JP2018036528A5 - - Google Patents

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本発明の1つの側面は、コンピュータにより、第1乃至第N(Nは3以上の自然数)の特徴点を有するテンプレートを用いたテンプレートマッチングによって、画像の中の対象物の位置を検出する位置検出方法に係り、前記位置検出方法は、前記画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1乃至第n(≦N)の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記画像との相関性を示す指標を得る工程と、前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程において、注目特徴点が第J(Jは2以上かつN未満の自然数)の特徴点であるかを判定する工程と、注目特徴点が第Jの特徴点であると判定された場合に、第1乃至第Jの特徴点の処理に基づいて得られる前記相関性を示す中間的な指標が打ち切り条件を満たすかを判定する工程と、前記中間的な指標が前記打ち切り条件を満たす場合に、第(J+1)の特徴点から第Nの特徴点までの処理を打ち切る工程と、を含み、第Jの特徴点は、前記画像の中の前記対象物の位置を検出する処理を前記コンピュータに開始させる前に決定される。

Claims (17)

  1. コンピュータにより、第1乃至第N(Nは3以上の自然数)の特徴点を有するテンプレートを用いたテンプレートマッチングによって、画像の中の対象物の位置を検出する位置検出方法であって、
    前記画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1乃至第n(≦N)の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記画像との相関性を示す指標を得る工程
    前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程において、注目特徴点が第J(Jは2以上かつN未満の自然数)の特徴点であるかを判定する工程と
    注目特徴点が第Jの特徴点であると判定された場合に、第1乃至第Jの特徴点の処理に基づいて得られる前記相関性を示す中間的な指標が打ち切り条件を満たすかを判定する工程と
    前記中間的な指標が前記打ち切り条件を満たす場合に、第(J+1)の特徴点から第Nの特徴点までの処理を打ち切る工程とを含み、
    第Jの特徴点は、前記画像の中の前記対象物の位置を検出する処理を前記コンピュータに開始させる前に決定される、
    ことを特徴とする位置検出方法。
  2. 前記工程では、第1乃至第(J−1)の特徴点については前記中間的な指標を得ない、
    ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出方法。
  3. 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、第1乃至第Jの特徴点について前記相関性を示す指標値を得ることと、当該指標値に基づいて前記中間的な指標を得ることと、を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の位置検出方法。
  4. 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、
    第1乃至第Jの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点における前記テンプレートの値T(n)を変数とする関数の値について積算を行うことと、
    前記積算によって得られた値を変数とする関数の値に基づいて前記中間的な指標を得ることと、
    を含むことを特徴とする請求項3に記載の位置検出方法。
  5. 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、
    第1乃至第Jの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点における前記テンプレートの値T(n)と当該注目特徴点に対応する前記画像における画素の値とを変数とする関数の値について積算を行うことと、
    前記積算によって得られた値を変数とする関数の値に基づいて前記中間的な指標を得ることと、
    を含むことを特徴とする請求項3に記載の位置検出方法。
  6. 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、
    第1乃至第Jの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点における前記テンプレートの値T(n)を変数とする第1関数の値について第1の積算を行うことと、
    第1乃至第Jの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点に対応する前記画像における画素の値を変数とする第2関数の値について第2の積算を行うことと、
    前記第1の積算によって得られた値と前記第2の積算によって得られた値とに基づいて前記中間的な指標を得ることと、
    を含むことを特徴とする請求項3に記載の位置検出方法。
  7. 第Jの特徴点は、テスト画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1乃至第n(≦N)の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記テスト画像との相関性を示す指標を第1乃至第nの特徴点それぞれについて得て、前記テスト画像に関して第1乃至第nの特徴点それぞれについて得られた当該指標の遷移に基づい決定される、
    ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の位置検出方法。
  8. 前記打ち切り条件を決定する決定工程を更に含む、
    ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の位置検出方法。
  9. 前記決定工程は、テスト画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1乃至第nの特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記テスト画像との相関性を示す指標を第1乃至第nの特徴点それぞれについて得、前記テスト画像に関して第1乃至第nの特徴点それぞれについて得られた当該指標の遷移に基づいて前記打ち切り条件を決定する、
    ことを特徴とする請求項に記載の位置検出方法。
  10. 第1乃至第Nの特徴点を並べ替えることによって第1乃至第Nの特徴点を再定義する工程を更に有する、
    ことを特徴とする請求項1乃至のうちいずれか1項に記載の位置検出方法。
  11. 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、第1ないし第JN2(JN2はJより大きい自然数)の特徴点の処理に基づいて得られる中間的な指標が第2打ち切り条件を満たす場合に第(JN2+1)の特徴点以降についての処理を打ち切る、
    ことを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載の位置検出方法。
  12. コンピュータに請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載の位置検出方法を実行させるためのプログラム。
  13. 第1ないし第N(Nは3以上の自然数)の特徴点を有するテンプレートを用いたテンプレートマッチングによって、画像の中の対象物の位置を検出する位置検出装置であって、プロセッサに、
    前記画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1ないし第n(≦N)の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記画像との相関性を示す指標を得る工程と
    記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る工程において、注目特徴点が第J(Jは2以上かつN未満の自然数)の特徴点であるかを決定する工程と
    注目特徴点が第Jの特徴点であると判定された場合に、第1乃至第Jの特徴点の処理に基づいて得られる中間的な指標が打ち切り条件を満たすかを判定する工程と
    前記中間的な指標が前記打ち切り条件を満たす場合に、第(J+1)の特徴点から第Nの特徴点までの処理を打ち切る工程と、を実行させ、
    第Jの特徴点は、前記画像の中の前記対象物の位置を検出する処理を前記プロセッサに開始させる前に決定される、
    ことを特徴とする位置検出装置。
  14. 基板の上にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
    前記基板のマークを撮像する撮像部と、
    前記基板を位置決めする位置決め部と、
    前記撮像部によって得られた画像に基づいて前記位置決め部を制御する制御部と、を備え、
    前記制御部は、前記撮像部によって得られた画像の中のマークの位置を検出する請求項13に記載の位置検出装置を含む、
    ことを特徴とするリソグラフィ装置。
  15. 前記位置検出装置は、前記基板の属性に基づいて、第Jの特徴点および前記打ち切り条件のうち少なくとも一方を決定することを特徴とする請求項14に記載のリソグラフィ装置。
  16. 前記位置検出装置は、特定の基板に関する画像に基づいて、第Jの特徴点および前記打ち切り条件のうち少なくとも一方を決定することを特徴とする請求項14又は15に記載のリソグラフィ装置。
  17. 請求項14乃至16のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置を用いて基板の上にパターンを形成する工程と、
    前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
    を含むことを特徴とする物品製造方法。
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KR1020170109965A KR102233662B1 (ko) 2016-08-31 2017-08-30 위치 검출 방법, 위치 검출 장치, 리소그래피 장치 및 물품 제조 방법
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108764100B (zh) * 2018-05-22 2022-03-25 全球能源互联网研究院有限公司 一种目标行为检测方法及服务器
EP3650940A1 (en) * 2018-11-09 2020-05-13 ASML Netherlands B.V. A method in the manufacturing process of a device, a non-transitory computer-readable medium and a system configured to perform the method
JP7418080B2 (ja) * 2019-10-04 2024-01-19 キヤノン株式会社 位置検出装置、位置検出方法、リソグラフィ装置、及び物品の製造方法
CN117203665A (zh) * 2021-05-13 2023-12-08 发那科株式会社 图像处理装置
CN116072583B (zh) * 2023-02-13 2024-01-30 无锡星微科技有限公司 一种基于视觉的晶圆预对准平台以及对准方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2689688B2 (ja) * 1990-05-12 1997-12-10 三菱電機株式会社 画像処理方式
JPH0498377A (ja) * 1990-08-09 1992-03-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd パターンマッチング方法
JP2962266B2 (ja) * 1996-05-31 1999-10-12 日本電気株式会社 画像の位置合わせ方法
JPH10326739A (ja) * 1997-05-23 1998-12-08 Nikon Corp 位置合わせ方法及び露光方法
AU3325500A (en) * 1999-03-24 2000-10-09 Nikon Corporation Position determining device, position determining method and exposure device, exposure method and alignment determining device, and alignment determining method
JP2003324055A (ja) * 2002-04-30 2003-11-14 Canon Inc 管理システム及び装置及び方法並びに露光装置及びその制御方法
US7069104B2 (en) * 2002-04-30 2006-06-27 Canon Kabushiki Kaisha Management system, management apparatus, management method, and device manufacturing method
JP4272862B2 (ja) * 2002-09-20 2009-06-03 キヤノン株式会社 位置検出方法、位置検出装置及び露光装置
JP4227470B2 (ja) * 2003-06-18 2009-02-18 キヤノン株式会社 位置検出方法
JP4470503B2 (ja) * 2004-01-30 2010-06-02 株式会社ニコン 基準パターン決定方法とその装置、位置検出方法とその装置、及び、露光方法とその装置
JP4710827B2 (ja) * 2004-03-31 2011-06-29 株式会社ニコン アライメント条件決定方法及び装置、並びに露光方法及び装置
US7259828B2 (en) * 2004-05-14 2007-08-21 Asml Netherlands B.V. Alignment system and method and device manufactured thereby
JP4736707B2 (ja) * 2005-10-18 2011-07-27 株式会社ニコン 露光装置及びデバイス製造方法、並びに観察装置
US7983482B2 (en) * 2005-11-08 2011-07-19 Kitakyushu Foundation For The Advancement Of Industry, Science And Technology Matching apparatus, image search system, and histogram approximate restoring unit, and matching method, image search method, and histogram approximate restoring method
ATE550732T1 (de) * 2006-05-30 2012-04-15 Yissum Res Dev Co Musterabgleich
JP4943228B2 (ja) * 2007-05-22 2012-05-30 Juki株式会社 画像のマッチング処理方法
US8279409B1 (en) * 2009-08-05 2012-10-02 Cadence Design Systems, Inc. System and method for calibrating a lithography model
JP5689629B2 (ja) * 2010-08-30 2015-03-25 Juki株式会社 画像処理装置
JP5566928B2 (ja) * 2011-03-04 2014-08-06 株式会社東芝 マスク検査方法およびその装置
JP2013109589A (ja) * 2011-11-21 2013-06-06 Nikon Corp 相関演算装置
JP2015060421A (ja) * 2013-09-19 2015-03-30 株式会社バッファロー 類似画像検索方法及び類似画像検索装置
JP6567004B2 (ja) * 2017-08-30 2019-08-28 キヤノン株式会社 パターン形成装置、決定方法、プログラム、情報処理装置及び物品の製造方法

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