JP2016080475A5 - - Google Patents

Description

本発明の一側面としてのスロープデータ処理方法は、光の波面または物体の形状である解析対象のスロープをｘ方向およびｙ方向において互いに離間した複数の計測点で計測点ごとに計測して得られたスロープデータを用いて、解析対象のデータを取得する方法である。該方法は、互いに隣り合う２以上の計測点のスロープデータを用いて、該隣り合う計測点間でのｘ方向およびｙ方向での解析対象の差であるＤ_ｘおよびＤ_ｙを計算する第１のステップと、複数の計測点の中から、解析対象のデータの算出を開始する開始位置を複数設定する第２のステップと、１つの開始位置から解析対象のデータを求める位置までの経路上にあるＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算する第３のステップと、該１つの開始位置以外の各開始位置について第３のステップを繰り返す第４のステップと、第３および第４のステップで得られた全ての開始位置からのＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算して得られた複数の加算結果のｘ方向およびｙ方向での平均である平均加算結果を算出する第５のステップと、ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果から、該ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果の平均を引くことで、解析対象のデータを生成する第６のステップとを有することを特徴とする。

また、本発明の他の一側面としてのスロープデータ処理装置は、光の波面または物体の形状である解析対象のスロープをｘ方向およびｙ方向において互いに離間した複数の計測点で計測点ごとに計測して得られたスロープデータを用いて、解析対象のデータを取得する。該装置は、互いに隣り合う２以上の計測点のスロープデータを用いて、該隣り合う計測点間でのｘ方向およびｙ方向での解析対象の差であるＤ_ｘおよびＤ_ｙを計算する第１のステップと、複数の計測点の中から、解析対象のデータの算出を開始する開始位置を複数設定する第２のステップと、１つの開始位置から解析対象のデータを求める位置までの経路上にあるＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算する第３のステップと、該１つの開始位置以外の各開始位置について第３のステップを繰り返す第４のステップと、第３および第４のステップで得られた全ての開始位置からのＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算して得られた複数の加算結果のｘ方向およびｙ方向での平均である平均加算結果を算出する第５のステップと、ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果から、該ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果の平均を引くことで、解析対象のデータを生成する第６のステップとを含む処理を行うことを特徴とする。

また、本発明の他の一側面としてのスロープデータ処理プログラムは、コンピュータに、光の波面または物体の形状である解析対象のスロープをｘ方向およびｙ方向において互いに離間した複数の計測点で計測点ごとに計測して得られたスロープデータを用いて解析対象のデータを取得する処理を実行させるコンピュータプログラムである。該処理は、互いに隣り合う２以上の計測点のスロープデータを用いて、該隣り合う計測点間でのｘ方向およびｙ方向での解析対象の差であるＤ_ｘおよびＤ_ｙを計算する第１のステップと、複数の計測点の中から、解析対象のデータの算出を開始する開始位置を複数設定する第２のステップと、１つの開始位置から解析対象のデータを求める位置までの経路上にあるＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算する第３のステップと、該１つの開始位置以外の各開始位置について第３のステップを繰り返す第４のステップと、第３および第４のステップで得られた全ての開始位置からのＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算して得られた複数の加算結果のｘ方向およびｙ方向での平均である平均加算結果を算出する第５のステップと、ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果から、該ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果の平均を引くことで、解析対象のデータを生成する第６のステップとを含むことを特徴とする。

Claims (14)

1. 光の波面または物体の形状である解析対象のスロープをｘ方向およびｙ方向において互いに離間した複数の計測点で計測点ごとに計測して得られたスロープデータを用いて、前記解析対象のデータを取得する方法であって、
   互いに隣り合う２以上の前記計測点の前記スロープデータを用いて、該隣り合う計測点間でのｘ方向およびｙ方向での前記解析対象の差であるＤ_ｘおよびＤ_ｙを計算する第１のステップと、
   前記複数の計測点の中から、前記解析対象のデータの算出を開始する開始位置を複数設定する第２のステップと、
   １つの前記開始位置から前記解析対象のデータを求める位置までの経路上にあるＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算する第３のステップと、
   前記１つの開始位置以外の前記各開始位置について前記第３のステップを繰り返す第４のステップと、
   前記第３および第４のステップで得られた全ての前記開始位置からのＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算して得られた複数の加算結果のｘ方向およびｙ方向での平均である平均加算結果を算出する第５のステップと、
   前記ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果から、該ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果の平均を引くことで、前記解析対象のデータを生成する第６のステップとを有することを特徴とするスロープデータ処理方法。
2. 前記第１のステップにおいて、前記ｘ方向または前記ｙ方向において互いに隣り合う４以上のＮ個の前記計測点の前記スロープデータを用いて、（Ｎ−１）次のｘまたはｙについての多項式のフィッティングを行い、前記隣り合う計測点間での前記多項式の積分値の差を計算することで、Ｄ_ｘおよびＤ_ｙを計算することを特徴とする請求項１に記載のスロープデータ処理方法。
3. 前記第１のステップは、
   前記ｘ方向または前記ｙ方向において互いに隣り合う３以上のＮ個の前記計測点の前記スロープデータを用いて、（Ｎ−１）次のｘまたはｙについての第１の多項式のフィッティングを行い、前記隣り合う計測点間での前記第１の多項式の積分値の差を計算することで、前記解析対象の第１の差であるＤ_ｘ１およびＤ_ｙ１を計算するステップと、
   前記ｘ方向または前記ｙ方向において互いに隣り合う（Ｎ＋１）個の前記計測点の前記スロープデータを用いて、Ｎ次のｘまたはｙについての第２の多項式のフィッティングを行い、前記隣り合う計測点間での前記第２の多項式の積分値の差を計算することで、前記解析対象の第２の差であるＤ_ｘ２およびＤ_ｙ２を計算するステップと、
   Ｄ_ｘ１ とＤ_ｘ２の平均値とＤ_ｙ１とＤ_ｙ２の平均値をそれぞれＤ_ｘおよびＤ_ｙとするステップとを含むことを特徴とする請求項１に記載のスロープデータ処理方法。
4. 前記Ｎを前記スロープデータの変化量の大きさに応じて設定することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のスロープデータ処理方法。
5. 前記第２のステップにおいて、前記複数の開始位置を、前記スロープデータを有する前記計測点が存在する領域内で密度が均一になるように設定することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のスロープデータ処理方法。
6. 前記第２のステップにおいて、前記複数の開始位置を、前記スロープデータを有する前記計測点が存在する領域内で該領域の境界に近い側の方が該境界から遠い側よりも高密度になるように設定することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のスロープデータ処理方法。
7. 前記第３のステップにおいて、前記開始位置から前記解析対象を求める位置までの全ての最短経路上にあるＤ_ｘおよびＤ_ｙを加算した結果を、該最短経路の数で除算することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のスロープデータ処理方法。
8. 前記第３のステップは、
   前記開始位置から前記ｘおよびｙ方向のそれぞれにおいて前記差Ｄ_ｘおよびＤ_ｙを逐次加算して、加算位置ごとの逐次加算データを生成するステップと、
   前記開始位置から前記解析対象を求める位置までの全ての最短経路の数を計算するステップと、
   前記解析対象を求める位置に前記ｘおよびｙ方向においてそれぞれ互いに隣り合う２つの前記加算位置での前記逐次加算データに前記差Ｄ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算し、該加算により得られた２つのデータを前記最短経路の数で重み付けして加算するステップとを含むことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のスロープデータ処理方法。
9. 光の波面または物体の形状である解析対象のスロープをｘ方向およびｙ方向において互いに離間した複数の計測点で計測点ごとに計測して得られたスロープデータを用いて、前記解析対象のデータを取得するスロープデータ処理装置であって、
   互いに隣り合う２以上の前記計測点の前記スロープデータを用いて、該隣り合う計測点間でのｘ方向およびｙ方向での前記解析対象の差であるＤ_ｘおよびＤ_ｙを計算する第１のステップと、
   前記複数の計測点の中から、前記解析対象のデータの算出を開始する開始位置を複数設定する第２のステップと、
   １つの前記開始位置から前記解析対象のデータを求める位置までの経路上にあるＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算する第３のステップと、
   前記１つの開始位置以外の前記各開始位置について前記第３のステップを繰り返す第４のステップと、
   前記第３および第４のステップで得られた全ての前記開始位置からのＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算して得られた複数の加算結果のｘ方向およびｙ方向での平均である平均加算結果を算出する第５のステップと、
   前記ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果から、該ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果の平均を引くことで、前記解析対象のデータを生成する第６のステップとを含む処理を行うことを特徴とするスロープデータ処理装置。
10. 被検物に照明光を照射する光源と、
    前記照明光のうち前記被検物で透過または反射した被検光のスロープを計測してスロープデータを取得するスロープ取得手段と、
    請求項９に記載のスロープデータ処理装置とを有することを特徴とする計測装置。
11. 請求項１０に記載の計測装置により得られた前記解析対象のデータを用いて前記被検物を加工することを特徴とする加工装置。
12. 請求項１０に記載の計測装置により得られた解析対象のデータに基づいて製作されたことを特徴とする光学素子。
13. 光学系を含む光学装置を製造する方法であって、
    光源から発して前記光学系を透過または反射した被検光のスロープを計測してスロープデータを取得するステップと、
    取得された前記スロープデータを用いて、請求項１から８のいずれか一項に記載のスロープデータ処理方法により前記光学系のデータを取得するステップと、
    取得された前記光学系のデータに基づいて前記光学系を加工する第３のステップとを有することを特徴とする光学装置の製造方法。
14. コンピュータに、光の波面または物体の形状である解析対象のスロープをｘ方向およびｙ方向において互いに離間した複数の計測点で計測点ごとに計測して得られたスロープデータを用いて前記解析対象のデータを取得する処理を実行させるコンピュータプログラムであって、
    前記処理は、
    互いに隣り合う２以上の前記計測点の前記スロープデータを用いて、該隣り合う計測点間でのｘ方向およびｙ方向での前記解析対象の差であるＤ_ｘおよびＤ_ｙを計算する第１のステップと、
    前記複数の計測点の中から、前記解析対象のデータの算出を開始する開始位置を複数設定する第２のステップと、
    １つの前記開始位置から前記解析対象のデータを求める位置までの経路上にあるＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算する第３のステップと、
    前記１つの開始位置以外の前記各開始位置について前記第３のステップを繰り返す第４のステップと、
    前記第３および第４のステップで得られた全ての前記開始位置からのＤ_ｘおよびＤ_ｙをそれぞれ加算して得られた複数の加算結果のｘ方向およびｙ方向での平均である平均加算結果を算出する第５のステップと、
    前記ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果から、該ｘ方向およびｙ方向の平均加算結果の平均を引くことで、前記解析対象のデータを生成する第６のステップとを含むことを特徴とするスロープデータ処理プログラム。