KR100631927B1 - 플래튼벨트 파손감지장치 - Google Patents

플래튼벨트 파손감지장치 Download PDF

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KR100631927B1
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platen belt
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김무연
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체소자 제조공정에서 웨이퍼표면에 형성된 금속층을 폴링싱할 때 플래튼벨트의 끊어짐을 감지하여 인터록을 발생하는 플래튼벨트 파손감지장치에 관한 것이다.
반도체소자 제조공정에서 웨이퍼를 폴리싱할 때 플래튼 벨트의 절단상태를 감지하여 웨이퍼 로스를 방지하는 본 발명의 플래튼벨트 파손감지장치는, 폴리싱패드를 회전시키는 폴리싱 플래튼과, 상기 폴리싱 플래튼을 회전시키기 위한 동력을 발생하는 모터와, 상기 모터의 회전축에 설치된 구동풀리와, 상기 폴리싱 플래튼의 하부회전축에 설치된 종동풀리와, 상기 구동풀리와 종동풀리간에 설치된 플래튼벨트와, 상기 모터에 장착되어 모터회전에 대응하는 구형펄스를 출력하는 엔코더와, 상기 엔코더로부터 출력된 구형펄스에 대응하는 모터구동 전류값을 검출하는 전류검출부와, 상기 폴리싱 플래튼의 회전에 대응하는 펄스신호를 출력하는 포토센서와, 상기 전류검출부로부터 검출된 전류값에 의해 모터회전수를 검출하고 상기 포토센서로부터 검출된 펄스신호를 받아 상기 모터 및 폴리싱 플래튼의 정상 회전상태의 유무를 판단하여 정상회전 상태가 유지되지 않을 시 인터록을 발생하는 콘트롤러를 포함한다.
웨이퍼 폴리싱, 폴리싱패드 연마, 플래튼벨트, 벨트파손, 벨트손상

Description

플래튼벨트 파손감지장치{EQUIPMENT FOR SENSING DAMAGE STATE OF PLATEN BELT}
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 웨이퍼의 폴리싱장치의 단면구조도
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 폴리싱장치의 플래튼 벨트 파손감지장치의 구성도
도 3은 도 2의 엔코더(34) 및 포토센서(38)로부터 출력되는 파형도이고,
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 플래튼벨트(26)의 절단상태 시 인터록을발생하도록 제어하는 흐름도이며,
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 웨이퍼 폴리싱장치의 플래튼 벨트 파손감지장치의 구성도
도 6은 도 6의 엔코더(70) 및 포토센서(74)로부터 출력되는 파형도이고,
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 플래튼벨트(66)의 절단상태 시 인터록을 발생하도록 제어하는 흐름도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10: 폴리싱헤드 12: 웨이퍼
14: 슬러리 16: 폴리싱패드
20: 폴리싱 플래튼 22: 콘디셔너 패드
24: 콘디셔너헤드 26: 플래튼벨트
28: 제2모터 30: 구동풀리
32: 종동풀리 34: 엔코더
36: 전류검출부 38: 포토센서
40: 콘트롤러
본 발명은 반도체 웨이퍼의 폴리싱장치에 관한 것으로, 특히 반도체소자 제조공정에서 웨이퍼표면에 형성된 금속층을 폴링싱할 때 플래튼벨트의 끊어짐을 감지하여 인터록을 발생하는 플래튼벨트 파손감지장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자는 고밀도화, 미세화 및 배선구조의 다층화에 의하여 단차가 증가하게 되고 이 단차를 평탄화하기 위해 SOG(Spin on Glass), ETCH BACK, REFLOW등의 여러 평탄화 방법이 개발되어 웨어퍼의 평탄화 공정에 적용되고 있다.
이러한 웨어퍼의 평탄화 공정은 기계적인 연마방식과 화학적인 연마방식이 있으며, 기계적인 연마방식은 가공변질층이 형성되어 반도체칩상의 결점이 되고, 화학적인 연마방식은 가공변질층이 생성되지 않지만 평탄화된 형상 즉, 형상정밀도 를 얻을 수 없으므로, 이러한 기계적인 연마방식과 화학적인 연마방식을 접목시켜 연마하기 위한 평탄화공정이 요구되어 CMP(Chemical Mechanical Polishing)기술이 개발되었다. CMP공정은 폴리싱패드가 부착되어진 연마테이블을 회전운동시키고, 폴리싱 헤드는 회전운동과 요동운동을 동시에 행하며 일정압력으로 가압을 하고, 웨이퍼는 표면장력이나 진공에 의해 폴리싱헤드부에 장착된다. 폴리싱헤드의 자체하중과 인가되는 가압력에 의해 웨이퍼표면과 폴리싱패드가 접촉되고, 이 접촉면 사이의 미세한 틈사이로 가공액인 슬러리(Slurry)가 유동하여 슬러리 내부에 있는 연마입자와 패드의 표면돌기들에 의해 기계적인 제거작용이 이루어지고 슬러리내의 화학성분에 의해 화학적인 제거작용이 이루어진다.
이와 같이 반도체 웨이퍼를 폴리싱할 때 사용되는 로봇콘트롤 벨트의 텐션을 모니터링하는 시스템이 미국등록특허 US 2003-0128127 A1호에 개시되어 있다. 미국등록특허 US 2003-0128127 A1호는 반도체 웨이퍼 폴리싱장치에 사용하기위한 벨트텐션모니터를 적용하고, 로봇콘트롤 벨트의 수명을 연장하기 위해 반도체 웨이퍼 폴리싱동작을 하는 동안에 상기 로봇콘트롤 벨트의 파손을 방지하기 위해 상기 벨트 텐션모니터를 사용하는 로봇콘트롤 벨트의 상한텐션제한(Upper tension limit)과 하한텐션제한(Lower tension limit)을 모니터링하도록 하고 있다.
상기와 같은 시스템은 로봇 콘트롤 벨트의 상한값과 하한값을 모니터링하고 있으나 웨이퍼를 폴리싱하는 폴리싱플래튼을 구동시키는 플래튼벨트의 절단상태를 모니터링하는 기능이 없기 때문에 플래튼벨트의 절단에 의해 웨이퍼의 로스가 발생하는 문제가 있었다.
따라서 본 발명의 목적은 반도체소자 제조공정에서 웨이퍼를 폴리싱할 때 플래튼 벨트의 절단상태를 감지하여 웨이퍼 로스를 방지하는 반도체 웨이퍼 폴리싱장치의 플래튼벨트 파손감지장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 폴리싱설비의 플래튼 벨트 파손감지장치는, 폴리싱패드를 회전시키는 폴리싱 플래튼과, 상기 폴리싱 플래튼을 회전시키기 위한 동력을 발생하는 모터와, 상기 모터의 회전축에 설치된 구동풀리와, 상기 폴리싱 플래튼의 하부회전축에 설치된 종동풀리와, 상기 구동풀리와 종동풀리간에 설치된 플래튼벨트와, 상기 모터에 장착되어 모터회전에 대응하는 구형펄스를 출력하는 엔코더와, 상기 엔코더로부터 출력된 구형펄스에 대응하는 모터구동 전류값을 검출하는 전류검출부와, 상기 폴리싱 플래튼의 회전에 대응하는 펄스신호를 출력하는 포토센서와, 상기 전류검출부로부터 검출된 전류값에 의해 모터회전수를 검출하고 상기 포토센서로부터 검출된 펄스신호를 받아 상기 모터 및 폴리싱 플래튼의 정상 회전상태의 유무를 판단하여 정상회전 상태가 유지되지 않을 시 인터록을 발생하는 콘트롤러를 포함함을 특징으로 한다.
상기 폴리싱 플래튼은 가장자리부분에 하나의 홀이 형성하는 것이 바람직하다.
상기 포토센서는 발광센서와 수광센서로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 발광센서와 수광센서는 상기 폴리싱 플래튼을 사이에 두고 설치하는 것이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시 양태에 따른 웨이퍼 폴리싱설비의 플래튼 벨트 파손감지장치는, 폴리싱패드를 회전시키는 폴리싱 플래튼과, 상기 폴리싱 플래튼을 회전시키기 위한 동력을 발생하는 모터와, 상기 모터의 회전축에 설치된 구동풀리와, 상기 폴리싱 플래튼의 하부회전축에 설치된 종동풀리와, 상기 구동풀리와 종동풀리간에 설치된 플래튼벨트와, 상기 모터에 장착되어 모터회전에 대응하는 구형펄스를 출력하는 엔코더와, 상기 엔코더로부터 출력된 구형펄스에 대응하는 모터구동 전류값을 검출하는 전류검출부와, 상기 플래튼벨트의 회전에 대응하는 펄스신호를 출력하는 포토센서와, 상기 전류검출부로부터 검출된 전류값에 의해 모터회전수를 검출하고 상기 포토센서로부터 검출된 펄스신호를 받아 상기 모터 및 플래튼벨트의 정상 회전상태의 유무를 판단하여 정상회전 상태가 유지되지 않을 시 인터록을 발생하는 콘트롤러를 포함함을 특징으로 한다.
상기 플래튼 벨트는 중앙부분에 하나의 홀이 형성되는 것이 바람직하다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 웨이퍼의 폴리싱장치의 단면구 조도이다.
웨이퍼(12)를 진공 흡착하기 위한 폴리싱헤드(10)와, 상기 폴리싱헤드(10)를 회전시키기 위한 제1모터(18)와, 상기 폴리싱헤드(10)의 하부에 설치되어 상기 웨이퍼(12)를 폴리싱하기 위한 폴리싱패드(16)와, 상기 폴리싱패드(16)를 고정시키고 상기 폴리싱패드(16)를 회전시키는 폴리싱 플래튼(20)과, 상기 폴리싱 플래튼(20)을 회전시키기 위한 동력을 발생하는 제2모터(28)와, 상기 제2모터(28)의 회전축에 설치된 구동풀리(30)와, 상기 폴리싱 플래튼(20)의 하부회전축에 설치된 종동풀리(32)와, 상기 구동풀리(30)와 종동풀리(32)간에 설치된 플래튼벨트(26)와, 상기 폴리싱패드(16)를 콘디셔닝할 수 있도록 회전을 시키기 위한 패드콘디셔너헤드(24)와, 상기 패드콘디셔너헤드(24)의 하부에 부착되어 상기 폴링싱패드(16)를 콘디셔닝하는 콘디셔너 패드(22)로 구성되어 있다.
상기 폴리싱 플래튼(20)은 가장자리부분에 하나의 홀(21)이 형성되어 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 웨이퍼 폴리싱장치의 플래튼 벨트 파손감지장치의 구성도이다.
웨이퍼(12)를 진공 흡착하기 위한 폴리싱헤드(10)와, 상기 폴리싱헤드(10)의 하부에 설치되어 상기 웨이퍼(12)를 폴리싱하기 위한 폴리싱패드(16)와, 상기 폴리싱패드(16)를 고정시키고 상기 폴리싱패드(16)를 회전시키는 폴리싱 플래튼(20)과, 상기 폴리싱 플래튼(20)을 회전시키기 위한 동력을 발생하는 제2모터(28)와, 상기 제2모터(28)의 회전축에 설치된 구동풀리(30)와, 상기 폴리싱 플래튼(20)의 하부회전축에 설치된 종동풀리(32)와, 상기 구동풀리(30)와 종동풀리(32)간에 설치된 플 래튼벨트(26)와, 상기 제2모터(28)에 장착되어 모터회전에 따른 구형펄스를 출력하는 엔코더(34)와, 상기 엔코더(34)로부터 출력된 구형펄스에 대응하는 모터구동 전류값을 검출하는 전류검출부(36)와, 상기 전류검출부(36)로부터 검출된 모터구동 전류값에 대응하여 상기 제2 모터(28)가 미리 설정된 모터회전수로 회전되도록 제어 구동하는 모터드라이버(42)와, 상기 폴리싱 플래튼(20)의 끝단부에 설치되어 상기 폴리싱 플래튼(20)의 회전에 대응하는 펄스신호를 출력하는 포토센서(38)와, 상기 전류검출부(36)로부터 검출된 전류값에 의해 모터회전수를 검출하고 상기 포토센서(38)로부터 검출된 펄스신호를 받아 제2모터(28) 및 폴리싱 플래튼(20)의 정상 회전상태의 유무를 판단하여 정상회전 상태가 유지되지 않을 시 인터록을 발생하는 콘트롤러(40)로 구성되어 있다.
도 3은 도 2의 엔코더(34) 및 포토센서(38)로부터 출력되는 파형도이고,
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 플래튼벨트(26)의 절단상태 시 인터록을발생하도록 제어하는 흐름도이며,
상술한 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예의 동작을 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 웨이퍼(12)를 폴리싱헤드(10)에 진공 흡착한 후 폴리싱헤드(10)의 상부에 설치되어 있는 제1 모터(18)를 구동하여 시계방향으로 웨이퍼(12)를 회전시킨다. 그런 후 제2모터(28)를 구동시키게 되면, 제2모터(28)의 회전축에 결합된 구동풀리(30)가 회전된다. 상기 구동풀리(30)가 회전되면 구동풀리(30)와 종동풀리(32) 간에 결합된 플래튼벨트(26)가 회전하게 된다, 상기 구동풀 리(30)의 회전력이 상기 플레튼벨트(26)를 통해 종동풀리(32)로 전달되어 종동풀리(32)가 회전하게 된다. 상기 종동풀리(32)가 회전하게 되면 폴리싱 플래튼(20)이 반시계방향으로 회전하게 된다. 이렇게 하여 폴리싱패드(16)가 설치되어 있는 폴리싱 플래튼(20)을 웨이퍼(12)의 회전 반대방향(반시계방향)으로 회전시키고, 상기 폴리싱헤드(10)를 아래쪽으로 이동하여 웨이퍼(12)의 하측면을 반대방향으로 회전하는 폴리싱패드(16)에 밀착시켜서 슬러리(SLURRY)(14)를 공급하면서 웨이퍼(12)를 연삭한다.
이와 같이 동작하는 상태에서 제2 모터(28)에 장착된 엔코더(34)는 제2 모터(28)가 1회전할 때마다 한 싸이클의 구형펄스를 도 3의 Encorder pluse와 같이 발생하게 된다. 그리고 폴리싱 플래튼(20)은 가장자리부분에 하나의 홀(21)이 형성되어 있다. 포토센서(38)는 발광센서와 수광센서로 이루어져 있으며, 폴리싱 플래튼(20)이 1회전할 때 마다 상기 폴리싱플래튼(20)에 형성된 하나의 홀(21)을 통해 발광센서로부터 발광된 빛이 수광센서로 수광되어 미리 정해지 한 싸이클의 구형펄스를 도 3의 Photosensor pluse와 같이 출력하게 된다. 상기 전류검출부(36)는 엔코더(34)로부터 출력된 구형펄스를 받아 전류값으로 변환하여 콘트롤러(40)로 인가한다. 상기 콘트롤러(40)는 전류검출부(36)로부터 도 3의 정상동작구간과 같이 정상전류값이 입력되고 포토센서(38)로부터 정상적인 구형펄스가 발생되면 폴리싱 플래튼(20)이 정상적으로 회전하는 것으로 판단한다. 상기 콘트롤러(40)는 폴리싱 플래튼(20)이 정상적으로 회전하는 경우에는 정상적인 폴리싱 공정을 진행하도록 제어한다.
그러나 상기 콘트롤러(40)는 전류검출부(36)로부터 도 3의 정상동작구간과 같이 정상전류값이 입력되고 포토센서(38)로부터 비정상적인 구형펄스가 발생되면 플래튼벨트(26)가 절단된 것으로 판단한다. 상기 콘트롤러(40)는 플래튼벨트(26)가 절단된 경우에 인터록신호를 발생하여 폴리싱 공정이 중단되도록 제어하고 알람발생부(44)를 제어하여 알람을 발생하도록 한다.
제2모터(28)가 정상적으로 회전하고 있는 상태에서 폴리싱 플래튼(20)의 정상적으로 회전하지 않을 때 콘트롤러(40)에서 인터록을 발생하는 동시에 알람을 발생하는 동작을 도 4의 흐름도를 참조하여 설명한다.
먼저 101단계에서 콘트롤러(40)는 전류검출부(36)로부터 검출된 전류값을 받아 제2모터(28)가 정상적으로 회전되고 있는지 검사한다. 제2모터(28)가 정상적으로 회전되고 있으면 102단계로 진행하여 콘트롤러(40)는 포토센서(38)로부터 출력되는 구형펄스를 받아 폴리싱 플래튼(20)이 정상적으로 회전하고 있는지 검사한다. 상기 폴리싱 플래튼이 정상적으로 회전하고 있으면 103단계에서 콘트롤리(103)는 폴리싱공정을 계속진행할 수 있도록 제어한다. 그러나 상기 102단계에서 폴리싱 플래튼(20)이 정상적으로 회전하고 있지 않으면 104단계로 진행한다. 상기 104단계에서 콘트롤러(40)는 인터록을 발생하여 폴리싱공정이 중단되도록 제어한다. 그리고 105단계에서 콘트롤러(40)는 알람발생부(44)를 제어하여 플래튼 횐전 페일상태를 엔지니어가 인지할 수 있도록 알람을 발생한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 웨이퍼 폴리싱장치의 플래튼 벨트 파손감지장치의 구성도이다.
웨이퍼를 진공 흡착하기 위한 폴리싱헤드(50)와, 상기 폴리싱헤드(50)의 하부에 설치되어 상기 웨이퍼를 폴리싱하기 위한 폴리싱패드(56)와, 상기 폴리싱패드(56)를 고정시키고 상기 폴리싱패드(56)를 회전시키는 폴리싱 플래튼(60)과, 상기 폴리싱 플래튼(60)을 회전시키기 위한 동력을 발생하는 모터(68)와, 상기 모터(68)의 회전축에 설치된 구동풀리(62)와, 상기 폴리싱 플래튼(60)의 하부회전축에 설치된 종동풀리(64)와, 상기 구동풀리(62)와 종동풀리(64)간에 설치된 플래튼벨트(66)와, 상기 모터(68)에 장착되어 모터회전에 따른 구형펄스를 출력하는 엔코더(70)와, 상기 엔코더(70)로부터 출력된 구형펄스에 대응하는 모터구동 전류값을 검출하는 전류검출부(72)와, 상기 전류검출부(72)로부터 검출된 모터구동 전류값에 대응하여 상기 모터(68)가 미리 설정된 모터회전수로 회전되도록 제어 구동하는 모터드라이버(76)와, 상기 플래튼벨트(66)의 일단부가 삽입되도록 설치되어 상기 플래튼벨트(66)의 회전에 대응하는 펄스신호를 출력하는 포토센서(74)와, 상기 전류검출부(72)로부터 검출된 전류값에 의해 모터회전수를 검출하고 상기 포토센서(74)로부터 검출된 펄스신호를 받아 모터(68) 및 플래튼벨트(66)의 정상 회전상태의 유무를 판단하여 정상회전 상태가 유지되지 않을 시 인터록을 발생하는 콘트롤러(78)로 구성되어 있다.
도 6은 도 5의 엔코더(70) 및 포토센서(74)로부터 출력되는 파형도이고,
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 플래튼벨트(66)의 절단상태 시 인터록을 발생하도록 제어하는 흐름도이며,
상술한 도 5 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예의 동작을 상 세히 설명한다.
도 5를 참조하면, 웨이퍼를 폴리싱헤드(50)에 진공 흡착한 후 폴리싱헤드(50)를 구동하여 시계방향으로 웨이퍼를 회전시킨다. 그런 후 모터(68)를 구동시키게 되면, 모터(68)의 회전축에 결합된 구동풀리(62)가 회전된다. 상기 구동풀리(62)가 회전되면 구동풀리(62)와 종동풀리(64) 간에 결합된 플래튼벨트(66)가 회전하게 된다, 상기 플레튼벨트(66)의 동력전달로 종동풀리(64)가 회전하게 되며, 상기 종동풀리(64)가 회전하게 되면 폴리싱 플래튼(60)이 반시계방향으로 회전하게 된다. 이렇게 하여 폴리싱패드(56)가 설치되어 있는 폴리싱 플래튼(60)을 웨이퍼의 회전 반대방향(반시계방향)으로 회전시키고, 상기 폴리싱헤드(50)를 아래쪽으로 이동하여 웨이퍼의 하측면을 반대방향으로 회전하는 폴리싱패드(60)에 밀착시켜서 슬러리(SLURRY)(76)를 공급하면서 웨이퍼를 연삭한다.
이와 같이 동작하는 상태에서 모터(68)에 장착된 엔코더(70)는 모터(68)가 1회전할 때마다 한 싸이클의 구형펄스를 도 6의 Encorder pluse와 같이 발생하게 된다. 그리고 폴리싱벨트(66)는 중앙부분에 하나의 홀(61)이 형성되어 있다. 포토센서(74)는 발광센서와 수광센서로 이루어져 있으며, 상기 발광센서와 수광센서는 폴리싱벨트(66)를 사이에 두고 설치되어 있다. 포토센서(74)는 상기 폴리싱벨트(66)에 형성된 하나의 홀(61)을 통해 발광센서로부터 발광된 빛이 수광센서로 수광된다. 포토센서(74)는 플래튼벨트(66)가 1회전할 때 마다 미리 정해지 한 싸이클의 구형펄스를 도 6의 Photosensor pluse와 같이 출력하게 된다. 상기 전류검출부(72)는 엔코더(70)로부터 출력된 구형펄스를 받아 전류값으로 변환하여 콘트롤러(78)로 인가한다. 상기 콘트롤러(78)는 전류검출부(72)로부터 도 6의 정상동작구간과 같이 정상전류값이 입력되고 포토센서(74)로부터 미리 설정된 구형펄스가 정상적으로 발생되면 플래튼벨트(66)가 절단되지 않은 것으로 판단한다. 콘트롤러(78)는 플래튼벨트(66)가 절단되지 않은 것으로 판단되면 정상적인 폴리싱 공정을 진행하도록 제어한다. 그러나 상기 콘트롤러(78)는 전류검출부(72)로부터 도 6의 알람발생구간과 같이 정상전류값이 입력되고 포토센서(74)로부터 일정한 구형펄스가 발생되지 않으면 플래튼벨트(66)가 절단 것으로 판단한다. 상기 콘트롤러(78)는 플래튼벨트(66)가 절단된 것으로 판단되면 알람발생부(80)를 제어하여 인터록신호를 발생하여 폴리싱 공정이 중단되도록 제어하는 동시에 알람을 발생하도록 한다.
모터(68)가 정상적으로 회전하고 있는 상태에서 플래튼벨트(66)가 정상적으로 회전하지 않을 때 콘트롤러(78)에서 인터록을 발생하는 동시에 알람을 발생하는 동작을 도 7의 흐름도를 참조하여 설명한다.
먼저 201단계에서 콘트롤러(78)는 전류검출부(72)로부터 검출된 전류값을 받아 모터(68)가 정상적으로 회전되고 있는지 검사한다. 모터(68)가 정상적으로 회전되고 있으면 202단계로 진행하여 콘트롤러(78)는 포토센서(74)로부터 출력되는 구형펄스를 받아 플래튼벨트(66)가 정상적으로 회전하고 있는지 검사한다. 상기 폴리싱 플래튼이 정상적으로 회전하고 있으면 203단계에서 콘트롤러(78)는 폴리싱공정을 계속진행할 수 있도록 제어한다. 그러나 상기 202단계에서 플래튼벨트(66)가 정상적으로 회전하고 있지 않으면 204단계로 진행한다. 상기 204단계에서 콘트롤러(78)는 콘트롤러(78)는 인터록을 발생하여 폴리싱공정이 중단되도록 제어한다. 그 리고 205단계에서 콘트롤러(78)는 알람발생부(80)를 제어하여 플래튼 페일상태를 엔지니어가 인지할 수 있도록 알람을 발생한다.
본 발명의 일 실시 예 및 다른 실시예에서는 폴리싱 플래튼의 회전상태와 플래튼벨트의 회전상태를 포토센서를 사용하여 플래튼 벨트의 절단상태를 감지하도록 하고 있으나, 폴리싱 플래튼과 플래튼벨트의 움직임 상태를 검출하여 플래튼 벨트의 절단상태를 검출하여 인터록을 발생하는 것도 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 실시 가능하다.
상술한 바와 같이 본 발명은 반도체소자 제조공정에서 웨이퍼를 폴리싱할 때 플래튼벨트의 절단상태가 검출될 시 인터록을 발생하여 공정진행을 중단하도록 하여 웨이퍼 로스를 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims (8)

  1. 웨이퍼 폴리싱설비의 플래튼 벨트 파손감지장치에 있어서,
    폴리싱패드를 회전시키는 폴리싱 플래튼과,
    상기 폴리싱 플래튼을 회전시키기 위한 동력을 발생하는 모터와,
    상기 모터의 회전축에 설치된 구동풀리와,
    상기 폴리싱 플래튼의 하부회전축에 설치된 종동풀리와,
    상기 구동풀리와 종동풀리간에 설치된 플래튼벨트와,
    상기 모터에 장착되어 모터회전에 대응하는 구형펄스를 출력하는 엔코더와,
    상기 엔코더로부터 출력된 구형펄스에 대응하는 모터구동 전류값을 검출하는 전류검출부와,
    상기 폴리싱 플래튼의 회전에 대응하는 펄스신호를 출력하는 포토센서와,
    상기 전류검출부로부터 검출된 전류값에 의해 모터회전수를 검출하고 상기 포토센서로부터 검출된 펄스신호를 받아 상기 모터 및 폴리싱 플래튼의 정상 회전상태의 유무를 판단하여 정상회전 상태가 유지되지 않을 시 인터록을 발생하는 콘트롤러를 포함함을 특징으로 하는 플래튼벨트 파손감지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 폴리싱 플래튼은 가장자리부분에 하나의 홀이 형성됨을 특징으로 하는 플래튼벨트 파손감지장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 포토센서는 발광센서와 수광센서로 이루어짐을 특징으로 하는 플래튼벨트 파손감지장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 발광센서와 수광센서는 상기 폴리싱 플래튼을 사이에 두고 설치함을 특징으로 하는 플래튼벨트 파손감지장치.
  5. 웨이퍼 폴리싱설비의 플래튼 벨트 파손감지장치에 있어서,
    폴리싱패드를 회전시키는 폴리싱 플래튼과,
    상기 폴리싱 플래튼을 회전시키기 위한 동력을 발생하는 모터와,
    상기 모터의 회전축에 설치된 구동풀리와,
    상기 폴리싱 플래튼의 하부회전축에 설치된 종동풀리와,
    상기 구동풀리와 종동풀리간에 설치된 플래튼벨트와,
    상기 모터에 장착되어 모터회전에 대응하는 구형펄스를 출력하는 엔코더와,
    상기 엔코더로부터 출력된 구형펄스에 대응하는 모터구동 전류값을 검출하는 전류검출부와,
    상기 플래튼벨트의 회전에 대응하는 펄스신호를 출력하는 포토센서와,
    상기 전류검출부로부터 검출된 전류값에 의해 모터회전수를 검출하고 상기 포토센서로부터 검출된 펄스신호를 받아 상기 모터 및 플래튼벨트의 정상 회전상태의 유무를 판단하여 정상회전 상태가 유지되지 않을 시 인터록을 발생하는 콘트롤러를 포함함을 특징으로 하는 플래튼벨트 파손감지장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 플래튼벨트는 중앙부분에 하나의 홀이 형성됨을 특징으로 하는 플래튼벨트 파손감지장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 포토센서는 발광센서와 수광센서로 이루어짐을 특징으로 하는 플래튼벨트 파손감지장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 발광센서와 수광센서는 상기 플래튼벨트를 사이에 두고 설치함을 특징으로 하는 플래튼벨트 파손감지장치.
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