JP2016213362A - アバランシェフォトダイオード - Google Patents
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Abstract
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について図1,図2を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態1におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す断面図である。また、図2は、本発明の実施の形態1におけるアバランシェフォトダイオードの層厚方向のバンドギャップエネルギーの変化を示すバンド図である。
次に、本発明の実施の形態2について図4,図5を用いて説明する。図4は、本発明の実施の形態2におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す断面図である。また、図5は、本発明の実施の形態2におけるアバランシェフォトダイオードの層厚方向のバンドギャップエネルギーの変化を示すバンド図である。
次に、本発明の実施の形態3について図6,図7を用いて説明する。図6は、本発明の実施の形態3におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す断面図である。また、図7は、本発明の実施の形態3におけるアバランシェフォトダイオードの層厚方向のバンドギャップエネルギーの変化を示すバンド図である。
次に、本発明の実施の形態4について図8,図9を用いて説明する。図8は、本発明の実施の形態4におけるアバランシェフォトダイオードの構成を示す断面図である。また、図9は、本発明の実施の形態4におけるアバランシェフォトダイオードの層厚方向のバンドギャップエネルギーの変化を示すバンド図である。
p+−InGaAsP(第1界面層408)、p+−GaAsSb(第2界面層409)、アンドープのInAs(増倍層403)、n−AlAsSb(エッジ電界バッファ層407)、n−GaAsSb(n型コンタクト層402)が、これらの順に積層された状態となる。
Claims (3)
- n型の化合物半導体から構成されたn型コンタクト層と、
p型の化合物半導体から構成されたp型コンタクト層と、
化合物半導体から構成されて前記n型コンタクト層と前記p型コンタクト層との間に形成された光吸収層と、
化合物半導体から構成されて前記光吸収層と前記n型コンタクト層との間に形成され、前記光吸収層より小さいバンドギャップとされた増倍層と
を備えることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記光吸収層と前記増倍層との間に形成された半導体多層構造からなる反射構造層を備えることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。 - 請求項1または2記載のアバランシェフォトダイオードにおいて、
前記光吸収層と前記増倍層とは、異なる格子定数とされていることを特徴とするアバランシェフォトダイオード。
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