JP2016038300A5 - - Google Patents

Description

式１４は、光スポットｂから対象光スポットｃへのベクトルが、光スポットａから光スポットｂへのベクトルｖと等しいという仮定に基づいている。換言すれば、２つの光スポットａ，ｂの既知の重心位置から波面の一次微分値と二次微分値を求め、それらの値を用いて対象光スポットｃの位置（ｇ_ｘ′（ｉ，ｊ），ｇ_ｙ′（ｉ，ｊ））を推定する。そして、重心計算領域を、光スポットｂの既知の重心位置に該ベクトルｖを加算した対象光スポットｃの位置を中心とする領域に設定する。

Claims (8)

1. 同一平面上に配列された複数のマイクロレンズと前記各マイクロレンズにより形成される光スポットを受光する光検出器とを有して光の波面の計測に用いられる光波面センサにおける前記光検出器上での前記各光スポットの重心位置を取得する方法であって、
   前記複数のマイクロレンズのうち、第１のマイクロレンズと第２のマイクロレンズによりそれぞれ形成される第１の光スポットおよび第２の光スポットの既知の重心位置または強度ピーク位置を用いて、第３のマイクロレンズにより形成される第３の光スポットの位置を推定する第１のステップと、
   推定した前記第３の光スポットの位置を用いて、前記光検出器上における前記第３の光スポットの重心位置の計算対象領域を設定する第２のステップと、
   前記計算対象領域において前記第３の光スポットの前記重心位置を計算する第３のステップとを含むことを特徴とする光スポット重心位置取得方法。
2. 前記第１のステップにおいて、
   前記第１の光スポットの前記既知の重心位置または強度ピーク位置から、前記第２の光スポットの前記既知の重心位置または強度ピーク位置までのベクトルをｖとするとき、
   前記第２のスポットの位置に前記ベクトルｖを加算した位置を前記第３の光スポットの位置として推定することを特徴とする請求項１に記載の光スポット重心位置取得方法。
3. 前記第３のステップにて計算した前記第３の光スポットの重心位置が前記計算対象領域の中心に位置するように、再度、前記第２のステップで新たな前記計算対象領域を設定し、該新たな計算対象領域において前記第３の光スポットの重心位置を再計算することを特徴する請求項１に記載の光スポット重心位置取得方法。
4. 前記重心位置が取得された前記第３のマイクロレンズに隣接するマイクロレンズを新たな第３のマイクロレンズとして前記第１から第３のステップを行うことにより該新たな第３のマイクロレンズに対する前記重心位置を取得するステップを順次繰り返して、前記複数のマイクロレンズのそれぞれに対する前記重心位置を取得することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の光スポット重心位置取得方法。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の光スポット重心位置取得方法により取得された前記重心位置を用いて前記波面を計測することを特徴とする光波面計測方法。
6. 請求項１から４のいずれか一項に記載の光スポット重心位置取得方法により取得された前記重心位置を用いて前記波面を計測することを特徴とする光波面計測装置。
7. 請求項５に記載の光波面計測方法または請求項６に記載の光波面計測装置を用いて光学素子の形状を計測し、該計測の結果を用いて前記光学素子を加工することを特徴とする光学素子の製造方法。
8. コンピュータに、同一平面上に配列された複数のマイクロレンズと前記各マイクロレンズにより形成される光スポットを受光する光検出器とを有して光の波面の計測に用いられる光波面センサにおける前記光検出器上での前記各光スポットの重心位置を取得させるコンピュータプログラムであって、
   前記コンピュータに、
   前記複数のマイクロレンズのうち、第１のマイクロレンズと第２のマイクロレンズによりそれぞれ形成される第１の光スポットおよび第２の光スポットの既知の重心位置または強度ピーク位置を用いて、第３のマイクロレンズにより形成される第３の光スポットの位置を推定させる第１のステップと、
   推定した前記第３の光スポットの位置を用いて、前記光検出器上における前記第３の光スポットの重心位置の計算対象領域を設定させる第２のステップと、
   前記計算対象領域において前記第３の光スポットの前記重心位置を計算させる第３のステップとを含むことを特徴とする光スポット重心位置取得プログラム。