JP2016157822A5 - 搬送ハンド、リソグラフィ装置及び被搬送物を搬送する方法 - Google Patents

Description

本発明は、被搬送物を保持する搬送ハンド、それを用いたリソグラフィ装置及び被搬送物を搬送する方法に関する。

上記課題を解決するために、本発明は、被搬送物を搬送する搬送ハンドであって、基台と、被搬送物と接触して、被搬送物との間に第１空間を形成するパッドと、基台に固定され、パッドを移動可能に支持する第１弾性部材と、基台とパッドの間に配置され、第１空間に連通する第２空間を形成する第２弾性部材を有し、第１空間及び第２空間を排気することにより、被搬送物がパッドに吸着され、被搬送物がパッドに吸着された状態で基台に対してパッドが移動することにより第１空間及び第２空間が大気開放されることを特徴とする。

Ｏリング４は、中空形状であり、パッド１と基台２との間で双方に接触するように配置され、凹部１ｂの内側の空間（第１空間）に連通している空間（第２空間）をシールし、重力方向において基台２に対してパッド１を移動可能に支持する第２弾性部材である。Ｏリング４は、一方の開口がパッド１の貫通孔１ｃに合い、他方の開口が基台２の真空排気用穴２ａに合うことで、空間的に連通する流路を形成している。また、Ｏリング４は、例えば、基台２に対しては接着等で接続され、一方、パッド１に対しては接触および離間が可能となっている。なお、図３に示す例では、Ｏリング４は、パッド１のみに接触するものとしているが、板バネ３の接触面において気密性が維持されるのであれば、板ばね３を含み重力方向に移動可能な部分に接触するものとしてもよい。

Claims (16)

1. 被搬送物を搬送する搬送ハンドであって、
   基台と、
   前記被搬送物と接触して、前記被搬送物との間に第１空間を形成するパッドと、
   前記基台に固定され、前記パッドを移動可能に支持する第１弾性部材と、
   前記基台と前記パッドの間に配置され、前記第１空間に連通する第２空間を形成する第２弾性部材を有し、
   前記第１空間及び前記第２空間を排気することにより、前記被搬送物が前記パッドに吸着され、前記被搬送物が前記パッドに吸着された状態で前記基台に対して前記パッドが移動することにより前記第１空間及び前記第２空間が大気開放されることを特徴とする搬送ハンド。
2. 前記パッドまたは前記第２弾性部材が重力方向に移動することにより、前記第１空間及び前記第２空間が大気開放されることを特徴とする請求項１に記載の搬送ハンド。
3. 前記第２弾性部材と前記パッドが離間することにより、前記第１空間及び前記第２空間が大気開放されることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送ハンド。
4. 前記第２弾性部材は、重力方向に移動可能であり前記パッドまたは前記第１弾性部材を含む部分と、前記基台との間に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
5. 前記第１弾性部材は、重力方向に厚みを有する板ばねであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
6. 前記基台は、所定の方向に延設された複数のフィンガー部を含み、
   前記パッド、前記第１弾性部材および前記第２弾性部材は、各フィンガー部上に設けられ、
   前記板ばねは、前記複数のフィンガー部の延設方向を長手方向とし、前記方向に直交する方向を短手方向とする形状であることを特徴とする請求項５に記載の搬送ハンド。
7. 前記第２弾性部材は、Ｏリングであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
8. 前記パッドおよび前記第１弾性部材を構成する材質の導電率は、１．０×１０３［Ω／ｃｍ］以上１．０×１０８［Ω／ｃｍ］以下であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
9. 前記パッドおよび前記第１弾性部材を構成する材質の導電率は、１．０×１０６［Ω／ｃｍ］以上１．０×１０７［Ω／ｃｍ］以下であることを特徴とする請求項８に記載の搬送ハンド。
10. 前記第１弾性部材は導電材料から構成され、前記第１弾性部材の表面に絶縁加工層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
11. 前記パッドと前記第２弾性部材との接触面積は、前記パッドと前記被搬送物との接触面積よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
12. 前記第１弾性部材の重力方向における剛性は、重力方向に垂直な方向における剛性よりも低いことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
13. 請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の搬送ハンドと、
    前記搬送ハンドによって搬送された基板を処理する処理手段と、を備えることを特徴とするリソグラフィ装置。
14. 被搬送物と接触して前記被搬送物との間に第１空間を形成するパッドと、基台に固定され前記パッドを移動可能に支持する第１弾性部材と、前記基台と前記パッドの間に配置され前記第１空間に連通する第２空間を形成する第２弾性部材とを有する搬送ハンドを用いて前記被搬送物を搬送する方法であって、
    前記第２空間側から前記第１空間を排気して前記被搬送物が前記パッドに吸着された状態で前記被搬送物を搬送するステップと、
    前記被搬送物が前記パッドに吸着された状態で前記基台に対して前記パッドを移動させることにより前記第１空間及び前記第２空間を大気開放させるステップと、
    前記第１空間及び前記第２空間が大気開放された状態で前記パッドから前記被搬送物を引き離すステップを含むことを特徴とする被搬送物を搬送する方法。
15. 前記大気開放させるステップは、前記被搬送物が前記パッドに吸着された状態で前記パッドから前記被搬送物を引き離す方向に前記パッドを移動させる動作を含むことを特徴とする請求項１４に記載の被搬送物を搬送する方法。
16. 前記大気開放させるステップは、前記被搬送物が前記パッドに吸着された状態で前記基台に対して前記パッドを移動させることにより前記第２空間側に隙間を作る動作を含むことを特徴とする請求項１４に記載の被搬送物を搬送する方法。

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