JP2017014060A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. ガラス基板の板厚方向と直交する方向を搬送方向として前記ガラス基板を搬送させながら、前記板厚方向と平行な方向に間隔をあけて前記ガラス基板の板厚方向の両側から前記ガラス基板を挟むよう配置された少なくとも１対の洗浄部材を用いて、前記ガラス基板の主表面を洗浄する洗浄工程を備えるガラス基板の製造方法であって、
   検知手段によって、前記ガラス基板が所定位置に搬送されたことを検知する検知工程、をさらに備え、
   前記ガラス基板に当接する前記洗浄部材の部分はスポンジで構成され、
   前記洗浄工程では、前記ガラス基板と当接する前記１対の洗浄部材同士の間隔が小さくなるように、前記検知に基づいて、前記１対の洗浄部材のうち少なくとも一方の洗浄部材を移動させることで前記洗浄部材を前記ガラス基板に当接させ、前記ガラス基板の主表面の洗浄を行う、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。
2. 前記ガラス基板に当接する前記洗浄部材の部分は、凹凸形状を有している、請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
3. 前記スポンジは平均気孔径が２０〜１０００μｍである、請求項１又は２に記載のガラス基板の製造方法。
4. 前記ガラス基板に当接する前記洗浄部材の部分は、少なくとも一部が樹脂材料から構成されている、請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
5. 前記洗浄工程では、複数の洗浄対象として前記ガラス基板を互いに間隔をあけて連続的に搬送して、前記複数の洗浄対象であるガラス基板のそれぞれを洗浄し、
   前記洗浄部材を移動させてから経過した時間に基づいて、前記洗浄部材の間隔を大きくし、後続する前記ガラス基板が前記所定位置に搬送されたことが検知されるまで待機する、請求項１から４のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
6. ガラス基板の板厚方向と直交する方向を搬送方向として前記ガラス基板を搬送しながら前記ガラス基板を洗浄する洗浄装置を有するガラス基板製造装置であって、
   前記ガラス板の板厚方向と平行な方向に間隔をあけて前記ガラス基板の板厚方向の両側から前記ガラス基板を挟むよう配置され、前記ガラス基板の主表面を洗浄する少なくとも１対の洗浄部材と、
   前記ガラス基板が所定位置に搬送されたことを検知する検知部材と、
   前記１対の洗浄部材の少なくとも一方の洗浄部材を移動させる洗浄部材移動機構と、を備え、
   前記ガラス基板に当接する前記洗浄部材の部分はスポンジで構成され、
   前記ガラス基板と当接する前記１対の前記洗浄部材同士の間隔が小さくなるように、前記検知に基づいて、前記洗浄部材移動機構によって前記１対の洗浄部材の少なくとも一方の洗浄部材を移動させることで前記洗浄部材を前記ガラス基板に当接させ、前記ガラス基板の主表面の洗浄を行うことを特徴とするガラス基板製造装置。