JP5432060B2 - アバランシェフォトダイオード - Google Patents
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Description
はじめに、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、本発明の実施の形態1におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す構成図である。このアバランシェフォトダイオードは、例えば、基板101の上に形成されたn型の半導体からなる第1半導体層102と、第1半導体層102の上に形成されたアンドープの半導体からなる増倍層103と、増倍層103の上に形成されたp型の半導体からなる電界制御層104と、電界制御層104の上に形成された半導体からなる光吸収層105と、光吸収層105の上に形成されたp型の半導体からなる第2半導体層106と、第2半導体層106の上に形成された第1電極107と、第1半導体層102に形成された第2電極108とを少なくとも備える。加えて、電界制御層104は、アンチモン(Sb)を含む化合物半導体から構成されて炭素(C)を不純物として導入することでp型とされている。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図2は、本発明の実施の形態2におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す構成図である。このアバランシェフォトダイオードは、例えば、基板101の上に形成されたn型の半導体からなる第1半導体層102と、第1半導体層102の上に形成されたアンドープの半導体からなる増倍層103と、増倍層103の上に形成されたp型の半導体からなる電界制御層204と、電界制御層204の上に形成された半導体からなる光吸収層105と、光吸収層105の上に形成されたp型の半導体からなる第2半導体層106と、第2半導体層106の上に形成された第1電極107と、第1半導体層102に形成された第2電極108とを少なくとも備える。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。図4は、本発明の実施の形態3におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す構成図である。このアバランシェフォトダイオードは、例えば、基板101の上に形成されたn型の半導体からなる第1半導体層102と、第1半導体層102の上に形成されたアンドープの半導体からなる増倍層103と、増倍層103の上に形成されたp型の半導体からなる電界制御層404と、電界制御層404の上に形成された半導体からなる光吸収層105と、光吸収層105の上に形成されたp型の半導体からなる第2半導体層106と、第2半導体層106の上に形成された第1電極107と、第1半導体層102に形成された第2電極108とを少なくとも備える。
次に、本発明の実施の形態4について説明する。図6は、本発明の実施の形態4におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す構成図である。このアバランシェフォトダイオードは、例えば、基板101の上に形成されたn型の半導体からなる第1半導体層102と、第1半導体層102の上に形成されたアンドープの半導体からなる増倍層103と、増倍層103の上に形成されたp型の半導体からなる電界制御層104と、電界制御層104の上に形成された半導体からなる光吸収層105と、光吸収層105の上に形成されたp型の半導体からなる第2半導体層106と、第2半導体層106の上に形成された第1電極107と、第1半導体層102に形成された第2電極108とを少なくとも備える。
Claims (6)
- 基板の上に形成された、n型の半導体からなる第1半導体層、アンドープの半導体からなる増倍層、p型の半導体からなる電界制御層、半導体からなる光吸収層、およびp型の半導体からなる第2半導体層からなる積層構造と、
前記第2半導体層の上に形成された第1電極と、
前記第1半導体層に形成された第2電極と
を少なくとも備え、
前記第1半導体層の側より、前記増倍層、前記電界制御層、前記光吸収層、および前記第2半導体層は、これらの順に配置され、
前記光吸収層は、対象とする光の波長に対応するバンドギャップエネルギーを有した半導体から構成され、
前記第1半導体層,増倍層,電界制御層,および前記第2半導体層は、前記光吸収層を構成する半導体より大きなバンドギャップエネルギーを有する半導体から構成され、
前記第1半導体層,電界制御層,および前記第2半導体層は、不純物を導入することで各々の導電型とされ、
前記光吸収層は、前記第1半導体層および前記第2半導体層よりも不純物濃度が低い状態とされ、
前記電界制御層は、アンチモンを含む化合物半導体から構成されて炭素を不純物として導入することでp型とされている
ことを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記電界制御層は、アンチモンに加えてインジウムを含んで構成された化合物半導体から構成されていることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項2記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記電界制御層は、アンチモンおよびインジウムに加えてアルミニウムを含んで構成された化合物半導体から構成されていることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記第1半導体層は前記基板の側に配置され、
前記増倍層と前記第1半導体層との間に配置されて不純物を導入することで形成されたn型領域を備える第3半導体層を備え、
前記n型領域は、前記増倍層の形成領域内に配置されて前記増倍層より小さい面積に形成されていることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記第2半導体層は前記基板の側に配置され、
前記第1半導体層は、前記増倍層の形成領域内に配置されて前記増倍層より小さい面積に形成されていることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記電界制御層の伝導帯端は、前記増倍層の伝導帯端より高い状態とされていることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010112971A JP5432060B2 (ja) | 2010-05-17 | 2010-05-17 | アバランシェフォトダイオード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010112971A JP5432060B2 (ja) | 2010-05-17 | 2010-05-17 | アバランシェフォトダイオード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011243675A JP2011243675A (ja) | 2011-12-01 |
JP5432060B2 true JP5432060B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=45410060
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010112971A Active JP5432060B2 (ja) | 2010-05-17 | 2010-05-17 | アバランシェフォトダイオード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5432060B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5700561B2 (ja) * | 2011-12-12 | 2015-04-15 | 日本電信電話株式会社 | 受光素子 |
JP5833491B2 (ja) * | 2012-04-10 | 2015-12-16 | 日本電信電話株式会社 | 半導体薄膜の製造方法 |
JP6036197B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2016-11-30 | 三菱電機株式会社 | アバランシェフォトダイオードの製造方法 |
KR102504305B1 (ko) * | 2017-06-08 | 2023-02-27 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 반도체 소자 |
KR102354380B1 (ko) * | 2017-07-20 | 2022-01-21 | 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 | 반도체 소자 |
EP3680941B1 (en) * | 2017-09-06 | 2022-09-28 | Nippon Telegraph and Telephone Corporation | Avalanche photodiode and method for manufacturing same |
JP7247822B2 (ja) * | 2019-08-30 | 2023-03-29 | 株式会社豊田中央研究所 | 受光素子 |
US20220416098A1 (en) * | 2019-10-15 | 2022-12-29 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Light Receiving Element |
CN112968071B (zh) * | 2021-04-15 | 2022-09-06 | 长春工业大学 | 一种雪崩二极管及其制备方法 |
-
2010
- 2010-05-17 JP JP2010112971A patent/JP5432060B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011243675A (ja) | 2011-12-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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