JP2011127725A - 多流路形ロータリジョイント - Google Patents
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Abstract
【構成】多流路形ロータリジョイントRは、ケース体1と回転軸体2との間に3以上のジョイント流路3を形成してなる。各ジョイント流路3は、ケース体1のケース側通路7と回転軸体2の軸側通路6とを一対のメカニカルシール4でシールされた接続空間5を介して連通接続してなる。各メカニカルシール4は、ケース体1に設けた静止密封環9の密封端面30と回転軸体2に設けた回転密封環8の密封端面24との相対回転摺接作用により接続空間5をシールする。各静止密封環9の密封端面30の表面粗さを0.1〜0.2μmRaとし、各回転密封環8の密封端面24の表面粗さを0.2〜0.3μmRaとしてある。
【選択図】図3
Description
(2)ケース体1における各静止密封環9を固定保持しているケース体部分、つまり中間分割部分10が金属に比して剛性に劣るプラスチック(PEEK等)で構成されていることから、当該ケース体部分が捩り変形し易いこと。
(3)当該ケース体部分が複数(6個)の中間分割部分10に分離構成されており、これらの中間分割部分10がボルトにより軸線方向に積層連結されていることにより、上記(2)と同様に、当該ケース体部分が捩り変形し易いこと。
(4)上記(1)〜(3)の現象は、当該ロータリジョイントRが低速回転の回転機器(例えばCMP装置)に装備された場合にあって回転軸体2が10〜50min-1で低速回転されるようなときに顕著に生じること。
(a)X<0.1μmRa且つY<0.2μmRaである場合、X<0.1μmRa且つ0.2μmRa≦Y≦0.3μmRaである場合及び0.1μmRa≦X≦0.2μmRa且つY<2μmRaである場合。
(b)X<0.1μmRa且つY>0.3μmRaである場合、0.1μmRa≦X≦0.2μmRa且つY>0.3μmRaである場合、X>0.2μmRa且つY<0.2μmRaである場合、X>0.2μmRa且つ0.2μmRa≦Y≦0.3μmRaである場合及びY>0.2μmRa且つY>0.3μmRaである場合。
2 回転軸体
3 ジョイント流路
4 メカニカルシール
5 接続空間
6 軸側通路
7 ケース側通路
8 回転密封環
9 静止密封環
10 中間分割部分
11 端部分割部分
12 本体部
13 保持部
14 ベアリング
15 ベアリング受体
16 シール部材
17 環状空間
18 ドレン路
19 支持壁
20 冷却空間
21 下端段部
22 Oリング
23 ボルト
24 密封端面
25 Oリング
26 凹部
27 ドライブバー
28 コイルスプリング
29 貫通孔
30 密封端面
31 供給路
32 排出路
F 流体
R 多流路形ロータリジョイント
W 冷却流体
Claims (6)
- 相対回転自在に連結された回転軸体とケース体との間に両体を貫通する3以上のジョイント流路を形成してなる多流路形ロータリジョイントであって、各ジョイント流路が、ケース体に形成したケース側通路と回転軸体に形成した軸側通路とを両体間に配設した一対のメカニカルシールでシールされた接続空間を介して連通接続してなり、各メカニカルシールが、ケース体に設けた静止密封環と回転軸体に設けた回転密封環との相対回転摺接作用により接続空間をシールするように構成された端面接触形のものであり、各メカニカルシールにおける両密封環の相対回転摺接面を一方の表面粗さが0.1〜0.2μmRaであり且つ他方の表面粗さが0.2〜0.3μmRaである環状平面に形成して、当該相対回転摺接面におけるスティックスリップ現象の発生を防止するように構成したことを特徴とする多流路形ロータリジョイント。
- 各メカニカルシールにおける両密封環がセラミックスで構成されていることを特徴とする、請求項1に記載する多流路形ロータリジョイント。
- 回転軸体及びケース体の構成部分であってジョイント流路内の流体と接触する部分をすべてプラスチックで構成されていることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載する多流路形ロータリジョイント。
- ジョイント流路数が6以上であることを特徴とする、請求項1〜3の何れかに記載する多流路形ロータリジョイント。
- 各端面接触形メカニカルシールからの被密封流体の漏洩量が60cc/min以下であることを特徴とする、請求項1〜4の何れかに記載する多流路形ロータリジョイント。
- 回転軸体が10〜50min-1で回転されるものであることを特徴とする、請求項1〜5の何れかに記載する多流路形ロータリジョイント。
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