JP6362390B2 - ロータリージョイント、及び、研磨装置 - Google Patents
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Description
Mechanical Polishing))が知られている。CMPを行うための研磨装置は、研磨パッドが貼り付けられた研磨テーブルと、研磨対象物(例えば半導体ウエハなどの基板、又は基板の表面に形成された各種の膜)を保持するためのトップリングとを備えている。研磨装置は、研磨テーブルを回転させるとともにトップリングを回転させながら研磨対象物を研磨パッドに押圧することによって研磨対象物を研磨する。
特に、ロータリージョイントが比較的低い回転速度で回転している場合には、異音が発生するおそれがある。
づいて説明する。まず、研磨装置について説明する。
図1は、研磨装置の全体構成を模式的に示す図である。図1に示すように、研磨装置100は、研磨対象物(例えば、半導体ウエハなどの基板、又は基板の表面に形成された各種の膜)102を研磨するための研磨パッド108を上面に取付け可能な研磨テーブル110と、研磨テーブル110を回転駆動する第1の電動モータ112と、研磨対象物102を保持可能なトップリング116と、トップリング116を回転駆動する第2の電動モータ118と、を備える。
次に、ロータリージョイント160について説明する。図2は、ロータリージョイントの概略構成、及び、軸受の構成を示す図である。図3は、ロータリージョイントの詳細構成を示す図である。
軸受1630は、一例としてリング状のボールベアリングであり、回転体1600(シャフト1610及びスリーブ1618)の両端部に一対に設けられる。具体的には、研磨テーブル110側に設けられた軸受1630は、シャフト1610の研磨テーブル110側の端部に設けられる。また、ロータリーコネクタ170側に設けられた軸受1630は、スリーブ1618のロータリーコネクタ170側の端部に設けられる。軸受1630は
、リング状に形成された内輪1634と、内輪1634より大きな径でリング状に形成された外輪1636と、内輪1634と外輪1636との間に挟まれた複数のボール1632と、を備える。
また、ハウジング1620には、一対の軸受1630と当接することによって一対の軸受1630が回転軸Aに沿って相互に近づく方向の移動を規制する規制部1628が形成される。具体的には、円筒状のハウジング1620の両端部の内周側の角部には、軸受1630の外輪1636が嵌め込まれる矩形の面取り加工がされている。この面取り加工によって、ハウジング1620には、軸受1630の外輪1636の外周面に当接する側面と、軸受1630の外輪1636の底面に当接する底面が形成される。規制部1628は、ハウジング1620の面取り加工によって形成される底面に相当する。
60によって純水を供給する場合には、回転体1600のシャフト1610は純水を通流させるために樹脂で形成される。この場合、樹脂のクリープ現象、及び、絶対強度の関係で適切な嵌め合いを持たせることが難しい場合がある。
102 研磨対象物
108 研磨パッド
110 研磨テーブル
116 トップリング
160 ロータリージョイント
162 チラー水の供給管
164 純水の供給管
166 チラー水の排出管
210 光学式膜厚センサ
1600 回転体
1610 シャフト
1612,1614,1616 流路
1618 スリーブ
1619 溝
1620 ハウジング
1622,1624,1626 流体接続口
1628 規制部
1630 軸受
1632 ボール
1634 内輪
1636 外輪
1640 弾性部材(Oリング)
1650 フランジ
1690 メカニカルシール
A 回転軸
Claims (5)
- 回転軸周りに回転する回転体と、
前記回転体の周囲に設けられたハウジングと、
前記回転体と前記ハウジングとの間に設けられ、前記回転体の回転を支持する軸受と、を備え、
前記回転体の内部に形成された流路を介して、基板を研磨するための研磨パッドが貼り付けられる研磨テーブル、又は、前記基板を保持して前記研磨パッドへ押圧する保持部、へ流体を供給可能なロータリージョイントであって、
前記回転体と前記軸受との間、及び、前記ハウジングと前記軸受との間、の少なくとも一方には、弾性部材が介在し、
前記軸受は、前記回転体の両端部に一対に設けられ、
前記ハウジングは、前記一対の軸受の外輪が嵌め込まれる矩形部を形成するように矩形の面取り加工がされており、
前記ハウジングの前記矩形部には、前記一対の軸受と当接することによって前記一対の軸受が前記回転軸に沿って相互に近づく方向の移動を規制する規制部が形成され、
前記ロータリージョイントは、前記ハウジングの両端部に設けられた一対のフランジをさらに備え、前記一対のフランジは、前記一対の軸受を前記規制部に押圧するようにねじ止めにより前記ハウジングの両端部に固定されている、
ことを特徴とするロータリージョイント。 - 請求項1のロータリージョイントにおいて、
前記回転体の前記軸受に対向する外面には、前記回転体の回転方向に沿って溝が形成され、
前記弾性部材は、前記溝に設けられたOリングである、
ことを特徴とするロータリージョイント。 - 請求項1又は2のロータリージョイントにおいて、
前記回転体は、前記回転軸に沿って延在するシャフトであり、
前記シャフトの内部には、前記流体を通流させるための流路が前記回転軸に沿って延在して形成される、
ことを特徴とするロータリージョイント。 - 請求項3のロータリージョイントにおいて、
前記流路には、少なくとも純水を含む流体が通流され、
前記シャフトは、樹脂で形成される、
ことを特徴とするロータリージョイント。 - 基板を研磨するための研磨パッドが貼り付けられる研磨テーブルと、
前記基板を保持して前記研磨パッドへ押圧する保持部と、
前記研磨テーブル、又は、前記保持部、へ流体を供給する請求項1〜4のいずれか1項のロータリージョイントと、
を備えることを特徴とする研磨装置。
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