JP2013153217A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. オーバレイ測定用の目盛校正曲線を生成する方法であって、
   ウエファ上にターゲットの第一アレイを印刷するステップと、
   アレイ内の各ターゲットについて、ターゲット非対称パラメータを計算するステップと、
   各ターゲットオーバレイ測定に参照用に使用される為の計算されたターゲット非対称パラメータ値を含む第一目盛校正曲線を生成するステップとを含み、前記第一目盛校正曲線の対称中心がゼロオーバレイに対応するものである方法。
2. 各ターゲットの第一部分はウエファの第一層の中に印刷され、各ターゲットの第二部分はウエファの第二層の中に印刷される請求項１に記載の方法。
3. 請求項１または請求項２記載の方法であって、
   更に、
   ターゲットの第一アレイのピッチがターゲットの第二アレイのピッチと異なるようにして、ウエファ上に第二アレイを印刷するステップと、
   ターゲットの第二アレイの計算されたターゲット非対称パラメータ値を含めて第二目盛校正曲線を生成し、当該第二目盛校正曲線の対称中心がゼロオーバレイに対応するようにするステップと、
   前記第一および第二目盛校正曲線のそれぞれの対称中心間の距離を測定するステップと、
   前記第一および第二目盛校正曲線のそれぞれの対称中心間の距離に基づいたオーバレイ値と、ターゲットの第一および第二アレイ間のピッチのズレと前記第一または第二アレイのピッチのいずれかとの比とを計算するステップと
   を備えた方法。
4. 第二アレイを印刷するステップが、第一アレイのターゲットと同じピッチを持つが、異なる符号の第二アレイのターゲットを印刷するものである請求項３に記載の方法。
5. ターゲットは十字架形であり、アレイの各ターゲットは十字形を形成する水平方向のバーと鉛直方向のバーとの間に異なるオフセットを持つものである請求項１から請求項３のいずれか一項記載の方法。
6. 請求項３記載の方法であって、
   前記印刷するステップは、ウエファの活性領域内に任意の順序で前記第一および第二アレイのターゲットを印刷するステップを含み、更に第一および第二アレイのターゲットの各々におけるターゲット用の対称パラメータ値を測定するステップと、測定された対称パラメータ値を使用して前記第一および第二アレイのターゲットのそれぞれに含まれるターゲットを分類するステップとを含む方法。
7. オーバレイ測定用の目盛校正曲線を生成する方法であって、
   ウエファ上にターゲットの第一アレイを印刷し、
   前記ターゲットのアレイ内の各ターゲットについて、ターゲット非対称パラメータ値を計算し、
   前記計算されたターゲット非対称パラメータ値を含む第一目盛校正曲線であり、その対称中心がゼロオーバレイに対応する第一目盛校正曲線を生成し、
   ターゲットの独立したアレイのためのオーバレイ測定の参照用に前記第一目盛校正曲線を用い、
   ターゲットの第二アレイは、前記第一アレイ中の第一部分に対応する前記第ニアレイの第一部分を前記ウエファの第二層に印刷し、前記第一アレイの第二部分に対応する前記第二アレイの第二部分を、前記ウエファの第一層に印刷し、
   前記計算されたターゲット非対称パラメータ値を含むターゲットの第二アレイ用の第二目盛校正曲線であり、その対称中心がゼロオーバレイに対応する第二目盛校正曲線を生成し、
   前記第一および第二目盛校正曲線のそれぞれの対称中心間の距離を測定し、
   前記各ターゲットの第一部分は、前記ウエファの第一層に印刷され、各ターゲットの第二部分は、前記ウエファの第二層に印刷されるものであり、前記第一および第二目盛校正曲線の前記対称中心間の距離に基づいたオーバレイ値と、前記ターゲットの第一および第二アレイ間のピッチのズレと前記第一または第二アレイのピッチのいずれかとの比とを計算する
   方法。