JP5622258B2 - 多流路形ロータリジョイント - Google Patents
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- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L39/00—Joints or fittings for double-walled or multi-channel pipes or pipe assemblies
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Description
(2)ケース体1における各静止密封環9を固定保持しているケース体部分、つまり中間分割部分10が金属に比して剛性に劣るプラスチック(PEEK等)で構成されていることから、当該ケース体部分が捩り変形し易いこと。
(3)当該ケース体部分が複数(6個)の中間分割部分10に分離構成されており、これらの中間分割部分10がボルトにより軸線方向に積層連結されていることにより、上記(2)と同様に、当該ケース体部分が捩り変形し易いこと。
(4)上記(1)〜(3)の現象は、当該ロータリジョイントRが低速回転の回転機器(例えばCMP装置)に装備された場合にあって回転軸体2が10〜50min-1で低速回転されるようなときに顕著に生じること。
(a)X<0.1μmRa且つY<0.2μmRaである場合、X<0.1μmRa且つ0.2μmRa≦Y≦0.3μmRaである場合及び0.1μmRa≦X≦0.2μmRa且つY<0.2μmRaである場合。
(b)X<0.1μmRa且つY>0.3μmRaである場合、0.1μmRa≦X≦0.2μmRa且つY>0.3μmRaである場合、X>0.2μmRa且つY<0.2μmRaである場合、X>0.2μmRa且つ0.2μmRa≦Y≦0.3μmRaである場合及びY>0.2μmRa且つY>0.3μmRaである場合。
2 回転軸体
3 ジョイント流路
4 メカニカルシール
5 接続空間
6 軸側通路
7 ケース側通路
8 回転密封環
9 静止密封環
10 中間分割部分
11 端部分割部分
12 本体部
13 保持部
14 ベアリング
15 ベアリング受体
16 シール部材
17 環状空間
18 ドレン路
19 支持壁
20 冷却空間
21 下端段部
22 Oリング
23 ボルト
24 密封端面
25 Oリング
26 凹部
27 ドライブバー
28 コイルスプリング
29 貫通孔
30 密封端面
31 供給路
32 排出路
F 流体
R 多流路形ロータリジョイント
W 冷却流体
Claims (3)
- 相対回転自在に連結された回転軸体とケース体との間に両体を貫通する3以上のジョイント流路を形成してなり、回転軸体が10〜50min -1 で回転される回転機器用の多流路形ロータリジョイントであって、各ジョイント流路が、ケース体に形成したケース側通路と回転軸体に形成した軸側通路とを両体間に配設した一対のメカニカルシールでシールされた接続空間を介して連通接続してなり、各メカニカルシールが、ケース体に設けたセラミックス製の静止密封環と回転軸体に設けたセラミックス製の回転密封環との対向端面である密封端面の相対回転摺接作用によりその相対回転摺接部分の内周側領域である接続空間をシールするように構成された端面接触形のものであり、各メカニカルシールにおいて、静止密封環の密封端面を表面粗さが0.1〜0.2μmRaである環状平面に形成すると共に回転密封環の密封端面を内径が静止密封環の密封端面の内径より小さく且つ表面粗さが0.2〜0.3μmRaである環状平面に形成して、当該相対回転摺接部分におけるスティックスリップ現象の発生を防止すると共に各メカニカルシールからの被密封流体の漏洩量を60cc/min以下とするように構成したことを特徴とする回転機器用の多流路形ロータリジョイント。
- 回転軸体及びケース体の構成部分であってジョイント流路内の流体と接触する部分をすべてプラスチックで構成されていることを特徴とする、請求項1に記載する回転機器用の多流路形ロータリジョイント。
- ジョイント流路数が6以上であることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載する回転機器用の多流路形ロータリジョイント。
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