JP5833491B2 - 半導体薄膜の製造方法 - Google Patents
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≒d2RIII/(d1+d2)・・・(2)
p≒p1/2・・・(6)
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- In原料,Ga原料,As原料,およびSb原料を供給することを含む第1条件で化合物半導体を基板の上に堆積する第1工程と、
前記第1工程に引き続いて、In原料,Ga原料,As原料,およびSb原料を供給することを含む第2条件で化合物半導体を前記基板の上に堆積する第2工程と
を少なくとも備え、
前記第1条件および前記第2条件でのハロメタン系の炭素ドーピング原料の供給量を、前記炭素ドーピング原料の分解過程で生じるハロゲンによるエッチング効果で、固相のIn組成が前記炭素ドーピング原料による炭素ドーピングを行っていない場合よりも小さくなることに基づいて調整し、
かつ、前記第1条件および前記第2条件の一方は、他方に比較して前記炭素ドーピング原料の供給量を少なくし、
前記基板の上に、In,Ga,As,およびSbを含み、炭素がドーピングされてp型とされた化合物半導体の薄膜を形成することを特徴とする半導体薄膜の製造方法。 - 請求項1記載の半導体薄膜の製造方法において、
前記第1条件および前記第2条件は、In原料,Ga原料,As原料,およびSb原料の供給量を同一とすることを特徴とする半導体薄膜の製造方法。 - 請求項1または2記載の半導体薄膜の製造方法において、
前記炭素ドーピング原料は、四塩化炭素または四臭化炭素であることを特徴とする半導体薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012089446A JP5833491B2 (ja) | 2012-04-10 | 2012-04-10 | 半導体薄膜の製造方法 |
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JP2013219242A JP2013219242A (ja) | 2013-10-24 |
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JP (1) | JP5833491B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6096569B2 (ja) * | 2013-04-04 | 2017-03-15 | 日本電信電話株式会社 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法 |
JP6193738B2 (ja) * | 2013-11-19 | 2017-09-06 | 日本電信電話株式会社 | 半導体薄膜の作製方法およびヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
JP6152070B2 (ja) * | 2014-04-23 | 2017-06-21 | 日本電信電話株式会社 | 貼り合わせ用InGaSb積層構造基板 |
CN113646906A (zh) * | 2019-04-09 | 2021-11-12 | 杜鹏 | 用于探测器的超晶格吸收体 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6287946B1 (en) * | 1999-05-05 | 2001-09-11 | Hrl Laboratories, Llc | Fabrication of low resistance, non-alloyed, ohmic contacts to InP using non-stoichiometric InP layers |
JP2010050176A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 化合物半導体の製造方法、半導体受光素子の製造方法、化合物半導体及び半導体受光素子 |
JP5410856B2 (ja) * | 2009-06-24 | 2014-02-05 | 日本電信電話株式会社 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
JP5198384B2 (ja) * | 2009-08-18 | 2013-05-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 半導体積層構造 |
JP5432060B2 (ja) * | 2010-05-17 | 2014-03-05 | 日本電信電話株式会社 | アバランシェフォトダイオード |
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2012
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013219242A (ja) | 2013-10-24 |
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