JPH09148402A - ウェーハ搬送プレート - Google Patents
ウェーハ搬送プレートInfo
- Publication number
- JPH09148402A JPH09148402A JP32217195A JP32217195A JPH09148402A JP H09148402 A JPH09148402 A JP H09148402A JP 32217195 A JP32217195 A JP 32217195A JP 32217195 A JP32217195 A JP 32217195A JP H09148402 A JPH09148402 A JP H09148402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer transfer
- main body
- ground wire
- plate main
- Prior art date
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- Pending
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- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ウェーハの搬送に用いられるウェーハ移載機の
ウェーハ搬送プレートに帯電防止機能をもたせ、静電気
によってウェーハのダスト付着による汚染を防止する。 【解決手段】細長く形成されたプレート本体１１の長手
方向の先端部でウェーハを支持して保持するもので、プ
レート本体１１の長手方向に沿ってアース線１６を配設
し、該アース線１６の一端の接触ばね端部１７をウェー
ハ１４に接触させ、且つ他端の接地端部１８を接地さ
せ、又プレート本体１１の基端部に接地用のアース部材
１９，２０を装着し、該アース部材を介してプレート本
体１１の基端部がウェーハ移載機に支持され、ウェー
ハ、プレート本体の帯電が防止される。
ウェーハ搬送プレートに帯電防止機能をもたせ、静電気
によってウェーハのダスト付着による汚染を防止する。 【解決手段】細長く形成されたプレート本体１１の長手
方向の先端部でウェーハを支持して保持するもので、プ
レート本体１１の長手方向に沿ってアース線１６を配設
し、該アース線１６の一端の接触ばね端部１７をウェー
ハ１４に接触させ、且つ他端の接地端部１８を接地さ
せ、又プレート本体１１の基端部に接地用のアース部材
１９，２０を装着し、該アース部材を介してプレート本
体１１の基端部がウェーハ移載機に支持され、ウェー
ハ、プレート本体の帯電が防止される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
於いて、搬送時のウェーハ受載に用いられるウェーハ搬
送プレートに関するものである。
於いて、搬送時のウェーハ受載に用いられるウェーハ搬
送プレートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置に於いては、シリコン基
板のウェーハやガラス基板の上面に半導体素子を形成す
る為に各種薄膜が成膜される。装置内でのウェーハの移
載は図３に一例を示すウェーハ移載機１によって行われ
る。
板のウェーハやガラス基板の上面に半導体素子を形成す
る為に各種薄膜が成膜される。装置内でのウェーハの移
載は図３に一例を示すウェーハ移載機１によって行われ
る。
【０００３】該ウェーハ移載機１はチャッキングヘッド
２を有し、該チャッキングヘッド２には細長く形成され
た複数のウェーハ搬送プレート（ツイーザ）３が支持さ
れている。前記チャッキングヘッド２は回転台４にレー
ル５を介して軌乗し、進退可能になっていると共に前記
回転台４は回転可能となっている。ウェーハ６は１枚毎
に前記ウェーハ搬送プレート３に吸着保持される。
２を有し、該チャッキングヘッド２には細長く形成され
た複数のウェーハ搬送プレート（ツイーザ）３が支持さ
れている。前記チャッキングヘッド２は回転台４にレー
ル５を介して軌乗し、進退可能になっていると共に前記
回転台４は回転可能となっている。ウェーハ６は１枚毎
に前記ウェーハ搬送プレート３に吸着保持される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、プロセス中
のウェーハ６の品質に影響を及ぼす汚染の要因の一つに
ウェーハ６へのダストの付着がある。前記ウェーハ移載
機１に於いてウェーハ搬送プレート３にウェーハ６を保
持した場合に、ウェーハ搬送プレート３が帯電していた
り、或はウェーハ６の表面や裏面に静電気が帯電してい
ると前記ウェーハ搬送プレート３がダストを吸着しその
ダストがウェーハに吸着したり、或はウェーハ６が浮遊
するダストを吸着したりすることになる。
のウェーハ６の品質に影響を及ぼす汚染の要因の一つに
ウェーハ６へのダストの付着がある。前記ウェーハ移載
機１に於いてウェーハ搬送プレート３にウェーハ６を保
持した場合に、ウェーハ搬送プレート３が帯電していた
り、或はウェーハ６の表面や裏面に静電気が帯電してい
ると前記ウェーハ搬送プレート３がダストを吸着しその
ダストがウェーハに吸着したり、或はウェーハ６が浮遊
するダストを吸着したりすることになる。
【０００５】本発明の目的は、上記従来の不具合に鑑
み、ウェーハの搬送に用いられるウェーハ移載機のウェ
ーハ搬送プレートに帯電防止機能をもたせ、静電気によ
ってウェーハにダストの付着による汚染を防止すること
である。
み、ウェーハの搬送に用いられるウェーハ移載機のウェ
ーハ搬送プレートに帯電防止機能をもたせ、静電気によ
ってウェーハにダストの付着による汚染を防止すること
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ウェーハ移載
機に支持され先端部でウェーハを下方から支持して保持
するウェーハ搬送プレートに於いて、前記プレート本体
の長手方向に沿ってアース線が配設され、該アース線の
一端が前記ウェーハに接触し且他端が接地される様に形
成したことを特徴とするものである。
機に支持され先端部でウェーハを下方から支持して保持
するウェーハ搬送プレートに於いて、前記プレート本体
の長手方向に沿ってアース線が配設され、該アース線の
一端が前記ウェーハに接触し且他端が接地される様に形
成したことを特徴とするものである。
【０００７】又、本発明は、基端部にアース部材が設け
られ、該アース部材を介して前記ウェーハ移載機に支持
されたものであり、更に前記プレート本体の長手方向に
沿って吸気通路が設けられ、該吸気通路に前記アース線
が設けられたものである。
られ、該アース部材を介して前記ウェーハ移載機に支持
されたものであり、更に前記プレート本体の長手方向に
沿って吸気通路が設けられ、該吸気通路に前記アース線
が設けられたものである。
【０００８】従って、ウェーハ搬送プレートに保持され
たウェーハは、アース線の一端が接触することにより、
静電気が除去され帯電が防止される。又、ウェーハ搬送
プレートは基端部のアース部材によって静電気の発生が
防止される。
たウェーハは、アース線の一端が接触することにより、
静電気が除去され帯電が防止される。又、ウェーハ搬送
プレートは基端部のアース部材によって静電気の発生が
防止される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。
実施の形態について説明する。
【００１０】図１及び図２に於いて、ウェーハ搬送プレ
ート１０は細長い形状のプレート本体１１を有し、該プ
レート本体１１の長手方向に沿って内部に吸気通路１２
が設けられ、該吸気通路１２は図示しない真空ポンプに
接続されている。プレート本体１１の長手方向の先端部
には吸気通路１２に連通する２つの吸着孔１３，１３が
穿設され、該吸着孔１３，１３によってウェーハ１４を
下方から吸引保持できる様になっている。又、プレート
本体１１の長手方向の基端部は支軸孔１５によって上記
図３で示されたウェーハ移載機１に軸支されている。
ート１０は細長い形状のプレート本体１１を有し、該プ
レート本体１１の長手方向に沿って内部に吸気通路１２
が設けられ、該吸気通路１２は図示しない真空ポンプに
接続されている。プレート本体１１の長手方向の先端部
には吸気通路１２に連通する２つの吸着孔１３，１３が
穿設され、該吸着孔１３，１３によってウェーハ１４を
下方から吸引保持できる様になっている。又、プレート
本体１１の長手方向の基端部は支軸孔１５によって上記
図３で示されたウェーハ移載機１に軸支されている。
【００１１】又、プレート本体１１に於いては、上記吸
気通路１２を利用して金製もしくは銅製のアース線１６
が基端部から先端部まで延びて配設され、該アース線１
６の一端の先端部は接触ばね端部１７として吸着孔１
３，１３の一つからプレート本体１１の表面に突出して
いる。図示の様に、接触ばね端部１７は螺旋のコイルス
プリングの如きばね状に形成され、或は線径が細く形成
され、プレート本体１１上に載置されたウェーハ１４の
重さで吸着孔１３内に押戻される程度の弾性を有してい
る。つまり、ウェーハ１４に押戻された位置から突出位
置に復帰しようとする弾性力により、接触ばね端部１７
がウェーハ１４の裏面に確実に接触できる様になってい
る。又、アース線１６の他端の基端部は接地端部１８と
して、プレート本体１１の基端部から外部に延出して接
地されている。
気通路１２を利用して金製もしくは銅製のアース線１６
が基端部から先端部まで延びて配設され、該アース線１
６の一端の先端部は接触ばね端部１７として吸着孔１
３，１３の一つからプレート本体１１の表面に突出して
いる。図示の様に、接触ばね端部１７は螺旋のコイルス
プリングの如きばね状に形成され、或は線径が細く形成
され、プレート本体１１上に載置されたウェーハ１４の
重さで吸着孔１３内に押戻される程度の弾性を有してい
る。つまり、ウェーハ１４に押戻された位置から突出位
置に復帰しようとする弾性力により、接触ばね端部１７
がウェーハ１４の裏面に確実に接触できる様になってい
る。又、アース線１６の他端の基端部は接地端部１８と
して、プレート本体１１の基端部から外部に延出して接
地されている。
【００１２】一方、プレート本体１１の基端部は、上記
支軸孔１５の周辺の表面側と裏面側にそれぞれ銅等によ
るアース部材１９，２０が接合され、該アース部材１
９，２０を介して上記ウェーハ移載機に取付けられてい
る。
支軸孔１５の周辺の表面側と裏面側にそれぞれ銅等によ
るアース部材１９，２０が接合され、該アース部材１
９，２０を介して上記ウェーハ移載機に取付けられてい
る。
【００１３】以上の構成により、ウェーハ搬送プレート
１０上にウェーハ１４が受載され、吸気通路１２からの
吸引負圧によって吸着孔１３，１３でウェーハ１４を下
方から吸引保持する。成膜室等に於いて成膜中、ウェー
ハ１４の裏面にアース線１６の先端の接触ばね端部１７
がばね弾性力によって接触し、アース線１６を介してウ
ェーハ１４の表面に発生した静電気を除去し、帯電を防
止する。
１０上にウェーハ１４が受載され、吸気通路１２からの
吸引負圧によって吸着孔１３，１３でウェーハ１４を下
方から吸引保持する。成膜室等に於いて成膜中、ウェー
ハ１４の裏面にアース線１６の先端の接触ばね端部１７
がばね弾性力によって接触し、アース線１６を介してウ
ェーハ１４の表面に発生した静電気を除去し、帯電を防
止する。
【００１４】又、装置の電気系統によって或は、チャッ
キングヘッド２の動作により発生しウェーハ搬送プレー
ト１０の表面や裏面に帯電した静電気は、基端部に装着
したアース部材１９，２０によって除去される。ウェー
ハ搬送プレート１０に於ける帯電を防止することで、ウ
ェーハ１４への帯電も防止できる。
キングヘッド２の動作により発生しウェーハ搬送プレー
ト１０の表面や裏面に帯電した静電気は、基端部に装着
したアース部材１９，２０によって除去される。ウェー
ハ搬送プレート１０に於ける帯電を防止することで、ウ
ェーハ１４への帯電も防止できる。
【００１５】而して、ウェーハ１４及びウェーハ搬送プ
レート１０の双方で帯電が防止され、静電気によるウェ
ーハ１４へのゴミ付着を防ぐことができる。
レート１０の双方で帯電が防止され、静電気によるウェ
ーハ１４へのゴミ付着を防ぐことができる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、ウェー
ハ等の基板を受載して搬送するウェーハ搬送プレートに
アース線及びアース部材を装着することで、ウェーハ及
びウェーハ搬送プレートの双方に発生した静電気を除去
して帯電を防止し、ウェーハの汚染を防止することがで
きる。
ハ等の基板を受載して搬送するウェーハ搬送プレートに
アース線及びアース部材を装着することで、ウェーハ及
びウェーハ搬送プレートの双方に発生した静電気を除去
して帯電を防止し、ウェーハの汚染を防止することがで
きる。
【図１】本発明によるウェーハ搬送プレートの実施の形
態を示す平面図である。
態を示す平面図である。
【図２】実施の形態のウェーハ搬送プレートの側断面図
である。
である。
【図２】従来のウェーハ搬送プレートを装着したウェー
ハ移載機を示す斜視図である。
ハ移載機を示す斜視図である。
１０ ウェーハ搬送プレート １１ プレート本体 １２ 吸気通路 １３ 吸着孔 １４ ウェーハ １５ 支軸孔 １６ アース線 １７ 接触ばね端部 １８ 接地端部 １９ アース部材 ２０ アース部材
【手続補正書】
【提出日】平成８年３月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるウェーハ搬送プレートの実施の形
態を示す平面図である。
態を示す平面図である。
【図２】実施の形態のウェーハ搬送プレートの側断面図
である。
である。
【図３】従来のウェーハ搬送プレートを装着したウェー
ハ移載機を示す斜視図である。
ハ移載機を示す斜視図である。
【符号の説明】 １０ ウェーハ搬送プレート １１ プレート本体 １２ 吸気通路 １３ 吸着孔 １４ ウェーハ １５ 支軸孔 １６ アース線 １７ 接触ばね端部 １８ 接地端部 １９ アース部材 ２０ アース部材
Claims (3)
- 【請求項１】 ウェーハ移載機に支持され先端部でウェ
ーハを下方から支持して保持するウェーハ搬送プレート
に於いて、前記プレート本体の長手方向に沿ってアース
線が配設され、該アース線の一端が前記ウェーハに接触
し且他端が接地される様に形成したことを特徴とするウ
ェーハ搬送プレート。 - 【請求項２】 前記プレート本体の基端部にアース部材
が設けられ、該アース部材を介して前記ウェーハ移載機
に支持された請求項１記載のウェーハ搬送プレート。 - 【請求項３】 前記プレート本体の長手方向に沿って吸
気通路が設けられ、該吸気通路に前記アース線が設けら
れた請求項１記載のウェーハ搬送プレート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32217195A JPH09148402A (ja) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | ウェーハ搬送プレート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32217195A JPH09148402A (ja) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | ウェーハ搬送プレート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09148402A true JPH09148402A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=18140735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32217195A Pending JPH09148402A (ja) | 1995-11-16 | 1995-11-16 | ウェーハ搬送プレート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09148402A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100889649B1 (ko) * | 2006-03-01 | 2009-03-19 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치 및 기판취급방법 |
| KR20160103929A (ko) * | 2015-02-25 | 2016-09-02 | 캐논 가부시끼가이샤 | 반송 핸드 및 리소그래피 장치 |
| KR20180024069A (ko) * | 2016-08-25 | 2018-03-08 | 피에스케이 주식회사 | 반송 로봇 및 이를 가지는 기판 처리 장치 |
-
1995
- 1995-11-16 JP JP32217195A patent/JPH09148402A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100889649B1 (ko) * | 2006-03-01 | 2009-03-19 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치 및 기판취급방법 |
| KR20160103929A (ko) * | 2015-02-25 | 2016-09-02 | 캐논 가부시끼가이샤 | 반송 핸드 및 리소그래피 장치 |
| KR20180024069A (ko) * | 2016-08-25 | 2018-03-08 | 피에스케이 주식회사 | 반송 로봇 및 이를 가지는 기판 처리 장치 |
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