JP2016096286A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独あるいは各種の組み合わせによって技術有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの1つの目的を達成すること自体で技術有用性を持つものである。
12:半導体基板
22:ソース領域
26:ボディ領域
28:ドリフト領域
30:ドレイン領域
32:底部領域
34a、34b:トレンチ
35:ゲート電極
38:ゲート絶縁層
62:ゲートパッド
64:分離領域
80a、80b:ソース電極
84:ドレイン電極
90a:第1素子領域
90b:第2素子領域
92:境界領域
Claims (6)
- 半導体装置であって、
表面と裏面を有する半導体基板と、
前記表面に形成されているゲートトレンチであって、第1トレンチと、前記第1トレンチから分離されているとともに前記表面において前記第1トレンチの長手方向の延長線上を伸びている第2トレンチを有するゲートトレンチと、
前記ゲートトレンチの内面を覆っているゲート絶縁層と、
前記ゲートトレンチ内に配置されており、前記ゲート絶縁層によって前記半導体基板から絶縁されているゲート電極、
を有し、
前記半導体基板が、前記第1トレンチに隣接する第1素子領域と、前記第2トレンチに隣接する第2素子領域を有しており、
第1素子領域と第2素子領域の各々が、
前記ゲートトレンチの長手方向に沿って伸びる前記ゲートトレンチの側面を覆っている前記ゲート絶縁層の側面部に接しており、前記表面に露出する第1導電型の第1領域と、
前記第1領域の裏面側で前記側面部に接している第2導電型のボディ領域と、
前記ボディ領域の裏面側で前記側面部に接しており、前記ボディ領域によって前記第1領域から分離されている第1導電型の第2領域と、
前記ゲートトレンチの底面を覆っている前記ゲート絶縁層の底面部に接しており、前記第2領域によって前記ボディ領域から分離されている第2導電型の底部領域、
を有しており、
前記半導体基板が、前記第1トレンチと前記第2トレンチの間に配置されており、前記第1素子領域の前記ボディ領域及び前記第2素子領域の前記ボディ領域から分離されており、前記表面から前記第1素子領域の前記ボディ領域及び前記第2素子領域の前記ボディ領域の何れよりも深い位置まで伸びている第2導電型の分離領域をさらに有する、
半導体装置。 - 前記分離領域が、前記第1素子領域の前記底部領域から分離されているとともに前記第2素子領域の前記底部領域から分離されており、
前記分離領域と前記第1素子領域の前記底部領域の間の距離、及び、前記分離領域と前記第2素子領域の前記底部領域の間の距離の両方が、前記第1トレンチと前記第2トレンチの間の距離の半分よりも短い請求項1の半導体装置。 - 前記分離領域が、前記表面から、前記第1トレンチの底面及び前記第2トレンチの底面の何れよりも深い位置まで伸びている請求項1または2の半導体装置。
- 前記第1素子領域の前記ボディ領域から前記第1素子領域の前記底部領域の間の距離、及び、前記第2素子領域の前記ボディ領域から前記第2素子領域の前記底部領域の間の距離の両方が、前記分離領域と前記第1素子領域の前記ボディ領域の間の距離、及び、前記分離領域と前記第2素子領域の前記ボディ領域の間の距離の何れよりも短い請求項1〜3のいずれか一項の半導体装置。
- 前記分離領域が、前記表面から、前記第1素子領域の前記底部領域の裏面側の端部、及び、前記第2素子領域の前記底部領域の裏面側の端部の何れよりも深い位置まで伸びている請求項1〜4のいずれか一項の半導体装置。
- 前記第1トレンチと前記第2トレンチの間の前記表面上に層間絶縁層が形成されており、
前記層間絶縁層上に、ボンディングパッドが形成されている、
請求項1〜5のいずれか一項の半導体装置。
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