KR101301763B1 - 로타리 조인트 - Google Patents

Abstract

본 발명의 로타리 조인트는 피밀봉유체가 흐르는 유체통로(6)를 가지는 고정부(60)와, 유체통로로부터의 유체가 흐르는 제2 접속유체통로(6C)를 내부에 가지며 고정부와 상대회전가능한 녹슬지 않는 재료로 만든 슬리브(30)와, 슬리브의 외주면에 끼워장착하는 내주면을 가지며 제2 접속유체통로를 연통가능하게 하는 제1 접속유체통로(6B)를 가지고, 또한 한쪽 측면에 제1 실링면(2A)를 가짐과 동시에 다른 쪽 측면에 제2 실링면(2B)을 가지는 회전밀봉환(2)과, 제1 실링면과 밀접하는 제1 상대실링면(10S)을 가지는 제1 정지용밀봉환(10)과, 제2 실링면과 밀접하는 제2 상대실링면(11S)을 가지며 제1 정지용밀봉환과의 사이에 유체통로와 제1 접속유체통로와 연통 가능하게 제2 정지용밀봉환(11)을 구비하는 것이다.

Description

로타리 조인트{ROTARY JOINT}

본 발명은 공급장치로부터 회전장치로 이종(異種)의 각 공급유체 또는 동종(同種)의 공급유체를 혼합시키는 일 없이 공급하여 작업하기 위해 서로의 상대회전부품에 마련한 연통로를 유통시키는 로타리 조인트에 관한 것이다. 특히 공급유체에 의해 부품이 녹슬거나 고장났을 때 각 부품의 교환을 용이하게 함과 동시에, 녹의 분말이 유체에 혼입되는 것을 방지한 로타리 조인트에 관한 것이다.

본 발명의 관련 기술로서 도4에 도시한 로타리 조인트가 존재한다(예를들어 단락 0009에기재된 특허문헌 1 또는 특허문헌 2를 참조). 도4는 이 로타리 조인트의 단면도이다. 이 로타리 조인트(100)는 실리콘웨이퍼의 표면을 연마하는 표면연마장치의 배관 통로에 장착 마련되는 것이다. 이 로타리 조인트(100)에는 원통상의 조인트 본체(101)가 마련되어 있다. 이 조인트 본체(101)의 내주면 내에는 회전체(102)가 회동가능하게 부착되어 있다. 회전체(102)의 일단에는 플랜지부(102A)가 마련되어 있으며, 이 플랜지부(102A)는 연마패드(도시 생략)에 연결된다. 그리고 회전체(102)에 마련된 슬러리용 유체통로(103)와 연마패드의 유체통로가 연통하도록 접속된다.

회전체(102)의 도시한 상단부에는 캡상의 회전밀봉환(105)이 O링을 통해 끼워장착하고 있다. 회전밀봉환(105)은 중심에 슬러리용 유체통로(103)가 마련되어 있으며, 이 슬러리용 유체통로(103)는 회전체(102)의 슬러리용 유체통로(103)와 연통함과 동시에, 슬러리용 유체통로(103)을 감싸는 선단면에 실링면(105A)이 마련되어 있다. 이 회전밀봉환(105)은 탄화규소 재료로 제작된다.

이 회전밀봉환(105)과 대향하는 위치에는 고정밀봉환(106)이 마련되어 있다. 이 고정밀봉환(106)은 조인트본체(101)의 단부에 마련된 헤드커버(110)의 내주면(110A)으로 원통부(106A)가 이동가능하게 끼워맞춤하고 있다. 이 고정밀봉환(106)의 선단면에는 실링면(105A)에 밀접(密接)하는 대향실링면(106B1)이 형성되어 있다. 그리고 고정밀봉환(106)을 관통하는 내주면에 의해 중간통로(107)가 마련되어 있다. 이 중간통로(107)은 슬러리용 유체통로(103)와 공급통로(111)에 연통하여 슬러리를 포함하는 유체를 유통시킨다. 이 고정밀봉환(106)은 스프링에 의해 회전밀봉환(105)으로 압압되어 실링면(105A)과 대향실링면(106B1)이 밀접한다. 이 중간통로(107)를 통과하는 슬러리를 포함하는 유체는 장기간에 내주면(110A)과 원통부(106A)의 끼워맞춤 사이에도 침입한다. 그리고 내주면(110A)에 녹을 발생시키므로 스프링력에 의해 작동하는 고정밀봉환(106)의 대향실링면(106B1)은 실링면(105A)에 대해서 밀봉상태가 악화된다. 그리고 이 회전밀봉환(105)와 고정밀봉환(106)에 의해 제1메카니컬실링장치(104)를 구성하고 있다.

또한 제1 메카니컬실링장치(104)의 외주측에는 조인트본체(101)와의 사이에 냉각통로(109)가 형성되어 있다. 이 냉각통로(109)는 냉각유입구(109A)와 유출구(도시 생략)에 연통하여 냉각유입구(109A)로부터 냉각통로(109)로 유입한 냉각수는 유출구로부터 외부로 되돌려진다. 그리고 냉각통로(109)내에는 회전체(102)의 상단부에 회전밀봉환(105)이 끼워장착하고 있으므로, 회전체(102)와 회전밀봉환(105)의 끼워맞춤 사이로 냉각수가 침입한다. 그리고 냉각수는 회전체(102)의 끼워맞춤면을 녹슬게 하므로 실링면(105A)이 마모되어 교환할 때 회전체(102)로부터 회전밀봉환(105)을 떼어내기가 곤란해진다.

그리고 조인트본체(101)에는 내주에 유체통로구(113A)와 연통하는 환상의 비슬러리용 유체통로(113)가 마련되어 있다. 이 유체통로(113)는 회전체(102)에 마련된 유통로(115)와 연통되어 있다. 이 유통로(115)와 비슬러리 유체통로(113)의 접속부에는 제2 메카니컬실링장치(116)가 배치되어 있다. 이 제2 메카니컬실링장치(116)는 비슬러리용 유체통로(113)내에 배치된 제3 메카니컬씰(117)과 제4 메카니컬씰(118)로 구성되어 있다. 또한 유통로(115)에 순수(純水) 등의 유체를 유통시키면 공업용수 등에 비해 제2 메카니컬실링장치(116)의 각 실링면의 윤활작용이 없으므로 발열과 동시에 마모가 촉진된다.

이 제3 메카니컬씰(117)은 회전체(102)에 슬라이딩 가능하게 끼워맞춘 제1 회전밀봉환(117A)과 조인트본체(101)에 고착된 제1 고정밀봉환(117B)으로 구성되어 있다. 또한 제4 메카니컬씰(118)은 회전체(102)에 슬라이딩 가능하게 끼워맞춘 제2 회전밀봉환(118A)과 조인트본체(101)에 고착된 제2 고정밀봉환(118B)으로 구성되어 있다. 그리고 제1회전밀봉환(117A)과 제2 회전밀봉환(118A)은 각각의 판스프링(120),(120)에 의해 대응하는 제1 고정밀봉환(117B)과 제2 고정밀봉환(118B)에 대해서 탄발(彈發)로 압압되어 있다.

또한 회전체(102)의 외주면에 환상홈을 마련함과 동시에, 환상홈의 양측에 O링(125),(125)을 배치하고, 이 회전체(102)의 외주면에 슬리브(121)를 끼워장착하여 제1 유통로(115A)가 형성되어 있다. 또한 제1 유통로(115A)에 연통하는 제2 유통로(115B)는 회전체(102)에 마련한 구멍에 의해 형성되어 있다. 그리고 이 제1 유통로(115A)와 제2 유통로(115B)에 의해 유통로(115)가 구성되어 있다. 이 유통로(115)로부터 유입된 유체는 제1 유통로(115A)를 흐를 때 회전체(102)와 슬리브(121)의 끼워맞춤 사이로도 침입한다. 이 때문에 장기적으로는 회전체(102)와 슬리브(121)의 끼워맞춤 사이를 녹슬게 하므로, 제2 메카니컬실링장치(116)를 교체할 때 회전체(102)로부터 슬리브(121)를 빼내는 것을 곤란하게 한다.

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 평 11-287372호 공보의 도1

특허문헌 2 : 일본 특허 공개 2001-141150호 공보의 도1

상술한 바와 같이 메카니컬씰의 실링면이 마모 또는 손상되었을 때 메카니씰을 부착하고 있는 부품도 교환해야 한다. 이 메카니컬씰의 부품이 조립된 접합면 사이로 공급유체가 침입하여 녹을 발생시키는 것이 문제로 되어 있다. 이 녹 등에 의해 서로의 부품 사이가 접착하여 이 부품의 교환이 곤란해지며, 또한 메카니컬씰을 분해할 수 없게 된다. 그리고 이 부품간의 녹이 공급유체에 혼합되어 흘러, 처리하는 정밀한 가공면 등에 불량을 발생시키는 원인이 되기도 한다.

[발명이 해결하고자 하는 과제]

본 발명은 이상과 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것이다. 그리고 그 기술적과제는 공급유체(처리유체 또는 피밀봉유체라고도 한다)에 의해 서로의 부품간에 녹이 발생하는 것을 방지한다. 또한 이 부품을 교환할 때의 각 부품 간의 분해를 용이하게 하는 것에 있다. 그리고 로타리 조인트의 조립에 있어서, 부품의 조립 코스트와 조립부품의 교환 코스트를 저감하는데 있다.

또한 각 부품 간의 녹이 공급유체와 함께 흘러 처리하는 가공면을 불량하게 하지 않도록하는 로타리 조인트를 얻는데 있다. 또한 로타리 조인트에 있어서의 메카니컬씰의 실링 능력을 발휘시켜 메카니컬씰로부터 누설되는 공급유체가 가공품에 부착되는 것을 방지하는데 있다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

본 발명은 상술한 기술적과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 기술적수단은 이하와 같이 구성되어 있다.

본 발명에 따른 로타리 조인트는 피밀봉유체가 고정부의 유체통로와 회전하는 슬리브의 유체통로를 상대회전 중에도 유체통로 밖으로 누설시키지 않고 유통가능하게 하는 로타리 조인트에 있어서, 피밀봉유체가 흐르는 유체통로를 가지는 고정부와, 유체통로로부터의 공급유체가 흐르는 제2 접속유체통로를 내부에 가짐과 동시에 회전축의 외주면에 끼워장착 가능한 내주면을 가지는 녹슬지 않는 재료로 만든 슬리브와, 슬리브의 외주면에 끼워장착하는 내주면과, 내주면을 관통하여 제2 접속유체통로와 연통하는 제1 접속유체통로를 가짐과 동시에, 한쪽 측면에 제1 실링면을 가지면서 다른 쪽 측면에 제2 실링면을 가지는 회전용밀봉환과, 제1실링면과 밀접하는 제1 상대실링면을 가지며 고정부에 밀봉으로 유지된 제1 정지용(靜止用)밀봉환과, 제2 실링면과 밀접하는 제2 상대실링면을 가지며 고정부에 밀봉으로 유지되어 제1 정지용밀봉환과의 사이에 유체통로와 제1 접속유체통로를 연통 가능하게 하는 유체통로를 형성하는 제2 정지용밀봉환을 구비하는 것이다.

[발명의 효과]

본 발명의 로타리 조인트에 따르면, 가공면을 처리하는 공급유체가 흐르는 제2 접속유체통로는 녹슬지 않는 재료로 만든 슬리브의 내부에 형성되어 있으므로, 공급유체가 슬리브와 회전축과의 접합 사이로 침입하는 일도 없고, 공급유체에 의해 슬리브와 회전축과의 접합 사이에 녹이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. 또한 녹슬지 않는 재료로 만든 슬리브와 끼워맞춤하는 회전용밀봉환도 녹슬지 않는 재료로 만든 슬리브에 의해 끼워맞춤면에 녹이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에 슬리브와 회전축 및 슬리브와 회전용밀봉환과의 사이에 녹의 발생을 방지할 수 있으므로, 각 밀봉환이 마모된 경우 또는 손상된 경우에 슬리브와 회전축 및 슬리브와 회전용밀봉환을 용이하게 분해하는 것이 가능해진다. 그리고 각 밀봉환 등의 부품의 교환이 극히 용이해지는 효과를 발휘한다. 그리고 녹이 공급유체에 혼입되면서 흘러 공급유체에 의해 가공하는 처리면을 불량품으로 하는 것도 방지할 수 있는 효과를 발휘한다. 또한 슬리브와 회전축과의 끼워맞춤면 사이에 녹이 발생하지 않으므로 기계에 조립된 회전축으로부터 용이하게 슬리브를 교환하는 것이 가능해진다. 이 때문에 메카니컬씰 및 로타리 조인트에 있어서의 부품의 조립 및 각 부품의 분해하는 코스트를 대폭 저감할 수 있는 효과를 발휘한다.

도1은 본 발명에 따른 제1 실시형태의 로타리 조인트의 전 단면도이다.

도2는 도1의 슬리브의 타단면 측의 정면도이다.

도3은 도1의 연결부의 끼워맞춤면 측의 정면도이다.

도4는 선행하는 로타리 조인트의 전 단면도이다.

1 로타리 조인트 2 제1 회전용밀봉환 2A 제1 실링면 2B 제2 실링면

2H 제1 걸어맞춤공 3 제2 회전용밀봉환 3S1 제3 밀봉면 3S2 제4 밀봉면

4 제3 고정용밀봉환 4S 제3 대향밀봉면 5 제4 고정용밀봉환

5S 제4 대향밀봉면 6 유체통로 6A 연통유체통로 6B 제1 접속유체통로

6C 제2 접속유체통로 6C1 지름방향 제2 접속유체통로 10 제1 정지용밀봉환

10C 제1 내주면 10K 제1 테이퍼면 10S 제1 상대실링면

11 제2 정지용밀봉환 11C 제2 내주면 11K 제2 테이퍼면

11S 제2 상대실링면 15A 제1 O링 15B 제2 O링 16 진공통로

16A 제3 접속진공통로 16C 제2 접속진공통로 16D 제1 접속진공통로

18A 제1 대향테이퍼면 18B 제2 대향테이퍼면 20 연결부 20B O링용 홈

20H 접합면 20S 내주면 26 통로 26A 제1 통로 26B 제5 통로

26C 제2 통로 26D 제3 통로 26E 제4 통로 30 슬리브

30A 외주면 30B 타단면 30C 내주면 30D 제1 고정공 30H 핀공

30W 나사공 32 O링 35A 제1 실링링 35B 제2 실링링 50 회전축

60 하우징 62C 공간실(공실; 空室)

이하 본 발명에 따른 로타리 조인트의 바람직한 실시형태를 도면을 참조하면서 설명한다. 도1은 본 발명에 따른 제1 실시형태의 로타리 조인트(1)의 전 단면도이다. 또한 도2는 도1의 슬리브(30)의 타단면(30B)측으로부터 본 정면도이다. 그리고 도3은 도1의 연결부(20)의 슬리브(30)측으로부터 본 정면도이다. 이하 도1의 설명에 있어서 도2와 도3의 부호도 참조하여 설명한다.

도1에 있어서, 1은 로타리 조인트이다. 이 로타리 조인트(1)는 연결부(20)를 하측으로 하고 회전축(50)을 견고한 타입으로 하여 부착한다. 그리고 로타리 조인트(1)는 회전축(50)에 끼워맞춤한 슬리브(30)와 하우징(60)과의 상대 회동하는 각 끼워맞춤면을 횡단하여 관통하는 유체통로(6)를 흐르는 공급유체(처리유체 또는 피밀봉유체라고도 한다, H)가 상대 회전중에도 끼워맞춤면 사이로부터 유체통로 밖으로 누설되는 것을 방지하도록 한 장치이다. 그리고 공급유체(H)가 흐르는 상기 유체통로(6)는 연통유체통로(6A), 제1 접속유체통로(6B), 제2 접속유체통로(6C), 및 제3 접속유체통로(6D)에 의해 구성되어 있다.

도1에 있어서 도시 생략되어 있으나, 로타리 조인트(1)에 연마제액의 공급유체(H)를 공급하여 가공면 등을 작업 처리하는 연마액 공급장치가 마련되어 있다. 이 연마액 공급장치에 접속된 배관의 이음매가 로타리 조인트(1)의 유체통로(6)의 입구에 마련한 관용나사에 접속가능하게 되어 있다. 또한 도시 생략한 진공장치로부터의 진공(B)을 유도하는 배관의 이음매가 진공통로(16)의 입구에 마련한 관용(管用)나사에 접속가능하게 되어 있다. 그리고 도시 생략한 액체(淸水)공급장치로부터의 유체(C)를 유동시키는 배관의 이음매가 세정겸 냉각용의 통로(26)의 입구에 마련한 관용나사에 접속가능하게 되어 있다.

이 로타리 조인트(1)에는 외부프레임의 본체를 이루는 하우징(60)이 마련되어 있다. 이 하우징(60)은 제1 하우징(60A)과 제2 하우징(60B)을 축방향으로 접합하여 한쪽 측면에 배열한 복수의 볼트(45)에 의해 양 부품을 결합한다. 또한 마찬가지로 제2 하우징(60B)과 제3 하우징(60C)을 접합하여 다른 쪽 측면으로부터 복수의 볼트(46)에 의해 축방향으로 결합한다. 그리고 하우징(60)은 원통체를 이루어 내주면을 형성한다. 이 각 부품은 단면 접합이므로 볼트를 풀면 간단하게 분해할 수 있다. 이 하우징(60)의 내주면 내에는 축방향 양측에 제1 베어링(42A)과 제2 베어링(42B)을 마련한다. 또한 회전축(50)의 외주면(50D)에는 키(65)를 통해 일체로 회전하는 슬리브(30)를 끼워장착한다. 그리고 양측의 제1베어링(42A)과 제2베어링(42B)에 의해 슬리브(30)와 일체의 회전축(50)을 회전가능하면서 축방향의 상대이동이 저지된 상태로 지지한다. 이 하우징(60)의 내주면과 슬리브(30)의 외주면(30A)과의 사이에는 제1베어링(42A)측의 제1 실링링(35A)과 제2 베어링(42B)측의 제2 실링링(35B)을 각각 배치하고, 그 양 실링링(35A, 35B) 사이에 공실(62C)을 형성한다. 그리고 하우징(60)은 스텐레스강에 의해 제작되어 있으나, 철강, 동합금, 니켈합금, 크롬합금 등의 금속이라도 무방하다.

하우징(60)에는 외주면으로부터 공실(공간실이라고도 한다, 62C)에 관통하는 연마액용의공급유체(H)를 공급하는 유체통로(6)를 마련한다. 또한 하우징(60)에 있어서의 유체통로(6)의 축방향 제1베어링(42A)측의 위치에는 가공품 등을 작업 중에 흡착하기 위해 외주면으로부터 공간실(62C)로 관통하여 진공(B)을 유도하는 진공통로(16)를 마련한다. 그리고 유체통로(6)의 제2 베어링(42B) 측의 위치에는 외주면으로부터 공실(62C)로 관통하는 냉각겸 세정용유체(냉각겸세정액, C)를 공급하는 통로(26)를 마련한다. 또한 진공통로(16)와 제1 베어링(42A) 사이에는 제1 드릴공(36)을 마련한다. 그리고 통로(26)와 제2베어링(42B)의 사이에는 제2 드릴공(43)을 마련한다. 이 제1 드릴공(36) 및 제2 드릴공(43)은 제1 메카니컬씰(M1) 및 제2 메카니컬씰(M2)로부터 누설된 유체를 외부로 유출시킨다.

슬리브(30)의 외주면(30A)과 하우징(60)의 내주면과의 사이의 공간실(62C)에는 지름방향에 대해서 대칭을 이루는 한쌍의 제1 메카니컬씰(M1)을 배치한다. 이 제1 메카니컬씰(M1)은 유체통로(6)의 유입방향과 대향하는 위치에 제1 회전용밀봉환(2)을 슬리브(30)에 대해서 밀봉으로 끼워장착한다. 그리고 제1 회전용밀봉환(2)에는 유체통로(6)의 유입지름방향으로 관통하는 제1 접속유체통로(6B)를 마련한다. 또한 제1 회전용밀봉환(2)에는 양측면에 제1 실링면(2A)과 제2 실링면(2B)을 마련한다. 그리고 제1 회전용밀봉환(2)에는 제1 접속유체통로(6B)와는 주방향(周方向)으로 180°의 반대측의 위치로 지름방향으로 관통하는 제1 걸어맞춤공(2H)을 마련한다. 그리고 제1 회전용밀봉환(2)이 슬리브(30)에 끼워맞춤한 끼워맞춤 사이에 있어서, 제1 접속유체통로(6B)와 제1 걸어맞춤공(2H)과의 축방향 양측에는 각각 O링(32,32)을 부착하여 제1 접속유체통로(6B)로부터 제2 접속유체통로(6C)로 흐르는 유체가 제1 회전용밀봉환(2)과 슬리브(30)의 끼워맞춤 사이로부터 누설되는 것을 방지한다. 그리고 제1 회전용밀봉환(2)의 재질은 카본, 탄화규소, 초경합금, 세라믹 등이 이용된다.

슬리브(30)의 제1 고정공(30D)에 걸어맞춘 제1 드라이브핀(61)이 제1 회전용밀봉환(2)의 제1 걸어맞춤공(2H)에 걸어멈춤하여 양 부품을 일체로 연결함과 동시에, 회전축(50)이 회전할 때 제1 회전용밀봉환(2)도 일체로 회동한다. 동시에 제1드라이브핀(61)은 제1 회전용밀봉환(2)의 양 실링면(2A,2B)을 변형시키지 않도록 제1 걸어맞춤공(2H)에 끼워맞춤하여 지지한다. 또한 제1 드라이브핀(61)은 강도를 향상시키기 위해 열처리되어 있다. 이 때문에 제1 드라이브핀(61)은 소직경으로 형성할 수 있음과 동시에, 제1 회전용밀봉환(2)도 축방향 폭이 작아져 소형으로 구성할 수 있게 된다. 그리고 제1 드라이브핀(61)에는 외주면에 O링용의 홈을 마련하고 있다. 그리고 이 O링용의 홈에 O링(32A)을 끼워맞춤하여 제1 드라이브핀(61)과 제1 고정공(30D)과의 끼워맞춤 사이를 실링한다. 이 O링(32A)에 의해 공간실(62C)내의 공급유체(H)가 회전축(50)의 외주면(50D)으로 침입하는 것을 방지한다.

제1 회전용밀봉환(2)의 제1 실링면(2A)측에는 제1 실링면(2A)과 밀접하는 제1 상대실링면(10S)을 마련한 제1 정지용밀봉환(10)을 배치한다. 또한 제2 실링면(2B)측에는 제2 실링면(2B)과 밀접하는 제2 상대실링면(11S)을 마련한 제2 정지용밀봉환(11)을 배치한다. 이 제1정지용밀봉환(10)은 외주면을 제1 O링(15A)에 압접되는 제1 테이퍼면(10K)에 형성함과 동시에, 제1 내주면(10C)을 슬리브(30)의 외주면(30A)에 대해 냉각겸 세정유체(C)가 흐르는 틈새를 형성한다. 또한 제2 정지용밀봉환(11)은 외주면을 제2 O링(15B)에 압접되는 제2 테이퍼면(11K)에 형성함과 동시에, 제2 내주면(11C)을 슬리브(30)의 외주면(30A)에 대해서 냉각겸 세정유체(C)가 흐르는 틈새를 형성한다. 이 때문에 제1 정지용밀봉환(10)과 제2 정지용밀봉환(11)은 양 부품의 주면을 끼워장착하는 구성이 아니므로, 슬리브(30)에 대해서 조립과 분해가 용이해진다.

또한 제1 정지용밀봉환(10)과 제2 정지용밀봉환(11)은 거의 동일 형상으로 형성하므로 대칭으로 배치할 수 있다. 이 때문에 이들 각 정지용밀봉환(10, 11)은 형상이 동일하므로, 동일 가공방법에 의해 가공비도 저감할 수 있다. 그리고 이들 각 정지용밀봉환(10, 11)은 다른 형상의 부품점수도 저감할 수 있다. 그리고 전체가 컴팩트해지므로 로타리 조인트(1)도 소형으로 형성할 수 있다. 그 결과 전체 코스트를 저감하는 효과를 기대할 수 있다. 그리고 제1 회전용밀봉환(2), 제1 정지용밀봉환(10) 및 제2 정지용밀봉환(11)은 탄화규소, 카본, 세라믹, Ni, Cr을 포함하는 경질합금 등의 녹슬지 않는 재료로 제작한다.

제1 정지용밀봉환(10)의 제1 테이퍼면(10K)에 대향하는 하우징(60)의 면에 제1 대향테이퍼면(18A)을 형성한다. 또한 제2 정지용밀봉환(11)의 제2 테이퍼면(11K)에 대향하는 하우징(60)의 면에도 제2 대향테이퍼면(18B)을 형성한다. 이 제1 대향테이퍼면(18A)과 제1 테이퍼면(10K) 사이의 대향면 사이 및 제2 대향테이퍼면(18B)과 제2 테이퍼면(11K)과의 사이의 대향면 사이는 제1 정지용밀봉환(10)과 제2 정지용밀봉환(11)사이에 있어서의 지름방향을 이루는 중앙면을 향해 서서히 간격을 좁히도록 형성한다. 그리고 제1 대향테이퍼면(18A)과 제1 테이퍼면(10K) 사이에 고무 또는 탄성수지재제의 제1 탄성실링링(이하 제1 O링이라 한다, 15A)를 배치한다. 이 제1 O링(15A)에 의해 제1 정지용밀봉환(10)의 제1 상대실링면(10S)을 탄발적으로 제1 실링면(2A)으로 압접함과 동시에, 제1 테이퍼면(10K)과 제1 대향테이퍼면(18A) 사이를 실링한다. 또한 제2 대향테이퍼면(18B) 와 제2 테이퍼면(11K) 사이에 고무 또는 탄성수지재제의 제2 탄성실링링(이하, 제2 O링이라 한다, 15B)를 배치한다. 그리고 제2 O링(15B)에 의해 제2 정지용밀봉환(11)의 제2 상대실링면(11S)을 탄발적으로 제2실링면(2B)으로 압접함과 동시에, 제2 테이퍼면(11K)과 제2 대향테이퍼면(18B) 사이를 실링한다. 그리고 제1 O링(15A)과 제2 O링(15B)과의 사이의 공간실(62C)에 제1 접속유체통로(6B)로 연통하는 유체통로(6)를 형성한다.

그리고 각 O링(15A, 15B)에 의해 대칭을 이루는 각 제1 및 제2 정지용밀봉환(10, 11)을 서로 대향하는 방향으로 탄성적으로 압압함과 동시에, 종래기술과 같이 각 제1 및 제2 정지용밀봉환(10, 11)을 압압하는 금속제의 스프링을 마련할 필요가 없다. 이 때문에 스프링의 부식에 의해 압압되는 제1 및 제2 정지용밀봉환(10,11)의 작동 불량을 방지할 수 있다. 동시에 이러한 구성은 제1 메카니컬씰(M1)의 부품점수를 저감할 수 있다. 또한 슬라이딩 실링면이 마련되어 있지 않은 제1 O링(15A)과 제2 O링(15B)에 의해 슬러리나 케미칼액의 공급유체(H)를 문제없이 실링하는 것이 가능해진다. 그리고 하우징(60)의 내주면에는 유체통로(6)를 구획하도록 구획링(9)을 끼워장착한다. 이 구획링(9)에는 유체통로(6)의 일부를 이루는 다수의 연통유체통로(6A, 6A)를 마련한다. 그리고 제1 메카니컬씰(M1)의 한쪽 제1 O링(15A)과 제1 실링면(2A)과 제1 상대실링면(10S)의 구성, 및 다른 쪽 제2 O링(15B)과 제2 실링면(2B)과 제2 상대실링면(11S)의 구성 사이의 공간실(62C)에 형성되는 유체통로(6)에 의해, 유체통로(6)와 제1 접속유체통로(6B)는 하우징(60)과 회전축(50)이 상대 회전 중에도 연통된다.

다음에, 도2는 슬리브(30)의 타단면(30B)을 나타낸 정면도이다. 슬리브(30)의 내부에는 제1 접속유체통로(6B)에 연통하는 지름방향 제2접속유체통로(6C1)와, 지름방향 제2접속유체통로(6C1)로부터 축방향통로로 구부러지는 단면 L형으로 형성된 제2 접속유체통로(6C)를 형성한다. 이 제2 접속유체통로(6C)의 단면은 장공으로 형성되어 타단면(30B)에 관통한다. 그리고 슬리브(30)의 내부에는 제2 접속유체통로(6C)와는 주방향으로 떨어진 위치에 단면이 L형인 제2 접속진공통로(16C)를 형성한다. 이 제2 접속진공통로(16C)도 타단면(30B)으로 관통된다. 이 슬리브(30)는 녹슬지 않는 재료인 스텐레스강에 의해 원통체로 형성한다. 또한 슬리브(30)는 기타 재질로서 세라믹, 경질수지, 기타 녹슬지 않는 재료에 의해 제작한다. 슬리브(30)의 내주면(30C)은 회전축(50)의 외주면(50D)에 이 외주면(50D)에 마련한 스텝면과 일단면(30E)을 걸어멈춤하여 끼워장착한다. 이 슬리브(30)의 내주면(30C)과 회전축(50)의 외주면(50D)의 끼워맞춤면 사이의 축방향의 양측으로는 O링(34A, 34B)을 마련하여 끼워맞춤면 사이로 수분이 침입하지 않도록 하는 것도 가능하다. 동시에 회전축(50)의 키홈(50K)에 마련한 키(65)에 의해 슬리브(30)를 회전축(50)과 걸어 멈춤하여 동시회전 가능하게 고정한다. 또한 슬리브(30)의 타단면(30B)측에는 핀공(30H)과 나사공(30W)을 마련한다.

도3은 연결부(20)의 접합면(20H)측의 정면도이다. 도1, 도2 및 도3을 참조하여 이하에 설명한다. 상술한 슬리브(30)에 대해서 플랜지상을 이루는 연결부(20)의 내주면(20S)을 회전축(50)의 외주면의 나사부에 나사박음하거나, 또는 연결부(20)의 접합면(20H)을 타단면(30B)측의 외주면에 접합하여 도시 생략의 볼트와 슬리브(30)에 마련한 나사공(30W, 도2 참조)를 나사결합하여 슬리브(30)의 타단면(30B)에 결합한다. 이때 이 접합면(20H)에 박아넣은 핀(25)을 핀공(30H)에 걸어맞춤하여 슬리브(30)과 연결부(20)의 각 접속유체통로(6C, 6D) 및 각 접속진공통로(16C, 16A)에 있어서의 각 접속통로가 연통하도록 위치결정한다. 그리고 너트(51)를 회전축(50) 외주의 나사에 나사박음하여 연결부(20)를 확실하게 고정한다.

이 연결부(20)에는 제2 접속유체통로(6C)와 연통하는 제3 연속유체통로(6D)를 형성한다. 이 접합면(20H)에 있어서의 제3 접속유체통로(6D)의 주위에는 O링용홈(20B)을 형성한다. 이 O링용홈(20B)에는 O링(31)을 부착하여 접합면(20H)과 슬리브(30)의 타단면(30B)의 접합면 사이를 실링한다. 또한 연결부(20)에는 제2 접속진공통로(16C)에 연통하는 제3 접속진공통로(16A)를 형성한다. 이 제2 접속진공통로(16C)와 제3 접속진공통로(16A)의 접속면 사이에도 O링(31)과 마찬가지로 도시 생략의 O링을 마련한다. 그리고 슬리브(30)의 타단면(30B)과 연결부(20)의 접합면(20H)은 접촉면이 작고 또한 긴 원통면에 끼워맞춤할 이유는 없으므로, 양 부품을 용이하게 분해 가능하다. 또한 연결부(20)는 스텐레스강으로 제작한다. 그러나 연결부(20)의 재질은 철강, 동합금, 크롬계합금, 니켈계합금 등이라도 무방하다.

이 제2 접속진공통로(16C) 중 지름방향 제2접속진공통로(16C1)와 대향한 하우징(60)에는 진공통로(16)를 마련한다. 이 진공통로(16)는 진공(B)을 유도하는 것이다. 이 진공통로(16)와 지름방향 제2 접속진공통로(16C1)의 사이는 슬리브(30)와 밀봉으로 끼워장착한 제2 회전용밀봉환(3)에 제2 접속진공통로(16C)의 지름방향 제2접속진공통로(16C1)와 연통시킨 동일 방향의 제1 접속진공통로(16D)를 형성한다. 그리고 이 제2 메카니컬씰(M2)에 의해 상대 회전 중에도 진공통로(16)와 제2 접속진공통로(16C) 사이는 외부 유체가 침입하지 않는 일 없이 연통가능하게 한다. 이 제2 메카니컬씰(M2)의 구성은 슬리브(30)의 외주면(30A)에 밀봉으로 끼워장착한 제2 회전용밀봉환(3)의 한쪽 축방향의 단면에 제3 밀봉면(3S1)을 형성함과 동시에, 다른 쪽 축방향의 단면에 제4 밀봉면(3S2)을 형성한다. 그리고 제2 회전용밀봉환(3)은 제1 회전용밀봉환(2)과 마찬가지로 제2드라이브핀에 의해 슬리브(30)에 고정한다. 즉 이 제2 드라이브핀의 O링용의 홈에 제2 O링(32B)을 끼워맞춤하여 제2 고정공과의 끼워맞춤 사이를 실링하여, 바깥방향의 유체가 회전축(50)의 외주면(50D)이나 제1 접속진공통로(16D)로 침입하는 것을 방지한다.

그리고 하우징(60)에 밀봉으로 끼워장착한 제3 고정용밀봉환(4)의 단면에 마련한 제3 대향밀봉면(4S)을 제3 밀봉면(3S1)에 밀접한다. 동시에 하우징(60)에 밀봉으로 끼워장착한 제4 고정용밀봉환(5)의 단면에 마련한 제4 대향밀봉면(5S)을 제4밀봉면(3S2)에 밀접한다. 그리고 제3 대향밀봉면(4S)와 제3 밀봉면(3S1) 및 제4 대향밀봉면(5S)과 제4 밀봉면(3S2)을 슬라이딩 가능하게 밀접시켜 회전축(50)과 동시 회전의 슬리브(30)가 하우징(60)과 상대 회전중이라도 진공통로(16)와 제1 접속진공통로(16D)의 사이를 연통 가능한 전체의 진공통로(16)로 구성한다. 그리고 제2 회전용밀봉환(3), 제3 고정용밀봉환(4) 및 제4 고정용밀봉환(5)의 재질은 탄화규소, 카본, 세라믹, Ni, Cr계의 경질합금 등의 녹슬지 않는 재료로 제작한다. 또한 제1 접속진공통로(16D), 제2 접속진공통로(16C), 제3 접속진공통로(16A)는 명칭을 나누고 있으나 통로 전체를 진공통로(16)라고 칭한다.

그리고 하우징(60)에 마련된 냉각겸 세정유체(C)를 유동시키는 통로(26)는 슬리브(30)의 외주면(30A)과 하우징(60)의 내주면과의 사이를 지나 제2 정지용밀봉환(11)의 제2 상대실링면(11S)과 제1 회전용밀봉환(2)의 제2 실링면(2B)의 밀접면과, 제2 O링(15B)의 양면이 밀접한 밀접면에 의해 구획된 공간으로 연통하는 제1 통로(26A)를 마련한다. 그리고 이 제1 통로(26A)로부터 하우징(60)의 축방향으로 통로공에 형성함과 동시에, 이 통로공을 주방향으로 복수개 마련된 제2 통로(26C)를 형성한다. 그리고 또한 이 제2 통로(26C)로부터 제4 고정용밀봉환(5)의 측면 측의 연통로를 지나고, 이 제4 고정용밀봉환(5)의 내주면 측에 있어서의 하우징(60)의 내주면과 슬리브(30)의 외주면 사이의 연통로로 연통함과 동시에, 제4 고정용밀봉환(5)의 제4 대향밀봉면(5S)과 제2 회전용밀봉환(3)의 제4 밀봉면(3S2)의 밀접면과, 제1 정지용밀봉환(10)의 제1 상대실링면(10S)과 제1 회전용밀봉환(2)의 제1실링면(2A)의 밀접면과, 제1 O링(15A)의 양 밀접면에 의해 구획된 공간으로 연통하는 제3 통로(26D)를 형성한다.

또한 이 제3 통로(26D)로부터 하우징(60)에 마련한 은선으로 나타낸 구멍통로에 형성한 제4통로(26E)를 형성한다. 그리고 제3 고정용밀봉환(4)의 제3 대향밀봉면(4S)과 제2 회전용밀봉환(3)의 제3 밀봉면(3S1)에 의해 구획된 공간에 연통하여 배출하는 제5 통로(26B)를 형성한다. 그리고 제5 통로(26B)는 도시상 브라인드플러그로 막혀 있는데, 도시 생략의 외부로부터의 배관과 주방향선 상의 특별한 위치의 동일한 제5통로(26B)에 마련된 관용나사와 접속되어 있다. 그리고 통로(26)를 지나는 냉각겸 세정유체(청수 또는 냉각가스, C)에 의해 제1 메카니컬씰(M1)과 제2 메카니컬씰(M2)의 각 밀봉환의 각 실링면(유체통로 6과 진공통로 16의 외측)과, 제1 O링(15A) 및 제2 O링(15B)의 밀봉면(밀접합면)을 냉각함과 동시에 세정하여 제1 메카니컬씰(M1)과 제2 메카니컬씰(M2)의 실링 능력을 발휘시킨다.

이 로타리 조인트(1)의 유체통로(6)로부터 공급된 연마가루를 포함하는 연마제액의 공급유체(H)는 제1 메카니컬씰(M1)에 의해 하우징(60)과 슬리브(30)가 끼워장착한 회전축(50)이 상대 회전 중에도 유체통로(6)와 제1 접속유체통로(6B)를 연통시켜 공급유체(H)를 제2 접속유체통로(6C)로 도입시킨다. 그리고 슬리브(30)내의 제2 접속유체통로(6C)를 흘러 연결부(20)내에 마련된 제3 접속유체통로(6D)에 이르러 도시 생략의 연마장치로 공급된다. 이 때문에 연마제액의 공급유체(H)는 회전축(50)과 슬리브(30)의 끼워맞춤면 사이로 누설되는 일도 없고, 회전축(50)과 슬리브(30)의 끼워맞춤면 사이에 연마제액의 공급유체(H)가 침입하며, 이 침입한 공급유체(H)에 의해 녹이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한 세정겸 냉각액의 유체(C)의 공급장치로부터는 배관을 통해 로타리 조인트(1)의 통로(26)로 연통되고, 이 공급장치로부터 유입되는 청수에 의해 제1 메카니컬씰(M1) 및 제2 메카니컬씰(M2)이 냉각됨과 동시에 세정된다.

이와 같이 하여 슬리브(30)와 회전축(50)의 끼워맞춤면 사이에는 공급유체(H)나 불순물이 침입하지 않도록 할 수 있음과 동시에, 각 부품을 용이하게 분해할 수 있도록 할 수 있다. 그리고 슬리브(30)와 제1 회전용밀봉환(2)의 끼움장착면 사이는 양 O링(32,32)에 의해 피밀봉유체가 실링되므로, 이 끼움장착면 사이의 녹도 방지할 수 있다. 또한 양 부품의 끼워맞춤하는 도중의 한쪽 부품을 녹슬지 않는 재료로 하면 한쪽 부품은 녹슬지 않으므로 양 부품은 접착하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 그리고 제1 회전용밀봉환(2), 제1 및 제2 정지용밀봉환(10, 11), 제2 회전용밀봉환(3), 제3 및 제4 고정용밀봉환(4, 5)은 탄화규소나 카본재제이므로 녹슬지 않는 재료에 상당한다. 이 녹슬지 않는 재료는 분해할 수 없을 정도로 녹스는 일도 없고, 또한 이들 각 밀봉환(2,10,11,3,4,5)는 드라이브핀에 의해 걸어멈춤하는 구성과, O링에 의해 끼워맞춤 사이를 탄성지지하는 구성에 의해, 게다가 끼워맞춤면을 축방향으로 짧게 할 수 있으므로 용이하게 분해하는 것이 가능해진다. 그리고 도1에 나타낸 각 O링(32, 32A, 32B...)은 제1 O링(15A) 및 제2 O링(15B)과 마찬가지로 고무재제 또는 수지재제이다.

이하, 본 발명에 따른 다른 실시태양의 발명에 대해서 그 구성과 작용효과에 대해서 설명한다.

본 발명에 따른 제1 발명의 로타리 조인트는 제1 정지용밀봉환이 제1 실링면과 반대측의 배면에 형성되어 제1 실링면을 압압가능하게 된 제1테이퍼면을 가지며, 제2 정지용밀봉환이 제2 실링면과 반대측의 배면에 형성되어 제2 실링면을 압압가 능하게 된 제2 테이퍼면을 가지며, 밀봉으로 유지된 제1 정지용밀봉환에는 제1 테이퍼면과 제1 테이퍼면과 대향하는 고정부의 제1 대향테이퍼면과의 사이를 밀봉하여 제1 상대실링면을 제1 실링면에 압압하는 제1 탄성실링링을 구비하고, 밀봉으로 유지된 제2 정지용밀봉환에는 제2 테이퍼면과 제2 테이퍼면과 대향하는 고정부의 제2 대향테이퍼면과의 사이를 밀봉하여 제2 상대실링면을 제2 실링면에 압압하는 제2 탄성실링링을 구비하는 것이다.

이 제2 발명의 로타리 조인트에 의하면, 각 정지용밀봉환은 끼워장착면이 없고, 또한 각 탄성실링링도 접합면이 평면에 대해서 곡면으로 접합하며, 게다가 고무상 탄성재이므로 녹스는 일도 없어 간단히 제거할 수 있는 구성이다. 또한 양 정지용밀봉환에 끼워져 회전용밀봉환은 착탈 가능하게 끼워맞춤하고 있으며, 게다가 이 회전용밀봉환과 녹슬지 않는 슬리브와의 끼워맞춤 사이는 양 부품이 강하게 접착하는 것도 방지할 수 있다. 즉 접합되는 한쪽 부품이 녹슬지 않는다면 접합면은 탈리(脫離) 곤란해질 때까지 녹에 의해 접착하는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에 회전용밀봉환도 슬리브로부터 용이하게 제거할 수 있다. 따라서 회전축으로부터 슬리브를 제거하면 메카니컬실링의 부품은 전체를 간단하게 분해할 수 있는 효과를 발휘한다.

본 발명에 따른 제2 발명의 로타리 조인트는 제2 접속유체통로가 일단부를 제1 접속유체통로에 연통함과 동시에, 슬리브의 내부를 지나 타단면에 관통하며 또한 슬리브의 타단면 측에 결합한 플랜지상의 연결부의 내부에 형성된 제3 접속유체통로와 연통하는 것이다.

이 제2 발명의 로타리 조인트에 의하면, 제2 접속유체통로가 원통상 슬리브의 내부를 지나고 있으므로, 회전축보다 대직경으로 형성된 슬리브의 내부에서 원주를 따라 다수개라도, 또한 단면이 원호상의 장공이라도 제2 접속유체통로를 자유로운 크기로 형성하여 많은 유량을 유동시키는 것도 가능해진다. 게다가 슬리브의 타단면으로부터 플랜지상의 연결부를 지나 지름방향 외방으로 방사상으로 제3 접속유체통로를 형성할 수 있으므로, 다수의 각 유체통로를 형성하는 것이 가능해지며, 제3 접속유체통로의 처리장치와의 다수의 접속이 용이해진다. 그리고 녹슬지 않는 슬리브의 타단면과 연결부의 접합면은 단면 접합이며, 녹의 발생도 적으므로 양 부품을 용이하게 분해하는 것이 가능해진다. 그리고 녹슬지 않는 재질의 슬리브에 마련한 제2 접속유체통로에 의해 처리유체에 녹 등이 혼입되는 일도 없으므로, 정밀한 가공물의 표면에 불순물을 부착시키는 것도 방지할 수 있다.

본 발명에 따른 제3 발명의 로타리 조인트는 회전용밀봉환의 내주면과 슬리브의 외주면의 끼워맞춤 간에는 제2 접속유체통로와 제1 접속유체통로의 연통간의 양측에 O링을 가지는 것이다.

이 제3 발명의 로타리 조인트에 의하면, 회전용밀봉환의 내주면과 슬리브의 외주면과의 끼워맞춤 간의 유체통로의 양측에 O링이 마련되어 있으므로, 이 O링에 의해 회전용밀봉환의 내주면과 슬리브의 외주면의 끼워맞춤 간에 피밀봉유체가 침입하는 것을 방지할 수 있다. 그리고 끼워맞춤 간에 녹이 발생하여 접착하는 것도 방지할 수 있으므로 메카니컬씰을 분해할 때 슬리브로부터 회전밀봉환을 용이하게 제거할 수 있다.

본 발명에 따른 제4 발명의 로타리 조인트는 회전용밀봉환이 슬리브와 회전용밀봉으로 관통한 걸어맞춤공에 끼워장착하는 드라이브핀에 의해 슬리브에 걸어멈춤되어 있음과 동시에, 드라이브핀은 양 O링 사이에 배치되어 있는 것이다.

이 제4 발명에 따른 로타리 조인트에 의하면, 회전용밀봉환은 드라이브핀에 의해 슬리브에 고정되어 있으므로, 끼워장착하는 축방향의 길이를 짧게 할 수 있다. 게다가 회전용밀봉환은 드라이브핀에 의해 슬리브에 고정되어 있으므로, O링을 통해 슬리브와 헐겁게 끼워맞춤할 수 있다. 이 때문에 메카니컬씰을 분해할 때 회전용밀봉환은 슬리브로부터 극히 용이하게 제거하는 것이 가능해지므로, 이 분해 또는 조립 코스트를 저감할 수 있는 효과를 발휘한다.

본 발명의 로타리 조인트는 조립된 각 부품이 녹슬지 않도록 구성되어 있으므로, 부품을 교환할 때 용이하게 분해, 조립이 가능하여 유용하다. 또한 처리유체에 녹 등이 혼입되지 않으므로 가공한 기능면을 불량하게 하는 일 없는 유용한 로타리 조인트이다.

Claims (5)

1. 공급유체가 고정부로서의 하우징의 유체통로와, 회전축에 접합되고 상기 회전축과 함께 회전하는 슬리브의 유체통로를 상대회전 중에도 유체통로 밖으로 누설하지 않고 유통가능하게 함과 동시에, 상기 슬리브의 유체통로가 상기 슬리브의 내부에 형성됨에 의해 상기 공급유체가 상기 슬리브와 상기 회전축의 접합 사이로 침입하지 않는 로타리 조인트에 있어서,

   상기 공급유체가 흐르는 유체통로를 가지는 상기 하우징과,

   상기 하우징의 내주면에 장착되고 상기 유체통로의 일부를 이루는 연통유체통로가 설치된 구획링과,

   상기 하우징의 유체통로로부터의 공급유체가 흐르는 제2 접속유체통로를 내부에 가짐과 동시에 상기 회전축의 외주면에 끼워장착할 수 있는 내주면을 가지는 녹슬지 않는 재료로 만든 상기 슬리브와,

   상기 슬리브의 외주면에 끼워장착하는 내주면과, 상기 내주면을 관통하여 상기 제2 접속유체통로와 상기 연통유체통로를 연통하는 제1 접속유체통로를 가짐과 동시에, 한쪽 측면에 제1 실링면을 가지면서 다른 쪽 측면에 제2 실링면을 가지는 회전용밀봉환과,

   상기 제1 실링면과 밀접하는 제1 상대실링면을 가지며 상기 하우징에 밀봉으로 유지된 제1 정지용밀봉환과,

   상기 제2 실링면과 밀접하는 제2 상대실링면을 가지며 상기 하우징에 밀봉으로 유지된 제2 정지용밀봉환을 구비하는 것을 특징으로 하는 로타리 조인트.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 정지용밀봉환은 상기 제1 실링면과 반대측의 배면 에 형성되어 상기 제1 실링면을 압압가능하게 된 제1 테이퍼면을 가지며,

   상기 제2 정지용밀봉환은 상기 제2 실링면과 반대측의 배면에 형성되어 상기 제2실링면을 압압가능하게 된 제2 테이퍼면을 가지며,

   상기 밀봉으로 유지된 상기 제1 정지용밀봉환에는 상기 제1 테이퍼면과 상기 제1 테이퍼면과 대향하는 상기 고정부의 제1 대향테이퍼면의 사이를 밀봉하여 상기 제1 상대실링면을 상기 제1 실링면에 압압하는 제1 탄성실링링을 구비하며,

   상기 밀봉으로 유지된 상기 제2 정지용밀봉환에는 상기 제2 테이퍼면과 상기 제2테이퍼면과 대향하는 상기 고정부의 제2 대향테이퍼면의 사이를 밀봉하여 상기 제2상대실링면을 상기 제2 실링면에 압압하는 제2 탄성실링링을 구비하는 것을 특징으로 하는 로타리 조인트.
3. 제1항에 있어서, 상기 제2 접속유체통로가 일단부를 상기 제1 접속유체통로에 연통함과 동시에 상기 슬리브의 내부를 지나 타단면으로 관통하며, 또한 상기 슬리브의 타단면 측에 결합한 플랜지상의 연결부의 내부에 형성된 제3 접속유체통로와 연통하는 것을 특징으로 하는 로타리 조인트.
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