい。例えば、明所で使用される場合には、Ｂドットによってアライメントマーク１２を表示し、暗所で使用される場合には、Ｒドットによってアライメントマーク１２を表示すればよい。

アライメントマーク１２は、液晶パネルモジュール１１の四隅付近にそれぞれ表示されるが、その形状は特に限定されない。すなわち、アライメントマーク１２を構成するドットの数や、ドットの相対的な位置関係は、特に限定されない。

（テンプレート画像の一例）
位置検出部６１は、撮像部５が撮像した撮像画像の四隅から、液晶パネルモジュール１１の位置が最大限にずれたとしてもアライメントマーク１２が入るサイズの領域とテンプレート画像とをマッチングさせる。

図８には、テンプレート画像の一例として、１画素を３×３の解像度で撮像したときのテンプレート画像１４を示している。同図には、アライメントマーク１２を撮像した領域を含む、テンプレート画像１４の右上の部分（縦横１５ピクセル）のみが示されている。テンプレート画像１４では、ひとつのドットは撮像素子の３ピクセルによって表示されている。なお、テンプレート画像の解像度は、各ドットを個別に撮像できる程度のものであればよく、特に限定されない。

（位置検出部６１における位置検出処理の流れ）
次に、位置検出部６１における位置検出処理の流れについて、図９〜図１０を参照しつつ説明する。

図９は、位置検出部６１における処理の流れを示すフローチャートである。まず、一致度算出部６３は、四隅におけるテンプレートマッチングの一致度を算出し、４つの隅から選んだ２つの隅の一致度の和を算出する（Ｓ１）。ここで、４つの隅の中から２つの隅を選び出す組み合わせは６通りあるため、一致度算出部６３は、この６通りの一致度の和を算出する。一致度算出部６３は、算出した一致度の和の値を距離算出部６４へ出力する。

一致度の和の値を受け取ると、距離算出部６４は、６通りの一致度の和を数値の高い順にソートする。そして、最も一致度の和が大きいアライメントマーク１２の組み合わせとマッチングした、テンプレート画像１４におけるアライメントマーク１２のピクセル座標を抽出し、当該ピクセル座標間のピクセル距離を算出する（Ｓ２）。距離算出部６４は、算出したピクセル距離の値を距離判定部６５へ出力する。

ピクセル距離の値を受け取ると、距離判定部６５は、当該ピクセル距離が、アライメントマーク１２間の距離として予め定められた範囲内にあるか否かを判定する。当該ピクセル距離が、所定の範囲内に入っていない場合は（Ｓ３にて、ＮＯ）、テンプレートマッチングのミスとして、次に一致度の和が大きいアライメントマーク１２の組み合わせで照合を行う。

距離判定部６５は、６通りの組み合わせすべてで、所定の範囲を超えた場合には（Ｓ４にて、ＹＥＳ）、テンプレートマッチングに失敗した旨を示すエラー情報を制御部７へ出力する（Ｓ５）。

２つのアライメントマーク１２間のピクセル距離が所定の範囲内であった場合（Ｓ３にて、ＹＥＳ）、距離判定部６５は、一致度の高い方のアライメントマーク１２の座標を第１アライメントマーク１２ａの座標とし、他方のアライメントマーク１２の座標を第２アライメントマーク１２ｂの座標として、両座標を回転角度算出部６６へ出力する（Ｓ６）。

図１０は、撮像画像から液晶パネルモジュールの表示面を撮像した領域を検出する方法を説明する図である。

図に示すように、撮像部５が有する撮像分解能は固定であり、撮像対象である液晶パネルモジュール１１の大きさも既知であるため、撮像画像１６内における液晶パネルモジュール１１の姿勢はＸ方向、Ｚ方向、ＸＺ面内の回転の３自由度を有している。そのため、上記座標を受け取ると、回転角度算出部６６は、第１アライメントマーク１２ａの座標（ｘ，ｙ）を用いて、液晶パネルモジュール１１を撮像した領域であるパネル表示面領域１５の角部のＸ、Ｚ座標を確定し、第２アライメントマーク１２ｂの座標を用いて撮像画像１６に対するパネル表示面領域１５の回転角度θを算出する（Ｓ７）。回転角度算出部６６は、算出した回転角度θの値を欠陥検出部６７のパネル表示面画像形成部６８へ出力する。

なお、距離算出部６４は、６通りの一致度の和のうち、最も一致度の和が大きいもののみに対してピクセル距離を算出してもよい。

（欠陥検出部６７における欠陥検出処理の流れ）
次に、欠陥検出部６７における欠陥検出処理の流れについて、図１１および図１２を参照しつつ説明する。図１１は、欠陥検出部６７における処理の流れを示すフローチャートである。

まず、回転角度θの値を回転角度算出部６６から受け取ると、パネル表示面画像形成部６８は、当該回転角度θの値を用いて、撮像部５が撮像した撮像画像１６から、パネル表示面画像１７を作成する（Ｓ２１）。

図１２は、撮像画像１６から切り出されたパネル表示面画像１７を示す図である。図１２に示すように、パネル表示面画像１７は、回転角度θの値を用いてパネル表示面領域１５の傾きが補正されたものであるため、パネル表示面画像１７の各辺は、欠陥検出用画像のための座標軸であるＸｉ軸またはＺｉ軸と平行になっている。

パネル表示面画像形成部６８は、作成したパネル表示面画像１７を濃度比較部６９へ出力する。

パネル表示面画像１７を受け取ると、濃度比較部６９は、当該パネル表示面画像１７から、輝度欠陥であると判定される濃度の基準値である基準濃度を超える濃度のピクセルを抽出し（Ｓ２２）、抽出したピクセルの情報を欠陥判定部７０へ出力する。

上記ピクセルの情報を受け取ると、欠陥判定部７０は、抽出されたピクセルがＲ，Ｇ，Ｂいずれのドットを撮像したものかを、ピクセルの座標から求め、欠陥か否かを判定する（Ｓ２３）。

具体的には、欠陥判定部７０は、ピクセルがＲドットを撮像した領域であれば、欠陥基準輝度のＲドット輝点欠陥を撮像したときの濃度より高い場合には、そのピクセルはＲドット輝点欠陥を撮像したものと判断して、Ｒドット輝点欠陥の欠陥コードと、当該ピクセルの座標と、当該ピクセルの濃度を自らが備えるメモリ（不図示）に記憶する。

また、欠陥判定部７０は、ピクセルがＧドットを撮像した領域であれば、欠陥基準輝度のＧドット輝点欠陥を撮像したときの濃度より高い場合には、そのピクセルはＧドット輝点欠陥を撮像したものと判断して、Ｇドット輝点欠陥の欠陥コードと、当該ピクセルの座標と、当該ピクセルの濃度を記憶する。

また、欠陥判定部７０は、ピクセルがＢドットを撮像した領域であれば、欠陥基準輝度のＢドット輝点欠陥を撮像したときの濃度より高い場合には、そのピクセルはＢドット輝点欠陥を撮像したものと判断して、Ｂドット輝点欠陥の欠陥コードと、当該ピクセルの座標と、当該ピクセルの濃度を記憶する。

また、アライメントマーク１２を構成するドットに関しては、アライメントマーク１２はＢドットの基準輝度で点灯しているため、アライメントマーク１２を構成するドットにＢドット輝点欠陥があった場合でも、当該Ｂドット輝点欠陥を検出できる。その場合、欠陥判定部７０は、当該ドットを撮像したピクセルはＢドット輝点欠陥を撮像したものと判断して、Ｂドット輝点欠陥の欠陥コードと、当該ピクセルの座標と、当該ピクセルの濃度を記憶する。

欠陥判定部７０は、記憶した、輝点欠陥のピクセルの座標を、液晶パネルモジュール１１の表示ドットの位置へ座標変換し、制御部７へ送信する。

（検査装置１における処理の流れ）
検査装置１における処理の流れについて図１３を参照しつつ説明する。図１３は、検査装置１における処理の流れを示すフローチャートである。撮像部５、画像処理部６、点灯部２等の動作は制御部７からの指示に従って行われる。

検査装置１は、撮像部５が液晶パネルモジュール１１の搬入の妨げにならない位置へ移動し、扉９が開いた状態で待機している。

搬送装置（不図示）が検査装置１へ液晶パネルモジュール１１を搬入すると、扉９が閉まり、検査装置１の内部は暗室になる（Ｓ３１）。

そして、点灯部２と液晶パネルモジュール１１との配線が接続され、液晶パネルモジュール１１の駆動が開始される（Ｓ３２）。

そして、液晶パネルモジュール１１の検査項目に対応する点灯検査用画像が、点灯部２により液晶パネルモジュール１１に表示される（点灯制御工程）（Ｓ３３）。このとき、制御部７は、アライメントマーク１２の輝度が目視困難な輝度になるように、点灯制御値（Ｖｍ）を点灯部２へ出力する。

撮像部５は、液晶パネル表示面全面を一定の速度でＴＤＩラインセンサ３を走査し、ＴＤＩラインセンサ３は、液晶パネル表示面全面の撮像を行う（Ｓ３４）。このときの速度は、液晶パネルの駆動周波数、ＴＤＩラインセンサ３の感度及び、時間積分する積分時間、撮像分解能、ステージ４の能力によって予め定められている。ＴＤＩラインセンサ３により撮像された画像は画像処理部６へ送信される。

撮像画像を受信すると、画像処理部６は、その撮像画像をもとに、液晶パネルモジュール１１の位置を検出する（位置検出工程）（Ｓ３５）。

そして、画像処理部６は、位置の補正を行ったパネル表示面画像１７をもとに欠陥の有無を検出し（Ｓ３６）、制御部７へ検出結果を送信する。

なお、液晶パネルモジュール１１の検査項目が複数ある場合、検査項目に対応する画像が、点灯部２により液晶パネルモジュール１１に表示される。撮像部５は、表示された各画像を撮像し、画像処理部６は、撮像された各画像をもとに欠陥の有無を検出し、制御部７へ検出結果を送信するという処理を繰り返す。

すべての検査項目が終了すると、液晶パネルモジュール１１の駆動は停止され、点灯部２と液晶パネルモジュール１１の配線が外される（Ｓ３７）。

そして、撮像部５が液晶パネルモジュール１１の搬出の妨げにならない位置へ移動し、扉９が開き、液晶パネルモジュール１１は搬送装置によって搬出される（Ｓ３８）。

制御部７は、画像処理部６から受信した検査結果を総合して、液晶パネルモジュール１１の良否の判定を行う（Ｓ３９）。このようにして検査が行われる。

（検査装置１の効果）
以上のように、検査装置１では、目視の分光感度とＴＤＩラインセンサ３の分光感度特性が異なることを用い、目視よりＴＤＩラインセンサ３の分光感度の高い、青色の波長に着目し、所定の輝度の青色のアライメントマーク１２を液晶パネルモジュール１１上に表示することで、当該液晶パネルモジュール１１の座標を特定している。

アライメントマーク１２の形状は予め、輝点欠陥やノイズを誤認識しないような特殊な形状としておき、アライメントマーク１２のあると思われる領域内をテンプレートマッチングすることによって、撮像された画像からアライメントマーク１２を認識する。

アライメントマーク１２を表示する所定の輝度は、目視により認識できないが、ＴＤＩラインセンサ３により撮像された画像では認識可能な濃度値となるように設定されている。

このように構成することにより、液晶パネルモジュール１１は、特殊なアライメント機構がない場合でも、機械的な精度により±５ｍｍ程度の位置精度で検査装置１に搭載可能で、液晶パネルモジュール１１の表示面にアライメントマーク１２を表示することで、撮像画像内のどの位置に液晶パネルモジュール１１の表示部分があるかを認識することが出来る。

また、アライメントマーク１２上に所定の輝度以上の明るさの輝点欠陥があった場合は、検出が可能であり、アライメントマーク１２の所定の輝度未満の輝点欠陥があった場合は検出が不可能であるが、その欠陥は、目視不能であるため、検出不能であっても不良品とならない。

なお、白く点灯させ、黒点欠陥を検出する場合には、アライメントマーク１２を表示するまでも無く、白点灯のエッジ部分を用いて表示領域を特定することが出来る。

（変更例）
上述の構成では、アライメントマーク１２をＢドットによって形成しているが、Ｒドットによって形成してもよい。その場合には、赤色の目視特性を考慮して、アライメントマーク１２を形成するＲドットの輝度を目視困難なものに設定すればよい
上述の構成では、点灯検査用画像は、点灯部２に登録されているが、制御部７に登録されていてもよい。

また、制御部７と位置検出部６１とをひとつの半導体チップ上で実現し、位置検出装置としてもよい。

また、撮像部５が備えるラインセンサは、ＴＤＩラインセンサ３に限定されず、どのようなラインセンサであってもよい。さらに、撮像部５は、エリアセンサを備えるものであってもよい。

また、位置検出部６１における位置検出方法は、上述のものが好ましいが、上述のものでなくてもよい。

また、上述した検査装置１の各ブロック、特に画像処理部６および制御部７は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにＣＰＵを用いてソフトウェアによって実現してもよい。

すなわち、検査装置１は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するＣＰＵ（central processing unit）、上記プログラムを格納したＲＯＭ（read only memory）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（random access memory）、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである検査装置１の制御プログラム（位置検出プログラム）のプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記検査装置１に供給し、そのコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。

上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。

また、検査装置１を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（virtual private network）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。

また、本発明は以下のように表現することができる。

本発明の位置検出装置は、表示用パネルに位置検出のためのアライメントマークを目視困難な輝度で点灯させる点灯制御手段と、上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出手段とを備えている。

本発明の位置検出方法は、表示用パネルの位置を検出する位置検出装置における位置検出方法であって、位置検出のためのアライメントマークを、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる点灯制御工程と、上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出工程とを含んでいる。

本発明の検査装置は、表示用パネルの画像に基づいて当該表示用パネルの検査を行う検査装置であって、位置検出のためのアライメントマークを、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる信号を出力する点灯制御手段と、上記点灯制御手段の信号に基づいて、表示用パネルに上記アライメントマークを点灯させる点灯手段と、上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像する撮像手段と、上記撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて上記表示用パネルの位置を検出する位置検出手段と、上記位置検出手段の検出結果をもとに上記撮像画像の補正を行うとともに、補正された撮像画像に基づいて上記表示用パネルにおける輝点欠陥を検出する欠陥検出手段とを備えている。

上記検査装置は、表示装置を点灯させる点灯装置と、表示装置を撮像する撮像装置と、撮像した画像を画像処理する画像処理装置で構成され表示装置を点灯させた状態で画質を検査する装置において、人間の視覚では捉えることの出来ない輝度と色とでアライメントマークを表示装置に表示させることが可能な点灯装置と、前記アライメントマークを撮像可能な撮像装置を備えている。

また、上記検査装置において、アライメントマークの表示方法が青色のドットを用いて人間の視覚では捉えることの出来ない輝度で表示するものであることが好ましい。

また、上記検査装置において、アライメントマークの表示方法が赤色のドットを用いて人間の視覚では捉えることの出来ない輝度で表示するものであることが好ましい。

また、上記撮像装置がＴＤＩラインセンサと、移動ステージで構成され、撮像装置を表示装置に対して相対的に１軸方向に移動させることによって撮像を行うことが好ましい。

なお、本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、実施の形態に開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

アライメントマーク部分に輝点欠陥があった場合でも、その輝点欠陥を検出することができるため、液晶パネルなど、表示用パネルの検査装置または検査装置が備える位置検出装置として利用できる。

一実施形態の検査装置の構成を示す機能ブロック図である。 一実施形態の検査装置の構成を示す概略図である。 一実施形態の検査装置の外観を示す斜視図である。 一実施形態の検査装置が備える画像処理部の構成を示す機能ブロック図である。 液晶パネルモジュールに表示する点灯検査用画像を示す図である。 アライメントマークを表示する点灯制御値の範囲を示す図である。 液晶パネルモジュールに表示されたアライメントマークを示す図である。 テンプレート画像の一例を示す図である。 画像処理部が備える位置検出部における処理の流れを示すフローチャートである。 撮像画像から液晶パネルモジュールの表示面を撮像した領域を検出する方法を説明する図である。 欠陥検出部における処理の流れを示すフローチャートである。 撮像画像から切り出されたパネル表示面画像を示す図である。 一実施形態の検査装置における処理の流れを示すフローチャートである。 ＦＰＤの発光波長の分布を示すグラフである。 人間の明暗視感度特性を示すグラフである。 ＦＰＤを明所で見た場合の受光感度特性を示すグラフである。 ＦＰＤを暗所で見た場合の受光感度特性を示すグラフである。 ＣＣＤのセンサ分光感度特性を示すグラフである。 ＦＰＤをＣＣＤで撮像した場合の受光感度特性を示すグラフである。

符号の説明

１ 液晶パネルモジュール点灯検査装置（検査装置）
２ 点灯部（点灯手段）
３ ＴＤＩラインセンサ（センサ）
４ ステージ（移動手段）
５ 撮像部（撮像手段）
６ 画像処理部
７ 制御部（点灯制御手段、位置検出装置）
１１ 液晶パネルモジュール（表示用パネル）
１２ アライメントマーク
１２ａ 第１アライメントマーク
１２ｂ 第２アライメントマーク
６１ 位置検出部（位置検出手段、位置検出装置）
６７ 欠陥検出部（欠陥検出手段）

Claims (8)

1. 表示用パネルに位置検出のためのアライメントマークを目視困難な輝度で点灯させる点灯制御手段と、
   上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出手段とを備えることを特徴とする位置検出装置。
2. 上記点灯制御手段は、目視困難な輝度の青色のアライメントマークを点灯させることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
3. 上記点灯制御手段は、目視困難な輝度の赤色のアライメントマークを点灯させることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
4. 表示用パネルの画像に基づいて当該表示用パネルの検査を行う検査装置であって、
   位置検出のためのアライメントマークを、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる信号を出力する点灯制御手段と、
   上記点灯制御手段の信号に基づいて、表示用パネルに上記アライメントマークを点灯させる点灯手段と、
   上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像する撮像手段と、
   上記撮像手段が撮像した撮像画像に基づいて上記表示用パネルの位置を検出する位置検出手段と、
   上記位置検出手段の検出結果をもとに上記撮像画像の補正を行うとともに、補正された撮像画像に基づいて上記表示用パネルにおける欠陥を検出する欠陥検出手段とを備える検査装置。
5. 上記撮像手段は、撮像素子を有するセンサと、当該センサを１軸方向に移動させる移動手段とを備えることを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
6. 表示用パネルの位置を検出する位置検出装置における位置検出方法であって、
   位置検出のためのアライメントマークを、表示用パネルに目視困難な輝度で点灯させる点灯制御工程と、
   上記アライメントマークを点灯した表示用パネルを撮像した画像に基づいて当該表示用パネルの位置を検出する位置検出工程とを含むことを特徴とする位置検出方法。
7. 請求項１〜３に記載の位置検出装置の上記各手段としてコンピュータを機能させるための位置検出プログラム。
8. 請求項７に記載の位置検出プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

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