JP5569685B2 - スポンジロール - Google Patents
スポンジロール Download PDFInfo
- Publication number
- JP5569685B2 JP5569685B2 JP2010169788A JP2010169788A JP5569685B2 JP 5569685 B2 JP5569685 B2 JP 5569685B2 JP 2010169788 A JP2010169788 A JP 2010169788A JP 2010169788 A JP2010169788 A JP 2010169788A JP 5569685 B2 JP5569685 B2 JP 5569685B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sponge
- spacer
- shaft body
- center hole
- roll
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 44
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 3
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
〔第1実施形態〕
図1は本発明の第1実施形態に係るスポンジロール1の正面図であり、図2は図1のスポンジロール1の分解図である。
スポンジロール1は軸体10と複数のスポンジ体20と複数のスペーサ30とストッパ40とから構成されている。なお、図2では、説明の便宜上、スポンジ体20とスペーサ30とをそれぞれ2つだけ表示している。
先ず、スポンジ体20とスペーサ30とを軸体10に交互に装着する。このとき、軸体10の各凸条部11を、スポンジ体20とスペーサ30の凹部22,32に係合させる。
しかも、隙間に隣接するスポンジ体20が軸体10に対して斜めにセットされているため、ガラス基板などの被洗浄物の表面にブラシマークの発生を防止できる。
第2実施形態に係るスポンジロールは、第1実施形態のスポンジロール1に対して、スポンジ体が外周に凸片を備えていない点で異なる。
前述の第1実施形態と同じ要素などには同じ符号を付してその説明を省略する。
図7は第2実施形態に係るスポンジ体20Aの正面図である。スポンジ体20Aは輪郭が円形に形成されており、その外径R4はスペーサ30の外径R1よりも大きく設定されている。
前記説明で、装着手段としてスペーサを例示したが、このスペーサに代えて、図8に示すように軸体の表面に所定の間隔を開けて複数のキー溝80を形成してもよい。各キー溝80にスポンジ体が装着される。或いは、軸体の表面を所定の間隔で凸状の膨出部を形成し、該膨出部間に形成される凹部にスポンジ体を装着してもよい。
軸体は、中実な棒材を利用してもよい。
スポンジ体の形状は、図示例に限定されるものではない。
凸片の数や形状は図示例に限定されるものではない。
10 軸体
11 軸体の凸条部
20,20A スポンジ体
21 スポンジ体の中心孔
22 スポンジ体の凹部
23 スポンジ体の凸片
30 スペーサ
31 スペーサの中心孔
32 スペーサの凹部
40 ストッパ
41 ストッパの中心孔
42 ストッパの凹部
80 キー溝
Claims (5)
- 軸体と、該軸体に装着される薄板状に形成された複数のスポンジ体と、を備えたスポンジロールにおいて、
上記スポンジ体同士の間に隙間を形成すると共に、上記スポンジ体を上記軸体に斜めに装着する装着手段を備え、
上記装着手段はスペーサで成り、
上記スポンジ体同士の間にスペーサが設けられて上記隙間が形成されており、上記スペーサの厚みが1〜2mmの範囲であり、
精密製品、電子製品又はこれらの部品を洗浄するために使用されることを特徴とする、スポンジロール。 - 前記精密製品、電子製品又はこれらの部品が、ガラス基板、合成樹脂フィルム及び合成樹脂プレートの少なくとも1種の被洗浄物を含むことを特徴とする、請求項1記載のスポンジロール。
- 前記装着手段は薄板状に形成されたスペーサで成り、
前記スポンジ体及び上記スペーサは前記軸体を通す中心孔を有し、
上記スペーサの中心孔は、スペーサ板面に垂直な第1仮想線に対して傾いた線を第2仮想線とした場合に、上記第2仮想線を中心軸として傾いて形成されており、
前記スポンジ体と上記スペーサとは前記軸体に交互に装着されていて、上記スペーサは上記中心孔によって前記軸体に斜めに装着され、前記スポンジ体は上記スペーサに支持されて前記軸体に斜めに装着されていることを特徴とする、請求項1又は2記載のスポンジロール。 - 前記軸体の全長に亙って複数の凸条部が一続きに形成され、前記スポンジ体及びスペーサの中心孔が該軸体の凸条部に係合する複数の凹部を有し、前記スポンジ体とスペーサとが前記軸体に交互に装着された状態で、前記軸体の凸条部と係合する凹部を有するストッパが該軸体の両端に装着されることを特徴とする、請求項3記載のスポンジロール。
- 前記スポンジ体は、外周から突出した複数の凸片を備えていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項記載のスポンジロール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010169788A JP5569685B2 (ja) | 2010-07-28 | 2010-07-28 | スポンジロール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010169788A JP5569685B2 (ja) | 2010-07-28 | 2010-07-28 | スポンジロール |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014080552A Division JP5768990B2 (ja) | 2014-04-09 | 2014-04-09 | スポンジロール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012030150A JP2012030150A (ja) | 2012-02-16 |
JP5569685B2 true JP5569685B2 (ja) | 2014-08-13 |
Family
ID=45844233
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010169788A Expired - Fee Related JP5569685B2 (ja) | 2010-07-28 | 2010-07-28 | スポンジロール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5569685B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109037116A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-12-18 | 上海华力微电子有限公司 | 晶圆清洗装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103698737B (zh) * | 2013-12-19 | 2016-11-16 | 国家电网公司 | 一种电能表自动化除雾除尘装置 |
KR101604108B1 (ko) * | 2014-07-29 | 2016-03-16 | (주)유라텍 | 링타입 조립형 스폰지 롤러 |
JP6721949B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2020-07-15 | AvanStrate株式会社 | ガラス基板の製造方法、およびガラス基板製造装置 |
CN111359976B (zh) * | 2020-03-19 | 2021-04-02 | 苏州旭钢电子科技有限公司 | 一种电子元件表面处理方法 |
JP7140943B1 (ja) | 2022-01-04 | 2022-09-22 | 俊文 竹内 | 歯ブラシ |
CN114287851A (zh) * | 2022-02-09 | 2022-04-08 | 帝舍智能科技(武汉)有限公司 | 一种海绵滚筒及制造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6076450A (ja) * | 1983-10-31 | 1985-04-30 | Y K Giken:Kk | 洗車方法 |
JPH04104203U (ja) * | 1991-02-08 | 1992-09-08 | 川崎製鉄株式会社 | 研摩用ブラシロール |
JPH0864049A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 傾斜ブラシ式碍子清掃装置 |
US5870792A (en) * | 1997-03-31 | 1999-02-16 | Speedfam Corporation | Apparatus for cleaning wafers and discs |
JP2006075718A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Aion Kk | 弾性ローラ |
JP5130430B2 (ja) * | 2007-02-02 | 2013-01-30 | 三光産業株式会社 | 表面処理用ブラシ |
-
2010
- 2010-07-28 JP JP2010169788A patent/JP5569685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109037116A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-12-18 | 上海华力微电子有限公司 | 晶圆清洗装置 |
CN109037116B (zh) * | 2018-08-31 | 2021-05-28 | 上海华力微电子有限公司 | 晶圆清洗装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012030150A (ja) | 2012-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5569685B2 (ja) | スポンジロール | |
JP5768990B2 (ja) | スポンジロール | |
TWI359719B (ja) | ||
JP2007007501A (ja) | 基板洗浄ブラシ | |
US20120052780A1 (en) | Backing plate for a buffing pad | |
RU2012101409A (ru) | Инструмент и устройство для формоизменения листового материала | |
JP5498455B2 (ja) | チェン構造 | |
TWM529655U (zh) | 自行車之齒片及其固定座 | |
JP4835283B2 (ja) | 表面清掃装置 | |
JP2006075718A (ja) | 弾性ローラ | |
KR101843271B1 (ko) | 롤 브러시 | |
JP5945679B2 (ja) | バリ取りブラシ用の研磨布紙保持具、及びこれを用いたバリ取りブラシ用のブラシ構成盤、並びにこれを積層して成るバリ取り用ブラシ | |
JP6021415B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、および記録装置 | |
JP2008132214A (ja) | ブラシロール | |
JP2020011168A5 (ja) | ||
WO2014199625A1 (ja) | シャワーヘッド | |
JP6344793B2 (ja) | チャンネルブラシ | |
JP2010209632A (ja) | シリンダー錠 | |
KR100921252B1 (ko) | 디스플레이 패널 세정용 롤 브러시 | |
US20230191459A1 (en) | A contact cleaning surface | |
JP4413853B2 (ja) | ディスク軸組立体 | |
KR101073670B1 (ko) | 디스플레이 패널 세정장치용 세정 롤러 | |
JP5054655B2 (ja) | ローラとその製造方法 | |
JPS61249336A (ja) | 製麺用切刃ロ−ル | |
JP5424194B2 (ja) | ブラシロール及びブラシユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120116 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140409 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140513 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140610 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5569685 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |