JP2015505063A - 光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物と、ドライフィルムソルダレジスト - Google Patents
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Abstract
Description
前記化学式1において、R1は、
前記一実施形態の樹脂組成物は、カルボキシ基(−COOH)と、光硬化可能な不飽和官能基とを有するイミノカーボネート系化合物を酸変性オリゴマーとして含む。このような酸変性オリゴマーは、光硬化によって樹脂組成物の他の成分、つまり、光重合性モノマーおよび/または熱硬化性バインダーと架橋結合を形成してDFSRの形成を可能にし、カルボキシ基を含み、非露光部の樹脂組成物がアルカリ現像性を示すようにする。
一方、一実施形態の樹脂組成物は、光重合性モノマーを含む。このような光重合性モノマーは、例えば、2個以上の多官能ビニル基などの光硬化可能な不飽和官能基を有する化合物となり得、上述した酸変性オリゴマーの不飽和官能基と架橋結合を形成して、露光時に光硬化による架橋構造を形成することができる。したがって、DFSRの形成される部分に対応する露光部の樹脂組成物がアルカリ現像されずに基板上に残留するようにすることができる。
一実施形態の樹脂組成物は、光開始剤を含む。このような光開始剤は、例えば、樹脂組成物の露光部において、酸変性オリゴマーと、光重合性モノマーとの間でラジカル光硬化を開始する役割を果たす。
一実施形態の樹脂組成物はまた、熱硬化可能な官能基、例えば、エポキシ基、オキセタニル基、環状エーテル基および環状チオエーテル基の中から選択された1種以上を有する熱硬化性バインダーを含む。このような熱硬化性バインダーは、熱硬化によって酸変性オリゴマーなどと架橋結合を形成して、DFSRの耐熱性または機械的物性を担保することができる。
熱硬化性バインダー触媒は、熱硬化性バインダーの熱硬化を促進させる役割を果たす。
このような熱硬化性バインダー触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾールなどのイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミンなどのアミン化合物;アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジドなどのヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィンなどのリン化合物などが挙げられる。また、市販されているものとしては、例えば、四国化成工業社製造の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製造のU−CAT3503N、UCAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSΑ102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物およびその塩)などが挙げられる。特に、これらに限定されるものではなく、エポキシ樹脂やオキセタン化合物の熱硬化触媒、またはエポキシ基および/またはオキセタニル基とカルボキシ基との反応を促進するものであってもよく、単独または2種以上を混合して使用することもできる。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物などのS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくは、これらの密着性付与剤としても機能する化合物を前記熱硬化性バインダー触媒と併用することができる。
フィラーは、耐熱安定性、熱による寸法安定性、樹脂接着力を向上させる役割を果たす。また、色を補強することによって、体質顔料の役割も果たす。
顔料は、視認性、隠蔽力を発揮して回路線のすり傷のような欠陥を隠す役割を果たす。
顔料としては、赤色、青色、緑色、黄色、黒色顔料などを使用することができる。青色顔料としては、フタロシアニンブルー、ピグメントブルー15:1、ピグメントブルー15:2、ピグメントブルー15:3、ピグメントブルー15:4、ピグメントブルー15:6、ピグメントブルー60などを使用することができる。緑色顔料としては、ピグメントグリーン7、ピグメントグリーン36、ソルベントグリーン3、ソルベントグリーン5、ソルベントグリーン20、ソルベントグリーン28などを使用することができる。黄色顔料としては、アントラキノン系、イソインドリノン系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系などがあり、例えば、ピグメントイエロー108、ピグメントイエロー147、ピグメントイエロー151、ピグメントイエロー166、ピグメントイエロー181、ピグメントイエロー193などを使用することができる。
添加剤は、樹脂組成物の気泡を除去したり、フィルムコーティング時、表面のポッピング(Popping)やクレータ(Crater)を除去、難燃性質の付与、粘度調節、触媒などの役割で添加できる。
樹脂組成物を溶解させたり、適切な粘度を付与するために、1個以上の溶剤を混用して使用することができる。
まず、前記一実施形態の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物を用いてドライフィルムソルダレジスト(DFSR)を製造する過程を概略的に説明すると、次の通りである。
実施例1
酸変性オリゴマーのイミノカーボネート系化合物は、Lonza社のビスフェノール系シアネートエステル化合物BA−230のシアネート基を、アクリル酸および1,2,3,6−テトラヒドロフタル酸(4−Cyclohexene−1,2−dicarboxylic acid)と1:1のモル比で反応させ、酸変性オリゴマーであるイミノカーボネート化合物を製造した。
イミノカーボネート系化合物5重量%(実施例2)または15重量%(実施例3)で使用し、前記イミノカーボネート系化合物の含有量の増減に応じて溶媒の含有量を増減させて使用した点を除いては、実施例1と同様の方法でドライフィルムおよび印刷回路基板を製造した。
光重合性モノマーとして、SKサイテックのDPHA5重量%の代わりに、日本化薬のT−1420(実施例4)、日本化薬のDPCA−60(実施例5)、日本化薬のR−684(実施例6)をそれぞれ5重量%使用した点を除いて、実施例1と同様の方法でドライフィルムおよび印刷回路基板を製造した。
イミノカーボネート化合物を使用せず、日本化薬のZAR−2000(比較例1)、CCR−1235(比較例2)、ZFR−1122(比較例3)を酸変性オリゴマーとしてそれぞれ35重量%の含有量で使用した点を除いて、実施例1と同様の方法でドライフィルムおよび印刷回路基板を製造した。
光重合性モノマーとしてSKサイテックのDPHAを使用しなかった点を除いては、実施例1と同様の方法でドライフィルムおよび印刷回路基板を製造した。
熱硬化性バインダーを使用しなかった点を除いて、実施例1と同様の方法でドライフィルムおよび印刷回路基板を製造した。
前記比較例1ないし5の樹脂組成物の具体的な組成は下記表2にまとめられた通りである。
実施例および比較例で製造したドライフィルムおよび印刷回路基板の物性を次のような方法で測定した。
銅箔積層板の厚さ:0.1mm、銅箔の厚さ:12μmのエルジー化学社製LG−T−500GAの銅箔積層板を横X縦=5cmX5cmの大きさに切断し、化学的エッチングで銅箔の表面に微細粗度を形成した。実施例および比較例で製造されたドライフィルムの離型フィルムを除去した後、粗度が形成された銅箔積層板(基板)上に、前記フィルム層を真空ラミネータ(名機製作所社製造MV LP−500)で真空積層した後、365nm波長帯のUVを350mJ/cm2の露光量で露光した。以降、PETフィルムを除去し、31℃のNa2CO31重量%アルカリ溶液で一定時間現像し、約1000mJ/cm2の露光量で光硬化を進行させた。最後に、約170℃で1時間加熱硬化を進行させて試片を製作した。
1:DFSRの剥離がなく、水泡および変色がなかった;
2:DFSRの剥離、水泡または変色が発生したが、下記3よりはひどくなかった;
3:DFSRの剥離、水泡および変色がひどく発生した。
1:DFSRの白化の発生がなかった;
2:DFSRの白化が一部発生したが、下記3よりはひどくなかった;
3:DFSRの白化がひどく発生した。
三井金属の3EC−M3−VLP12μmの銅箔のShiny面上に、PCT耐熱性などの測定試片の用意時と同様にフィルム層を積層した。幅5mm、間隔5mmのストライプパターンのあるネガティブタイプのマスクを試片上に置いて露光したことを除いては、前記PCT耐熱性などの測定試片の用意時と同様の方法で加熱硬化までを進行させてDFSR試片を製作した。最終的に、前記試片から銅箔を剥離することによって、TMA(thermal mechanical analysis、METTLER TOLEDO、TMA/SDTA840)評価用の5mmストライプ形態の試片を製作した。
1:Tg150℃以上;
2:Tg140℃以上150℃未満;
3:Tg120℃以上140℃未満;
4:Tg100℃以上120℃未満;
5:Tg100℃未満。
(熱膨張係数α1)
1:α1 20ppm未満;
2:α1 20ppm以上30ppm未満;
3:α1 30ppm以上50ppm未満;
4:α1 50ppm以上。
(熱膨張係数α2)
1:α2 100ppm未満;
2:α2 100ppm以上120ppm未満;
3:α2 120ppm以上150ppm未満;
3:α2 150ppm以上200ppm未満;
4:α2 200ppm以上。
三井金属の3EC−M3−VLP12μmの銅箔積層板を横X縦=5cmX5cmの大きさに切断し、化学的エッチングで銅箔の表面に微細粗度を形成した。前記実施例および比較例で製造されたドライフィルムの離型フィルムを除去した後、粗度が形成された銅箔積層板(基板)上に、前記フィルム層を真空ラミネータ(名機製作所社製造MV LP−500)で真空積層した。
1:断面がstraight形状で、底にフィルム残渣が残らない
2:断面がstraight形状でなく、ホール形状内にunder cutまたはoverhang存在
3:未現像状態で観察
4:過現像でパターン形成不可
前記実験例1ないし3で測定および評価されたPCT耐熱性、無電解ニッケルめっき耐性、Tg、熱膨張係数、および現像性を下記表3にまとめて示した。
Claims (26)
- カルボキシ基(−COOH)と、光硬化可能な不飽和官能基とを有するイミノカーボネート系化合物を含む酸変性オリゴマー;
2個以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー;
熱硬化可能な官能基を有する熱硬化性バインダー;および
光開始剤を含むことを特徴とする、光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。 - 前記樹脂組成物が硬化された時、ガラス転移温度(Tg)前に10ないし35ppmの熱膨張係数(α1)を有し、ガラス転移温度(Tg)後に150ppm以下の熱膨張係数(α2)を有することを特徴とする、請求項1に記載の樹脂組成物。
- 前記イミノカーボネート系化合物は、シアネートエステル系化合物に、ジカルボン酸化合物と、光硬化可能な不飽和官能基およびヒドロキシ基またはカルボキシ基を有する化合物とを反応させて形成されたものであることを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記ジカルボン酸化合物は、脂肪族(aliphatic)ジカルボン酸化合物、脂環族(alicyclic)ジカルボン酸化合物、または芳香族(aromatic)ジカルボン酸化合物であることを特徴とする、請求項3に記載の樹脂組成物。
- 前記ジカルボン酸化合物は、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ノルボルネンジカルボン酸、C5−C10のシクロアルカン(CYCLOALKANE)ジカルボン酸、およびこれらの酸無水物からなる群より選択された1種以上の化合物であることを特徴とする、請求項3に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記ジカルボン酸化合物としては、フタル酸(phthalic acid)、ノルボルネンジカルボン酸(norbornene dicarboxylic acid)、テトラヒドロフタル酸(tetrahydrophthalic acid)、コハク酸(succinic acid)、イミダゾールジカルボン酸(imidazole dicarboxylic acid)、ピリジンジカルボン酸(pyridine dicarboxylic acid)、およびこれらの酸無水物からなる群より選択された1種以上の化合物を含むことを特徴とする、請求項3に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記光硬化可能な不飽和官能基およびヒドロキシ基またはカルボキシ基を有する化合物は、アクリル酸、メタクリル酸、桂皮酸(cinnamic acid)、ブテン酸(butenoic acid)、ヘキセン酸(hexenoic acid)、2−アリルフェノール、ヒドロキシスチレン、ヒドロキシシクロヘキセンおよびヒドロキシナフトキノン(5−hydroxyl−p−naphthoquinone)からなる群より選択された1種以上の化合物を含むことを特徴とする、請求項3に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記シアネートエステル系化合物は、シアニド基(−OCN)を有するビスフェノール系またはノボラック系化合物を含むことを特徴とする、請求項3に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記ジカルボン酸化合物と、光硬化可能な不飽和官能基およびヒドロキシ基またはカルボキシ基を有する化合物とは、2:8ないし8:2のモル比で使用され、前記シアネートエステル系化合物と反応することを特徴とする、請求項3に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記酸変性オリゴマーは、樹脂組成物の全体重量を基準として15ないし75重量%で含まれることを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記光重合性モノマーは、2個以上の光硬化可能な不飽和官能基を有するアクリレート系化合物を含むことを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記光重合性モノマーは、水酸基含有アクリレート系化合物、水溶性アクリレート系化合物、ポリエステルアクリレート系化合物、ポリウレタンアクリレート系化合物、エポキシアクリレート系化合物およびカプロラクトン変性アクリレート系化合物からなる群より選択された1種以上の化合物を含むことを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記光重合性モノマーは、樹脂組成物の全体重量を基準として5ないし30重量%で含まれることを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記光開始剤は、ベンゾインとそのアルキルエーテル類、アセトフェノン類、アントラキノン類、チオキサントン類、ケタール類、ベンゾフェノン類、α−アミノアセトフェノン類、アシルホスフィンオキシド類およびオキシムエステル類からなる群より選択された1種以上を含むことを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記光開始剤は、樹脂組成物の全体重量を基準として0.5ないし20重量%で含まれることを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記熱硬化可能な官能基は、エポキシ基、オキセタニル基、環状エーテル基および環状チオエーテル基からなる群より選択された1種以上であることを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 前記熱硬化性バインダーは、前記酸変性オリゴマーのカルボキシ基1当量に対して0.8ないし2.0当量に対応する含有量で含まれることを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- 溶剤;および熱硬化性バインダー触媒、フィラー、顔料および添加剤からなる群より選択された1種以上をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の光硬化性および熱硬化性を有する樹脂組成物。
- カルボキシ基(−COOH)と、光硬化可能な不飽和官能基とを有するイミノカーボネート系化合物を含む酸変性オリゴマー;
2個以上の光硬化可能な不飽和官能基を有する光重合性モノマー;および
熱硬化可能な官能基を有する熱硬化性バインダーの硬化物を含むことを特徴とする、ドライフィルムソルダレジスト。 - ガラス転移温度(Tg)前に10ないし35ppmの熱膨張係数(α1)を有し、ガラス転移温度(Tg)後に150ppm以下の熱膨張係数(α2)を有することを特徴とする、請求項21に記載のドライフィルムソルダレジスト。
- 前記硬化物内に分散している光開始剤をさらに含むことを特徴とする、請求項21に記載のドライフィルムソルダレジスト。
- 130ないし180℃のガラス転移温度(Tg)を有することを特徴とする、請求項21に記載のドライフィルムソルダレジスト。
- 半導体素子のパッケージ基板の製造に使用されることを特徴とする、請求項21に記載のドライフィルムソルダレジスト。
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