JP2016027325A5

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Publication number: JP2016027325A5
Application number: JP2015116883A
Authority: JP
Filing date: 2015-06-09
Publication date: 2017-08-31
Anticipated expiration: 2035-06-09

Description

上記目的を達成するために、本発明の一側面としての位置検出装置は、複数のパターンが配列された第１回折格子と複数のパターンが配列された第２回折格子とによって生じるモアレを検出する検出部と、前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、前記第１回折格子の前記複数のパターンのうちの端のパターンの幅は、前記第１回折格子の前記複数のパターンのうちの他のパターンの幅よりも小さいことを特徴とする。

Claims

複数のパターンが配列された第１回折格子と複数のパターンが配列された第２回折格子とによって生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第１回折格子の前記複数のパターンのうちの端のパターンの幅は、前記第１回折格子の前記複数のパターンのうちの他のパターンの幅よりも小さいことを特徴とする位置検出装置。
前記第１回折格子の前記複数のパターンのうちの複数の前記他のパターンは、互いに幅が同一であることを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
前記端のパターンの幅は、前記端のパターンに隣接するパターンの幅の半分であることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置検出装置。
前記端のパターンと、前記端のパターンに隣接するパターンの間隔は、前記第１回折格子の複数の前記他のパターン同士の間隔よりも広いことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の位置検出装置。
ある一対の前記他のパターン同士の間隔は他の一対の前記他のパターン同士の間隔と同一であることを特徴とする請求項４に記載の位置検出装置。
前記第２回折格子の前記複数のパターンのうちの端のパターンの幅は、前記第２回折格子の前記複数のパターンのうちの他のパターンの幅よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の位置検出装置。
複数のパターンが配列された第１回折格子と複数のパターンが配列された第２回折格子とによって生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第１回折格子の前記複数のパターンのうちの端のパターンと、前記端のパターンに隣接するパターンの間隔は、前記第１回折格子の前記複数のパターンのうちの他の隣接するパターン同士の間隔よりも広いことを特徴とする位置検出装置。
前記端のパターンと前記端のパターンに隣接するパターンの間隔は、前記他の隣接するパターン同士の間隔の１．３倍以下であることを特徴とする請求項７に記載の位置検出装置。
前記端のパターンと前記端のパターンに隣接するパターンの間隔は、前記他の隣接するパターン同士の間隔の１．１５倍以下であることを特徴とする請求項７に記載の位置検出装置。
前記第１回折格子及び前記第２回折格子のうち少なくとも一方の回折格子は、互いに直交する２方向に配列された複数のパターンを含み、該２方向に配列された複数のパターンを前記モアレを発生させるために用いることを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の位置検出装置。
複数のパターンが配列された第１回折格子と複数のパターンが配列された第２回折格子とによって生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第１回折格子の前記複数のパターンのうち端のパターンを含む一部のパターンからの光の位相と前記一部のパターンを除くパターンからの光の位相とを異ならせることを特徴とする位置検出装置。
前記端のパターンを含む一部のパターンを構成する物質の屈折率と前記一部のパターンを除くパターンを構成する物質の屈折率とが互いに異なることを特徴とする請求項１１に記載の位置検出装置。
前記端のパターンを含む一部のパターンを構成する物質の厚さと前記一部のパターンを除くパターンを構成する物質の厚さとが互いに異なることを特徴とする請求項１１に記載の位置検出装置。
前記端のパターンを含む一部のパターンを構成する段差の深さと前記一部のパターンを除くパターンを構成する段差の深さとが互いに異なることを特徴とする請求項１１に記載の位置検出装置。
前記第２回折格子の前記複数のパターンのうち端のパターンを含む一部のパターンからの光の位相と前記一部のパターンを除くパターンからの光の位相とを互いに異ならせることを特徴とする請求項１１に記載の位置検出装置。
前記複数のパターンのそれぞれは、複数のセグメントで構成されていることを特徴とする請求項１乃至１５のうちいずれか１項に記載の位置検出装置。
複数のパターンが配列された第１回折格子と複数のパターンが配列された第２回折格子とによって生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第１回折格子の前記複数のパターンは、前記モアレの端部に入射する光を減らすパターンを有することを特徴とする位置検出装置。
前記第２回折格子の前記複数のパターンは、前記モアレの端部に入射する光を減らすパターンを有することを特徴とする請求項１７に記載の位置検出装置。
複数のパターンが配列された第１回折格子と複数のパターンが配列された第２回折格子とによって生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第１回折格子は、その前記複数のパターンのうちの端部のパターンを有する少なくとも１つのパターンを含む周辺領域と、その前記複数のパターンのうちの残りのパターンを含む中央領域とを有し、前記周辺領域の前記少なくとも１つのパターンの幅は、前記中央領域の複数のパターンのそれぞれの幅よりも小さいことを特徴とする位置検出装置。
前記第２回折格子は、その前記複数のパターンのうちの端部のパターンを有する少なくとも１つのパターンを含む周辺領域と、その前記複数のパターンのうちの残りのパターンを含む中央領域とを有し、前記周辺領域の前記少なくとも１つのパターンの幅は、前記中央領域の複数のパターンのそれぞれの幅よりも小さいことを特徴とする請求項１９に記載の位置検出装置。
複数のパターンが配列された第１回折格子と複数のパターンが配列された第２回折格子とによって生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第１回折格子は、その前記複数のパターンのうちの端部のパターンを有する少なくとも２つのパターンを含む周辺領域と、その前記複数のパターンのうちの残りのパターンを含む中央領域とを有し、前記周辺領域の前記少なくとも２つのパターンの隣り合うパターン間の間隔は、前記中央領域の複数のパターンの隣り合うパターン間の間隔のそれぞれよりも広いことを特徴とする位置検出装置。
前記第２回折格子は、その前記複数のパターンのうちの端部のパターンを有する少なくとも２つのパターンを含む周辺領域と、その前記複数のパターンのうちの残りのパターンを含む中央領域とを有し、前記周辺領域の前記少なくとも２つのパターンの隣り合うパターン間の間隔は、前記中央領域の複数のパターンの隣り合うパターン間の間隔のそれぞれよりも広いことを特徴とする請求項２１に記載の位置検出装置。
複数のパターンが配列された第１回折格子と複数のパターンが配列された第２回折格子とによって生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第１回折格子は、その前記複数のパターンのうちの、端部の第１パターン、又は、前記第１パターン及び前記第１パターンに隣接する第２パターン、又は、前記第１パターン、前記第２パターン及び前記第２パターンに隣接する第３パターン、の幅が、残りのパターンの幅よりも小さいことを特徴とする位置検出装置。
前記第２回折格子は、その前記複数のパターンのうちの、端部の第４パターン、又は、前記第４パターン及び前記第４パターンに隣接する第５パターン、又は、前記第４パターン、前記第５パターン及び前記第５パターンに隣接する第６パターン、の幅が、残りのパターンの幅よりも小さいことを特徴とする請求項２３に記載の位置検出装置。
第１方向に複数のパターンが配列された第１回折格子と、複数のパターンが配列された第２回折格子とによって生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第１回折格子は、その前記複数のパターンのうちの、端部の第１パターンと前記第１パターンに隣接する第２パターンの第１間隔、又は、前記第１間隔及び前記第２パターンと前記第２パターンに隣接する第３パターンの第２間隔、又は、前記第１間隔、前記第２間隔及び前記第３パターンと前記第３パターンに隣接する第４パターンの第３間隔が、残りのパターンの隣接パターン同士の間隔よりも広いことを特徴とする位置検出装置。
前記第２回折格子は、その前記複数のパターンのうちの、端部の第５パターンと前記第５パターンに隣接する第６パターンの第４間隔、又は、前記第４間隔及び前記第６パターンと前記第６パターンに隣接する第７パターンの第５間隔、又は、前記第４間隔、前記第５間隔及び前記第７パターンと前記第７パターンに隣接する第８パターンの第６間隔が、残りのパターンの隣接パターン同士の間隔よりも広いことを特徴とする請求項２５に記載の位置検出装置。
前記複数のパターンが配列してある面に対して斜入射する光により前記第１回折格子及び前記第２回折格子を照明する照明光学系を有し、前記斜入射する光は、前記複数のパターンの配列方向を含む第１入射面に沿った方向から照明する光と前記第１入射面に直交する第２入射面に沿った方向から照明する光を有することを特徴とする請求項１乃至２６のうちいずれか１項に記載の位置検出装置。
第１回折格子と第２回折格子とによって生じるモアレを検出する工程と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める工程と、を有し、
前記第１回折格子を構成する複数のパターンのうちの端のパターンの幅は、前記複数のパターンのうちの他のパターンの幅よりも小さいことを特徴とする位置検出方法。
第１回折格子と第２回折格子とによって生じるモアレを検出する工程と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める工程と、を有し、
前記第１回折格子を構成する複数のパターンのうちの端のパターンと前記端のパターンに隣接するパターンとの間隔は、前記第１回折格子の前記複数のパターンのうちの隣接する他のパターン同士の間隔よりも広いことを特徴とする位置検出方法。
第１回折格子と第２回折格子とによって生じるモアレを検出する工程と、
前記モアレに基づいて、前記第１回折格子と前記第２回折格子との相対位置を求める工程と、を有し、
前記第１回折格子を構成する複数のパターンは、前記モアレの端部に入射する光を減らすパターンを有することを特徴とする位置検出方法。
モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
請求項１乃至２７のうちいずれか１項に記載の位置検出装置を用いて、第１回折格子及び第２回折格子の一方が形成された前記モールドと前記第１回折格子及び前記第２回折格子の他方が形成された前記基板との相対位置を検出する手段と、
前記相対位置に基づいて、前記モールドと前記基板との位置合わせを行う手段と、を有することを特徴とするインプリント装置。
請求項３１に記載のインプリント装置を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する加工工程と、
を有し、前記加工工程により加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。