JP2018036528A5 - - Google Patents
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Description
本発明の1つの側面は、コンピュータにより、第1乃至第N(Nは3以上の自然数)の特徴点を有するテンプレートを用いたテンプレートマッチングによって、画像の中の対象物の位置を検出する位置検出方法に係り、前記位置検出方法は、前記画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1乃至第n(≦N)の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記画像との相関性を示す指標を得る工程と、前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程において、注目特徴点が第J(Jは2以上かつN未満の自然数)の特徴点であるかを判定する工程と、注目特徴点が第Jの特徴点であると判定された場合に、第1乃至第Jの特徴点の処理に基づいて得られる前記相関性を示す中間的な指標が打ち切り条件を満たすかを判定する工程と、前記中間的な指標が前記打ち切り条件を満たす場合に、第(J+1)の特徴点から第Nの特徴点までの処理を打ち切る工程と、を含み、第Jの特徴点は、前記画像の中の前記対象物の位置を検出する処理を前記コンピュータに開始させる前に決定される。
Claims (17)
- コンピュータにより、第1乃至第N(Nは3以上の自然数)の特徴点を有するテンプレートを用いたテンプレートマッチングによって、画像の中の対象物の位置を検出する位置検出方法であって、
前記画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1乃至第n(≦N)の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記画像との相関性を示す指標を得る工程と、
前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程において、注目特徴点が第J(Jは2以上かつN未満の自然数)の特徴点であるかを判定する工程と、
注目特徴点が第Jの特徴点であると判定された場合に、第1乃至第Jの特徴点の処理に基づいて得られる前記相関性を示す中間的な指標が打ち切り条件を満たすかを判定する工程と、
前記中間的な指標が前記打ち切り条件を満たす場合に、第(J+1)の特徴点から第Nの特徴点までの処理を打ち切る工程と、を含み、
第Jの特徴点は、前記画像の中の前記対象物の位置を検出する処理を前記コンピュータに開始させる前に決定される、
ことを特徴とする位置検出方法。 - 前記工程では、第1乃至第(J−1)の特徴点については前記中間的な指標を得ない、
ことを特徴とする請求項1に記載の位置検出方法。 - 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、第1乃至第Jの特徴点について前記相関性を示す指標値を得ることと、当該指標値に基づいて前記中間的な指標を得ることと、を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の位置検出方法。
- 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、
第1乃至第Jの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点における前記テンプレートの値T(n)を変数とする関数の値について積算を行うことと、
前記積算によって得られた値を変数とする関数の値に基づいて前記中間的な指標を得ることと、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の位置検出方法。 - 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、
第1乃至第Jの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点における前記テンプレートの値T(n)と当該注目特徴点に対応する前記画像における画素の値とを変数とする関数の値について積算を行うことと、
前記積算によって得られた値を変数とする関数の値に基づいて前記中間的な指標を得ることと、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の位置検出方法。 - 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、
第1乃至第Jの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点における前記テンプレートの値T(n)を変数とする第1関数の値について第1の積算を行うことと、
第1乃至第Jの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点に対応する前記画像における画素の値を変数とする第2関数の値について第2の積算を行うことと、
前記第1の積算によって得られた値と前記第2の積算によって得られた値とに基づいて前記中間的な指標を得ることと、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の位置検出方法。 - 第Jの特徴点は、テスト画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1乃至第n(≦N)の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記テスト画像との相関性を示す指標を第1乃至第nの特徴点それぞれについて得て、前記テスト画像に関して第1乃至第nの特徴点それぞれについて得られた当該指標の遷移に基づいて決定される、
ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の位置検出方法。 - 前記打ち切り条件を決定する決定工程を更に含む、
ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の位置検出方法。 - 前記決定工程は、テスト画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1乃至第nの特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記テスト画像との相関性を示す指標を第1乃至第nの特徴点それぞれについて得て、前記テスト画像に関して第1乃至第nの特徴点それぞれについて得られた当該指標の遷移に基づいて前記打ち切り条件を決定する、
ことを特徴とする請求項8に記載の位置検出方法。 - 第1乃至第Nの特徴点を並べ替えることによって第1乃至第Nの特徴点を再定義する工程を更に有する、
ことを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の位置検出方法。 - 前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、第1ないし第JN2(JN2はJより大きい自然数)の特徴点の処理に基づいて得られる中間的な指標が第2打ち切り条件を満たす場合に第(JN2+1)の特徴点以降についての処理を打ち切る、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の位置検出方法。 - コンピュータに請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載の位置検出方法を実行させるためのプログラム。
- 第1ないし第N(Nは3以上の自然数)の特徴点を有するテンプレートを用いたテンプレートマッチングによって、画像の中の対象物の位置を検出する位置検出装置であって、プロセッサに、
前記画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第1ないし第n(≦N)の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記画像との相関性を示す指標を得る工程と、
前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る工程において、注目特徴点が第J(Jは2以上かつN未満の自然数)の特徴点であるかを決定する工程と、
注目特徴点が第Jの特徴点であると判定された場合に、第1乃至第Jの特徴点の処理に基づいて得られる中間的な指標が打ち切り条件を満たすかを判定する工程と、
前記中間的な指標が前記打ち切り条件を満たす場合に、第(J+1)の特徴点から第Nの特徴点までの処理を打ち切る工程と、を実行させ、
第Jの特徴点は、前記画像の中の前記対象物の位置を検出する処理を前記プロセッサに開始させる前に決定される、
ことを特徴とする位置検出装置。 - 基板の上にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板のマークを撮像する撮像部と、
前記基板を位置決めする位置決め部と、
前記撮像部によって得られた画像に基づいて前記位置決め部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記撮像部によって得られた画像の中のマークの位置を検出する請求項13に記載の位置検出装置を含む、
ことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記位置検出装置は、前記基板の属性に基づいて、第Jの特徴点および前記打ち切り条件のうち少なくとも一方を決定することを特徴とする請求項14に記載のリソグラフィ装置。
- 前記位置検出装置は、特定の基板に関する画像に基づいて、第Jの特徴点および前記打ち切り条件のうち少なくとも一方を決定することを特徴とする請求項14又は15に記載のリソグラフィ装置。
- 請求項14乃至16のうちいずれか1項に記載のリソグラフィ装置を用いて基板の上にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
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