JP2016139629A5 - ボンディング装置およびボンディング装置のコレット傾き検査方法 - Google Patents

Claims (8)

1. ダイを吸着できるコレットを備えたダイ移動手段と、
   前記コレットを接触できる位置に備えられた突起と、
   前記コレットの複数の箇所が前記突起に接触したときの各々の高さに基づき前記コレットの傾きを判定する判定手段と、
   を有するボンディング装置。
2. 前記コレットの複数の異なる箇所は、前記ダイの大きさに基づき決定される請求項１に記載のボンディング装置。
3. 前記判定手段は、前記コレットの略中央を前記突起に接触させた後に、前記コレットの傾きを測定する手段である請求項１に記載のボンディング装置。
4. 前記コレットの複数の箇所が前記突起に接触した時の前記各々の高さを表示できる表示装置をさらに有する請求項１に記載のボンディング装置。
5. ダイを吸着できるコレットの複数の箇所を所定の箇所に備えられた突起に接触したときの各々の高さに基づき前記コレットの傾きを判定するボンディング装置のコレット傾き検査方法。
6. 前記コレットの複数の異なる箇所は、前記ダイの大きさに基づき決定される請求項５に記載のボンディング装置のコレット傾き検査方法。
7. 前記コレットの略中央を前記突起に接触させた後に、前記コレットの傾きを測定して前記コレットの傾きを判定する請求項５に記載のボンディング装置のコレット傾き検査方法。
8. 前記コレットの複数の箇所が前記突起に接触した時の前記各々の高さを表示する請求項５に記載のボンディング装置のコレット傾き検査方法。