JP2006075718A - 弾性ローラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転軸2と、回転軸2に装着されるロール本体3と、を備えた弾性ローラ1であって、ロール本体3は、複数の板状弾性体9を備える。各板状弾性体9は、回転軸2が挿入される軸挿入孔10を有する。複数の板状弾性体9は、それぞれの軸挿入孔10に回転軸2を順次挿入することにより、軸心6に沿って積層された状態で回転軸2の外周面上に装着される。
【選択図】図1
Description
平均気孔径は、PORUS MATERIALS,INC社製水銀ポロシメータを用いた、水銀圧入法細孔測定によって求められる値である。
Claims (7)
- 回転軸と、該回転軸に装着されるロール本体と、を備えた弾性ローラであって、
前記ロール本体は、複数の弾性体を備え、
各弾性体は、前記回転軸が挿入される軸挿入孔を有し、
前記複数の弾性体は、前記軸挿入孔に前記回転軸を順次挿入することにより、前記回転軸の軸心に沿って積層された状態で前記回転軸の外周面上に装着される
ことを特徴とする弾性ローラ。 - 請求項1に記載の弾性ローラであって、
前記回転軸の外周面は、前記軸心に沿って延びる1以上の溝又は前記軸心に沿って延びる1以上の突起の少なくとも一方を有し、
前記弾性体の前記軸挿入孔を区画する内径面は、前記回転軸の溝に嵌合する突起又は前記回転軸の突起が嵌合する溝の少なくとも一方を有し、
前記突起と前記溝との嵌合は、前記回転軸に対する前記弾性体の前記軸心回りの回転を阻止する
ことを特徴とする弾性ローラ。 - 請求項1又は請求項2に記載の弾性ローラであって、
前記回転軸に対して固定され、前記回転軸に装着され積層された前記複数の弾性体を前記軸心方向に圧縮して変形させた状態で該弾性体の該軸心方向に沿った移動を阻止する弾性体保持部材をさらに備えた
ことを特徴とする弾性ローラ。 - 請求項1〜請求項3の何れか1項に記載の弾性ローラであって、
前記弾性体は、該弾性体の外周面から突出する突起部を有する
ことを特徴とする弾性ローラ。 - 請求項3に記載の弾性ローラであって、
前記弾性体は、該弾性体の外周面から突出する突起部を有し、
前記回転軸に前記複数の弾性体を装着した状態で、隣接し合う所定の2つの弾性体の前記突起部が、前記回転軸と略直交する所定の1つの断面に含まれる部分をそれぞれ有する
ことを特徴とする弾性ローラ。 - 請求項1〜請求項5の何れか1項に記載の弾性ローラであって、
前記弾性体は、連続気孔を有する多孔質体である
ことを特徴とする弾性ローラ。 - 請求項1〜請求項6の何れか1項に記載の弾性ローラであって、
前記弾性体の材質は、ポリビニルアセタール系樹脂、ポリウレタン樹脂、熱可塑性エラストマー、又は合成ゴムである
ことを特徴とする弾性ローラ。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007289878A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク洗浄ブラシ、ディスク洗浄機構およびディスク洗浄装置 |
JP2009033119A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-02-12 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク洗浄機構およびディスク洗浄装置 |
JP2010045142A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄ブラシ、基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
US7841035B2 (en) | 2005-10-13 | 2010-11-30 | Hitachi High-Technologies Corporation | Disc cleaning machinery, disc cleaning device thereof and rotary brush thereof |
JP2012030150A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | State Kogyo Kk | スポンジロール |
WO2016002219A1 (ja) * | 2014-07-04 | 2016-01-07 | 株式会社荏原製作所 | 洗浄装置及びロール洗浄部材 |
JPWO2015002289A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2017-02-23 | Tpr株式会社 | 回転体軸および回転体構造ならびに車輪 |
TWI594811B (zh) * | 2010-05-19 | 2017-08-11 | 湯瑪士衛斯特公司 | 用於擦洗基材的裝置與方法 |
WO2019203199A1 (ja) | 2018-04-18 | 2019-10-24 | ライズテック株式会社 | 弾性ローラ |
JP7468325B2 (ja) | 2020-12-09 | 2024-04-16 | 日本電気硝子株式会社 | 板ガラス洗浄装置 |
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7841035B2 (en) | 2005-10-13 | 2010-11-30 | Hitachi High-Technologies Corporation | Disc cleaning machinery, disc cleaning device thereof and rotary brush thereof |
JP2007289878A (ja) * | 2006-04-26 | 2007-11-08 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク洗浄ブラシ、ディスク洗浄機構およびディスク洗浄装置 |
JP2009033119A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-02-12 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク洗浄機構およびディスク洗浄装置 |
JP2010045142A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-02-25 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄ブラシ、基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
TWI594811B (zh) * | 2010-05-19 | 2017-08-11 | 湯瑪士衛斯特公司 | 用於擦洗基材的裝置與方法 |
JP2012030150A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | State Kogyo Kk | スポンジロール |
JPWO2015002289A1 (ja) * | 2013-07-05 | 2017-02-23 | Tpr株式会社 | 回転体軸および回転体構造ならびに車輪 |
WO2016002219A1 (ja) * | 2014-07-04 | 2016-01-07 | 株式会社荏原製作所 | 洗浄装置及びロール洗浄部材 |
US10453708B2 (en) | 2014-07-04 | 2019-10-22 | Ebara Corporation | Cleaning device and roll cleaning member |
WO2019203199A1 (ja) | 2018-04-18 | 2019-10-24 | ライズテック株式会社 | 弾性ローラ |
US11613441B2 (en) | 2018-04-18 | 2023-03-28 | Risetec Co., Ltd. | Elastic roller |
JP7468325B2 (ja) | 2020-12-09 | 2024-04-16 | 日本電気硝子株式会社 | 板ガラス洗浄装置 |
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