JP2015533195A5 - - Google Patents

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いくつかの実施形態では、割り送り式インライン基板処理ツール１００の第１の端部１１４にロードモジュール１０４を配置することができ、割り送り式インライン基板処理ツール１００の第２の端部１１６にアンロードモジュール１０６を配置することができる。存在するとき、ロードモジュール１０４およびアンロードモジュール１０６はそれぞれ、割り送り式インライン基板処理ツール１００に基板を提供することができ、割り送り式インライン基板処理ツール１００から基板を取り出すことを容易にすることができる。いくつかの実施形態では、ロードモジュール１０４およびアンロードモジュール１０６は、割り送り式インライン基板処理ツール１００の外側の大気圧状態から割り送り式インライン基板処理ツール１００内の状態（真空圧を含むことができる）への基板の移送を容易にするために、大気圧関数まで再び下げる真空ポンプを設けることができる。いくつかの実施形態では、１つまたは複数の基板キャリア移送ロボットを利用して、ロードモジュール１０４およびアンロードモジュール１０６に基板キャリアを提供し、またロードモジュール１０４およびアンロードモジュール１０６から基板キャリアを取り出すことができ、それによって割り送り式インライン基板処理ツール１００との間で基板キャリアの自動化されたローディングおよびアンローディングを提供することができる。
いくつかの実施形態では、ロードモジュール１０４とアンロードモジュール１０６との間に洗浄モジュール１１０を配置することができる。存在するとき、洗浄モジュール１１０は、割り送り式インライン基板処理ツール１００に後で通すための別の１つまたは複数の基板を受け取るために、基板キャリアを洗浄および／または準備することができる（復路の矢印１０８によって示す）。したがって、基板キャリアは、複数回再利用することができる。

図２は、モジュール１０２Ｄなどのモジュールの例示的な構成の横断面図を示し、このモジュールは、上記の複数のモジュール１１２のうちの１つまたは複数のモジュールとして使用することができ、いくつかの実施形態では、基板上に材料を堆積させるように構成されたモジュールとして使用することができる。以下では特有のモジュール（１０２Ｄ）の点から概して論じるが、以下の議論は概して、堆積プロセスだけに特に必要とされる構成要素および／または構成を除いて、すべてのモジュールに当てはまる。
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