JP2016016491A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明によれば、リンク機構を2つの球面滑り軸受を接続して構成することにより、2つの球面滑り軸受の各中心の廻りに全方向(360°)に微小な回転運動が可能になる。そして、2つの球面滑り軸受の軸心を直交させることにより、2つの球面滑り軸受の回転運動の中心の位相が90°ずれるため、運動の自由度が向上する。
本発明の好ましい態様は、前記回り止め機構は、前記リンク機構と、該リンク機構と前記ロータリジョイントとを連結するための回り止めプレートと、前記リンク機構と前記装置フレームとを連結するためのストッパプレートとからなることを特徴とする。
本発明によれば、リンク機構をロータリジョイントに連結することにより、ロータリジョイントとリンク機構とを一体化したロータリジョイント組立体の固有振動数が大きくなり、他の周辺部品の固有振動数と大きく異なってくる。したがって、ロータリジョイントとリンク機構とを一体化したロータリジョイント組立体と、冷却水配管等の周辺部品との共振を防止することができる。その結果、ロータリジョイントの捩り振動を防止でき、配管摩耗や異音発生を防止できる。
図1は本発明の一実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す平面図である。図1に示すように、本実施形態における研磨装置は、略矩形状のハウジング1を備えており、ハウジング1の内部は隔壁1a,1b,1cによってロード/アンロード部2と研磨部3(3a,3b)と洗浄部4とに区画されている。これらのロード/アンロード部2、研磨部3a,3b、および洗浄部4は、それぞれ独立に組み立てられ、独立に排気されるものである。
図4および図5に示すように、回り止め機構320は、ロータリジョイント308に固定された回り止めプレート321と、装置フレームFに固定されたストッパプレート322と、回り止めプレート321とストッパプレート322とを連結するリンク機構323とを備えている。
図7(a)に示すように、めねじ付球面滑り軸受326は、めねじ326sを有した本体部326aと、本体部326aの凹球面326asに嵌合された球面内輪326bとを備えている。球面内輪326bに形成された孔326hに前記ボルト331が挿通されることにより、めねじ付球面滑り軸受326はストッパプレート322に固定される。
図7(b)に示すように、おねじ付球面滑り軸受327は、おねじ327sを有した本体部327aと、本体部327aの凹球面327asに嵌合された球面内輪327bとを備えている。球面内輪327bに形成された孔327hに前記ボルト332が挿通されることにより、おねじ付球面滑り軸受327は回り止めプレート321に固定される。おねじ付球面滑り軸受327のおねじ327sがめねじ付球面滑り軸受326のめねじ326sに螺合されることにより、めねじ付球面滑り軸受326とおねじ付球面滑り軸受327とは一体化されてリンク機構323が構成される。したがって、リンク機構323は剛性の高い金属材料から構成されている。
したがって、回り止めプレート321とストッパプレート322とを連結する機構にダンパゴムからなる緩衝機構を用いた場合には、ダンパゴムの硬度を変えてもダンパゴムとロータリジョイントとの固有振動数が近似している条件では、ロータリジョイントにダンパゴムを連結することによってロータリジョイントの固有振動数(固有値)を変えることはできない。そのため、ロータリジョイントと冷却水シャフト等の周辺部品とが共振してしまい、ロータリジョイントに捩り振動が発生したり、冷却水シャフトと研磨テーブルの嵌合部から異音が発生する。なお、ダンパゴムとロータリジョイントとの固有振動数が充分に離間している条件では、制振可能である。
図9に示すように、トップリング301Aは、基板Wを研磨面に対して押圧するトップリング本体(キャリアとも称する)402と、研磨面を直接押圧するリテーナリング403とから基本的に構成されている。リテーナリング403はトップリング本体402の外周部に取り付けられている。トップリング本体402の下面には、基板の裏面に当接する弾性膜(メンブレン)404が取り付けられている。
また、リテーナリング403の直上にも弾性膜からなるリテーナリング加圧室409が形成されており、リテーナリング加圧室409は、トップリング本体402内に形成された流路415およびロータリジョイント417を介して外部配管420に接続されている。
1a,1b,1c 隔壁
2 ロード/アンロード部
3 研磨部
3a 第1研磨部
3b 第2研磨部
4 洗浄部
5 第1リニアトランスポータ
6 第2リニアトランスポータ
12,13 シャッタ
20 フロントロード部
21 走行機構
22 搬送ロボット
30A 第1研磨ユニット
30B 第2研磨ユニット
30C 第3研磨ユニット
30D 第4研磨ユニット
31 反転機
32 リフタ
33,34,37,38 プッシャ
41 反転機
42〜45 洗浄機
46 搬送ユニット
300A〜300D 研磨テーブル
301A〜301D トップリング
302A〜302D 研磨液供給ノズル
303A〜303D ドレッシング装置
304A〜304D アトマイザ
305A 研磨パッド
306A テーブル軸
308 ロータリジョイント
308R 回転環
308S 固定環
309 配管
310IN,310OUT 冷却水配管
311 トップリングシャフト
312 支持アーム
313 シャフト
314 固定ジョイント
315 外部配管接続ポート
320 回り止め機構
321 回り止めプレート
321a 水平プレート部
321b 折曲部
321c 凹部
322 ストッパプレート
322a 本体部
322b フランジ部
323 リンク機構
324 ダンパゴム
325,331,332 ボルト
326 めねじ付球面滑り軸受
326a 本体部
326as 凹球面
326b 球面内輪
326s めねじ
327 おねじ付球面滑り軸受
327a 本体部
327as 凹球面
327b 球面内輪
327h 孔
327s おねじ
402 トップリング本体
403 リテーナリング
404 弾性膜
404a 隔壁
405 センター室
406 リプル室
407 アウター室
408 エッジ室
409 リテーナリング加圧室
411〜415 流路
417 ロータリジョイント
420 外部配管
F 装置フレーム
TP1 第1搬送位置
TP2 第2搬送位置
TP3 第3搬送位置
TP4 第4搬送位置
TP5 第5搬送位置
TP6 第6搬送位置
TP7 第7搬送位置
W 基板
Claims (6)
- 基板を保持したトップリングを回転させるとともに研磨テーブルを回転させながら、トップリングにより基板を研磨テーブル上の研磨面に押圧して基板を研磨する研磨装置において、
前記研磨テーブルまたは前記トップリングの回転部に固定され、研磨テーブル内またはトップリング内に流体の供給および排出を行うためのロータリジョイントと、
前記ロータリジョイントと装置フレームとを連結して前記ロータリジョイントの回り止めを行う回り止め機構とを備え、
前記回り止め機構は少なくとも1つの球面滑り軸受を有したリンク機構を備えることを特徴とする研磨装置。 - 前記リンク機構は、2つの球面滑り軸受を接続したことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記2つの球面滑り軸受のうち、一方はおねじ付球面滑り軸受、他方はめねじ付球面滑り軸受であり、前記2つの球面滑り軸受はねじ締結されて一体化されていることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨装置。
- 前記回り止め機構は、前記リンク機構と、該リンク機構と前記ロータリジョイントとを連結するための回り止めプレートと、前記リンク機構と前記装置フレームとを連結するためのストッパプレートとからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 前記リンク機構を前記ロータリジョイントに連結することにより、前記ロータリジョイントの固有振動数を高め、前記研磨テーブルまたは前記トップリングの回転部材の固有振動数とは異なるようにしたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 前記回転部材は、前記研磨テーブル内に冷却水の供給および排出を行うための冷却水配管であることを特徴とする請求項5に記載の研磨装置。
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