JP2015170686A - アバランシェフォトダイオード - Google Patents
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Abstract
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す構成図である。図1では、断面を模式的に示している。
次に、本発明の実施の形態2について図5を用いて説明する。図5は、本発明の実施の形態2におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す構成図である。図5では、断面を模式的に示している。
次に、本発明の実施の形態3について図7を用いて説明する。図7は、本発明の実施の形態3におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す構成図である。図7では、断面を模式的に示している。
Claims (5)
- p型のIII−V族化合物半導体からなるp型コンタクト層と、
前記p型コンタクト層の上に形成されたアンドープのIII−V族化合物半導体からなる第1材料より構成された第1光吸収層と、
前記第1光吸収層の上に接して形成されたp型の前記第1材料より構成された第2光吸収層と、
前記第2光吸収層の上に形成されたp型のIII−V族化合物半導体からなる第2材料より構成されたp型電界制御層と、
前記p型電界制御層の上に形成されたIII−V族化合物半導体からなるアバランシェ層と、
前記アバランシェ層の上に形成されたn型のIII−V族化合物半導体からなるn型コンタクト層と
を備えることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記第1光吸収層の前記p型コンタクト層側に接して形成されたp型の前記第1材料より構成された第3光吸収層を備えることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1または2記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記n型コンタクト層の下側で、前記アバランシェ層の上に形成されたn型の前記第2材料より構成されたn型電界制御層を備えることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記p型電界制御層の不純物濃度は、前記第2光吸収層の不純物濃度を超えて大きい濃度とされていることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記第2材料のバンドギャップは、前記第1材料のバンドギャップより大きいことを特徴とするアバランシェフォトダイオード。
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2014
- 2014-03-06 JP JP2014043687A patent/JP2015170686A/ja active Pending
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