JP2004140038A - 薄膜結晶ウェーハの製造方法及び半導体デバイス並びにその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】GaAsを含む3−5族化合物半導体単結晶と外部接続用オーミック電極との間で電流を円滑に流すことができるようにすること。
【解決手段】GaAs単結晶10のn+ −GaAs層8をエピタキシャル成長により成膜した後、引き続きSi層11を同一のエピタキシャル成長炉内においてエピタキシャル成長させ、しかる後アルミニウムの電極12をオーミック電極としてSi層11上に形成する。Si層11によってn+ −GaAs層8の表面に表面欠陥準位が形成されるのを抑制することができ、不要な電位障壁の形成を有効に防止できる。Si層11は表面状態が平坦で且つ化学的安定性に優れているので、Si層11に対して適切な仕事関数を有するアルミニウム等を用いて電極12を形成することにより、良好なオーミック電極とすることができる。
【選択図】    図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面安定性に優れた半導体ウェーハの製造方法及びこれを用いた良好なオーミック電極特性を有する半導体デバイス並びにその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
GaAs、GaP、GaN等の3−5族化合物半導体結晶が、マイクロ波帯以上の高周波領域で使用される高速電子素子又は各種発光ダイオード等の発光素子の如き半導体デバイスの製造のために広く用いられている。上述の如き化合物半導体結晶を利用して半導体デバイスを製造する場合半導体結晶自身の電気的特性が重要であることは勿論であるが、デバイス応用の観点からは、半導体結晶を外部デバイスと電気的に接続するための電極部分の電気的特性も重要である。すなわち、外部デバイスとの間で電流を効率よく流すことができるオーミック接続を得ることができる電極の形成が重要な技術的課題となってきている。
【0003】
一般には、半導体における伝導帯準位または価電子帯準位と電極金属の仕事関数とは異なることが多いため、電極を介して半導体結晶内に電流を円滑に流し込むためには目的の半導体層の帯構造に適合した仕事関数を持つ電極材料を選ぶ必要がある。
【0004】
しかし、半導体結晶に取り付ける電極の材料を上述の如き観点から選択したとしても、半導体結晶の表面の不安定性のために電位障壁が生じこれが電流の円滑な流れを阻害することになるという問題がある。例えば、GaAs系化合物半導体の場合、高密度の表面欠陥準位が自然に形成され、同欠陥準位付近にフェルミ準位が固定され、かつ同準位が禁制帯内に形成されるために表面付近に電位障壁となる空乏層が形成されることが多い。このことは使用する電極金属の種類によらず一定の空乏層が発生することを意味し、この空乏層の影響により電極の材料を適切に選択したとしても、理想的なオーミック特性を得ることが事実上困難になっている。
【0005】
この問題に対処するため、従来においては、半導体結晶と電極との間に、禁制帯幅が小さく電位障壁の小さいInGaAs等の結晶層を電極接続層として形成し、電極と半導体結晶との間のエネルギャップを緩和する構成、あるいは不純物添加濃度を上げると空乏層厚さが薄くなることを利用し、電極からの電流がトンネル効果により半導体結晶に円滑に流れる程度に空乏層が薄くなるまで多量の不純物を添加するようにした構成が公知である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、InGaAs層を電極接続層として設ける構成によると、半導体結晶の最上層に形成されているGaAs層の上に、これと格子定数の異なるInGaAs層等を形成することとなるので、出来上がった半導体デバイス内に無理な圧縮又は引張応力が作用することとなる。このため、歪が発生したり、表面形態が悪化したりするので、微細なパターニングに対して断線その他の不具合が生じるという問題を有している。一方、電位障壁となる空乏層の厚さを不純物の大量添加により薄くする方法によると、熱的安定性を損なうこととなり、出来上がった半導体デバイスの動作が不安定になるなどして半導体デバイスの動作の信頼性が低下することになるという問題点を有している。
【0007】
本発明の目的は、従来技術における上述の問題点を解決することができるようにした、表面安定性に優れた半導体ウェーハの製造方法及びこれを用いた良好なオーミック電極特性を有する半導体デバイス並びにその製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明では、GaAsを含む3−5族化合物半導体単結晶上に適宜の結晶構造のSi層を積層することにより、表面安定性に優れ、且つ良好なオーミック電極特性を有する半導体積層構造を得ることができるようにしたものである。
【0009】
請求項1の発明によれば、3−5族化合物半導体単結晶を用いた半導体デバイスにおいて、n型にドープされた3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層と、該3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上に形成されたSi層と、該Si層上に電子用オーミック電極として形成された金属電極とを備えて成ることを特徴とする半導体デバイスが提案される。
【0010】
請求項2の発明によれば、3−5族化合物半導体単結晶を用いた半導体デバイスにおいて、p型にドープされた3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層と、該3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上に形成されたSi層と、該Si層上に正孔用オーミック電極として形成された金属電極とを備えて成ることを特徴とする半導体デバイスが提案される。
【0011】
請求項3の発明によれば、請求項1又は2の発明において、前記3−5族化合物半導体単結晶がGaAs、InGaAs、及びInPのうちのいずれか1つの単結晶である半導体デバイスが提案される。
【0012】
請求項4の発明によれば、請求項1、2又は3の発明において、前記Si層が、前記3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上にエピタキシャルに成長させた単結晶層である半導体デバイスが提案される。
【0013】
請求項5の発明によれば、請求項1、2又は3の発明において、前記Si層が、前記3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上に多結晶層またはアモルファス層として形成されている半導体デバイスが提案される。
【0014】
請求項6の発明によれば、3−5族化合物半導体デバイス用の薄膜結晶ウェーハの製造方法において、半導体基板上に所要の化合物半導体薄膜結晶層をエピタキシャル成長によって積層して3−5族化合物半導体単結晶を得る工程と該3−5族化合物半導体単結晶上にSi層をエピタキシャル成長によって成膜する工程とを同一のエピタキシャル成長炉内において行うようにしたことを特徴とする薄膜結晶ウェーハの製造方法が提案される。
【0015】
請求項7の発明によれば、請求項6の発明において、前記エピタキシャル生成が、有機金属気相エピタキシャル成長法(MOVPE法)又は分子線エピタキシー法(MBE法)である薄膜結晶ウェーハの製造方法が提案される。
【0016】
請求項8の発明によれば、請求項6の発明において、前記3−5族化合物半導体単結晶がGaAs単結晶である薄膜結晶ウェーハの製造方法が提案される。
【0017】
請求項9の発明によれば、請求項6の発明において、前記Si層を成膜する場合に前記Si層に接合する前記3−5族化合物半導体単結晶の薄膜層にSiによるn型ドープが行われるようにした薄膜結晶ウェーハの製造方法が提案される。
【0018】
請求項10の発明によれば、請求項6の発明において、前記Si層を成膜する場合に前記Si層に接合する前記3−5族化合物半導体単結晶の薄膜層のAsにより前記Si層がn型ドープされるようにした薄膜結晶ウェーハの製造方法が提案される。
【0019】
請求項11の発明によれば、請求項6、7、8、9、又は10の発明において、前記Si層を単結晶層、多結晶層、またアモルファス層として形成するようにした薄膜結晶ウェーハの製造方法が提案される。
【0020】
請求項12の発明によれば、3−5族化合物半導体単結晶を用いた半導体デバイスの製造方法において、半導体基板上に所要の化合物半導体薄膜結晶層をエピタキシャル成長によって積層して3−5族化合物半導体単結晶を得る工程と該3−5族化合物半導体単結晶上にSi層をエピタキシャル成長によって成膜する工程とを同一のエピタキシャル成長炉内において行った後、該Si層上にオーミック電極として働く金属電極を形成するようにしたことを特徴とする半導体デバイスの製造方法が提案される。
【0021】
3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上にSi層を形成することにより、3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層表面に表面欠陥準位が形成されるのを抑制することができ、不要な電位障壁の形成を有効に防止できる。Si層は表面状態が平坦で且つ化学的安定性に優れているので、Si層に対して適切な仕事関数を有する金属、例えばアルミニウム等を用いて電極を形成することにより、良好なオーミック電極とすることができる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の一例につき詳細に説明する。
【0023】
図1には、本発明による半導体デバイスの実施の形態の一例が断面図にて示されている。図1に示した半導体デバイスは、3−5族化合物半導体結晶を用いて構成されたヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)1である。HBT1は、これによりHBT素子として機能するように構成されている公知の構成のHBT用の3−5族化合物半導体単結晶であるGaAs単結晶10を用いて構成されている。GaAs単結晶10は、GaAs基板2の上に有機金属気相エピタキシャル成長法(MOVPE法)又は分子線エピタキシー法(MBE法)等の適宜のエピタキシャル成長法によってバッファ層3〜n+ −GaAs層(エミッタキャップ層)8を適宜のエピタキシャル成長炉内において順次積層形成して製造されたものである。
【0024】
GaAs単結晶10の最上層であるn+ −GaAs層8はn型にドープされたGaAs層であり、n+ −GaAs層8の上にエミッタ電極をオーミック電極として設けるため、n+ −GaAs層8の上にはSi層11が積層形成され、Si層11の上にはアルミニウム(Al)から成る電極層12が電子用のオーミック電極として形成されている。
【0025】
このように、化学的に不安定で表面欠陥準位が形成され易いn+ −GaAs層8上にSi層11を積層形成することにより、n+ −GaAs層8に空乏層のような電位障壁が生じるのを有効に防止することができる。そして、Si層11上に、Siに対して良好なオーミック接続を得ることができるアルミニウムの電極12を形成することにより、電極12とn−InGaP層(エミッタ層)との間の良好なオーミック接続が確立される。
【0026】
一般に、GaAs結晶は空気中で速やかに酸化されその時の結晶面の乱れにより形成される空乏層によって高密度の表面準位を生じ、良好なオーミック電極形成の妨げとなる。したがって、エピタキシャル成長炉中でn+ −GaAs層8を成長させた後、引き続き同一のエピタキシャル成長炉中でSi層11をMOVPE法又はMBE法等によってエピタキシャル成長させることにより、不安な表面準位を生じさせることなしにSi/GaAsヘテロ接合を形成することができる。
【0027】
具体的には、GaAs基板2の上に有機金属気相エピタキシャル成長法(MOVPE法)又は分子線エピタキシー法(MBE法)等の適宜のエピタキシャル成長法によってバッファ層3〜n+ −GaAs層(エミッタキャップ層)8を適宜のエピタキシャル成長炉内において順次積層形成してGaAs単結晶10を形成した後、引き続きこのエピタキシャル成長炉内にシラン(SiH4 )又はジシラン(Si2 6 )等のSi原料を供給し、上述した適宜のエピタキシャル成長法によってSi原料を熱分解し、これにより出来たSiをn+ −GaAs層8上に成長させることによりSi層11を成長させるようにするのが好ましい。ここで、Si層11は、GaAs結晶であるn+ −GaAs層8上にエピタキシャル成長した単結晶層として形成するのが好ましい。しかし、Si層11は必ずしも単結晶層として形成することに限定されるものではなく、多結晶の形態、又はアモルファスの形態で形成してもよい。
【0028】
ここで、オーミック接続をより一層効果的にするには、表面欠陥準位付近に固定されるフェルミ準位を考慮すると、As、P等によりSi層11をn型にドープするのが好ましい。また、Si層11の厚さは、臨界的ではないが、数十Å〜数百Åの範囲であることが望ましい。同様の理由で、n+ −GaAs層8にもn型ドーピングを施すことが望ましい。
【0029】
GaAsとSiとの間には伝導帯端エネルギー準位に多少の差があるが、その差異は小さく、Si層11及びn+ −GaAs層8の両層に上述のごとくしてn型ドーピングを行うことでその接合抵抗は無視しうるほどに小さく出来る。このn型ドーピングは、n+ −GaAs層8及びSi層11の各層に各々適切な手段で実施することができるが、特に意図的なドープを行わなくても、n+ −GaAs層8上にSi層11を形成する際に、n+ −GaAs層8とSi層11との間で加熱による相互拡散で各々十分な濃度のドーピング量を実現することができる。
【0030】
Si層11は、表面が非常に安定で表面準位が小さいため、Si半導体技術に使用されているのと同様に適切な電子親和力を有する金属であるアルミニウムの使用によりSi層11と電極12との間で良好なオーミック接続が実現できる。この結果、電極12を介してGaAs単結晶10を外部のデバイスと電気的に接続し、両者を良好にオーミック接続することができる。
【0031】
上記実施の形態では、エミッタ電極の構成について説明したが、ベース層に対するベース電極及びコレクタ層に対するコレクタ電極の場合も、同様にして、良好なオーミック電極を設けることができる。また、半導体デバイスは、HBT素子に限定されるものではなく、発光ダイオード素子、HEMT素子等に広く適用できることは勿論である。
【0032】
さらに、上記実施の形態では、電子用オーミック電極の場合を説明したが、本発明は正孔用オーミック電極についても同様に適用して同様の効果を得ることができる。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば、上述の如く、3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上にSi層を形成することにより、3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層表面に表面欠陥準位が形成されるのを抑制することができ、不要な電位障壁の形成を有効に防止できる。そして、Si層は表面状態が平坦で且つ化学的安定性に優れているので、Si層に対して適切な仕事関数を有する金属、例えばアルミニウム等を用いて電極を形成することにより、Si層と電極との間を良好なオーミック接続状態とすることができる。この結果、電極を介して3−5族化合物半導体単結晶と外部デバイスとの間で電流を効率よく流すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体デバイスの実施の形態の一例を示す断面図。
【符号の説明】
1 HBT
2 GaAs基板
3 バッファ層
8 n+ −GaAs層
10 GaAs単結晶
11 Si層
12 電極

Claims (12)

  1. 3−5族化合物半導体単結晶を用いた半導体デバイスにおいて、
    n型にドープされた3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層と、
    該3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上に形成されたSi層と、
    該Si層上に電子用オーミック電極として形成された金属電極と
    を備えて成ることを特徴とする半導体デバイス。
  2. 3−5族化合物半導体単結晶を用いた半導体デバイスにおいて、
    p型にドープされた3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層と、
    該3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上に形成されたSi層と、
    該Si層上に正孔用オーミック電極として形成された金属電極と
    を備えて成ることを特徴とする半導体デバイスが。
  3. 前記3−5族化合物半導体単結晶がGaAs、InGaAs、及びInPのうちのいずれか1つの単結晶である請求項1又は2記載の半導体デバイス。
  4. 前記Si層が、前記3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上にエピタキシャルに成長させた単結晶層である請求項1、2又は3記載の半導体デバイス。
  5. 前記Si層が、前記3−5族化合物半導体単結晶エピタキシャル層上に多結晶層またはアモルファス層として形成されている請求項1、2又は3記載の半導体デバイス。
  6. 3−5族化合物半導体デバイス用の薄膜結晶ウェーハの製造方法において、
    半導体基板上に所要の化合物半導体薄膜結晶層をエピタキシャル成長によって積層して3−5族化合物半導体単結晶を得る工程と該3−5族化合物半導体単結晶上にSi層をエピタキシャル成長によって成膜する工程とを同一のエピタキシャル成長炉内において行うようにしたことを特徴とする薄膜結晶ウェーハの製造方法。
  7. 前記エピタキシャル生成が、有機金属気相エピタキシャル成長法(MOVPE法)又は分子線エピタキシー法(MBE法)である請求項6記載の薄膜結晶ウェーハの製造方法。
  8. 前記3−5族化合物半導体単結晶がGaAs単結晶である請求項6記載の薄膜結晶ウェーハの製造方法。
  9. 前記Si層を成膜する場合に前記Si層に接合する前記3−5族化合物半導体単結晶の薄膜層にSiによるn型ドープが行われるようにした請求項6記載の薄膜結晶ウェーハの製造方法。
  10. 前記Si層を成膜する場合に前記Si層に接合する前記3−5族化合物半導体単結晶の薄膜層のAsにより前記Si層がn型ドープされるようにした請求項6記載の薄膜結晶ウェーハの製造方法。
  11. 前記Si層を単結晶層、多結晶層、またアモルファス層として形成するようにした請求項6、7、8、9、又は10記載の薄膜結晶ウェーハの製造方法。
  12. 3−5族化合物半導体単結晶を用いた半導体デバイスの製造方法において、
    半導体基板上に所要の化合物半導体薄膜結晶層をエピタキシャル成長によって積層して3−5族化合物半導体単結晶を得る工程と該3−5族化合物半導体単結晶上にSi層をエピタキシャル成長によって成膜する工程とを同一のエピタキシャル成長炉内において行った後、該Si層上にオーミック電極として働く金属電極を形成するようにしたことを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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US10/530,562 US20060060132A1 (en) 2002-10-15 2003-10-10 Production method for thin-film crystal wafer, semiconductor device using it and production method therefor
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8273649B2 (en) 2008-11-17 2012-09-25 International Business Machines Corporation Method to prevent surface decomposition of III-V compound semiconductors
US8936976B2 (en) * 2009-12-23 2015-01-20 Intel Corporation Conductivity improvements for III-V semiconductor devices
EP2980282B1 (en) 2013-03-29 2021-02-24 JX Nippon Mining & Metals Corporation Compound semiconductor single crystals for photoelectric conversion elements, photoelectric conversion element, and production method for compound semiconductor single crystals for photoelectric conversion elements
CN103280503B (zh) * 2013-05-23 2017-02-08 台州市一能科技有限公司 半导体器件
US9418846B1 (en) 2015-02-27 2016-08-16 International Business Machines Corporation Selective dopant junction for a group III-V semiconductor device

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US593274A (en) * 1897-11-09 Mechanism foe watches
JPS6015970A (ja) * 1983-07-08 1985-01-26 Hitachi Ltd 半導体装置
JPS6352473A (ja) * 1986-08-22 1988-03-05 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 化合物半導体装置
JPS63199460A (ja) * 1987-02-16 1988-08-17 Nippon Denso Co Ltd 半導体装置
JPS63239941A (ja) * 1987-03-27 1988-10-05 Toshiba Corp 化合物半導体装置の電極の製造方法
JPS6472558A (en) * 1987-09-11 1989-03-17 Sharp Kk Iii-v compound semiconductor device
US4999685A (en) * 1989-05-16 1991-03-12 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Schotiky barrier height for metal contacts to III-V semiconductor compounds
JP3813740B2 (ja) * 1997-07-11 2006-08-23 Tdk株式会社 電子デバイス用基板
WO2002013342A2 (en) * 2000-08-04 2002-02-14 Amberwave Systems Corporation Silicon wafer with embedded optoelectronic material for monolithic oeic
JP2002217105A (ja) * 2001-01-17 2002-08-02 Sumitomo Chem Co Ltd 3−5族化合物半導体の製造方法
SG125069A1 (en) * 2001-05-17 2006-09-29 Sumitomo Chemical Co Method and system for manufacturing III-V group compound semiconductor and III-V group compound semiconductor

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